JP2020019084A - Apparatus and method for grinding comb-tooth height of labyrinth packing - Google Patents

Apparatus and method for grinding comb-tooth height of labyrinth packing Download PDF

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Abstract

To provide an apparatus for grinding the comb-tooth height of a labyrinth packing, in which automation is applied also to a position of a measuring point to be a reference, and human-induced variation related to processing can be suppressed more.SOLUTION: An apparatus for grinding the comb-tooth height of a labyrinth packing includes: a stage 14 allowing movement in an X-axis direction and a Y-axis direction, in a state that a labyrinth packing is fixed; grinding means 34 for grinding comb-teeth; first measuring means for measuring a chord length of the labyrinth packing; second measuring means 38 for measuring a Z-axis coordinate of three points to be a reference; and control means for determining X-axis coordinates of the three points, on the basis of the chord length measured by the first measuring means, for creating processing data for executing grinding, on the basis of the X-axis coordinate at each measuring point, after executing the measurement using the second measuring means 38 and the Z-axis coordinate has been measured using the second measuring means 38, and for outputting a control signal based on the processing data.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、研削装置、および研削方法に係り、特にラビリンスパッキンにおける櫛歯の高さを研削するのに好適な装置、および方法に関する。   The present invention relates to a grinding device and a grinding method, and particularly to a device and a method suitable for grinding the height of comb teeth in a labyrinth packing.

火力発電所のタービンは、一定の周期で定期点検工事を行う事が電気事業法により定められている。ラビリンスパッキンは、タービンの軸周りに設置されている非接触のシールであり、タービンに流れる気体の漏れ量を低減させる役割を担う。そして、ラビリンスパッキンには、定期点検工事毎に、シール面に設けられた櫛歯状のフィンの修正加工が施される。   It is stipulated by the Electricity Business Law that turbines of thermal power plants undergo periodic inspections at regular intervals. The labyrinth packing is a non-contact seal installed around the axis of the turbine, and plays a role in reducing the amount of leakage of gas flowing through the turbine. Then, the labyrinth packing is subjected to correction processing of the comb-shaped fins provided on the sealing surface at every periodic inspection work.

従来、この櫛歯状のフィンの修正加工作業は、その形態の特殊性から、作業者による手作業で行われていたが、作業者の熟練度により、修正加工の仕上がりや加工時間に大きな差がでていた。   Conventionally, the work of repairing the comb-shaped fins has been performed manually by an operator due to the peculiarity of the form. However, depending on the skill of the worker, there is a large difference in the finish of the repair processing and the processing time. Was out.

このため、ラビリンスパッキンの修正加工を自動化するための技術として、特許文献1に開示されているような被加工物を保持して水平移動するステージと、回転工具を垂直方向に移動させる機構を備えたものや、特許文献2に開示されているような、被加工物の長手方向にステージを移動させ、回転工具を被加工物の幅方向に移動させるといった装置などが提案されている。しかし、従来の加工装置では、加工可能なラビリンスパッキンの大きさや曲率が定められているため、状態が異なる被加工物の修正加工に対応することができなかった。   For this reason, as a technology for automating the correction processing of the labyrinth packing, there is provided a stage for holding and horizontally moving a workpiece and a mechanism for vertically moving a rotary tool as disclosed in Patent Document 1. In addition, an apparatus has been proposed in which a stage is moved in a longitudinal direction of a workpiece and a rotary tool is moved in a width direction of the workpiece, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-163873. However, in the conventional processing apparatus, since the size and the curvature of the labyrinth packing that can be processed are determined, it is not possible to cope with the correction processing of the workpiece in a different state.

これに対し、本願出願人は、特許文献3に開示しているような装置を提案している。特許文献3に開示している装置は、加工対象とするラビリンスパッキンを把持した状態で水平移動可能なステージと、鉛直方向に移動可能な研削手段を備え、少なくとも3点の計測により計測したZ軸(高さ方向の軸)の座標データに基づいて、加工データを作成し、ラビリンスパッキンにおける櫛歯状のフィンの研削加工を行うというものである。   On the other hand, the present applicant has proposed an apparatus as disclosed in Patent Document 3. The apparatus disclosed in Patent Document 3 includes a stage that can move horizontally while holding a labyrinth packing to be processed, and a grinding unit that can move in the vertical direction, and a Z-axis measured by measuring at least three points. Processing data is created based on the coordinate data of the (height axis), and the comb-shaped fins in the labyrinth packing are ground.

特開平7−60630号公報JP-A-7-60630 特開2002−273644号公報JP-A-2002-273644 特許第6304614号公報Japanese Patent No. 6304614

特許文献3に開示している技術によれば、加工対象とするラビリンスパッキンの大きさや曲率の如何を問わず、櫛歯状のフィンの研削加工を行うことが可能となる。   According to the technique disclosed in Patent Literature 3, it is possible to perform grinding of comb-shaped fins regardless of the size and curvature of the labyrinth packing to be processed.

しかし、特許文献3に開示されている技術は、Z軸の座標を検出する点を作業者の任意で選択することとなる。このため、作業者によって計測位置が中心寄りになったり、外側に寄ったりする事があった。   However, the technique disclosed in Patent Literature 3 allows the operator to arbitrarily select a point for detecting the coordinate of the Z axis. For this reason, the measurement position may be shifted toward the center or toward the outside depending on the operator.

そこで本発明では、基準となる計測点の位置についても自動化し、加工に関する人為的なバラつきをより抑制することのできるラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置、およびラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削方法を提供することを目的とする。   Therefore, in the present invention, a comb tooth height grinding device for a labyrinth packing and a comb tooth height grinding method for a labyrinth packing that can also automate the position of a reference measurement point and further suppress artificial variation in processing. The purpose is to provide.

上記目的を達成するための本発明に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置は、研削対象とするラビリンスパッキンを固定した状態で、前記ラビリンスパッキンの長手方向に沿うX軸方向と、前記ラビリンスパッキンの幅方向に沿うY軸方向への移動を可能とするステージと、前記ラビリンスパッキンの櫛歯を研削する研削手段と、前記ラビリンスパッキンの弦長を計測する第1計測手段と、前記ラビリンスパッキンにおけるX軸に沿った3点のZ軸座標を計測する第2計測手段と、前記第1計測手段によって計測された弦長に基づいて、前記第2計測手段によりZ軸座標を計測する3点のX軸座標を割り出し、前記第2計測手段による計測を実行させる制御信号を出力し、前記第2計測手段によってZ軸座標が計測された後、各計測点におけるX軸座標に基づいて、前記櫛歯上面を予め定められた研削量で研削するための加工データを作成し、前記加工データに基づく制御信号を出力する制御手段と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a comb tooth height grinding apparatus for a labyrinth packing according to the present invention comprises: a labyrinth packing to be ground; A stage enabling movement in the Y-axis direction along the width direction of the labyrinth packing, grinding means for grinding comb teeth of the labyrinth packing, first measuring means for measuring a chord length of the labyrinth packing, and A second measuring means for measuring three Z-axis coordinates along the X-axis; and a three-point measuring means for measuring the Z-axis coordinate by the second measuring means based on the chord length measured by the first measuring means. After calculating the X-axis coordinate, outputting a control signal for executing the measurement by the second measuring means, and measuring the Z-axis coordinate by the second measuring means, each measuring point Control means for creating processing data for grinding the upper surface of the comb teeth with a predetermined grinding amount on the basis of the X-axis coordinates in the X-axis coordinates, and outputting a control signal based on the processing data. I do.

また、上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置では、前記加工データに基づく制御信号に従って、回転しながら前記櫛歯の頂部側面と接触する研削材から成るバリ取手段を備えると良い。このような特徴を有する事によれば、従来手作業で行っていたバリ取作業についても、自動で行うことが可能となる。   In addition, the comb tooth height grinding device of the labyrinth packing having the above-described features includes a deburring means made of an abrasive material that contacts the top side surface of the comb tooth while rotating according to a control signal based on the processing data. And good. According to this feature, it is possible to automatically perform the deburring work which has been manually performed in the past.

また、上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置において前記研削材は、可撓性を有するものであると良い。このような特徴を有することにより、櫛歯の頂点側面に発生するバリを効果的に解消することができる。   Further, in the comb tooth height grinding device for a labyrinth packing having the above-mentioned characteristics, it is preferable that the abrasive is flexible. With such a feature, burrs generated on the vertex side surfaces of the comb teeth can be effectively eliminated.

また、上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置は、前記研削手段を前記ラビリンスパッキンの高さ方向に沿うZ軸方向へ移動させる第1Z軸アクチュエータと、前記バリ取手段を前記Z軸方向へ移動させる第2Z軸アクチュエータと、を備え、前記バリ取手段に対する制御信号は、前記加工データに対して、前記第1Z軸アクチュエータと前記第2Z軸アクチュエータとの間のシフト量を加味して出力する構成とすることもできる。このような特徴を有する事によれば、バリ取手段の制御のための加工データを新たに作成する事なく、バリ取加工を実施することができる。   In addition, the comb tooth height grinding device for a labyrinth packing having the above-described features includes a first Z-axis actuator for moving the grinding unit in a Z-axis direction along the height direction of the labyrinth packing, and the deburring unit. A second Z-axis actuator for moving in the Z-axis direction, wherein the control signal for the deburring means is a shift amount between the first Z-axis actuator and the second Z-axis actuator for the machining data. It is also possible to adopt a configuration in which the output is added. According to this feature, deburring can be performed without newly creating processing data for controlling the deburring means.

