JP2020016483A - 温度センサ - Google Patents
温度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020016483A JP2020016483A JP2018138218A JP2018138218A JP2020016483A JP 2020016483 A JP2020016483 A JP 2020016483A JP 2018138218 A JP2018138218 A JP 2018138218A JP 2018138218 A JP2018138218 A JP 2018138218A JP 2020016483 A JP2020016483 A JP 2020016483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- anisotropic
- conductor
- temperature sensor
- heat conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
【課題】 外気等の熱の影響を受け難く、効率的に熱伝導によって正確かつ熱応答性の高い温度センサを提供すること。【解決手段】 感熱部2と、感熱部に直接又は絶縁性膜3を介して設置された板状又はブロック状の異方性熱伝導体4とを備え、異方性熱伝導体が、感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物Sに対向させる対向面4bを有し、前記対向面から前記設置面に向かう第1の方向D1の熱伝導率が、第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも大きい。【選択図】図1
Description
本発明は、薄膜サーミスタ等の感熱部を用いた温度センサに関する。
近年、ポリイミド樹脂等で形成された絶縁性フィルム上に薄膜状のサーミスタ部を形成したフィルム型の温度センサが開発されている。例えば、特許文献1には、絶縁性フィルムと、絶縁性フィルムの表面にサーミスタ材料でパターン形成された薄膜サーミスタ部と、薄膜サーミスタ部の上に複数の櫛部を有して互いに対向してパターン形成された一対の櫛形電極と、一対の櫛形電極に接続され絶縁性フィルムの表面にパターン形成された一対のパターン電極と、櫛形電極と薄膜サーミスタ部とを覆って絶縁性フィルム上に形成された保護膜とを備えている温度センサが開発されている。
また、特許文献2には、端部に温度検出素子(面実装型サーミスタ素子)を熱的に接続させた熱伝導シートを備えた温度検出装置が記載されている。この温度検出装置では、熱伝導シートであるグラファイトシートの両面に断熱層を設け、グラファイトシートから輻射によって熱が放射されて温度が下がることを防いでいる。
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、上記特許文献1に記載の温度センサでは、感熱部として薄膜サーミスタ部を採用することで高精度で高い熱応答性の温度測定を可能にしているが、より正確で高い熱応答性の温度測定の実現が要望されている。そのためには、感熱部に測定対象物の熱を効率的に伝える必要があるが、感熱部が外気等の熱の影響も受けてしまう問題があった。
特許文献2では、断熱層が両面に設けられた熱伝導シートにより発熱体の熱を温度検出素子に伝えているが、断熱層を用いても薄いシート両面からの放熱が温度検出素子への熱伝導に比べて大きくなってしまう問題があった。特に、一枚の熱伝導シートの両端部に温度検出素子と発熱体とを配するために、温度検出素子と発熱体とが大きく離れてしまい、温度検出素子と発熱体との間における熱伝導シートからの熱の放射割合がさらに大きくなって、温度を正確に検出することが難しいという不都合があった。
すなわち、上記特許文献1に記載の温度センサでは、感熱部として薄膜サーミスタ部を採用することで高精度で高い熱応答性の温度測定を可能にしているが、より正確で高い熱応答性の温度測定の実現が要望されている。そのためには、感熱部に測定対象物の熱を効率的に伝える必要があるが、感熱部が外気等の熱の影響も受けてしまう問題があった。
特許文献2では、断熱層が両面に設けられた熱伝導シートにより発熱体の熱を温度検出素子に伝えているが、断熱層を用いても薄いシート両面からの放熱が温度検出素子への熱伝導に比べて大きくなってしまう問題があった。特に、一枚の熱伝導シートの両端部に温度検出素子と発熱体とを配するために、温度検出素子と発熱体とが大きく離れてしまい、温度検出素子と発熱体との間における熱伝導シートからの熱の放射割合がさらに大きくなって、温度を正確に検出することが難しいという不都合があった。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、外気等の熱の影響を受け難く、効率的な熱伝導によって正確かつ熱応答性の高い温度センサを提供することを目的とする。
