JP2020016633A - 温度センサ - Google Patents

Abstract

【課題】熱衝撃による感温素子の破損を抑制した温度センサを提供する。【解決手段】感温部１１及び素子電極線１２からなる感温素子１０と、感温素子の後端側に配置され、素子電極線に電気的に接続されるシース芯線２１及びシース外管２１を有するシース部材２０と、を備えた温度センサ１であって、軸線Ｏ方向に延びる導電チューブ８０であって、自身の先端側に素子電極線を収容し、自身の後端側にシース芯線を収容して素子電極線とシース芯線とを電気的に接続し、断面が筒状又は筒状の一部をなす導電チューブをさらに備え、導電チューブの線膨張係数が素子電極線の線膨張係数より大きく、素子電極線が導電チューブの内側に固定され、感温部の後端１１ｅと導電チューブの先端８０ｓとの間に軸線方向の隙間Ｄ１を有する。【選択図】図３

Description

本発明は、サーミスタ素子やＰｔ抵抗体素子等の感温素子を備えた温度センサに関する。

自動車等の排気ガス等の温度を検出する温度センサとして、サーミスタやＰｔ抵抗体等の感温素子の抵抗の温度変化を利用したものが知られている。
図６に示すように、このような温度センサは、一般的に感温素子（感温部１００Ｂ）１００の後端側に延びる一対の素子電極線１００Ａと、シース部材２００のシース芯線２００Ａとを電気的に接続して金属チューブ３００の内部に収容し、さらに金属チューブ３０００内の隙間にアルミナ等のセメント４００を充填して構成されている（特許文献１参照）。
ここで、温度センサの長さは用途によって異なるが、感温素子１００の素子電極線１００Ａやシース部材２００の長さを変えたものを一々用意するのは難しい。又、素子電極線１００Ａは一般にＰｔ−Ｒｈ線等の貴金属が用いられることから、温度センサが長くなっても、素子電極線１００Ａを長くすることはコストアップとなる。

このようなことから、特許文献１に記載の温度センサでは、素子電極線１００Ａとシース芯線２００Ａとを導電性金属のチューブ５００で繋ぎ、チューブ５００の長さを変えることで、温度センサの長さが変わっても、共通の素子電極線１００Ａやシース部材２００を用いることができる。

特開２０１７−１５７０１号公報（図１、図２、段落００２７）

ここで、チューブ５００の先端は素子電極線１００Ａの外径よりやや径大の内径を有し、チューブ５００の後端はシース芯線２００Ａの外径よりやや径大の内径を有している。そして、チューブ５００の両端にそれぞれ素子電極線１００Ａとシース芯線２００Ａとを収容して圧接又は溶接することで、素子電極線１００Ａとシース芯線２００Ａとを電気的に接続している。
又、チューブ５００の先端に素子電極線１００Ａを挿入する際には、感温素子１００の感温部１００Ｂの後端にチューブ５００の先端を当接させて位置決めを行う。

しかしながら、チューブ５００は、素子電極線１００Ａよりも安価で熱膨張率の高い耐熱合金を用いている。このため、図７に示すように、高温下では溶接部（固定部）Ｗを起点にしてチューブ５００の方が素子電極線１００Ａよりも延び、チューブ５００の先端５００ｓが感温部１００Ｂの後端側を押圧する。そして、この押圧力の反発力として、素子電極線１００Ａが溶接部Ｗを介して後端側に引っ張られ、素子電極線１００Ａと感温部１００Ｂとの接続部Ｂが破断するという問題がある。

従って、本発明は、熱衝撃による感温素子の破損を抑制した温度センサの提供を目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の温度センサは、感温部、及び該感温部から後端側に延びる素子電極線からなる感温素子と、前記感温素子の後端側に配置され、前記素子電極線に電気的に接続されるシース芯線、及び該シース芯線を絶縁材の間に内包するシース外管を有するシース部材と、を備えた温度センサであって、軸線方向に延びる導電チューブであって、自身の先端側に前記素子電極線を収容し、自身の後端側に前記シース芯線を収容して前記素子電極線と前記シース芯線とを電気的に接続し、断面が筒状又は筒状の一部をなす導電チューブをさらに備え、前記導電チューブの線膨張係数が前記素子電極線の線膨張係数より大きく、前記素子電極線が前記導電チューブの内側に固定され、前記感温部の後端と前記導電チューブの先端との間に前記軸線方向の隙間Ｄ１を有することを特徴とする。