さらに、上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置において前記第2Z軸アクチュエータは、脱着可能なユニットとしても良い。このような特徴を有する事によれば、研削装置を拡張型の装置とすることができる。   Furthermore, in the comb tooth height grinding device for a labyrinth packing having the above-described features, the second Z-axis actuator may be a detachable unit. According to this feature, the grinding device can be an extended device.

また、上記目的を達成するための本発明に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削方法は、ラビリンスパッキンの櫛歯を研削するための研削手段の配置位置と、前記研削後における加工面のバリを取り除くためのバリ取手段の配置位置とが、X軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向の少なくとも1方向にズレている場合において、前記研削手段の加工データと、前記バリ取手段の加工データとは、1つの加工データを両者の相対的なズレに補正を加えて利用することを特徴とする。   In order to achieve the above object, the method for grinding comb tooth height of a labyrinth packing according to the present invention includes: disposing a grinding means for grinding comb teeth of a labyrinth packing; and a burr on a processing surface after the grinding. The processing data of the grinding means and the processing data of the deburring means when the arrangement position of the deburring means for removing is deviated in at least one of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. Is characterized in that one piece of processing data is used by correcting a relative deviation between the two.

上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置、および方法によれば、ラビリンスパッキンの曲率や大きさ、状態の如何によらず研削加工を行う事ができる。このため、作業者の熟練度に依存する事なく、短時間で高精度に修正加工を行う事が可能となる。また、基準となる3点の計測点の割出についても自動化することで、加工に関する人為的なバラつきをより抑制することができる。   According to the apparatus and the method for grinding the height of comb teeth of a labyrinth packing having the above-mentioned features, it is possible to perform a grinding process irrespective of the curvature, size and state of the labyrinth packing. For this reason, it is possible to perform the correction processing with high accuracy in a short time without depending on the skill of the operator. In addition, by automating the calculation of the three reference measurement points, it is possible to further suppress artificial variations in processing.

実施形態に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置の外観構成を示す正面図である。It is a front view showing the appearance composition of the comb tooth height grinding device of the labyrinth packing concerning an embodiment. 実施形態に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置の外観構成を示す左側面図である。It is a left view which shows the external appearance structure of the comb tooth height grinding apparatus of the labyrinth packing which concerns on embodiment. 実施形態に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置の外観構成を示す平面図である。It is a top view showing the appearance composition of the comb tooth height grinding device of the labyrinth packing concerning an embodiment. 把持機構の構成を示す拡大側面図である。FIG. 3 is an enlarged side view illustrating a configuration of a gripping mechanism. 把持機構の構成を示す拡大正面図である。FIG. 3 is an enlarged front view illustrating a configuration of a gripping mechanism. 研削加工後のラビリンスパッキンに生ずるバリを取り除くバリ取手段における回転ブラシと櫛歯の関係を示す部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view showing a relationship between a rotating brush and comb teeth in a deburring means for removing a burr generated in a labyrinth packing after grinding. ラビリンスパッキンの櫛歯と計測手段における計測ピンの関係を示す部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view showing a relationship between comb teeth of a labyrinth packing and measuring pins in a measuring means. 制御手段を含むラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置のシステム全体のイメージを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the image of the whole system of the comb tooth height grinding apparatus of the labyrinth packing including a control means. 実施形態に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置によりラビリンスパッキンの櫛歯研削を行う際の工程を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the process at the time of performing the comb tooth grinding of the labyrinth packing by the comb tooth height grinding apparatus of the labyrinth packing which concerns on embodiment. ラビリンスパッキンにおける3点のZ軸を自動計測する際の計測ルートの例を示す図である。It is a figure showing an example of a measurement route at the time of automatically measuring three Z-axes in labyrinth packing.

以下、本発明のラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置、およびラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削方法に係る実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面において、図1から図3は、実施形態に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置の外観構成を示す正面図、左側面図、および平面図である。また、図4は、把持機構の構成を示す拡大側面図であり、図5は、同正面図である。また、図6は、研削加工後のラビリンスパッキンに生ずるバリを取り除くバリ取手段における回転ブラシと櫛歯の関係を示す部分拡大図である。図7は、ラビリンスパッキンの櫛歯と計測手段における計測ピンの関係を示す部分拡大図である。また、図8は、制御手段を含むラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置のシステム全体のイメージを示すブロック図である。さらに、図9は、実施形態に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置によりラビリンスパッキンの櫛歯研削を行う際の工程を示すフロー図である。また、図10は、ラビリンスパッキンにおける3点のZ軸を自動計測する際の計測ルートの例を示す図である。   Hereinafter, embodiments of a comb tooth height grinding apparatus for a labyrinth packing and a comb tooth height grinding method for a labyrinth packing according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 to 3 are a front view, a left side view, and a plan view illustrating an external configuration of a comb tooth height grinding device for a labyrinth packing according to the embodiment. FIG. 4 is an enlarged side view showing the configuration of the gripping mechanism, and FIG. 5 is a front view of the same. FIG. 6 is a partially enlarged view showing the relationship between the rotating brush and the comb teeth in the deburring means for removing burrs generated in the labyrinth packing after the grinding process. FIG. 7 is a partially enlarged view showing the relationship between the comb teeth of the labyrinth packing and the measuring pins of the measuring means. FIG. 8 is a block diagram showing an image of the entire system of the comb tooth height grinding device for labyrinth packing including the control means. Further, FIG. 9 is a flowchart showing a process when the comb tooth grinding of the labyrinth packing is performed by the comb tooth height grinding device of the labyrinth packing according to the embodiment. FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a measurement route when automatically measuring three Z-axes in the labyrinth packing.

[研削装置の構成]
実施形態に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置(以下、単に研削装置10と称す)は、ベース12と、ステージ14、研削手段34、第1Z軸アクチュエータ26、バリ取手段70、第2Z軸アクチュエータ74、第1計測手段、第2計測手段38、および制御手段42を有する。ベース12は、実施形態に係る研削装置10の土台である。
[Configuration of grinding device]
A labyrinth packing comb height grinder (hereinafter, simply referred to as a grinder 10) according to the embodiment includes a base 12, a stage 14, a grinding unit 34, a first Z-axis actuator 26, a deburring unit 70, and a second Z-axis. An actuator 74, a first measuring unit, a second measuring unit 38, and a control unit 42 are provided. The base 12 is a base of the grinding device 10 according to the embodiment.

[ステージについて]
ステージ14は、X軸方向、およびY軸方向への移動を行うテーブルである。また、ステージ14上には、被加工物であるラビリンスパッキン60を固定するための把持機構24が備えられている。本実施形態においてX軸とは、図1、図3において矢印Aで示す方向であり、ラビリンスパッキン60を把持機構24により固定した際、その長手方向に沿う方向となる。また、Y軸とは、図2、図3において矢印Bで示す方向であり、ラビリンスパッキン60を把持機構24により固定した際、その幅方向に沿う方向となる。
[About the stage]
The stage 14 is a table that moves in the X-axis direction and the Y-axis direction. Further, on the stage 14, a gripping mechanism 24 for fixing a labyrinth packing 60 as a workpiece is provided. In this embodiment, the X axis is a direction indicated by an arrow A in FIGS. 1 and 3, and is a direction along the longitudinal direction when the labyrinth packing 60 is fixed by the gripping mechanism 24. The Y axis is a direction indicated by an arrow B in FIGS. 2 and 3, and is a direction along the width direction when the labyrinth packing 60 is fixed by the gripping mechanism 24.

実施形態に係るステージ14は、X軸機構16とX軸ステージ18、Y軸機構20、およびY軸ステージ22とを備える構成としている。X軸機構16は、ベース12上に、X軸に沿って配されたガイドレール16aとボールネジ16b、およびボールネジ16bを回転させるX軸モータ16cとを備えて構成される。X軸ステージ18は、ボールネジ16bの回転に伴って移動するスライダであり、ガイドレール16aに沿う摺動部18aを有する。   The stage 14 according to the embodiment includes an X-axis mechanism 16, an X-axis stage 18, a Y-axis mechanism 20, and a Y-axis stage 22. The X-axis mechanism 16 includes, on the base 12, a guide rail 16a arranged along the X-axis, a ball screw 16b, and an X-axis motor 16c for rotating the ball screw 16b. The X-axis stage 18 is a slider that moves with the rotation of the ball screw 16b, and has a sliding portion 18a along the guide rail 16a.

Y軸機構20は、X軸ステージ18上に、Y軸に沿って配されたガイドレール20aと、ボールネジ20b、およびボールネジ20bを回転させるY軸モータ20cとを備えて構成される。Y軸ステージ22は、ボールネジ20bの回転に伴って移動するスライダであり、ガイドレール20aに沿う摺動部22aを有する。また、Y軸ステージ22上には、把持機構24が備えられる。   The Y-axis mechanism 20 includes, on the X-axis stage 18, a guide rail 20a arranged along the Y-axis, a ball screw 20b, and a Y-axis motor 20c for rotating the ball screw 20b. The Y-axis stage 22 is a slider that moves with the rotation of the ball screw 20b, and has a sliding portion 22a along the guide rail 20a. On the Y-axis stage 22, a gripping mechanism 24 is provided.

