JP2020015107A - 砥石 - Google Patents
砥石 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020015107A JP2020015107A JP2018137985A JP2018137985A JP2020015107A JP 2020015107 A JP2020015107 A JP 2020015107A JP 2018137985 A JP2018137985 A JP 2018137985A JP 2018137985 A JP2018137985 A JP 2018137985A JP 2020015107 A JP2020015107 A JP 2020015107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive grains
- grindstone
- bonding material
- binder
- layer portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
Description
本発明に係る砥石の第1の実施形態について図面を参照して説明する。
図1(b)に示すように、砥石10はハニカム構造を有している。すなわち、砥石10は、加工面10aに直交するZ方向に沿って延びる正六角形筒状の複数の筒部11を備える。複数の筒部11は、砥石10の加工面10aにおいて隙間なく並べられる。各筒部11は、6つの壁部12により構成される。壁部12は、自身に隣接する壁部12に対して60°の角度で交わる。筒部11内の空間は、被加工物Wの切り屑を保持する機能を有する。
複数の砥粒15は、Z方向に沿って1列に並べられている。すなわち、複数の砥粒15は砥石10の全域に1層に並べられる。複数の砥粒15のうち隣り合う2つの砥粒15は接触点15Qにて互いに接触している。
砥粒15は、例えば、ダイヤモンドであり、その平均粒径Dは0.1〜300μmである。複数の砥粒15は、ダイヤモンドに限らず、立方晶窒化ホウ素(CBN)砥粒であってもよいし、CBN砥粒とダイヤモンドを混合させてもよい。さらには、複数の砥粒15は、炭化ケイ素(SiC)、又は溶融アルミナ(Al2O3)、若しくはこれらを混合したものであってもよい。
なお、砥粒15の平均粒径Dは、砥粒15の断面が円形でない場合には、同じ断面積の円相当径の平均値とする。
詳しくは、砥石10により加工される際、複数の砥粒15のうち最も被加工物Wに近い第1砥粒15aが被加工物Wに摺動することにより、被加工物Wの研削又は研磨が行われる。第1砥粒15aが削れることにより目つぶれ等が発生し、砥石10の切れ味が低下する。本例では、砥粒15が保持される保持力を所望の値に設定されることにより、切れ味が低下する前に、第1砥粒15aが脱落し、第1砥粒15aに隣接する第2砥粒15bが被加工物W側に露出する。そして、第2砥粒15bにより被加工物Wの研削又は研磨が行われる。よって、砥石10による加工の切れ味を保つことができる。
以上、説明した第1の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
この構成によれば、複数の砥粒15が1列に並べられるため、砥石10の被加工物Wに対する接触面積を小さくすることができる。このため、砥石10の切れ味を向上させることができる。
また、複数の砥粒15が1列に並べられるため、複数の砥粒15のうち第1砥粒15aが脱落した後、次に、第2砥粒15bが露出する。よって、長期間にわたって、砥石10の切れ味を保つことができる。
さらに、砥石10は、ハニカム構造を有するため、被加工物Wへの接触圧力によってたわみづらい。よって、より確実に、被加工物Wを研磨又は研削することができる。
この構成によれば、砥石10の被加工物Wに対する接触面積を小さくすることができる。このため、砥石10の切れ味を向上させることができる。
この構成によれば、複数の砥粒15間で結合材16により覆われる面積を均一化することができる。よって、砥粒15毎に結合材16により保持される保持力を均一化することができる。このため、砥粒15が脱落するタイミングを均一化することができ、これにより、砥石10の切れ味を安定させることができる。
この構成によれば、第1砥粒15aが脱落すると、すぐに第2砥粒15bが外部に露出する。このため、砥石10の切れ味を安定させることができる。
この構成によれば、結合材16の2つの面16Sが非平面状に形成される構成に比べて、結合材16により砥粒15が保持される保持力を複数の砥粒15毎に均一化することができる。
本発明に係る砥石の第2の実施形態について図面を参照して説明する。ここでは、上記第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
図4に示すように、結合材16は、第1層部16aと、第2層部16bと、を備える。第1層部16aは、1列に並ぶ複数の砥粒15に対して厚さTに沿う方向における一方側、すなわち図4の右側に位置する。第1層部16aは各砥粒15の右部分に密着する。
第2層部16bは、1列に並ぶ複数の砥粒15に対して厚さTに沿う方向における他方側、すなわち図4の左側に位置する。第2層部16bは各砥粒15の左部分に密着する。1列に並ぶ複数の砥粒15は、第1層部16aと第2層部16bにより挟み込まれることにより、結合材16に保持される。第1層部16aと第2層部16bはそれぞれ同一の材質、例えば金属、樹脂又はセラミックにより形成されてもよいし、それぞれ異なる材質により形成されてもよい。
以上、説明した第2の実施形態によれば、以下の効果を奏する。
上記構成と異なり、結合材16を一体で形成した場合には結合材16によって砥粒15が保持される保持力が大きすぎて、砥粒15が目つぶれにより砥石10の切れ味が低下するおそれがある。
この点、上記構成によれば、結合材16を第1層部16aと第2層部16bに分けることにより、上記保持力を所望の値まで低下させることができる。よって、目つぶれが発生する前に砥粒15が脱落し、砥石10の切れ味を保つことができる。
この構成によれば、空間Spにより上記保持力を所望の値まで低下させることができる。よって、目つぶれが発生する前に砥粒15が脱落し、砥石10の切れ味を保つことができる。
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
10 砥石
10a 加工面
11 筒部
12 壁部
15 砥粒
15P 頂点
15a 第1砥粒
15b 第2砥粒
16 結合材
16S 面
16a 第1層部
16b 第2層部
20 砥石ホルダー
25 シャフト
27 モータ
D 平均粒径
W 被加工物
Sp 空間
Claims (7)
- 被加工物を研磨又は研削する加工面を有し、前記加工面に直交する直交方向に沿って延びる六角形筒状の複数の筒部が前記加工面に沿って並べられたハニカム構造を有する砥石であって、