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第1の発明に係る温度センサは、感熱部と、前記感熱部に直接又は絶縁性膜を介して設置された板状又はブロック状の異方性熱伝導体とを備え、前記異方性熱伝導体が、前記感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物に対向させる対向面を有し、前記対向面から前記設置面に向かう第1の方向の熱伝導率が、前記第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも大きいことを特徴とする。
この温度センサでは、板状又はブロック状の異方性熱伝導体が、感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物に対向させる対向面を有し、対向面から設置面に向かう第1の方向の熱伝導率が、第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも大きいので、異方性熱伝導体が、外気等の周囲の熱の影響を受け難く、測定対象物の熱を効率的に感熱部に伝えることができる。したがって、前記第1の方向の熱抵抗が小さく高伝熱の異方性熱伝導体によって、測定対象物の熱が周囲よりも効率的に感熱部へ伝わることで、正確な温度検出が可能になると共に、熱応答性が向上する。特に、特許文献2のように単なるグラファイトシートのような異方性の無い熱伝導体シートの両端部に感熱部と測定対象物とを配置した場合に比べて、板状又はブロック状の異方性熱伝導体の互いに対向する両面(設置面と対向面)に感熱部と測定対象物とを配置するので、感熱部への効率的な伝熱と共に、感熱部と測定対象物との距離も近くでき、異方性熱伝導体からの熱の放射の影響を低減することができる。
第2の発明に係る温度センサは、第1の発明において、前記異方性熱伝導体が、複数のグラフェンシートを積層したグラフェン積層体であり、前記グラフェンシートの積層方向が、前記第1の方向に直交する少なくとも一方向であることを特徴とする。
すなわち、この温度センサでは、異方性熱伝導体が、複数のグラフェンシートを積層したグラフェン積層体であり、グラフェンシートの積層方向が、前記第1の方向に直交する少なくとも一方向であるので、前記直交する少なくとも一方向に比べて前記第1の方向の熱伝導率が非常に大きいグラフェン積層体によって熱をより選択的に集熱して感熱部に伝えることができる。
すなわち、この温度センサでは、異方性熱伝導体が、複数のグラフェンシートを積層したグラフェン積層体であり、グラフェンシートの積層方向が、前記第1の方向に直交する少なくとも一方向であるので、前記直交する少なくとも一方向に比べて前記第1の方向の熱伝導率が非常に大きいグラフェン積層体によって熱をより選択的に集熱して感熱部に伝えることができる。
第3の発明に係る温度センサは、第1又は第2の発明において、前記感熱部の前記異方性熱伝導体側の表面面積よりも大きい前記対向面を有していることを特徴とする。
すなわち、この温度センサでは、異方性熱伝導体が、感熱部の異方性熱伝導体側の表面面積よりも大きい対向面を有しているので、大きい対向面で受けた測定対象物の熱をより効率的に感熱部に集熱することができる。
すなわち、この温度センサでは、異方性熱伝導体が、感熱部の異方性熱伝導体側の表面面積よりも大きい対向面を有しているので、大きい対向面で受けた測定対象物の熱をより効率的に感熱部に集熱することができる。
第4の発明に係る温度センサは、第1から第3の発明のいずれかにおいて、前記感熱部が、薄膜状に形成された薄膜サーミスタ部であることを特徴とする。
すなわち、この温度センサでは、感熱部が、薄膜状に形成された薄膜サーミスタ部であるので、大きい面積で異方性熱伝導体からの熱を受けることができると共に、バルク型サーミスタ(チップ型サーミスタ、フレーク型サーミスタ等)に比べて熱容量が小さいため、熱応答性をより高速化することが可能になる。
すなわち、この温度センサでは、感熱部が、薄膜状に形成された薄膜サーミスタ部であるので、大きい面積で異方性熱伝導体からの熱を受けることができると共に、バルク型サーミスタ(チップ型サーミスタ、フレーク型サーミスタ等)に比べて熱容量が小さいため、熱応答性をより高速化することが可能になる。
第5の発明に係る温度センサは、第1から第4の発明のいずれかにおいて、前記感熱部が設けられた絶縁性基材と、前記対向面を除いた前記異方性熱伝導体の周囲を囲んだ状態で前記絶縁性基材に固定され、熱伝導率が前記異方性熱伝導体の前記第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも小さい材料で形成された低熱伝導体部とを備えていることを特徴とする。
すなわち、この温度センサでは、対向面を除いた異方性熱伝導体の周囲を囲んだ状態で絶縁性基材に固定され、熱伝導率が異方性熱伝導体の前記第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも小さい材料で形成された低熱伝導体部を備えているので、対向面を除いた異方性熱伝導体の周囲から熱が異方性熱伝導体に伝わることを低熱伝導体部が抑制することで、外気等の熱の影響をさらに抑制することができる。また、異方性熱伝導体が設置面及び対向面以外の面から放熱することを、異方性熱伝導体よりも断熱性が高い低熱伝導体部によって抑制することができる。