[把持機構について]
把持機構24は、ラビリンスパッキン60を固定するための手段であり、実施形態に係る研削装置10では、固定当板24aと可動当板24b、支柱24c、およびクランプ24dを有する。固定当板24aは、ステージ14を構成するY軸ステージ22に固定される位置決め用の部材である。可動当板24bは、固定当板24aに対向配置され、固定当板24aと可動当板24bとの間にラビリンスパッキン60を挟み込む役割を担う部材である。支柱24cは、固定当板24aを基点としてY軸方向に沿って延設され、可動当板24bを貫通して配置される、可動当板24bのスライドガイドである。本実施形態の場合、X軸に沿って2本一対の支柱24cを設ける構成としている。
[Gripping mechanism]
The gripping mechanism 24 is a means for fixing the labyrinth packing 60. In the grinding device 10 according to the embodiment, the gripping mechanism 24 includes a fixed abutment plate 24a, a movable abutment plate 24b, a support 24c, and a clamp 24d. The fixed abutment plate 24 a is a positioning member that is fixed to the Y-axis stage 22 constituting the stage 14. The movable abutment plate 24b is a member arranged to face the fixed abutment plate 24a and serving to sandwich the labyrinth packing 60 between the fixed abutment plate 24a and the movable abutment plate 24b. The column 24c is a slide guide for the movable abutment plate 24b, which extends along the Y-axis direction with the fixed abutment plate 24a as a base point and is arranged to penetrate the movable abutment plate 24b. In the case of the present embodiment, two pairs of columns 24c are provided along the X axis.

また、本実施形態では、固定当板24aと可動当板24bの上端に、円弧状の切欠き24a1,24b1(図5参照)を設けている。切欠き24a1,24b1の円弧形状は、研削対象とするラビリンスパッキン60の円弧形状に倣うものとすれば良い。把持機構24を構成する固定当板24aと可動当板24bに円弧状の切欠き24a1,24b1を設ける事により、円弧状の形態を有するラビリンスパッキン60の把持面積を十分確保でき、把持状態の安定化を図る事ができる。また、切欠き24a1,24b1を成す円弧は、全体の直径が大きなラビリンスパッキン60の円弧に合わせて形成すると良い。大きな円弧に合わせて切欠き24a1,24b1を形成する事で、小さな直径のラビリンスパッキン60にも対応可能となるからである。   In this embodiment, arc-shaped notches 24a1 and 24b1 (see FIG. 5) are provided at the upper ends of the fixed abutment plate 24a and the movable abutment plate 24b. The arc shapes of the notches 24a1 and 24b1 may follow the arc shape of the labyrinth packing 60 to be ground. By providing arc-shaped notches 24a1 and 24b1 in the fixed abutment plate 24a and the movable abutment plate 24b constituting the gripping mechanism 24, a sufficient gripping area of the labyrinth packing 60 having an arcuate shape can be secured, and the gripping state is stabilized Can be achieved. Further, the arcs forming the notches 24a1 and 24b1 may be formed in accordance with the arc of the labyrinth packing 60 having a large overall diameter. By forming the notches 24a1 and 24b1 in accordance with the large arc, it becomes possible to cope with the labyrinth packing 60 having a small diameter.

また、対を成して配置される支柱24cは、その配置高さをラビリンスパッキン60の把持高さに合わせる事で、ラビリンスパッキン60の配置高さを支柱24cを基点として定める事ができる。よって、ラビリンスパッキン60の配置(位置決め)を容易に行う事ができる。   In addition, by setting the arrangement height of the columns 24c arranged in pairs with the grip height of the labyrinth packing 60, the arrangement height of the labyrinth packing 60 can be determined based on the columns 24c. Therefore, the labyrinth packing 60 can be easily arranged (positioned).

クランプ24dは、ラビリンスパッキン60を把持した可動当板24bを固定当板24aへ押し付け、ラビリンスパッキン60の固定状態を維持するという役割を担う。クランプ24dは、その役割を担うものであれば、具体的な構成を問うものではなく、例えばシャコマンのようなものであっても良い。本実施形態では、ラビリンスパッキン60を把持する工程の容易さを考慮して、横方向押し付け型のトグル式クランプを採用している。クランプ24dの本体をY軸ステージ22に固定し、押し付け部を可動当板24bに当接させることで、レバーの揺動に従った押し付けと開放を行う事が可能となる。本実施形態では、クランプ24dをX軸に沿った2点に配置し、把持状態の安定化を図るようにしている。   The clamp 24d has a role of pressing the movable abutment plate 24b holding the labyrinth packing 60 against the fixed abutment plate 24a and maintaining the labyrinth packing 60 in a fixed state. The clamp 24d is not limited to a specific configuration as long as it plays a role, and may be, for example, a shaman. In the present embodiment, in consideration of the easiness of the process of gripping the labyrinth packing 60, a toggle clamp of a lateral pressing type is employed. By fixing the main body of the clamp 24d to the Y-axis stage 22 and bringing the pressing portion into contact with the movable abutment plate 24b, it is possible to perform the pressing and releasing according to the swing of the lever. In the present embodiment, the clamps 24d are arranged at two points along the X axis so as to stabilize the gripping state.

[研削手段について]
研削手段34は、ラビリンスパッキン60における櫛歯62の上面を研削するための要素である。本実施形態では、研削手段34としてルータを選択し、このルータを後述する第1Z軸アクチュエータ26のスライダ30に取り付けることで、X軸、Y軸、Z軸といった3軸に対する相対的な動作を可能な構成としている。
[About grinding means]
The grinding means 34 is an element for grinding the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60. In the present embodiment, a router is selected as the grinding means 34, and the router is attached to a slider 30 of a first Z-axis actuator 26, which will be described later, so that relative operation with respect to three axes such as X, Y, and Z axes is possible. Configuration.

研削手段34は、回転砥石36を備えている。また、研削手段34は、第1Z軸アクチュエータ26のスライダ30に対して、回転砥石36の回転軸がY軸に沿うこととなるように配置されている。   The grinding means 34 includes a rotating grindstone 36. The grinding means 34 is arranged with respect to the slider 30 of the first Z-axis actuator 26 such that the rotation axis of the rotary grindstone 36 is along the Y-axis.

[第1Z軸アクチュエータ]
第1Z軸アクチュエータ26は、X軸とY軸の双方に直交する方向(垂直方向)への移動軸(Z軸)に対する動作を担う要素である。第1Z軸アクチュエータ26の構成は、基本的にはX軸機構16やY軸機構20と同様とすることができる。すなわち、ベース12を基点としてZ軸方向に沿って立設された垂直ベース28に沿って配置されるガイドレール26aと、ボールネジ26b、第1Z軸モータ26cを備える動力部と、ボールネジ26bの回転に伴って移動するスライダ30を備え、スライダ30に対してブラケット32が付帯されている。このような構成とすることで、第1Z軸モータ26cへの制御信号により、スライダ30をZ軸に沿って移動させる事が可能となる。
[First Z-axis actuator]
The first Z-axis actuator 26 is an element responsible for an operation on a movement axis (Z-axis) in a direction (vertical direction) orthogonal to both the X-axis and the Y-axis. The configuration of the first Z-axis actuator 26 can be basically the same as the X-axis mechanism 16 and the Y-axis mechanism 20. That is, a guide rail 26a disposed along a vertical base 28 erected along the Z-axis direction with the base 12 as a base point, a power unit including a ball screw 26b and a first Z-axis motor 26c, and a rotation of the ball screw 26b. It has a slider 30 that moves with it, and a bracket 32 is attached to the slider 30. With such a configuration, the slider 30 can be moved along the Z-axis by a control signal to the first Z-axis motor 26c.

[バリ取手段]
バリ取手段70は、研削手段34により研削された後における櫛歯62の上面に生ずるバリ62aを除去するための要素である。本実施形態では、バリ取手段70をセラミック製ブラシから成る回転ブラシ72を備えたルータとしている。本実施形態では、このバリ取手段70を後述する第2Z軸アクチュエータ74のスライダ76に取り付けるようにしている。このような構成とすることで、研削手段34と同様にバリ取手段70も、X軸、Y軸、Z軸といった3軸に対する相対的な動作を行うことが可能となる。
[Deburring means]
The deburring means 70 is an element for removing burrs 62 a generated on the upper surface of the comb teeth 62 after being ground by the grinding means 34. In the present embodiment, the deburring means 70 is a router provided with a rotating brush 72 made of a ceramic brush. In the present embodiment, the deburring means 70 is attached to a slider 76 of a second Z-axis actuator 74 described later. With such a configuration, the deburring means 70 can perform relative operations with respect to three axes such as the X axis, the Y axis, and the Z axis, similarly to the grinding means 34.

なお、バリ取手段70は、第2Z軸アクチュエータ74のスライダ76に対して、回転ブラシ72の回転軸がY軸に沿うこととなるように配置されている。図6に示すように、バリ取手段70の回転ブラシ72を櫛歯62の先端に食い込ませるように転接させることで、ブラシが櫛歯62の先端に沿って分かれ、上面に生ずるバリ62aを払拭することができる。   The deburring means 70 is arranged with respect to the slider 76 of the second Z-axis actuator 74 so that the rotation axis of the rotating brush 72 is along the Y-axis. As shown in FIG. 6, by rotating the rotating brush 72 of the deburring means 70 so as to bite into the tip of the comb tooth 62, the brush separates along the tip of the comb tooth 62, and the burr 62a generated on the upper surface is removed. Can be dispelled.

ここで、本実施形態では、簡易且つ効果的なバリ取手段70の一形態として、セラミック製ブラシから成る回転ブラシ70を例に挙げた。しかしながら、バリ取手段としては、櫛歯62の頂部側面に接触し、バリ取効果を奏するものであれば、砥石などの研削材であっても良い。また、回転ブラシ70と同様な効果を奏する要素としては、研削材のうち、可撓性のあるものを採用すれば良い。例えば、上に挙げた回転ブラシ70の他、布製研削材や、紙製研削材等を回転接触させる構成であれば良い。   Here, in the present embodiment, as an example of the simple and effective deburring means 70, the rotary brush 70 made of a ceramic brush is taken as an example. However, as the deburring means, any abrasive material such as a grindstone may be used as long as it comes into contact with the top side surface of the comb teeth 62 and exhibits a deburring effect. Further, as an element having the same effect as that of the rotating brush 70, a flexible abrasive may be employed. For example, in addition to the above-described rotating brush 70, any structure may be used as long as a cloth abrasive, a paper abrasive, or the like is brought into rotational contact.

[第2Z軸アクチュエータ]
第2Z軸アクチュエータ74は、第1Z軸アクチュエータ26と同様に、X軸とY軸の双方に直交する方向(垂直方向)への移動軸(Z軸)に対する動作を担う要素である。第2Z軸アクチュエータ74の構成も、第1Z軸アクチュエータ26と同様に、基本的にはX軸機構16やY軸機構20と同様とすることができる。すなわち、ベース12を基点としてZ軸方向に沿って立設された垂直ベース78に沿って配置されるガイドレール76aと、ボールネジ76b、第2Z軸モータ76cを備える動力部と、ボールネジ76bの回転に伴って移動するスライダ76を備え、スライダ76に対してブラケット80が付帯されている。このような構成とすることで、第2Z軸モータ76cへの制御信号により、スライダ76をZ軸に沿って移動させる事が可能となる。
[Second Z-axis actuator]
Like the first Z-axis actuator 26, the second Z-axis actuator 74 is an element responsible for an operation with respect to a movement axis (Z-axis) in a direction (vertical direction) orthogonal to both the X-axis and the Y-axis. The configuration of the second Z-axis actuator 74 can be basically the same as that of the X-axis mechanism 16 or the Y-axis mechanism 20, similarly to the first Z-axis actuator 26. That is, a guide rail 76a disposed along a vertical base 78 erected along the Z-axis direction with the base 12 as a base point, a power unit including a ball screw 76b and a second Z-axis motor 76c, and a rotation of the ball screw 76b. A slider 76 that moves with the slider 76 is provided, and a bracket 80 is attached to the slider 76. With such a configuration, the slider 76 can be moved along the Z-axis by a control signal to the second Z-axis motor 76c.

[第1計測手段について]
第1計測手段は、ラビリンスパッキン60における弦の長さを計測や、把持機構24に把持されたラビリンスパッキン60のセット位置を自動認識するための要素であり、本実施形態では、ステージ14におけるX軸ステージ18と、第1Z軸アクチュエータ26のスライダ30に備えられたブラケット32に取り付けられているレーザ変位計82と、によって構成される。レーザ変位計82でZ軸方向の距離を計測しながらX軸方向へステージ14を移動させて、その座標(移動距離)を得た場合、Z軸方向の距離が最も短くなる2点間におけるX軸方向の距離が、ラビリンスパッキン60の弦長となる。
[About the first measuring means]
The first measuring means is an element for measuring the length of the chord in the labyrinth packing 60 and automatically recognizing the set position of the labyrinth packing 60 gripped by the gripping mechanism 24. It is constituted by the axis stage 18 and the laser displacement meter 82 attached to the bracket 32 provided on the slider 30 of the first Z-axis actuator 26. When the stage 14 is moved in the X-axis direction while measuring the distance in the Z-axis direction with the laser displacement meter 82 to obtain the coordinates (movement distance), the X between the two points where the distance in the Z-axis direction becomes the shortest is obtained. The axial distance is the chord length of the labyrinth packing 60.

また、Z軸方向の距離の長短に基づき、ラビリンスパッキン60の中心位置や、幅、設置時の傾き具合なども算出することができる。
ラビリンスパッキン60における弦長を計測することで、詳細を後述する第2計測手段38においてZ軸座標を計測する3点のX軸座標を自動で求めることが可能となる。例えば図5に一例を示すように、レーザ変位計82により計測したZ軸距離が最も遠い1点(例えばA点とする)と、この1点を基準としてX軸方向に所定の距離だけずれた1点(例えばB点とする)、およびレーザ変位計とA点を結ぶ直線を軸として、B点と線対称な関係となるX軸座標に位置する1点(例えばC点とする)というように求めることができる。
Further, based on the length of the distance in the Z-axis direction, the center position and width of the labyrinth packing 60, the degree of inclination at the time of installation, and the like can also be calculated.
By measuring the chord length in the labyrinth packing 60, it becomes possible to automatically obtain the X-axis coordinates of three points for measuring the Z-axis coordinates in the second measuring means 38, which will be described in detail later. For example, as shown in FIG. 5, one point having the longest Z-axis distance measured by the laser displacement meter 82 (for example, point A) is shifted from the one point by a predetermined distance in the X-axis direction with respect to this point. One point (for example, point B) and one point (for example, point C) located on the X-axis coordinate line-symmetrically with point B with the line connecting the laser displacement meter and point A as an axis. Can be sought.

また、レーザ変位計82でZ軸方向の距離を計測しながらY軸方向へステージ14を移動させて、その座標(移動距離)を得た場合、Z軸方向の距離計測軌跡の谷部分のY軸方向位置の間隔が、ラビリンスパッキン60における櫛歯62間におけるピッチ間隔となる。   When the stage 14 is moved in the Y-axis direction while measuring the distance in the Z-axis direction with the laser displacement meter 82 to obtain the coordinates (movement distance), the Y of the valley portion of the distance measurement trajectory in the Z-axis direction is obtained. The interval between the axial positions is the pitch interval between the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60.

[第2計測手段について]
第2計測手段38は、ラビリンスパッキン60における櫛歯62上面のZ軸座標を計測するための要素であり、本実施形態では、第1Z軸アクチュエータ26のスライダ30に備えられたブラケット32に取り付けられている。第2計測手段38によりラビリンスパッキン60における櫛歯62上面のZ軸座標を計測する事で、研削を行う際のゼロ点を導き出す事ができる。また、X軸方向に沿って少なくとも3点のZ軸座標を計測する事で、研削対象とするラビリンスパッキン60における櫛歯62上面の曲率半径を算出する事ができる。これにより、第1Z軸アクチュエータ26とX軸機構16との関係において、研削手段34の相対的な移動経路を求める事が可能となる。
[About the second measuring means]
The second measuring means 38 is an element for measuring the Z-axis coordinate of the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60. In the present embodiment, the second measuring means 38 is attached to the bracket 32 provided on the slider 30 of the first Z-axis actuator 26. ing. By measuring the Z-axis coordinate of the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60 by the second measuring means 38, a zero point at the time of performing grinding can be derived. Also, by measuring at least three Z-axis coordinates along the X-axis direction, the radius of curvature of the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60 to be ground can be calculated. This makes it possible to determine the relative movement path of the grinding means 34 in the relationship between the first Z-axis actuator 26 and the X-axis mechanism 16.

また、本実施形態では、第2計測手段38と研削手段34の回転砥石36との配置位置が近い事より、第2計測手段38とブラケット32との間にスライド機構40を備える構成としている。スライド機構40を備える事により、第2計測手段38の配置位置は、計測位置と退避位置とに切り替える事が可能となる。   Further, in the present embodiment, the slide mechanism 40 is provided between the second measuring means 38 and the bracket 32 because the positions of the second measuring means 38 and the rotating grindstone 36 of the grinding means 34 are close to each other. By providing the slide mechanism 40, the arrangement position of the second measurement means 38 can be switched between the measurement position and the retreat position.

スライド機構40の具体的な構成としては、ブラケット32に対してZ軸方向に沿ったレールと、このレール上を移動可能なスライダを備えるものであれば良く、第2計測手段38を、このスライダに固定すれば良い。スライダの駆動形式は、限定するものでは無いが、段階的な移動制御を必要とせず、配置位置の切り替え時間を短くし、かつ構成を簡易なものとするという観点から、本実施形態においては、エアシリンダ型のものを採用している。   As a specific configuration of the slide mechanism 40, any configuration may be used as long as the slide mechanism 40 includes a rail along the Z-axis direction with respect to the bracket 32, and a slider movable on this rail. Should be fixed to Although the drive form of the slider is not limited, from the viewpoint of not requiring stepwise movement control, shortening the switching time of the arrangement position, and simplifying the configuration, in the present embodiment, An air cylinder type is adopted.