温度センサの長さは用途によって異なるが、感温素子の素子電極線やシース部材の長さを変えたものを一々用意したり、高価な素子電極線を長くすることはコストアップとなる。
そこで、この温度センサによれば、素子電極線より線膨張係数が大きく安価な導電チューブを素子電極線とシース芯線との電気的接続に用い、導電チューブの長さを変えることで、温度センサの長さが変わっても、共通の素子電極線やシース部材を用いることができる。
さらに、隙間Ｄ１を設けることにより、高温下で導電チューブが延びても、導電チューブの先端が感温部の後端から離間した状態が維持され、導電チューブの先端が感温部を押圧することが無いので、押圧力の反発力として素子電極線が後端側に引っ張られて素子電極線と感温部との接続部が破断することを抑制する。従って、熱衝撃による感温素子の破損を抑制することができる。

本発明の温度センサは、前記導電チューブの先端から、前記導電チューブと前記素子電極線との固定部の先端までの前記軸線方向の長さＬ１に対し、Ｄ１＞（Ｌ１/１０）の関係を満たしてもよい。
長さＬ１に対し、概ね導電チューブが延びる量は（Ｌ１/１０）以下である。従って、この温度センサによれば、Ｄ１＞（Ｌ１/１０）の関係を満たすので、高温下でも導電チューブを感温部から確実に離間させることができる。

本発明の温度センサは、前記導電チューブの先端と前記素子電極線との間に径方向の隙間Ｄ２を有してもよい。
車両の走行等に伴って感温部が径方向に振動し、それにつれて素子電極線も径方向に振れることがある。このとき、導電チューブの先端のエッジ部分に素子電極線が当接すると、素子電極線に比べて剛性がある導電チューブは動かないので、当接部分の素子電極線に応力が掛かって断線するおそれがある。
そこで、隙間Ｄ２を設けることにより、感温部が径方向に振動しても導電チューブの先端に素子電極線が当接し難くなり、素子電極線に応力が掛かって断線することを抑制できる。

本発明の温度センサにおいて、前記導電チューブは、前記素子電極線との固定部の先端から前記導電チューブの先端に向かって徐々に広がってもよい。
この温度センサによれば、隙間Ｄ２を確実に設けることができる。

本発明の温度センサにおいて、前記導電チューブの先端から、前記素子電極線の外面から前記導電チューブが離間し始める部位Ｐまでの前記軸線方向の長さＬ２、前記部位Ｐにおける前記素子電極線の前記外面と前記導電チューブの内面との開き角θに対し、Ｄ２＞Ｌ２×ｔａｎθの関係を満たしてもよい。
感温部が径方向に振動したときの感温部、ひいては素子電極線の径方向の最大の振れ幅は、素子電極線が導電チューブに保持されなくなる部分である上述の部位Ｐを始点にし、部位Ｐ近傍の導電チューブの内面に当接するまでの範囲である。つまり、部位Ｐにおける導電チューブの内面との接線と、素子電極線の外面とのなす角を開き角θとすると、最大の振れ幅は２θとなる。
従って、上記接線を導電チューブの先端まで延長した延長線と、素子電極線の外面との径方向の距離（Ｌ２×ｔａｎθ）よりも、隙間Ｄ２を大きくすれば、感温部が径方向に振動しても導電チューブの先端に素子電極線がさらに当接し難くなる。

本発明の温度センサにおいて、前記感温素子は、前記感温部から延びる複数の前記素子電極線を有し、前記シース芯線及び前記導電チューブが、前記複数の素子電極線のそれぞれに対応して複数個設けられ、複数の前記導電チューブのすべてが前記隙間Ｄ１を有してもよい。
この温度センサによれば、複数の導電チューブのすべてにおいて、隙間Ｄ１が設けられているので、複数のすべての素子電極線と感温部との接続部が破断することを抑制できる。