すなわち、この温度センサでは、対向面を除いた異方性熱伝導体の周囲を囲んだ状態で絶縁性基材に固定され、熱伝導率が異方性熱伝導体の前記第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも小さい材料で形成された低熱伝導体部を備えているので、対向面を除いた異方性熱伝導体の周囲から熱が異方性熱伝導体に伝わることを低熱伝導体部が抑制することで、外気等の熱の影響をさらに抑制することができる。また、異方性熱伝導体が設置面及び対向面以外の面から放熱することを、異方性熱伝導体よりも断熱性が高い低熱伝導体部によって抑制することができる。
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る温度センサによれば、異方性熱伝導体が、感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物に対向させる対向面を有し、対向面から設置面に向かう第1の方向の熱伝導率が、第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも大きいので、前記第1の方向の熱抵抗が小さく高伝熱の異方性熱伝導体によって、測定対象物の熱が周囲よりも効率的に感熱部へ伝わることで、正確な温度検出が可能になると共に、熱応答性が向上する。
すなわち、本発明に係る温度センサによれば、異方性熱伝導体が、感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物に対向させる対向面を有し、対向面から設置面に向かう第1の方向の熱伝導率が、第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも大きいので、前記第1の方向の熱抵抗が小さく高伝熱の異方性熱伝導体によって、測定対象物の熱が周囲よりも効率的に感熱部へ伝わることで、正確な温度検出が可能になると共に、熱応答性が向上する。
以下、本発明に係る温度センサにおける一実施形態を、図1から図3を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる図面の一部では、各部を認識可能又は認識容易な大きさとするために必要に応じて縮尺を適宜変更している。
本実施形態の温度センサ1は、図1から図3に示すように、サーミスタ材料で形成された感熱部2と、感熱部2に絶縁性膜3を介して設置された板状又はブロック状の異方性熱伝導体4とを備えている。
上記異方性熱伝導体4は、感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物Sに対向させる対向面4bを有し、対向面4bから前記設置面に向かう第1の方向D1の熱伝導率が、第1の方向D1に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも高く設定されている。なお、本実施形態では、対向面4bを測定対象物Sに接触させている。また、本実施形態では、異方性熱伝導体4の厚さ方向が、第1の方向D1となっている。
上記異方性熱伝導体4は、感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物Sに対向させる対向面4bを有し、対向面4bから前記設置面に向かう第1の方向D1の熱伝導率が、第1の方向D1に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも高く設定されている。なお、本実施形態では、対向面4bを測定対象物Sに接触させている。また、本実施形態では、異方性熱伝導体4の厚さ方向が、第1の方向D1となっている。
本実施形態の温度センサ1は、感熱部2が設けられた絶縁性基材5と、対向面4bを除いた異方性熱伝導体4の周囲を囲んだ状態で絶縁性基材5に固定され、熱伝導率が異方性熱伝導体4の第1の方向D1に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも小さい材料で形成された低熱伝導体部6とを備えている。
上記異方性熱伝導体4は、複数のグラフェンシート(グラフェン板)4aを積層したグラフェン積層体であり、グラフェンシート4aの積層方向が、第1の方向D1に直交する少なくとも一方向とされている。本実施形態では、図2に示すように、板状に積層されたグラフェン積層体の異方性熱伝導体4を採用している。
この異方性熱伝導体4は、熱伝導率の異方性が高く、グラフェン積層体では、図2に示すように、グラフェンシート4aの面、すなわちXY面内がその垂直方向に対して10倍以上大きい熱伝導率を有している。
