JP2019537223A - 試験片を検査する方法および荷電粒子マルチビーム装置 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態1:荷電粒子ビーム装置内で1次荷電粒子ビームレットのアレイによって試験片を検査する方法であって、荷電粒子ビーム源の荷電粒子ビームエミッタによって1次荷電粒子ビームを生成することと、1次荷電粒子ビームによって多開孔レンズ板を照射して、集束された1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成することと、開孔部を含む少なくとも2つの電極によって荷電粒子ビーム装置の像面湾曲を補正することと、1次荷電粒子ビームレットをレンズによって荷電粒子ビーム装置の対物レンズの方へ誘導することと、レンズ内に配置された偏向器アレイを通って1次荷電粒子ビームレットを案内することであり、レンズおよび偏向器アレイの複合動作により、1次荷電粒子ビームレットが荷電粒子ビーム装置の対物レンズのコマフリー点を通って誘導される、案内することと、対物レンズによって試験片上の別個の場所に1次荷電粒子ビームレットを集束させ、試験片を別個の場所で同時に検査することとを含む方法。
Claims (27)
- 荷電粒子ビーム装置内で1次荷電粒子ビームレットのアレイによって試験片を検査する方法であって、前記荷電粒子ビーム装置は、前記荷電粒子ビーム装置のz方向に延びる光軸を有し、前記方法は、
荷電粒子ビームエミッタによって1次荷電粒子ビームを生成することと、
前記1次荷電粒子ビームによって表面を有する多開孔レンズ板を照射して、集束された前記1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成することと、
前記多開孔レンズ板の前記表面上に少なくとも第1の電極によって電界を生成することであり、
前記少なくとも第1の電極によって提供される前記電界のz方向における電界成分が非回転対称である、生成することと、
対物レンズによって前記試験片上の別個の場所に前記1次荷電粒子ビームレットを集束させ、前記試験片を前記別個の場所で同時に検査することとを含む方法。 - 前記少なくとも第1の電極は、前記伝播する1次荷電粒子ビームレットの方向で、前記開孔レンズ板の前に配置される、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも第1の電極は、前記伝播する1次荷電粒子ビームレットの方向で、前記開孔レンズ板の後に配置される、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも第1の電極によって提供される前記電界の非回転対称のz成分は、前記少なくとも第1の電極が円周方向に少なくとも2つの別個の電極セグメントに区分けされることによって提供され、特に区分けされた前記少なくとも第1の電極は、双極子、4極子、またはより高次の極を提供する、請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも第1の電極によって提供される前記電界の非回転対称のz成分は、前記少なくとも第1の電極が、前記荷電粒子ビーム装置の前記光軸に直交する平面に対して傾斜していることによって提供される、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。
- 前記試験片のサンプル傾斜または局所的サンプル傾斜を測定することと、
前記傾斜に比例する電界強度または前記サンプル傾斜もしくは前記局所的サンプル傾斜を少なくとも部分的に補償する電界強度を有する前記電界を生成することと
をさらに含む、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。 - 走査偏向器によって前記試験片の上で前記1次荷電粒子ビームレットを走査させることをさらに含み、前記多開孔レンズ板の前記表面上に前記少なくとも第1の電極によって生成される前記電界のz成分は、前記走査偏向器の励磁に比例する振幅を有する、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。
- 1次荷電粒子ビームレットのアレイによって試験片を検査する荷電粒子ビーム装置であって、前記荷電粒子ビーム装置のz方向に延びる光軸を備え、前記荷電粒子ビーム装置は、
1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成する荷電粒子ビーム源であり、
荷電粒子ビームを放出する荷電粒子ビームエミッタ、および
表面を有する多開孔レンズ板を備え、前記多開孔レンズ板は、1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成および集束させるために少なくとも2つの開口を備え、前記1次荷電粒子ビームによって照射されるように配置される、荷電粒子ビーム源と、
前記多開孔レンズ板の前記表面上に電界を生成する少なくとも第1の電極であり、半径方向、円周方向、および前記1次荷電粒子ビームまたは前記1次荷電粒子ビームレットが通過する開孔部を有し、
円周方向に少なくとも2つの別個の電極セグメントに区分けされた少なくとも第1の電極と、
前記1次荷電粒子ビームレットのアレイのうちの各1次荷電粒子ビームレットを前記試験片上の別個の場所へ集束させる対物レンズとをさらに備える荷電粒子ビーム装置。 - 前記別個の電極セグメントは、異なる電圧によって別個に付勢可能であり、特に区分けされた前記第1の電極は、双極子、4極子、またはより高次の極を提供する、請求項8に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記少なくとも第1の電極は、前記伝播する1次荷電粒子ビームレットの方向で、前記開孔レンズ板の前に配置される、請求項8または9に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記少なくとも第1の電極は、前記伝播する1次荷電粒子ビームレットの方向で、前記開孔レンズ板の後に配置される、請求項8または9に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記試験片の上で前記1次荷電粒子ビームレットを走査させる走査偏向器をさらに備える、請求項8から11までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記少なくとも第1の電極は、前記荷電粒子ビーム装置の前記光軸に直交する平面に対して傾斜している、請求項8から12までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 1次荷電粒子ビームレットのアレイによって試験片を検査する荷電粒子ビーム装置であって、前記荷電粒子ビーム装置のz方向に延びる光軸を備え、前記荷電粒子ビーム装置は、