この発明によれば、熱衝撃による感温素子の破損を抑制した温度センサが得られる。

本発明の実施形態に係る温度センサの一部を軸線方向に沿って破断した断面構造図である。 図１の部分拡大図である。 図２の部分拡大図である。 図３の部位が冷熱サイクルを受けた状態を示す模式図である。 図３のＰｔ抵抗体部が振動した状態を示す模式図である。 従来の温度センサの断面の部分拡大図である。 図６の部位が冷熱サイクルを受けた状態を示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る温度センサ１の一部を軸線Ｏ方向に沿って破断した断面構造を示す。なお、実施形態に係る温度センサ１は、金属部材３０の後端側からシース部材２０が収納される態様である。
温度センサ１は、内燃機関の排気管の側壁の開口部（図示せず）に挿通して取付けられ、自動車の排気ガスの温度を検出する。そして、排気ガスの温度が０℃前後の低温域から１０００℃前後の高温域まで急激に変化するのに伴って、温度センサ１も上記温度範囲内で上昇−冷却する冷熱サイクルを受ける。

温度センサ１は、Ｐｔ抵抗体素子（感温素子）１０と、Ｐｔ抵抗体素子１０に接続されるシース部材２０と、後述する筒状金属製の導電チューブ８０と、Ｐｔ抵抗体素子１０及びシース部材２０を収容する有底筒状の金属部材３０と、金属部材３０の外周に嵌合される取付け部５０と、取付け部５０の外周に遊嵌されるナット部６０と、取付け部５０の後端側に取付けられる筒状金属製の外筒７０と、外筒７０の後端に取付けられてリード線２４を外部に引き出す耐熱ゴム製の補助リング２６とを備えている。
なお、本発明の温度センサ１において、金属部材３０は軸線Ｏ方向に延びており、金属部材３０の底部側を「先端」とし、金属部材３０の開放端側を「後端」とする。

Ｐｔ抵抗体素子（感温素子）１０は、温度を測定するためのＰｔ抵抗体部（感温部）１１と、Ｐｔ抵抗体部１１の一端（後端側）から延びる一対の素子電極線１２とを有する。
Ｐｔ抵抗体部１１は、膜状の金属抵抗体をセラミック層で挟み込んだ構成をなし、全体として略板状であり、長手方向を温度センサ１（金属部材３０）の軸線Ｏ方向と平行にして金属部材３０内に配置される。金属抵抗体は、白金（Ｐｔ）を主体（５０質量％以上）とする組成からなり、一対の素子電極線１２が離間して接続されている。そして、金属抵抗体は温度変化に応じて電気抵抗値が変化するので、その変化を一対の素子電極線１２間の電圧変化として検知できる。セラミック層としては、アルミナ純度９９．９質量％以上の組成を用いることができる。又、感温部としては上記Ｐｔ等の抵抗体の他、サーミスタを用いることもできる。
シース部材２０は、Ｐｔ抵抗体素子１０の一対の素子電極線１２にそれぞれ接続されるシース芯線２１と、シース芯線２１を収容する金属製のシース外管２２とを有し、シース芯線２１とシース外管２２内面との間にＳｉＯ_２からなる絶縁材が充填されている。
通常、素子電極線１２は高価なＰｔ−Ｒｈ線等であるため、ＳＵＳ等からなる安価なシース芯線２１と接続することでコストダウンが図られている。

金属部材３０は、本実施形態ではＳＵＳ３１０Ｓからなり、先端が閉じつつ軸線Ｏ方向に平行にストレートに延び、さらに後端側に向かって拡径するテーパ部３５を有し、テーパ部３５より後端側がストレートに延びている。
テーパ部３５より先端側の金属部材３０の内径は、シース部材２０のシース外管２２の外径よりも小さく、Ｐｔ抵抗体部１１の最大外径よりも大きい。一方、テーパ部３５より後端側の金属部材３０の内径は、シース部材２０のシース外管２２の外径よりも大きい。
これにより、金属部材３０の後端側からシース部材２０及びＰｔ抵抗体素子１０を挿入した際、テーパ部３５にシース部材２０の先端側が当接して挿入深さを位置決めするようになっている。又、これにより、シース部材２０の先端側が金属部材３０の開口部を閉塞し、金属部材３０の内部空間に、少なくともＰｔ抵抗体素子１０、及び素子電極線１２とシース芯線２１との接続部位である導電チューブ８０が収納される。又、この内部空間にセメント４０が充填されている。

