JP2019534567A - ２つのカムプロファイルを有するラッチ機構を伴う基板容器およびドア - Google Patents
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Abstract
基板容器のドアは、少なくとも２つのラッチ部材を作動させるためのラッチ機構を有する。基板容器は、前面開口基板容器または底部開口基板容器とすることができる。ラッチ機構は、第２の回転プロファイルと位相がずれている第１の回転プロファイルを有する回転可能なカムを有することができ、これにより、カムが非係合位置から係合位置にラッチ機構を作動させるよう回転すると、ラッチ部材が千鳥状に作動するようにドアフレーム内に設けられた第２の対応開口に第２のラッチ部材が係合する前に、第１のラッチ部材はドアフレーム内の第１の対応スロットに係合する。この千鳥状ラッチ構成により、システムにより提供される負荷の印加が、ラッチアームごとに、またはラッチアームのセットごとに最も効率的な方法で使用されることが可能となる。
Description
本開示は概して、基板容器に、より詳細にはこのような容器のドアをラッチおよびラッチ解除するために使用されるラッチ機構に関する。
例えばシリコンウェハなどの半導体基板は、処理中に多くの工程に供される。これは通常、処理のためにワークステーションまたは施設間で複数のウェハを輸送することを伴う。半導体ウェハは繊細であり、物理的接触または衝撃により、および静電気により損傷を受けやすい。さらに、半導体製造プロセスは、微粒子または化学物質による汚染に非常に敏感である。基板上の汚染物質の潜在的な負の効果を低減する方法として、汚染物質の発生を最小限にし、容器外部の汚染物質から基板を分離するために、特別な基板容器が開発されている。これらの容器は典型的には、容器外部の環境から容器本体内の基板を分離するために、ガスケット、シールまたは他の手段を有する取り外し可能なドアを含む。例示的な容器としては、前面開口統一ポッド（ＦＯＵＰｓ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄｓ）、前面開口搬送ボックス（ＦＯＳＢｓ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄｓ）、マルチアプリケーションキャリア（ＭＡＣｓ：Ｍｕｌｔｉ−Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｃａｒｒｉｅｒｓ）および標準機械インタフェースポッド（ＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）ポッド）が挙げられる。
半導体のスケールが小さくなるにつれて、すなわち単位面積当たりの回路数が増加するにつれて、微粒子の形での汚染物質が結果的により問題となっている。集積回路を潜在的に損傷する可能性のある微粒子の大きさが減少しており、分子レベルに近づいている。したがって、より良好な微粒子制御が、半導体ウェハの製造、加工、輸送、および保存の全段階で望ましい。さらに、回路形状が小さくなるにつれて、低酸素環境および低水分環境、あるいは低酸素環境または低水分環境におけるウェハ処理が有益である可能性がある。特に直径が大きい基板キャリアにおいて、ドアシールの有効性を最大化し、維持するための手段が必要とされている。
本開示は概して、基板容器、より具体的にはこのような容器のドアをラッチおよびラッチ解除するために使用されるラッチ機構に関する。
１つの例示的な実施形態では、基板容器は、複数の開口を有するドアフレームを画定する容器本体を含む。ドアはドアフレームに受容され、ドア内に配置されたラッチ機構を含む。ラッチは非係合位置と係合位置との間で作動可能な機構である。ラッチ機構は、第２の回転プロファイルとは位相がずれている第１の回転プロファイルを有する回転可能カムと、回転可能カムに連結された第１のラッチアームであって、第１および第２の遠位端を有し、ラッチ機構が係合位置にあるときにドアフレーム内の第１の対応開口内に受容されるように構成された第１のラッチ部材を含む第１のラッチアームと、回転可能カムに連結された第２のラッチアームであって、ラッチ機構が係合位置にあるときにドアフレーム内の第２の対応開口内に受容されるように構成された第２のラッチ部材を含む第２のラッチアームとを含む。非係合位置から係合位置へとラッチ機構を作動させるようカムを回転させると、第２のラッチ部材がドアフレーム内に設けられた第２の対応開口に係合する前の時点で、第１のラッチ部材がドアフレーム内の第１の対応開口に係合する。基板容器は、前面開口基板容器または底部開口基板容器とすることができる。
別の例示的な実施形態では、基板容器とともに使用されるドアが、第２の回転プロファイルとは位相がずれている第１の回転プロファイルを有する回転可能カムと、回転可能カムに連結された第１のラッチアームであって、第１および第２の遠位端を有し、非係合位置から係合位置に移動するように構成された第１のラッチ部材を含む第１のラッチアームと、回転可能カムに連結された第２のラッチアームであって、非係合位置から係合位置に移動するように構成された第２のラッチ部材を含む第２のラッチアームとを含むラッチ機構を含む。非係合位置から係合位置へとラッチ機構を作動させるためにカムを回転させると、第１のラッチ部材が第２のラッチアームの移動方向と略直交する方向に移動し、第２のラッチ部材が係合位置へと移行する前の時点で、第１のラッチ部材が係合位置へと移行する。
いくつかの実施形態では、基板容器のドアは、ドアの中心線から等距離に位置する２つのラッチ機構を含むことができる。各ラッチ機構は、２つのラッチ部材を有する水平側部アーム、ならびに、それぞれ１つのラッチ部材を有する上部および下部垂直アームを含み、これにより、基板容器のドアはドアの周囲の周りに分布する８つのラッチを含み、２つのラッチ部材がドアの右側に配置され、２つのラッチ部材がドアの左側に配置され、２つのラッチ部材がドアの頂部に配置され、２つのラッチ部材がドアの底部に配置されている。ラッチ機構は、互いに位相がずれている２つの独立した回転プロファイルを有するカムを含み、これにより、ラッチ機構を作動させるためにカムを回転させると、ドア各側に位置するラッチ部材は、ドアの頂部と底部とに位置するラッチ部材が非係合位置から係合位置に移行する前の時点で、非係合位置から係合位置に移行される。ドアフレームによって画定されるようにドアが容器本体の開口内に装着されると、ラッチ部材の各々は、係合位置にある際にドアフレーム内に設けられた対応スロット内に係合される。
前述の概要は、本開示に特有の革新的ないくつかの特徴の理解を容易にするために提供されるものであり、完全な説明であることを意図するものではない。本開示の完全な理解は、明細書全体、特許請求の範囲、図面、および要約を全体として考慮することによって得ることができる。
添付の図面に関連して、様々な例示的実施形態の以下の説明を参酌して、開示はより完全に理解され得る。
本開示は様々な修正および代替形態が可能であるが、その具体例は、例として図面に示されており、詳細に説明されるであろう。しかし、記載された特定の例示的な実施形態に開示の態様を限定する意図ではないことが理解されるべきである。逆に、本開示の精神および範囲内に入るすべての修正、均等物および代替物を対象とする意図である。
本明細書および添付の特許請求の範囲において使用される際に、内容が明確に別途指示しない限り、単数形は複数の対象を含む。本明細書および添付の特許請求の範囲において使用される際に、内容が明確に別途指示しない限り、用語「または」は概して、「および／または」を含むその意味で採用される。
以下の詳細な説明は、図面を参照して読まれるべきであり、異なる図面における同様の要素には同じ番号が付けられている。詳細な説明と図面とは、必ずしも縮尺通りではなく、例示的な実施形態を示し、本開示の範囲を限定するものではない。図示の例示的な実施形態は、例示としてのみ意図されている。明確に反対のことが述べられない限り、任意の例示的な実施形態の選択された特徴は、さらなる実施形態に組み込まれ得る。
図１〜図２は、複数の基板を保持するように構成された例示的な基板容器２０を示している。例示的な基板は、以下のものを含むことができるが、これらに限定されない：生シリコンウェハ、半加工シリコンウェハ、貼り合わせウェハ、フラットパネル、ガラスパネル、プリント回路基板、および／または同様のもの。１つの例では、基板容器２０は、半導体製造産業で使用される複数のウェハを収容するように構成されている。基板容器２０は、例えば前面開口統一ポッド（ＦＯＵＰ）、前面開口搬送ボックス（ＦＯＳＢ）またはマルチアプリケーションキャリア（ＭＡＣ）などの任意の前面開口基板キャリアであり得る。いくつかの場合において、基板容器は、標準的機械インタフェースポッドすなわちＳＭＩＦポッドまたはレチクルＳＭＩＦポッドなどの底部開口容器とすることもできる。簡略化のために、図１〜図２に示すように、本明細書に記載される実施形態は、ＦＯＵＰの文脈にて記述される。しかし、本明細書に開示される概念の多くは、本明細書に説明される容器以外の、異なるサイズ、形状および寸法を有するものを含む他の基板容器または他のキャリアへの適用可能性を有し得ることが当業者によって概して理解されるであろう。例えば、容器は概して円筒形の本体と、概して円形の開口とを有し得る。また、基板容器は、基板の特定のサイズに限定されるものではない。むしろ、本明細書に記載の実施形態は、異なるサイズの異なる基板キャリアに適用可能である。例えば、本明細書に記載の実施形態は、直径３００ｍｍのウェハまたは直径４５０ｍｍのウェハを収容するように構成されたキャリアに適用可能であるが、これらに限定されない。