本実施形態では、異方性熱伝導体4として、図2の(a)に示すように、グラフェンシート4aの面、すなわちXY面が設置面に対して平行に積層されたグラフェン積層体4Cではなく、図2の(b)(c)に示すように、XY面が設置面に対して垂直に積層されたグラフェン積層体4A,4Bが採用される。
本実施形態では、異方性熱伝導体4として、図2の(a)に示すように、グラフェンシート4aの面、すなわちXY面が設置面に対して平行に積層されたグラフェン積層体4Cではなく、図2の(b)(c)に示すように、XY面が設置面に対して垂直に積層されたグラフェン積層体4A,4Bが採用される。
なお、グラフェン積層体の異方性熱伝導体4は、電気伝導率も大きいため、感熱部2との電気的導通を避けるため、感熱部2上に成膜した絶縁性膜3を介して感熱部2に設置している。また、異方性熱伝導体4は、絶縁性膜3に接触状態に設置されるが、例えば熱伝導性の高い接着剤で絶縁性膜3に接着固定しても構わない。
また、異方性熱伝導体4は、感熱部2の異方性熱伝導体4側の表面面積よりも大きい対向面4bを有している。すなわち、異方性熱伝導体4の設置面及び対向面4bは、矩形状に成膜された感熱部2を覆って感熱部2よりも大きい面積の絶縁性膜3と同じ矩形状とされている。
また、異方性熱伝導体4は、感熱部2の異方性熱伝導体4側の表面面積よりも大きい対向面4bを有している。すなわち、異方性熱伝導体4の設置面及び対向面4bは、矩形状に成膜された感熱部2を覆って感熱部2よりも大きい面積の絶縁性膜3と同じ矩形状とされている。
上記絶縁性基材5は、絶縁性フィルムであって、例えば厚さ7.5〜125μmのポリイミド樹脂シートで形成されている。なお、絶縁性基材5としては、他にPET:ポリエチレンテレフタレート,PEN:ポリエチレンナフタレート等でも作製できる。
また、絶縁性基材5として、プリント基板やセラミックス板などを採用しても構わない。
また、絶縁性基材5として、プリント基板やセラミックス板などを採用しても構わない。
上記感熱部2は、薄膜状に形成された薄膜サーミスタ部である。
この感熱部2は、例えばサーミスタ特性を有するTi−Al−Nで矩形状に形成されている。特に、感熱部2は、一般式:TixAlyNz(0.70≦y/(x+y)≦0.95、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相である。この感熱部2は、膜厚方向にc軸配向度が高い膜である。
感熱部2の膜厚は、50〜200nmであり、極薄であり、感熱部2の熱容量は極めて小さい。
この感熱部2は、例えばサーミスタ特性を有するTi−Al−Nで矩形状に形成されている。特に、感熱部2は、一般式:TixAlyNz(0.70≦y/(x+y)≦0.95、0.4≦z≦0.5、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相である。この感熱部2は、膜厚方向にc軸配向度が高い膜である。
感熱部2の膜厚は、50〜200nmであり、極薄であり、感熱部2の熱容量は極めて小さい。
また、本実施形態の温度センサ1は、感熱部2の上にパターン形成された一対の対向電極7と、一対の対向電極7に接続され絶縁性基材5にパターン形成された一対のパターン配線8とを備えている。
上記一対の対向電極7は、感熱部2の上に互いに対向して櫛型状にパターン形成された櫛型電極であり、複数の櫛部7aを有している。
上記一対の対向電極7は、感熱部2の上に互いに対向して櫛型状にパターン形成された櫛型電極であり、複数の櫛部7aを有している。
上記絶縁性基材5は、帯状に延在し、感熱部2は、絶縁性基材5の一端側に配されている。
一対のパターン配線8は、絶縁性基材5に沿って延在していると共に絶縁性基材5の他端側に配された一対のパッド部8aを他端に有している。
上記パッド部8aは、リード線等を接続するために絶縁性基材5の中央部のパターン配線8よりも幅広に形成された端子部である。
上記絶縁性膜3は、一対の対向電極7と共に感熱部2を覆ってポリイミド樹脂等で矩形状に形成された保護膜である。
一対のパターン配線8は、絶縁性基材5に沿って延在していると共に絶縁性基材5の他端側に配された一対のパッド部8aを他端に有している。
上記パッド部8aは、リード線等を接続するために絶縁性基材5の中央部のパターン配線8よりも幅広に形成された端子部である。
上記絶縁性膜3は、一対の対向電極7と共に感熱部2を覆ってポリイミド樹脂等で矩形状に形成された保護膜である。
上記対向電極7及びパターン配線8は、感熱部2及び絶縁性基材5の上に形成された膜厚5〜100nmのCr又はNiCrの接合層と、該接合層上にAu等の貴金属で膜厚50〜1000nm形成された電極層とを有している。
上記低熱伝導体部6は、異方性熱伝導体4の周囲を囲んだ状態で絶縁性基材5を上下で挟んで取り付けられた樹脂ケースである。なお、樹脂封止によって低熱伝導体部6を設けても構わない。
上記低熱伝導体部6は、異方性熱伝導体4の周囲を囲んだ状態で絶縁性基材5を上下で挟んで取り付けられた樹脂ケースである。なお、樹脂封止によって低熱伝導体部6を設けても構わない。