取付け部５０は、金属部材３０を挿通するための中心孔が軸線Ｏ方向に開口する略円筒状をなし、温度センサ１の先端側から、大径の鍔部５１、鍔部５１よりも小径の筒状の鞘部５２、鞘部５２のうち先端側を構成する第１段部５４、及び鞘部５２のうち後端側を構成し第１段部５４より小径の第２段部５５がこの順に形成されている。鍔部５１の先端面はテーパ状の座面５３を有し、後述するナット部６０を排気管に螺合する際、座面５３が排気管の側壁の角部（図示せず）に押し付けられてシールを行うようになっている。
取付け部５０は、金属部材３０の後端部の外周に圧入され、第２段部５５と金属部材３０とを全周レーザ溶接して両者が固定されている。
又、第１段部５４の外周に外筒７０が圧入され、全周レーザ溶接によって両者が固定されている。外筒７０は、シース部材２０から引き出されたシース芯線２１とリード線２４との接続部分を収容して保持する。

ナット部６０は、外筒７０の外周よりやや大径の中心孔を軸線Ｏ方向に有し、先端側から、ネジ部６２、ネジ部６２より大径の六角ナット部６１が形成されている。そして、取付け部５０の鍔部５１の後面にネジ部６２の前面を当接させた状態で、ナット部６０が取付け部５０（外筒７０）の外周に遊嵌し、軸線Ｏ方向に回動自在になっている。
そして、ネジ部６２が排気管の所定のネジ穴と螺合することにより、温度センサ１が排気管の側壁に取付けられる。

シース部材２０のシース外管２２の後端からは２本のシース芯線２１が引き出され、各シース芯線２１の終端が加締め端子２３に接続され、加締め端子２３はリード線２４に接続されている。なお、各シース芯線２１及び加締め端子２３はそれぞれ絶縁チューブ２５で絶縁されている。
そして、各リード線２４は、外筒７０の後端内側に嵌合された補助リング２６のリード線挿通孔を通って外部に引き出され、図示しないコネクタを介して外部回路と接続されている。
又、金属部材３０の内面と、Ｐｔ抵抗体素子１０及びシース部材２０との隙間には、アルミナ等のセメント４０が充填されており、Ｐｔ抵抗体素子１０及びシース部材２０を保持してその振動を抑制している。セメント４０としては、熱伝導率が高く、高耐熱、高絶縁性の材料を用いてもよい。

次に、図２〜図５を参照し、本発明の特徴部分である導電チューブ８０を含む構成について説明する。図２は図１の部分拡大図、図３は図２の部分拡大図、図４は図３の部位が冷熱サイクルを受けた状態を示す模式図、図５は図３のＰｔ抵抗体部１１が振動した状態を示す模式図である。

上述のように、温度センサ１の長さに応じて、感温素子１０の素子電極線１２やシース部材２０の長さを変えたものを一々用意するのは難しい。又、素子電極線１２は高価なため、素子電極線１２を長くすることはコストアップとなる。
そこで、素子電極線１２より安価（例えば、インコネル（登録商標）等の耐熱合金）で、素子電極線１２より線膨張係数が大きな導電チューブ８０を用い、導電チューブ８０を介して素子電極線１２とシース芯線２１とを電気的に接続する。これにより、導電チューブ８０の長さを変えることで、温度センサ１の長さが変わっても、共通の素子電極線１２やシース部材２０を用いることができる。

図２に示すように、本例では、シース芯線２１は素子電極線１２より径大であるので、導電チューブ８０は先端側８０ｆから軸線Ｏ方向に平行にストレートに延び、さらに後端側に向かって拡径するテーパ部８１を有し、テーパ部８１より後端側が後端側８０ｅまでストレートに延びている。
そして、導電チューブ８０の後端側８０ｅの内部にシース芯線２１の先端側を収容し、先端側８０ｆの内部に素子電極線１２の後端側を収容し、各挿入部をテーパ部８１の外側から抵抗溶接等で溶接することで、素子電極線１２とシース芯線２１とが電気的に接続されることになる。このとき、素子電極線１２とシース芯線２１とが導電チューブ８０の内側にそれぞれ溶接部Ｗ１，Ｗ２で固定されることになる。