前記砥石は、
複数の砥粒と、
前記複数の砥粒を結合する結合材と、を備え、
前記複数の砥粒は、前記結合材内に、前記直交方向に沿って1列に並べられ、前記結合材に対して前記結合材の厚さ方向において中心に位置する、
砥石。 - 前記結合材の厚さは、前記砥粒の平均粒径と略同一に形成されている、
請求項1に記載の砥石。 - 前記複数の砥粒のうち少なくとも何れかの頂点は、前記結合材における前記直交方向に沿う面に一致する、
請求項1又は2に記載の砥石。 - 前記複数の砥粒のうち隣り合う2つの前記砥粒は互いに接触する、
請求項1から3の何れか1項に記載の砥石。 - 前記結合材における前記直交方向に沿う両面は平面で形成される、
請求項1から4の何れか1項に記載の砥石。 - 前記結合材は、
前記複数の砥粒に対して前記厚さ方向における一方側に位置する第1層部と、
前記複数の砥粒に対して前記厚さ方向における他方側に位置する第2層部と、を備える、
請求項1から5の何れか1項に記載の砥石。 - 前記第1層部と前記第2層部の間には空間が形成される、
請求項6に記載の砥石。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018137985A JP7140373B2 (ja) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | 砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018137985A JP7140373B2 (ja) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | 砥石 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020015107A true JP2020015107A (ja) | 2020-01-30 |
JP7140373B2 JP7140373B2 (ja) | 2022-09-21 |
Family
ID=69580756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018137985A Active JP7140373B2 (ja) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | 砥石 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7140373B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01121656U (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-17 | ||
JP2003340726A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 砥 石 |
CN101664966A (zh) * | 2008-09-03 | 2010-03-10 | 厦门东南新石材工具有限公司 | 金刚石多层钎焊体及其制造方法 |
-
2018
- 2018-07-23 JP JP2018137985A patent/JP7140373B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01121656U (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-17 | ||
JP2003340726A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 砥 石 |
CN101664966A (zh) * | 2008-09-03 | 2010-03-10 | 厦门东南新石材工具有限公司 | 金刚石多层钎焊体及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7140373B2 (ja) | 2022-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20160303704A1 (en) | Grinding Tool | |
KR19990078121A (ko) | 초미세 홈붙이 칩과 초미세 홈붙이 공구 | |
JP2012232378A (ja) | 精密研磨工具用チップおよびその製法ならびに該チップを用いた研磨工具 | |
KR20190015204A (ko) | 다이아몬드 복합 cmp 패드 조절기 | |
JP7145494B2 (ja) | 砥石 | |
US10919125B2 (en) | Grindstone | |
WO2020189368A1 (ja) | 砥石 | |
TWM481093U (zh) | 可調整尖端高度之化學機械研磨修整器 | |
JP2011161584A (ja) | 研磨工具 | |
JP7140373B2 (ja) | 砥石 | |
JP4340184B2 (ja) | 砥石 | |
JP2014205225A (ja) | 高硬度脆性材料の研削用砥石 | |
JP5608623B2 (ja) | ロータリードレッサおよびその製造方法 | |
JP2006218577A (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
JP7417988B2 (ja) | 砥石、砥石ユニット及び工作機械 | |
JP7426692B2 (ja) | 砥石及び工作機械 | |
JP7418009B2 (ja) | 研磨プレート | |
JP6231334B2 (ja) | 薄板基板の研削加工方法およびそれに用いる研削加工装置 | |
JP2010036303A (ja) | 半導体ウェーハ裏面研削用砥石及び半導体ウェーハ裏面研削方法 | |
JP7441527B2 (ja) | 砥石 | |
CN110871407A (zh) | 抛光垫修整器及化学机械平坦化的方法 | |
JP6199231B2 (ja) | ラップ加工用砥石 | |
WO2018150918A1 (ja) | 砥石、その製法及び多結晶基板の研磨方法 | |
JP6286196B2 (ja) | 砥石およびそれを用いる研削装置 | |
TWM537518U (zh) | 拋光墊修整裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220315 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220816 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7140373 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |