JP2020011874A5 - - Google Patents
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Description
そこで、本発明方法においては、基板形状のLT結晶両面に多孔質アルミナ板を重ね合わせて積層構造体とし、かつ、アルミニウム板を介して複数の上記積層構造体を重ね合わせて積層集合体とすることで、アルミニウム板の酸化反応によりLT結晶周辺に存在する不活性ガスの酸素分圧を低下させてLT結晶に酸素空孔を導入する条件が得られ、更に、上記多孔質アルミナ板が介在して基板形状のLT結晶とアルミニウム板が接触しないため、上記還元むら(点状色むら)の発生が抑制される。
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