図３に示すように、本実施形態では、Ｐｔ抵抗体部１１の後端１１ｅと導電チューブ８０の先端８０ｓとの間に軸線Ｏ方向の隙間Ｄ１を有する。
又、本実施形態では、導電チューブ８０の先端８０ｓが拡径しており、導電チューブ８０の先端８０ｓと素子電極線１２との間に径方向（軸線Ｏ方向に垂直な方向）の隙間Ｄ２を有する。
ここで、本実施形態では、導電チューブ８０は、素子電極線１２との固定部である溶接部Ｗ１の先端から導電チューブ８０の先端に向かってラッパ状に徐々に広がっている。

さらに、本実施形態では、導電チューブ８０の先端８０ｓから、素子電極線１２の外面から導電チューブ８０が離間し始める部位Ｐまでの軸線Ｏ方向の長さＬ２、部位Ｐにおける素子電極線１２の外面と導電チューブ８０の内面との開き角θに対し、Ｄ２＞Ｌ２×ｔａｎθの関係を満たす。
Ｄ１，Ｄ２の規定理由について、図４、図５を参照して説明する。

まず、Ｄ１につき、図４に示すように、導電チューブ８０は素子電極線１２よりも線膨張係数が高いため、高温下では溶接部（固定部）Ｗ１を起点にして導電チューブ８０の方が素子電極線１２よりも延びる。そこで、隙間Ｄ１を設けることにより、高温下で導電チューブ８０が延びても導電チューブ８０の先端８０ｓがＰｔ抵抗体部１１の後端１１ｅから離間した状態が維持される。
これにより、導電チューブ８０の先端８０ｓがＰｔ抵抗体部１１の後端１１ｅを押圧することが無いので、押圧力の反発力として素子電極線１２が溶接部Ｗを介して後端側に引っ張られて素子電極線１２とＰｔ抵抗体部１１との接続部Ｂが破断することを抑制する。
従って、熱衝撃によるＰｔ抵抗体素子１０の破損を抑制することができる。

なお、常温において、隙間Ｄ１を有することが必要である。
又、導電チューブ８０の先端８０ｓから、上記固定部（溶接部Ｗ１）の先端までの軸線Ｏ方向の長さＬ１に対し、概ね導電チューブ８０が延びる量は（Ｌ１/１０）以下である。従って、Ｄ１＞（Ｌ１/１０）の関係を満たすと、高温下でも導電チューブ８０をＰｔ抵抗体部１１から確実に離間させることができる。

Ｄ２につき、図５に示すように、車両の走行等に伴ってＰｔ抵抗体部１１が径方向に振動し、それにつれて素子電極線１２も径方向に振れることがある。このとき、導電チューブ８０の先端８０ｓのエッジ部分に素子電極線１２が当接すると、素子電極線１２に比べて剛性がある導電チューブ８０は動かないので、当接部分の素子電極線１２に応力が掛かって断線するおそれがある。
そこで、隙間Ｄ２を設けることにより、Ｐｔ抵抗体部１１が径方向に振動しても導電チューブ８０の先端８０ｓに素子電極線１２が当接し難くなり、素子電極線１２に応力が掛かって断線することを抑制できる。

ここで、Ｐｔ抵抗体部１１、ひいては素子電極線１２の径方向の最大の振れ幅は、素子電極線１２が導電チューブ８０に保持されなくなる部分である上述の部位Ｐを始点にし、部位Ｐ近傍の導電チューブ８０の内面に当接するまでの範囲である。つまり、部位Ｐにおける導電チューブ８０の内面との接線と、素子電極線１２の外面とのなす角を開き角θとすると、最大の振れ幅は２θとなる。
従って、上記接線を導電チューブ８０の先端８０ｓまで延長した延長線ＥＬと、素子電極線１２の外面との径方向の距離Ｄｘよりも、隙間Ｄ２を大きくすれば、Ｐｔ抵抗体部１１が径方向に振動しても導電チューブ８０の先端８０ｓに素子電極線１２がさらに当接し難くなる。
そして、距離Ｄｘ＝Ｌ２×ｔａｎθであり、Ｄ２＞Ｄｘであるから、Ｄ２＞Ｌ２×ｔａｎθの関係を満たす、つまり、部位Ｐでの延長線ＥＬよりも、導電チューブ８０の先端８０ｓ側が径方向外側に広がっていると好ましいことになる。
なお、部位Ｐは、素子電極線１２と導電チューブ８０の断面像から求めることができ、具体的には、この断面像にて、部位Ｐと、長さＬ１の中点の位置Ｑ（図５参照）とを結ぶ直線を、部位Ｐにおける導電チューブ８０の内面との接線（及び延長線ＥＬ）とみなす。