このように本実施形態の温度センサ1では、板状又はブロック状の異方性熱伝導体4が、感熱部2側の設置面とは反対側に測定対象物Sに対向させる対向面4bを有し、対向面4bから前記設置面に向かう第1の方向D1の熱伝導率が、第1の方向D1に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも大きいので、異方性熱伝導体4が、外気等の周囲の熱の影響を受け難く、測定対象物Sの熱を効率的に感熱部2に伝えることができる。
したがって、第1の方向D1の熱抵抗が小さく高伝熱の異方性熱伝導体4によって、測定対象物Sの熱が周囲よりも効率的に感熱部2へ伝わることで、正確な温度検出が可能になると共に、熱応答性が向上する。特に、特許文献2のように単なるグラファイトシートのような異方性の無い熱伝導体シートの両端部に感熱部と測定対象物とを配置した場合に比べて、板状又はブロック状の異方性熱伝導体4の互いに対向する両面(設置面と対向面4b)に感熱部2と測定対象物Sとを配置するので、感熱部2への効率的な伝熱と共に、感熱部2と測定対象物Sとの距離も近くでき、異方性熱伝導体4からの熱の放射の影響を低減することができる。
また、異方性熱伝導体4が、複数のグラフェンシート4aを積層したグラフェン積層体であり、グラフェンシート4aの積層方向が、第1の方向D1に直交する少なくとも一方向であるので、前記直交する少なくとも一方向に比べて第1の方向D1の熱伝導率が非常に大きいグラフェン積層体によって熱をより選択的に集熱して感熱部2に伝えることができる。
また、異方性熱伝導体4が、設置面のうち感熱部2と対向している部分の面積よりも大きい対向面4bを有しているので、大きい対向面4bで受けた測定対象物Sの熱をより効率的に感熱部2に集熱することができる。
また、異方性熱伝導体4が、設置面のうち感熱部2と対向している部分の面積よりも大きい対向面4bを有しているので、大きい対向面4bで受けた測定対象物Sの熱をより効率的に感熱部2に集熱することができる。
特に、感熱部2が、薄膜状に形成された薄膜サーミスタ部であるので、大きい面積で異方性熱伝導体4からの熱を受けることができると共に、バルク型サーミスタに比べて熱容量が小さいため、熱応答性をより高速化することが可能になる。
さらに、対向面4bを除いた異方性熱伝導体4の周囲を囲んだ状態で絶縁性基材5に固定され、熱伝導率が異方性熱伝導体4の第1の方向D1に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも小さい材料で形成された低熱伝導体部6を備えているので、対向面4bを除いた異方性熱伝導体4の周囲から熱が異方性熱伝導体4に伝わることを低熱伝導体部6が抑制することで、外気等の熱の影響をさらに抑制することができる。また、異方性熱伝導体4が設置面及び対向面4b以外の面から放熱することを、異方性熱伝導体4よりも断熱性が高い低熱伝導体部6によって抑制することができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述したように、薄膜サーミスタで形成された感熱部を採用することが好ましいが、感熱部としてバルク型サーミスタを採用しても構わない。この場合、パターン配線を形成した絶縁性基材などの基板実装だけでなく、バルク型サーミスタに電極線のみを接続したものでも構わない。
また、異方性熱伝導体として、グラフェンシートを積層したグラフェン積層体を採用したが、他の異方性熱伝導体として、グラフェン粉やBN(窒化ホウ素)等をフィラーとして含有した熱伝導性に異方性があるプラスチック基板、又は熱伝導性に異方性のある金属繊維(Al,Ni,Zn等)などを採用しても構わない。
なお、異方性熱伝導体が全体として絶縁性を有していれば、絶縁性膜を介在させずに感熱部に直接設置しても構わない。
なお、異方性熱伝導体が全体として絶縁性を有していれば、絶縁性膜を介在させずに感熱部に直接設置しても構わない。
1…温度センサ、2…感熱部、3…絶縁性膜、4…異方性熱伝導体、4a…グラフェンシート、4b…対向面、5…絶縁性基材、6…低熱伝導体部、D1…第1の方向、S…測定対象物
Claims (5)
- 感熱部と、
前記感熱部に直接又は絶縁性膜を介して設置された板状又はブロック状の異方性熱伝導体とを備え、
前記異方性熱伝導体が、前記感熱部側の設置面とは反対側に測定対象物に対向させる対向面を有し、前記対向面から前記設置面に向かう第1の方向の熱伝導率が、前記第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも大きいことを特徴とする温度センサ。 - 請求項1に記載の温度センサにおいて、
前記異方性熱伝導体が、複数のグラフェンシートを積層したグラフェン積層体であり、
前記グラフェンシートの積層方向が、前記第1の方向に直交する少なくとも一方向であることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1又は2に記載の温度センサにおいて、