また、本実施形態では、計測点が平面では無く、ラビリンスパッキン60における櫛歯62の上面という幅の狭い凸部としていることより、接触型の第2計測手段38を採用している。また、第2計測手段38の計測ピン38aは図7に示すように、櫛歯62上面の幅より大きく、隣接配置されている櫛歯62と櫛歯62のピッチよりも小さい線状の接触部38a1を持つものを採用し、櫛歯62の延設方向と交差する方向に線状部が配置される構成としている。このような構成とする事で、Y軸方向(図7中矢印Bで示す方向)に対する位置がズレることによる計測ミスを防ぐ事ができる。   Further, in the present embodiment, the contact-type second measuring means 38 is employed because the measuring point is not a flat surface but a narrow convex portion such as the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60. As shown in FIG. 7, the measuring pin 38a of the second measuring means 38 has a linear contact portion that is larger than the width of the upper surface of the comb teeth 62 and smaller than the pitch between the adjacent comb teeth 62. 38a1 is adopted, and the linear portions are arranged in a direction intersecting with the extending direction of the comb teeth 62. With such a configuration, it is possible to prevent a measurement error due to a shift in the position with respect to the Y-axis direction (the direction indicated by the arrow B in FIG. 7).

[制御手段について]
制御手段42(図8参照)は、ステージ14と第1Z軸アクチュエータ26、第2Z軸アクチュエータ74、研削手段34、バリ取手段70、レーザ変位計82、第2計測手段38およびスライド機構40等の動作制御を行う役割を担う。そして制御手段42による制御により、研削手段34によりラビリンスパッキン60における櫛歯62の上面を研削させ、バリ取手段70により研削後における櫛歯62の上面に生ずるバリ62aを除去する動作が成される。実施形態に係る研削装置10やバリ取手段70に適用される制御手段42の構成の一例を図8に示す。制御手段42には、予め定められた要素データの入力が成される。なお、要素データの入力は、制御手段42に付帯された制御用PC等の入力端末44を介して行う。また、入力端末44には、研削装置10やバリ取手段70等の要素を制御するためのプログラム(例えば研削アプリ44a)が記憶されていれば良い。
[About control means]
The control means 42 (see FIG. 8) includes the stage 14, the first Z-axis actuator 26, the second Z-axis actuator 74, the grinding means 34, the deburring means 70, the laser displacement meter 82, the second measuring means 38, the slide mechanism 40 and the like. It has the role of performing operation control. Then, under the control of the control means 42, an operation is performed in which the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60 is ground by the grinding means 34, and the burr 62a generated on the upper surface of the comb teeth 62 after grinding is removed by the deburring means 70. . FIG. 8 shows an example of the configuration of the control means 42 applied to the grinding device 10 and the deburring means 70 according to the embodiment. The control unit 42 receives predetermined element data. The input of the element data is performed via an input terminal 44 such as a control PC attached to the control means 42. In addition, the input terminal 44 only needs to store a program (for example, a grinding application 44a) for controlling elements such as the grinding device 10 and the deburring unit 70.

制御手段42には、入力端末44との間で制御信号の授受を行うインターフェースとして、モーションコントロールボード46や第1ルータコントローラ48、第2ルータコントローラ49、および計測手段用アンプ50などが備えられている。モーションコントロールボード46は、研削装置10におけるステージ14、第1Z軸アクチュエータ26、および第2Z軸アクチュエータ74を制御するための要素であり、X軸ドライバ46a、Y軸ドライバ46b、第1Z軸ドライバ46c、および第2Z軸ドライバ46dを介して、駆動制御のための制御信号(駆動パルス)の生成、出力を行う。X軸モータ16c、Y軸モータ20c、第1Z軸モータ26c、第2Z軸モータ76cは、各ドライバ(46a〜46d)から出力された制御信号に応じて回転動作が成される。   The control means 42 includes a motion control board 46, a first router controller 48, a second router controller 49, an amplifier 50 for measuring means, and the like as interfaces for transmitting and receiving control signals to and from the input terminal 44. I have. The motion control board 46 is an element for controlling the stage 14, the first Z-axis actuator 26, and the second Z-axis actuator 74 in the grinding device 10, and includes an X-axis driver 46a, a Y-axis driver 46b, a first Z-axis driver 46c, Further, a control signal (drive pulse) for drive control is generated and output via the second Z-axis driver 46d. The X-axis motor 16c, the Y-axis motor 20c, the first Z-axis motor 26c, and the second Z-axis motor 76c are rotated according to control signals output from the drivers (46a to 46d).

第1ルータコントローラ48は、研削手段34の制御を行うための要素である。第1ルータコントローラ48は、研削手段34における回転砥石36の回転数の制御を行うための信号を出力する。   The first router controller 48 is an element for controlling the grinding means 34. The first router controller 48 outputs a signal for controlling the number of revolutions of the rotating grindstone 36 in the grinding means 34.

第2ルータコントローラ49は、バリ取手段70の動作制御を行うための要素である。第2ルータコントローラ49は、バリ取手段70における回転ブラシ72の回転数の制御を行うための信号を出力する。   The second router controller 49 is an element for controlling the operation of the deburring unit 70. The second router controller 49 outputs a signal for controlling the rotation speed of the rotating brush 72 in the deburring unit 70.

コンプレッサ52と、第2計測手段38、並びにスライド機構40との間には、圧縮空気の供給圧を調整するためのレギュレータ54と、バルブ56a,56bが備えられている。バルブ56a,56bは、電磁弁などの切り替え弁であれば良く、図示しないコントローラ等から制御信号が入力される事により、圧縮空気の供給経路を開放する。これにより、計測手段38における計測ピン38aの位置制御や、スライド機構40における計測位置と退避位置の切り替え制御などが成される。具体的には、コンプレッサ52から計測手段38に供給される圧縮空気は、計測手段38の計測ピン38aをスタンバイ状態に伸張させる役割を担う。また、コンプレッサ52からスライド機構40に供給される圧縮空気は、第2計測手段38を退避位置から計測位置へ移動させる役割を担う。   A regulator 54 for adjusting the supply pressure of compressed air and valves 56a and 56b are provided between the compressor 52, the second measuring means 38, and the slide mechanism 40. The valves 56a and 56b may be switching valves such as electromagnetic valves, and open a supply path of compressed air by inputting a control signal from a controller (not shown) or the like. As a result, position control of the measurement pin 38a in the measurement means 38, switching control between the measurement position and the retreat position in the slide mechanism 40, and the like are performed. Specifically, the compressed air supplied from the compressor 52 to the measuring means 38 has a role of extending the measuring pin 38a of the measuring means 38 to the standby state. The compressed air supplied from the compressor 52 to the slide mechanism 40 has a role of moving the second measuring means 38 from the retracted position to the measured position.

計測手段用アンプ50は、ラビリンスパッキン60における櫛歯62の計測に起因して第2計測手段38から出力される電気信号を増幅し、検出信号として入力端末44に出力する役割を担う。   The measuring unit amplifier 50 has a role of amplifying the electric signal output from the second measuring unit 38 due to the measurement of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60 and outputting the amplified electric signal to the input terminal 44 as a detection signal.

また、本実施形態では、第1計測手段を構成するためのレーザ変位計82を制御するためのレーザ用アンプ58を備えている。ここで、レーザ用アンプ58は、制御手段42に組み込む構成としても良い。   Further, in this embodiment, a laser amplifier 58 for controlling the laser displacement meter 82 constituting the first measuring means is provided. Here, the laser amplifier 58 may be configured to be incorporated in the control means 42.

[研削制御について]
以下、上述した要素データの説明と共に、図9を参照して、研削装置によるラビリンスパッキン60における櫛歯62の研削について説明する。
[About grinding control]
Hereinafter, the grinding of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60 by the grinding device will be described with reference to FIG. 9 together with the description of the above-described element data.

まず、ワークとしてのラビリンスパッキン60を把持機構24にセットする(ステップ10)。把持機構24にラビリンスパッキン60がセットされた後、ステージ14とレーザ変位計82とにより構成される第1計測手段を稼働させ、ラビリンスパッキン60のセット位置を自動認識する(ステップ20)。   First, the labyrinth packing 60 as a work is set on the gripping mechanism 24 (step 10). After the labyrinth packing 60 is set on the gripping mechanism 24, the first measuring means constituted by the stage 14 and the laser displacement meter 82 is operated to automatically recognize the setting position of the labyrinth packing 60 (step 20).

第1計測手段による計測値に基づいてラビリンスパッキン60のセット位置を算出した後、制御手段42に対して加工条件の設定値(要素データ)を入力する。ラビリンスパッキン60の研削加工に必要なデータとしては、パッキンの割れ数や、弓寸法(弦長)、櫛歯数、櫛歯ピッチ、開始計測点、および指定加工量などであるが、第1計測手段による計測値に基づき、割れ数や弓寸法、櫛歯数、櫛歯ピッチ、開始計測点等のデータは、算出することができる。よって、オペレータが入力する加工条件の設定値としては、指定加工量程度となる。オペレータによる入力要件を低減することで入力ミスによる加工不良を抑制することができる。   After calculating the set position of the labyrinth packing 60 based on the value measured by the first measuring means, the set value (element data) of the processing condition is input to the control means 42. The data necessary for the grinding of the labyrinth packing 60 include the number of cracks in the packing, the bow size (chord length), the number of comb teeth, the comb tooth pitch, the starting measurement point, and the designated processing amount. Data such as the number of cracks, bow size, number of comb teeth, comb tooth pitch, start measurement point, etc. can be calculated based on the measured values by the means. Therefore, the set value of the processing condition input by the operator is about the designated processing amount. By reducing the input requirements by the operator, processing defects due to input errors can be suppressed.