基板容器２０は、種々の熱可塑性ポリマー材料、より具体的には粒子脱落を最小限に抑えるように設計された熱可塑性ポリマーから作られ得る。いくつかの場合において、基板容器２０は、低水蒸気透過率および静電気散逸材料、あるいは低水蒸気透過率または静電気散逸材料を提供するバリア材料を含み得る。基板容器２０の全部ではないとしても一部を、射出成形することができる。
図１および図２に示すように、基板容器２０は、容器本体２２およびドア２４を含む。容器本体２２は、ロボティックフランジ３０を伴う頂部２６と、キネマティックカップリングプレート３４を有する底部３２と、左側３６と、右側３８と、多数の基板を支持するためのウェハ棚４６を伴う開放内部４４に通じるドア開口４２を画定するドアフレーム４０とを含む。いくつかの場合において、示されるように、一対の側部ハンドル２８を容器本体２２の左側３６および右側３８に設けることができ、これにより、人が容器２０をピックアップし、手動で移動し得るが、これは必須ではない。
ドア２４は、ベース４８に固定されたカバー（図示せず）を含む。ドアカバーとベース４８とは、本明細書でより詳細に説明するように、ドアラッチ機構５２を含むエンクロージャを画定するように協働する。いくつかの場合では、ラッチ機構５２がラッチ機構カバー５４を含むことができる。ラッチ機構カバー５４は、ラッチ機構５２を覆うパネルを含むことができる。
ドア２４がドアフレーム４０内に受容されたときに、シールがドア２４とドアフレーム４０との間に形成され、これは、ウェハ容器の外部環境からウェハ容器２０内に含まれる基板を分離するのに役立つ。多くの場合、ドア２４とドアフレーム４０との間のシールの形成を補助するために、ガスケット（図示せず）がドアの周囲に設けられる。さらに、フレーム４０内にドア２４を固定するために使用される、例えばラッチ機構５２などの１つ以上のラッチ機構が、ドア２４とドアフレーム４０との間に形成されたシールの品質に影響を与える可能性がある。
時にコンダクタンスとも称されるが、ウェハ容器１０の微小環境への水分および酸素、あるいは水分または酸素の漏れは、既知の問題である。密閉容器１０の微小環境中の酸素の量および相対湿度、あるいは酸素の量または相対湿度についての改善された制御のための要件の増加に伴って、ドア２４が容器本体２２のドアフレーム４０内に受容され、容器１０が閉じられ、ラッチ機構５２が係合される場合に、ドア２４とドアフレーム４０との間のシールの有効性および頑健性、あるいは有効性または頑健性を達成し、維持するための必要性が増大している。
様々な実施形態による本明細書に記載のラッチ構成は、容器本体２２の周囲に分布する複数のラッチまたはラッチ部材を利用する。少なくとも４つのラッチ部材を、容器本体２２の周囲に分布させることができる。いくつかの例では、ラッチ構成は、容器本体２２の周囲に分布する６個、８個、または１０個のラッチ部材を含むことができる。容器本体２２の周囲に分布する６個、８個、または１０個ものラッチ部材を利用するラッチ構成では、ラッチ作用は、ドア２４の周囲についてより対称的である。さらに、ラッチ部材を作動させるために使用されるラッチ機構５２により印加されるフレーム４０への負荷は、より均等にドアフレーム４０の周囲に分布され、半導体処理施設内のオーバーヘッド輸送システム（ＯＨＴ）によって容器１０が輸送される場合は特に、ドア２４が撓むまたは歪曲する傾向を低減する。ドア２４の撓みを最小限にすることにより、ドア２４とドアフレーム４０との間に作成されたシールの品質を向上させることができ、これにより、酸素および水分、あるいは酸素または水分のコンダクタンスを低下させ得る。１つの例示的な実施形態において、図２〜図３Ｂに見られるように、ラッチ構成は８つのラッチ部材を含む：ドア２４の頂部６０に沿って位置する２つのラッチ部材５８；ドア２４の底部６４に沿って位置する２つのラッチ部材６２；ドア２４の各側６８（左右）に位置する２つのラッチ部材６６。
図３Ａおよび図３Ｂは、ラッチ機構５２を露出させるよう、ラッチカバー５４が外されたドア２４の図を示す。図４Ａおよび４Ｂは、ドアアセンブリから分離したラッチ機構５２の上部と下部の図を示す。図３Ａおよび図４Ａは、ラッチ解除位置でのラッチ機構５２を示し、図３Ｂおよび図４Ｂは、ラッチ位置でのラッチ機構５２を示す。各ラッチ機構５２を、ドア２４の中心線７２から等しい距離だけ離れて配置することができる。いくつかの場合では、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、右ラッチ機構５２は、左ラッチ機構５２の鏡像である。したがって簡略化のために、左右のラッチ機構５２の両方の特徴を示して説明するために、左ラッチ機構５２が使用されるであろう。