前記異方性熱伝導体が、前記感熱部の前記異方性熱伝導体側の表面面積よりも大きい前記対向面を有していることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の温度センサにおいて、
前記感熱部が、薄膜状に形成された薄膜サーミスタ部であることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の温度センサにおいて、
前記感熱部が設けられた絶縁性基材と、
前記対向面を除いた前記異方性熱伝導体の周囲を囲んだ状態で前記絶縁性基材に固定され、熱伝導率が前記異方性熱伝導体の前記第1の方向に直交する少なくとも一方向の熱伝導率よりも小さい材料で形成された低熱伝導体部とを備えていることを特徴とする温度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018138218A JP2020016483A (ja) | 2018-07-24 | 2018-07-24 | 温度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018138218A JP2020016483A (ja) | 2018-07-24 | 2018-07-24 | 温度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020016483A true JP2020016483A (ja) | 2020-01-30 |
Family
ID=69581351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018138218A Pending JP2020016483A (ja) | 2018-07-24 | 2018-07-24 | 温度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020016483A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116634618A (zh) * | 2023-07-19 | 2023-08-22 | 绵阳中物烯科技有限公司 | 一种基于石墨烯的层叠式发热的电阻器及电热系统 |
-
2018
- 2018-07-24 JP JP2018138218A patent/JP2020016483A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116634618A (zh) * | 2023-07-19 | 2023-08-22 | 绵阳中物烯科技有限公司 | 一种基于石墨烯的层叠式发热的电阻器及电热系统 |
CN116634618B (zh) * | 2023-07-19 | 2023-10-17 | 绵阳中物烯科技有限公司 | 一种基于石墨烯的层叠式发热的电阻器及电热系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5892368B2 (ja) | 赤外線センサ | |
JP5651930B2 (ja) | 温度センサ | |
JP2011033479A (ja) | 温度センサ | |
SE461177B (sv) | Anordning foer maetning av termiska egenskaper hos en provsubstans | |
JP3223716B2 (ja) | サーミスタセンサ | |
JP2007093453A (ja) | 表面実装型温度センサ | |
JP2014182073A (ja) | 熱流センサ | |
JP2020016483A (ja) | 温度センサ | |
TWM444590U (zh) | 熱敏電阻元件以及電路板 | |
JP2020016484A (ja) | 温度センサ | |
JP2008002896A5 (ja) | ||
JP2014062826A (ja) | バッテリ用内部抵抗測定装置 | |
US9970802B2 (en) | Thermal-type flow-rate sensor | |
JP2011033358A (ja) | 温度センサ | |
TW202027318A (zh) | 電池連接模組 | |
JP2018185154A (ja) | 温度センサ | |
JPH08146026A (ja) | サーミスタ流速センサーおよび液体用流量センサー | |
TWM446327U (zh) | 接觸式溫度感測裝置 | |
JP6536059B2 (ja) | 湿度センサ | |
US20050232334A1 (en) | Temperature sensor | |
JP7341595B2 (ja) | 流量センサ | |
CN220606110U (zh) | 薄膜型集成温度传感器的加热片 | |
US11828661B2 (en) | Core body thermometer | |
JP5779487B2 (ja) | 圧力センサモジュール | |
WO2024117119A1 (ja) | 温度センサ |