なお、割れ数とは、ラビリンスパッキン60の分割数である。ラビリンスパッキンは、タービン(不図示)の軸径に合わせた円形を成すものであり、加工対象となるラビリンスパッキン60(正確にはラビリンスパッキン片)は、円形のラビリンスパッキンを複数に分割した片の1つとなる。また分割は、等分とされていることより、分割数の入力により、円の内角を求める事ができる。   The number of cracks is the number of divisions of the labyrinth packing 60. The labyrinth packing has a circular shape corresponding to the shaft diameter of a turbine (not shown). Become one. Further, since the division is made equally, the inner angle of the circle can be obtained by inputting the number of divisions.

弓寸法とは、研削対象とするラビリンスパッキン60における櫛歯62の上面の端部間距離、すなわち、円弧の弦にあたる部分の長さ(弦長)である。弓寸法を算出、あるいは入力することで、1回の研削におけるX軸の移動距離を得ることができる。また、割れ数により弓寸法を底辺、円の中心を頂点とした二等辺三角形における底辺に位置する頂点の内角が求められる。よって、弓寸法を得ることで、二等辺三角形を構成する二つの辺の長さ(ラビリンスパッキンを構成する円弧の半径R)を求めることができる。具体的には、底辺の長さをa、底辺の両端に位置する内角をθとして、a/(2×cosθ)を計算する事で求めることができる。   The bow dimension is the distance between the ends of the upper surface of the comb teeth 62 of the labyrinth packing 60 to be ground, that is, the length (chord length) of the chord of the arc. By calculating or inputting the bow size, the moving distance of the X-axis in one grinding can be obtained. The inner angle of the vertex located at the base of the isosceles triangle having the bow as the base and the center of the circle as the vertex is obtained from the number of cracks. Therefore, by obtaining the bow size, the length of two sides forming the isosceles triangle (the radius R of the arc forming the labyrinth packing) can be obtained. Specifically, it can be obtained by calculating a / (2 × cos θ), where a is the length of the base, and θ is the interior angles located at both ends of the base.

櫛歯数とは、研削対象とする1つのラビリンスパッキン60に備えられている櫛歯62の数である。研削を行う回数を定めるためである。また、櫛歯ピッチとは、Y軸方向に沿った櫛歯62の配置間隔である。各櫛歯62を研削する際における回転砥石(研削手段)のY軸方向の移動距離を定めるためである。   The number of comb teeth is the number of comb teeth 62 provided in one labyrinth packing 60 to be ground. This is for determining the number of times of grinding. In addition, the comb tooth pitch is an arrangement interval of the comb teeth 62 along the Y-axis direction. This is for determining the moving distance of the rotary grindstone (grinding means) in the Y-axis direction when each comb tooth 62 is ground.

また、開始計測点は、最初に加工を行う櫛歯62における3点のXY座標であり、指定加工量は、櫛歯62の上面を研削する研削量である(ステップ30)。   The start measurement points are the XY coordinates of three points on the comb teeth 62 to be processed first, and the designated processing amount is the grinding amount for grinding the upper surface of the comb teeth 62 (step 30).

このような要素データを入力された制御手段42では、まず、スライド機構40と計測手段38に対して圧縮エアの供給を行い、計測手段38を計測位置に移動させると共に、計測ピン38aを伸長させてスタンバイ状態にする。その後、ステップ20において自動認識されたセット位置に基づいて算出されたラビリンスパッキン60における櫛歯62上面の半径Rに沿うように、X軸モータ16cとY軸モータ20c、および第1Z軸モータ26cに対して制御信号を与え、計測手段38による櫛歯62の上面位置における3点のZ軸座標の計測を行う。その後、計測された3点のZ軸座標と、当該座標を計測したX軸座標に基づき、ラビリンスパッキン60における櫛歯62上面の曲率半径を算出する。   The control means 42 to which such element data has been input first supplies compressed air to the slide mechanism 40 and the measuring means 38, moves the measuring means 38 to the measuring position, and extends the measuring pin 38a. To enter standby mode. Thereafter, the X-axis motor 16c, the Y-axis motor 20c, and the first Z-axis motor 26c are moved along the radius R of the upper surface of the comb teeth 62 of the labyrinth packing 60 calculated based on the set position automatically recognized in step 20. Then, a control signal is given thereto, and measurement of the Z-axis coordinates of three points at the upper surface position of the comb teeth 62 by the measuring means 38 is performed. Then, the radius of curvature of the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60 is calculated based on the measured three Z-axis coordinates and the measured X-axis coordinates.

ここで、Z軸座標は、1つの櫛歯に対してそれぞれ3点計測することとなる。本実施形態では、図10に示すように、櫛歯62の配置方向(Y軸方向:矢印Bで示す方向)に沿うようにして、複数の櫛歯62における共通点(1点目)におけるZ軸座標をそれぞれ計測した後に、X軸方向(矢印Aで示す方向)に移動して2点目のZ軸座標をそれぞれ計測する。さらにX軸方向に移動し、3点目のZ軸座標を計測するようにしている。このように、つづら折り状にステージ14を移動させながらZ軸座標の計測を行うことで、各櫛歯毎に3点を計測する場合に比べ、X軸方向の移動回数を減らすことができるため、計測時間の削減を図ることが可能となる(ステップ40)。   Here, the Z-axis coordinate is measured at three points for each comb tooth. In the present embodiment, as shown in FIG. 10, the Z at the common point (first point) of the plurality of comb teeth 62 is set along the arrangement direction of the comb teeth 62 (Y-axis direction: direction indicated by arrow B). After measuring the respective axis coordinates, it is moved in the X-axis direction (the direction indicated by arrow A) to measure the second Z-axis coordinate. Further, it moves in the X-axis direction and measures the Z-axis coordinate of the third point. As described above, by measuring the Z-axis coordinates while moving the stage 14 in a zigzag shape, the number of movements in the X-axis direction can be reduced as compared with the case where three points are measured for each comb tooth. The measurement time can be reduced (step 40).

櫛歯62上面の曲率半径を求めた後、入力された要素データと算出された曲率半径に基づき、加工経路やX軸モータ16c、Y軸モータ20c、および第1Z軸モータ26cの動作量、研削手段34の回転速度等の加工データの作成を行う(ステップ50)。   After the radius of curvature of the upper surface of the comb teeth 62 is obtained, the machining path, the operation amounts of the X-axis motor 16c, the Y-axis motor 20c, and the first Z-axis motor 26c, and the grinding are determined based on the input element data and the calculated radius of curvature. Processing data such as the rotation speed of the means 34 is created (step 50).

加工データ作成後、加工データに従って各種制御を行い、ラビリンスパッキン60における櫛歯62上面の研削を行う。なお、第2計測手段38は、Z軸座標の計測終了後、少なくとも研削工程の前までに、退避位置に移動させる制御が成される(ステップ60)。   After the processing data is created, various controls are performed according to the processing data, and the upper surface of the comb teeth 62 in the labyrinth packing 60 is ground. After the measurement of the Z-axis coordinates is completed, the second measuring means 38 is controlled to move to the retracted position at least before the grinding step (step 60).

研削工程が終了した後、再び第2計測手段38を計測位置に移動させ、計測工程で計測した3点のZ軸座標の計測を行う。そして、研削工程前の計測値と、研削工程後の計測値に基づき、加工量の計算が成される(ステップ70)。算出された加工量が、指定加工量に近似する値となっているか否かを判定する。ここで、近似の範囲は、求める加工精度に応じて予め定めた閾値の範囲とすれば良い(ステップ80)。   After the grinding step is completed, the second measuring means 38 is moved to the measuring position again, and the measurement of the Z-axis coordinates of the three points measured in the measuring step is performed. Then, the processing amount is calculated based on the measured value before the grinding step and the measured value after the grinding step (step 70). It is determined whether the calculated machining amount is a value approximating the designated machining amount. Here, the approximation range may be a range of a threshold value predetermined according to the required processing accuracy (step 80).

判定により、加工量が閾値の範囲内である場合には、ラビリンスパッキン60の研削加工が終了する。一方、加工量が閾値の範囲外である場合には、残り加工量に基づく加工量が求められ(ステップ90)、ステップ50に戻り、加工データの作成を行い、ラビリンスパッキン60の研削が成される。ここで、加工量が閾値の範囲外となる要因としては、回転砥石36の摩耗や、研削手段34における回転軸の逃げ、加工量自体が研削工具の研削量よりも大きいといった事項を挙げる事ができる。よって、必要に応じて再加工の前に回転砥石36の寸法や、研削手段34の取付状態のチェックを行い、要素データの再入力の必要性を判定しても良い。   If it is determined that the processing amount is within the range of the threshold value, the grinding of the labyrinth packing 60 ends. On the other hand, if the processing amount is out of the range of the threshold value, a processing amount based on the remaining processing amount is obtained (step 90), and the process returns to step 50, where processing data is created and the labyrinth packing 60 is ground. You. Here, factors that cause the machining amount to be outside the threshold range include wear of the rotating grindstone 36, escape of the rotating shaft in the grinding means 34, and the fact that the machining amount itself is larger than the grinding amount of the grinding tool. it can. Therefore, if necessary, the dimensions of the rotary grindstone 36 and the mounting state of the grinding means 34 may be checked before reworking, and the necessity of reinput of the element data may be determined.