1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成する荷電粒子ビーム源であり、
荷電粒子ビームを放出する荷電粒子ビームエミッタ、ならびに
1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成および集束させるために少なくとも2つの開口を備える多開孔レンズ板を備え、前記多開孔レンズ板は、前記1次荷電粒子ビームによって照射されるように配置される、前記荷電粒子ビーム源と、
前記多開孔レンズ板の表面上に電界を生成する少なくとも第1の電極であり、前記1次荷電粒子ビームまたは前記1次荷電粒子ビームレットが通過する開孔部を有し、
前記荷電粒子ビーム装置の前記光軸に直交する平面に対して傾斜している少なくとも第1の電極と、
前記1次荷電粒子ビームレットのアレイのうちの各1次荷電粒子ビームレットを前記試験片上の別個の場所へ集束させる対物レンズとをさらに備える荷電粒子ビーム装置。 - 前記第1の電極は、どちらも前記z方向に直交するxまたはy方向に傾斜している、請求項14に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の電極は、前記伝播する1次荷電粒子ビームレットの方向で、前記開孔レンズ板の前に配置される、請求項14または15に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の電極は、前記伝播する1次荷電粒子ビームレットの方向で、前記開孔レンズ板の後に配置される、請求項14または15に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の電極は、円周方向に少なくとも2つの別個の電極セグメントに区分けされる、請求項14から17までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記荷電粒子ビーム装置は、前記試験片を傾斜させて支持するように適合される、請求項14から18までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 試験片を検査するマルチカラム顕微鏡であって、
1次荷電粒子ビームレットのアレイによって試験片を検査する荷電粒子ビーム装置を備え、前記荷電粒子ビーム装置は、前記荷電粒子ビーム装置のz方向に延びる光軸を備え、前記荷電粒子ビーム装置は、
1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成する荷電粒子ビーム源をさらに備え、前記荷電粒子ビーム源は、
荷電粒子ビームを放出する荷電粒子ビームエミッタ、
1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成および集束させるために少なくとも2つの開口を備える多開孔レンズ板であり、前記1次荷電粒子ビームによって照射されるように配置された多開孔レンズ板、ならびに
前記多開孔レンズ板の表面上に電界を生成する少なくとも第1の電極であり、前記1次荷電粒子ビームまたは前記1次荷電粒子ビームレットが通過する開孔部を有し、
前記荷電粒子ビーム装置の前記光軸に直交する平面に対して傾斜しており、かつ/または円周方向に少なくとも2つの別個の電極セグメントに区分けされた少なくとも第1の電極を備え、前記荷電粒子ビーム装置は、
前記1次荷電粒子ビームレットのアレイのうちの各1次荷電粒子ビームレットを前記試験片上の別個の場所へ集束させる対物レンズをさらに備え、
前記マルチカラム顕微鏡は、
さらなる1次荷電粒子ビームレットのアレイを生成するさらなる荷電粒子ビーム源をさらに備える、マルチカラム顕微鏡。 - 前記対物レンズのコマフリー点を通って前記1次荷電粒子ビームレットのアレイのうちの1次荷電粒子ビームレットを案内するレンズモジュールおよび偏向器モジュールのうちの少なくとも1つ
をさらに備える、請求項8から13までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記対物レンズのコマフリー点を通って前記1次荷電粒子ビームレットのアレイのうちの1次荷電粒子ビームレットを案内するレンズモジュールおよび偏向器モジュールのうちの少なくとも1つ
をさらに備える、請求項13から19までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記対物レンズのコマフリー点を通って前記1次荷電粒子ビームレットのアレイのうちの1次荷電粒子ビームレットを案内するレンズモジュールおよび偏向器モジュールのうちの少なくとも1つ
をさらに備える、請求項20に記載のマルチカラム顕微鏡。 - 対物レンズアレイの前記それぞれの光軸へ前記1次荷電粒子ビームレットのアレイのうちの前記1次荷電粒子ビームレットを案内するコリメータレンズおよび偏向器アレイのうちの少なくとも1つを有するコリメータ
をさらに備える、請求項20または23に記載のマルチカラム顕微鏡。 - 前記対物レンズアレイは、個別の静電レンズおよび個別の磁気レンズのうちの1つまたは複数を備える、請求項24に記載のマルチカラム顕微鏡。
- 前記個別の静電レンズは、減速電界型レンズである、請求項25に記載のマルチカラム顕微鏡。
- 前記個別の磁気レンズは、共通の励磁コイルを有する、請求項25に記載のマルチカラム顕微鏡。
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