本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。例えば、感温部として、上述のＰｔ抵抗体部１１の代わりにサーミスタ焼結体を用いてもよい。サーミスタ焼結体としては、（Ｓｒ，Ｙ）（Ａｌ，Ｍｎ，Ｆｅ）Ｏ_３をベース組成としたペロブスカイト型酸化物を用いることができるが、これに限定されない。
また、サーミスタ焼結体を用いる場合など、感温部が還元して劣化するのを防止するため、感温部の外側をガラス等の封止材で被覆する形態がある。この場合、被覆材（ガラス）を含めて感温部と一体の部分も感温部とみなす。つまり、「感温部の後端」とは、感温部の最外面の被覆材（ガラス）の後端となる。

また、上記実施形態では、導電チューブのテーパ部より先端側が後端側よりも小径であったが、導電チューブに接続される素子電極線及びシース芯線の外径に応じて、導電チューブの形状も種々変更できる。又、導電チューブの断面が筒状に限らず、Ｃ字状などの筒状の一部をなす形状でもよい。
素子電極線を導電チューブの内側に固定する方法は、溶接の他、圧接等でもよい。
また、上記実施形態では、シース芯線２１とシース外管２２内面との間にＳｉＯ２からなる絶縁材が充填されていたが、これに限られず、ＭｇＯやＡｌ２Ｏ３からなる絶縁材が充填されていてもよい。

１ 温度センサ
１０ 感温素子
１１ 感温部
１１ｅ 感温部の後端
１２ 素子電極線
２０ シース部材
２１ シース芯線
２２ シース外管
８０ 導電チューブ
８０ｓ 導電チューブの先端
Ｏ 軸線
Ｗ１ 素子電極線の固定部（溶接部）
Ｐ 素子電極線の外面から導電チューブが離間し始める部位

Claims (6)

1. 感温部、及び該感温部から後端側に延びる素子電極線からなる感温素子と、
   前記感温素子の後端側に配置され、前記素子電極線に電気的に接続されるシース芯線、及び該シース芯線を絶縁材の間に内包するシース外管を有するシース部材と、
   を備えた温度センサであって、
   軸線方向に延びる導電チューブであって、自身の先端側に前記素子電極線を収容し、自身の後端側に前記シース芯線を収容して前記素子電極線と前記シース芯線とを電気的に接続し、断面が筒状又は筒状の一部をなす導電チューブをさらに備え、
   前記導電チューブの線膨張係数が前記素子電極線の線膨張係数より大きく、
   前記素子電極線が前記導電チューブの内側に固定され、
   前記感温部の後端と前記導電チューブの先端との間に前記軸線方向の隙間Ｄ１を有することを特徴とする温度センサ。
2. 前記導電チューブの先端から、前記導電チューブと前記素子電極線との固定部の先端までの前記軸線方向の長さＬ１に対し、Ｄ１＞（Ｌ１/１０）の関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
3. 前記導電チューブの先端と前記素子電極線との間に径方向の隙間Ｄ２を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の温度センサ。
4. 前記導電チューブは、前記素子電極線との固定部の先端から前記導電チューブの先端に向かって徐々に広がることを特徴とする請求項３に記載の温度センサ。
5. 前記導電チューブの先端から、前記素子電極線の外面から前記導電チューブが離間し始める部位Ｐまでの前記軸線方向の長さＬ２、
   前記部位Ｐにおける前記素子電極線の前記外面と前記導電チューブの内面との開き角θに対し、Ｄ２＞Ｌ２×ｔａｎθの関係を満たすことを特徴とする請求項３又は４に記載の温度センサ。
6. 前記感温素子は、前記感温部から延びる複数の前記素子電極線を有し、
   前記シース芯線及び前記導電チューブが、前記複数の素子電極線のそれぞれに対応して複数個設けられ、
   複数の前記導電チューブのすべてにおいて、前記隙間Ｄ１が設けられることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の温度センサ。

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