ステップ80において研削加工が終了した場合、研削加工によってラビリンスパッキン60の加工面に生じたバリを取る作業が行われる。バリ取りは、研削加工で使用した加工データを利用して、バリ取手段70により行う。バリ取手段70に備えられた回転取ブラシ72と、回転砥石36と、におけるX軸座標、Y軸座標、Z軸座標をそれぞれ比較することで、各座標毎の相違量を求め、この相違量を加工データに対して、各軸方向のシフト量として与えることで、加工データの援用が可能となる。   When the grinding is completed in step 80, an operation of removing burrs generated on the processing surface of the labyrinth packing 60 by the grinding is performed. Deburring is performed by the deburring means 70 using the processing data used in the grinding. By comparing the X-axis coordinate, the Y-axis coordinate, and the Z-axis coordinate of the rotary brush 72 provided in the deburring means 70 with the rotary grindstone 36, a difference amount for each coordinate is obtained. Is given as the shift amount in each axis direction to the machining data, the machining data can be used.

[作用効果]
上記のような研削装置10によれば、ラビリンスパッキン60の曲率や大きさ、状態の如何によらず研削加工を行う事ができる。このため、作業者の熟練度に依存する事なく、短時間で高精度に修正加工を行う事が可能となる。また、基準となる3点の計測点の割出についても自動化することで、加工に関する人為的なバラつきをより抑制することができる。
[Effects]
According to the grinding device 10 as described above, the grinding process can be performed regardless of the curvature, the size, and the state of the labyrinth packing 60. For this reason, it is possible to perform the correction processing with high accuracy in a short time without depending on the skill of the operator. In addition, by automating the calculation of the three reference measurement points, it is possible to further suppress artificial variations in processing.

上記実施形態では、研削加工について、回転砥石36を用いる旨記載した。しかしながら、本実施形態に係る研削装置10では、回転砥石36に替えて、回転研削可能な超硬工具を用いるようにしても良い。超硬工具を用いる事によれば、砥石に比べて目詰まりがし難く、1回の加工における研削量も多くとることができるようになる。また、工具の摩耗も少ないため、要素データの変更等の手間を削減することもできる。   In the above-described embodiment, it is described that the rotating grindstone 36 is used for the grinding process. However, in the grinding device 10 according to the present embodiment, a superhard tool capable of rotary grinding may be used instead of the rotary grindstone 36. By using a carbide tool, clogging hardly occurs as compared with a grindstone, and a large amount of grinding can be performed in one processing. In addition, since the wear of the tool is small, it is possible to reduce the trouble such as changing the element data.

また、上記実施形態では、Z軸方向の動作を行うアクチュエータとして、第1Z軸アクチュエータ26と、第2Z軸アクチュエータ74とを備える旨記載し、第2Z軸アクチュエータ74には、バリ取手段70を備える構成とした。ここで、本発明に係る研削装置10では、バリ取手段70を必要とするか否かに応じて、第2Z軸アクチュエータ74をベース12から取り外すようにしても良い。さらに、Z軸方向へ動作させる加工工具等の取り付けスペースが不足する場合には、ベース12に対して、図示しない第3、第4のZ軸アクチュエータを配置する構成とし、拡張型の研削装置を構成するようにしても良い。   In the above-described embodiment, the first Z-axis actuator 26 and the second Z-axis actuator 74 are described as actuators that perform the operation in the Z-axis direction. The second Z-axis actuator 74 includes the deburring unit 70. The configuration was adopted. Here, in the grinding device 10 according to the present invention, the second Z-axis actuator 74 may be detached from the base 12 depending on whether or not the deburring means 70 is required. Furthermore, if there is not enough space for a working tool or the like to be operated in the Z-axis direction, third and fourth Z-axis actuators (not shown) are arranged on the base 12, and an extended grinding device is used. It may be configured.

10………研削装置、12………ベース、14………ステージ、16………X軸機構、16a………ガイドレール、16b………ボールネジ、16c………X軸モータ、18………X軸ステージ、18a………摺動部、20………Y軸機構、20a………ガイドレール、20b………ボールネジ、20c………Y軸モータ、22………Y軸ステージ、22a………摺動部、24………把持機構、24a………固定当板、24a1………切欠き、24b………可動当板、24b1………切欠き、24c………支柱、24d………クランプ、26………第1Z軸アクチュエータ、26a………ガイドレール、26b………ボールネジ、26c………第1Z軸モータ、28………垂直ベース、30………スライダ、32………ブラケット、34………研削手段、36………回転砥石、38………第2計測手段、38a………計測ピン、38a1………接触部、40………スライド機構、42………制御手段、44………入力端末、44a………研削アプリ、46………モーションコントロールボード、46a………X軸ドライバ、46b………Y軸ドライバ、46c………第1Z軸ドライバ、46d………第2Z軸ドライバ、48………第1ルータコントローラ、49………第2ルータコントローラ、50………計測手段用アンプ、52………コンプレッサ、54………レギュレータ、56a,56b………バルブ、58………レーザ用アンプ、60………ラビリンスパッキン、62………櫛歯、62a………バリ、70………バリ取手段、72………回転ブラシ、74………第2Z軸アクチュエータ、76………スライダ、76a………ガイドレール、76b………ボールネジ、76c………第2Z軸モータ、78………垂直ベース、80………ブラケット、82………レーザ変位計。 10 Grinding device 12 Base 14 Stage X-axis mechanism 16a Guide rail 16b Ball screw 16c X-axis motor 18 ... X-axis stage, 18a sliding section, 20 Y-axis mechanism, 20a guide rail, 20b ball screw, 20c Y-axis motor, 22 Y-axis stage , 22a ... sliding part, 24 ... gripping mechanism, 24a ... fixed abutment, 24a1 ... notch, 24b ... movable abutment, 24b1 ... notch, 24c ... Support, 24d Clamp, 26 First Z-axis actuator, 26a Guide rail, 26b Ball screw, 26c First Z-axis motor, 28 Vertical base, 30 Slider, 32 ... Bracket, 34 ... Grinding means 36 Rotating stone 38 Second measuring means 38a Measurement pin 38a1 Contact part 40 Slide mechanism 42 Control means 44 Input terminal, 44a Grinding application, 46 Motion control board, 46a X-axis driver, 46b Y-axis driver, 46c First Z-axis driver, 46d Second Z Axis driver, 48 First router controller, 49 Second router controller, 50 Amplifier for measuring means, 52 Compressor, 54 Regulator, 56a, 56b Valve 58 laser amplifier, 60 labyrinth packing, 62 comb teeth, 62a burr, 70 burr removing means, 72 rotating brush, 74 second Z axis A Chuator, 76 Slider, 76a Guide rail, 76b Ball screw, 76c Second Z-axis motor, 78 Vertical base, 80 Bracket, 82 Laser displacement meter .

上記目的を達成するための本発明に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置は、研削対象とするラビリンスパッキンを固定した状態で、前記ラビリンスパッキンの長手方向に沿うX軸方向と、前記ラビリンスパッキンの幅方向に沿うY軸方向への移動を可能とするステージと、前記ラビリンスパッキンの櫛歯を研削する研削手段と、前記ラビリンスパッキンの弦長を計測する第1計測手段と、前記ラビリンスパッキンの高さ方向に沿うZ軸方向の座標であるZ軸座標を前記X軸に沿って3点計測する第2計測手段と、前記第1計測手段によって計測された弦長に基づいて、前記第2計測手段によりZ軸座標を計測する3点のX軸座標を割り出し、前記第2計測手段による計測を実行させる制御信号を出力し、前記第2計測手段によってZ軸座標が計測された後、各計測点におけるX軸座標に基づいて、前記櫛歯上面を予め定められた研削量で研削するための加工データを作成し、前記加工データに基づく制御信号を出力する制御手段と、前記研削手段を前記Z軸方向へ移動させる第1Z軸アクチュエータと、脱着可能なユニットにより構成され、前記加工データに基づく制御信号に従って、回転しながら前記櫛歯の頂部側面と接触する研削材から成るバリ取手段を、前記Z軸方向へ移動させる第2Z軸アクチュエータと、少なくとも、前記ステージと、前記第1Z軸アクチュエータとが設置され、前記第2Z軸アクチュエータの脱着スペースが設けられているベースとを備えることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a comb tooth height grinding apparatus for a labyrinth packing according to the present invention comprises: a labyrinth packing to be ground; A stage enabling movement in the Y-axis direction along the width direction of the labyrinth packing, grinding means for grinding comb teeth of the labyrinth packing, first measuring means for measuring a chord length of the labyrinth packing, and A second measuring means for measuring three points along the X-axis, which is a Z-axis coordinate which is a coordinate in the Z-axis direction along the height direction, and the second measuring means based on a chord length measured by the first measuring means. The X-axis coordinates of three points at which the Z-axis coordinates are measured by the measuring means are determined, and a control signal for executing the measurement by the second measuring means is output. After the coordinates are measured, processing data for grinding the upper surface of the comb teeth with a predetermined grinding amount is created based on the X-axis coordinates at each measurement point, and a control signal based on the processing data is output. Control means, a first Z-axis actuator for moving the grinding means in the Z-axis direction, and a detachable unit, which contact the top side surface of the comb teeth while rotating according to a control signal based on the processing data. A second Z-axis actuator for moving deburring means made of an abrasive in the Z-axis direction, at least the stage, and the first Z-axis actuator are provided, and a detachable space for the second Z-axis actuator is provided. And a base that is provided.

上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置では、前記加工データに基づく制御信号に従って、回転しながら前記櫛歯の頂部側面と接触する研削材から成るバリ取手段を備えることにより、従来手作業で行っていたバリ取作業についても、自動で行うことが可能となる。 In comb tooth height grinding apparatus labyrinth packing having the features as described above, in accordance with a control signal based on the processed data, by providing a deburring means consists abrasive in contact with the top side of the comb teeth while rotating In addition, it is possible to automatically perform the deburring work that has been performed manually in the past.

また、上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置は、前記ベースに前記第2Z軸アクチュエータを取り付けた際、前記バリ取手段に対する制御信号は、前記加工データに対して、前記第1Z軸アクチュエータと前記第2Z軸アクチュエータとの間のシフト量を加味して出力される構成とすることができる。このような特徴を有する事によれば、バリ取手段の制御のための加工データを新たに作成する事なく、バリ取加工を実施することができる。 Also, in the comb tooth height grinding device for labyrinth packing having the above characteristics, when the second Z-axis actuator is attached to the base, a control signal for the deburring means is: it can be taken into account to configure output the shift amount between the first 1Z axis actuator and said second 2Z axis actuator. According to this feature, deburring can be performed without newly creating processing data for controlling the deburring means.

さらに、上記のような特徴を有するラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置において前記第2Z軸アクチュエータ脱着可能なユニットとしたことで、研削装置を拡張型の装置とすることができる。 Furthermore, in the comb tooth height grinding device for the labyrinth packing having the above characteristics, the second Z-axis actuator is a detachable unit, so that the grinding device can be an extended device.

上記目的を達成するための本発明に係るラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置は、研削対象とするラビリンスパッキンを固定した状態で、前記ラビリンスパッキンの長手方向に沿うX軸方向と、前記ラビリンスパッキンの幅方向に沿うY軸方向への移動を可能とするステージと、前記ラビリンスパッキンの幅方向に沿って並ぶ複数の櫛歯を研削する研削手段と、前記ラビリンスパッキンの弦長を計測する第1計測手段と、前記ラビリンスパッキンの高さ方向に沿うZ軸方向の座標であるZ軸座標を前記X軸に沿って3点計測する第2計測手段と、前記第1計測手段によって計測された弦長に基づいて、前記第2計測手段によりZ軸座標を計測する3点のX軸座標を割り出し、前記第2計測手段による計測を実行させる制御信号を出力し、前記第2計測手段によってZ軸座標が計測された後、各計測点におけるX軸座標に基づいて、前記櫛歯上面を予め定められた研削量で研削するための加工データを作成し、前記加工データに基づく制御信号を出力する制御手段と、前記研削手段を前記Z軸方向へ移動させる第1Z軸アクチュエータと、脱着可能なユニットにより構成され、前記加工データに基づく制御信号に従って、回転しながら前記櫛歯の頂部側面と接触する研削材から成るバリ取手段を、前記Z軸方向へ移動させる第2Z軸アクチュエータと、少なくとも、前記ステージと、前記第1Z軸アクチュエータとが設置され、前記第2Z軸アクチュエータの脱着スペースが設けられているベースとを備え、前記第2計測手段による計測を実行させる制御信号は、複数の前記櫛歯における1点目のZ軸座標を前記Y軸方向に沿ってそれぞれ計測した後、前記X軸方向に移動して2点目のZ軸座標を前記Y軸方向に沿ってそれぞれ計測し、さらに前記X軸方向に移動して3点目のZ軸座標を前記Y軸方向に沿ってそれぞれ計測する旨の信号であることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a comb tooth height grinding apparatus for a labyrinth packing according to the present invention comprises: a labyrinth packing to be ground; , A stage enabling movement in the Y-axis direction along the width direction, grinding means for grinding a plurality of comb teeth arranged along the width direction of the labyrinth packing, and a first for measuring a chord length of the labyrinth packing. Measuring means, second measuring means for measuring three points along the X-axis, which are coordinates in the Z-axis direction along the height direction of the labyrinth packing, and strings measured by the first measuring means Based on the length, the X-axis coordinates of three points for measuring the Z-axis coordinates by the second measuring means are determined, and a control signal for executing the measurement by the second measuring means is output. After the Z-axis coordinate is measured by the second measuring means, processing data for grinding the upper surface of the comb teeth with a predetermined grinding amount is created based on the X-axis coordinate at each measurement point, and the processing data Control means for outputting a control signal based on the machining data, a first Z-axis actuator for moving the grinding means in the Z-axis direction, and a detachable unit, wherein the comb rotates while rotating in accordance with the control signal based on the processing data. A second Z-axis actuator for moving, in the Z-axis direction, deburring means made of abrasive material in contact with the top side surface of the tooth; at least the stage; and the first Z-axis actuator; and a base desorption space is provided, the control signal to execute the measurement by the second measuring means, the plurality of the comb teeth After measuring the Z-axis coordinate of the first point along the Y-axis direction, moving in the X-axis direction and measuring the Z-axis coordinate of the second point along the Y-axis direction, respectively. The signal is a signal for moving in the X-axis direction and measuring a third Z-axis coordinate along the Y-axis direction .

Claims (6)

研削対象とするラビリンスパッキンを固定した状態で、前記ラビリンスパッキンの長手方向に沿うX軸方向と、前記ラビリンスパッキンの幅方向に沿うY軸方向への移動を可能とするステージと、
前記ラビリンスパッキンの櫛歯を研削する研削手段と、
前記ラビリンスパッキンの弦長を計測する第1計測手段と、
前記ラビリンスパッキンにおけるX軸に沿った3点のZ軸座標を計測する第2計測手段と、
前記第1計測手段によって計測された弦長に基づいて、前記第2計測手段によりZ軸座標を計測する3点のX軸座標を割り出し、前記第2計測手段による計測を実行させる制御信号を出力し、前記第2計測手段によってZ軸座標が計測された後、各計測点におけるX軸座標に基づいて、前記櫛歯上面を予め定められた研削量で研削するための加工データを作成し、前記加工データに基づく制御信号を出力する制御手段と、を備えることを特徴とするラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置。
With the labyrinth packing to be ground fixed, a stage enabling movement in the X-axis direction along the longitudinal direction of the labyrinth packing and the Y-axis direction along the width direction of the labyrinth packing,
Grinding means for grinding the comb teeth of the labyrinth packing,
First measuring means for measuring a string length of the labyrinth packing;
Second measuring means for measuring Z-axis coordinates of three points along the X-axis in the labyrinth packing;
Based on the chord length measured by the first measuring means, the X-axis coordinates of three points for measuring the Z-axis coordinates by the second measuring means are determined, and a control signal for executing the measurement by the second measuring means is output. Then, after the Z-axis coordinate is measured by the second measuring means, processing data for grinding the upper surface of the comb teeth with a predetermined grinding amount is created based on the X-axis coordinate at each measurement point, Control means for outputting a control signal based on the processing data, the comb tooth height grinding device for labyrinth packing.
前記加工データに基づく制御信号に従って、回転しながら前記櫛歯の頂部側面と接触する研削材から成るバリ取手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置。   2. Comb tooth height grinding of a labyrinth packing according to claim 1, further comprising a deburring means made of an abrasive material which comes into contact with the top side surface of said comb teeth while rotating according to a control signal based on said processing data. apparatus. 前記研削材は、可撓性を有することを特徴とする請求項2に記載のラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置。   The apparatus for grinding comb height of a labyrinth packing according to claim 2, wherein the abrasive has flexibility. 前記研削手段を前記ラビリンスパッキンの高さ方向に沿うZ軸方向へ移動させる第1Z軸アクチュエータと、
前記バリ取手段を前記Z軸方向へ移動させる第2Z軸アクチュエータと、を備え、
前記バリ取手段に対する制御信号は、前記加工データに対して、前記第1Z軸アクチュエータと前記第2Z軸アクチュエータとの間のシフト量を加味して出力される構成としたことを特徴とする請求項2または3に記載のラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置。
A first Z-axis actuator for moving the grinding means in a Z-axis direction along a height direction of the labyrinth packing;
A second Z-axis actuator for moving the deburring means in the Z-axis direction,
The control signal for the deburring means is configured to be output in consideration of a shift amount between the first Z-axis actuator and the second Z-axis actuator with respect to the processing data. 4. The comb tooth height grinding device for labyrinth packing according to 2 or 3.
前記第2Z軸アクチュエータは、脱着可能なユニットであることを特徴とする請求項4に記載のラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削装置。   The comb height grinding device for labyrinth packing according to claim 4, wherein the second Z-axis actuator is a detachable unit. ラビリンスパッキンの櫛歯を研削するための研削手段の配置位置と、前記研削後における加工面のバリを取り除くためのバリ取手段の配置位置とが、X軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向の少なくとも1方向にズレている場合において、
前記研削手段の加工データと、前記バリ取手段の加工データとは、1つの加工データを両者の相対的なズレに補正を加えて利用することを特徴とするラビリンスパッキンの櫛歯高さ研削方法。
The arrangement position of the grinding means for grinding the comb teeth of the labyrinth packing and the arrangement position of the deburring means for removing burrs on the processed surface after the grinding are in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. In at least one direction,
A method for grinding comb tooth height of a labyrinth packing, wherein the processing data of the grinding means and the processing data of the deburring means are used by adding one processing data to the relative deviation between the two. .
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