図３Ａ〜図４Ｂをまとめて参照すると、各ラッチ機構５２はそれぞれ、ドア２４の各側部６８に位置するラッチ部材６６を作動させるための側部または水平ラッチアーム８０と、ドア２４の頂部６０および底部６４に位置するラッチ部材５８，６２を作動させるための上部および下部ラッチアーム８２，８４とを含む。側部ラッチアーム８０と上部および下部ラッチアーム８２，８４との各々は、カム７６に作動可能に接続されている。その中心軸周りのカム７６の回転により、ラッチアーム８０，８２および８４が第１の位置から第２の位置へと移動し、したがって、非係合またはラッチ解除位置から係合またはラッチ位置へとラッチ機構５２を移行させる。第１の位置では、ラッチ部材５８，６２および６６は後退位置にあり、ドアフレーム（図示せず）に設けられた対応スロットからそれぞれ非係合となる。したがって、ラッチ機構５２が非係合またはラッチ解除位置にある（図３Ａ）。いくつかの場合では、非係合位置は完全非係合位置にあり、ラッチ部材５８，６２および６６のそれぞれが後退位置にある。第２の位置では、ラッチ部材５８，６２および６６の少なくとも一部がドアフレーム（図示せず）内に設けられた対応スロット内に係合し、したがって、ラッチ機構５２が係合位置にある（図３Ｂ）。完全係合位置となるためには、ラッチ部材５８，６２および６６のすべてがドアフレーム内に設けられた対応スロット内に受容される。いくつかの場合では、カム７６の回転により、ラッチ部材５８，６２および６６が後退してドアフレーム内に設けられた対応スロット内に受容されない完全非係合位置から、ラッチ部材５８，６２および６６の少なくとも一部がドアフレーム内に設けられた対応スロット内に少なくとも部分的に受容される部分係合位置へとラッチ部材５８，６２および６６が移行する。カム７６のさらなる回転により、少なくとも側部ラッチ部材６６がドアフレーム内に設けられた対応スロット内に少なくとも部分的に受容された少なくとも部分的に係合した位置から、すべてのラッチ部材５８，６２および６６がドアフレーム内に設けられた対応スロット内に係合される完全係合位置へとラッチ機構５２がさらに移行する。
カム７６が回転すると、各ラッチ機構５２は、側部ラッチアーム８０が上部および下部ラッチアーム８２，８４の移動方向に略直交する方向に移動するように構成されている。略直交との用語は、８０度〜１１０度として規定することができる。他の場合には、ラッチアーム８０が、上部および下部ラッチアーム８２，８４への移動方向に対して直交または約９０度である方向に移動する。例えば、カム７６が回転すると、側部または水平ラッチアーム８０は、ドア２４の中心線７２から離れる第１の方向に移動し、上部および下部ラッチアーム８２，８４は、ドア２４の中心線７２に平行な第２の方向に移動する。水平ラッチアーム８０は、アームの両端に位置する第１および第２のローラ８３を含む。いくつかの場合には、ドア２４の内面に固定された、またはそれに一体に形成されたブロック構造８５に沿って従い乗り上げるように、ローラ８３を構成することができる。また、カム７６は、本明細書でより詳細に説明するように、２つの独立した回転プロファイルを含むように構成されている。
本明細書で述べたように、複数のラッチ部材を、ドアフレーム４０にドア２４を固定またはラッチするためにドアの周囲に分布させることができる。ドア２４をドア２４の周囲に分布する４個、６個、８個または１０個のラッチ部材を含むことができる。多数のラッチ部材がドア２４の周囲に分布されるように、側部ラッチアーム８０と上部および下部垂直ラッチアーム８２，８４とのそれぞれは、少なくとも１つのラッチ部材を含む。側部ラッチアーム８０は、少なくとも１つのラッチ部材６６および４個もの数のラッチ部材６６を含むことができる。いくつかの場合では、示すように、側部ラッチアーム８０は、２つのラッチ部材６６を含む。各ラッチ部材６６は、側部ラッチアーム８０に接続され、これにより、本明細書に記載されるようにドア２４がドアフレーム４０内に受容され、ラッチ機構５２が非係合位置から係合位置へと作動された場合、ラッチ部材６６は、ドアフレーム４０内に設けられた対応ロット内に受容される。加えて、いくつかの場合では、上部および下部垂直ラッチアーム８２，８４はそれぞれ、各遠位端が連結されたラッチ部材５８，６２を含む。動作時に、ドア２４がドアフレーム４０内に受容され、ラッチ機構５２が非係合から係合位置に作動されると、ラッチ部材５８，６２はドアフレーム４０内に設けられた対応開口またはスロット内に受容される。いくつかの場合では、ラッチ部材５８，６２および６６の各々は、ピボットピンを含むことができ、それぞれのラッチアーム８０，８２および８４に連結され、これにより、それらがピボットピンの周りを旋回または回転するように構成されている。
動作時に、カム７６は時計回りまたは反時計回りのいずれかの方向に十分な量だけ回転し、これにより、ラッチアーム８０，８２，８４ならびに対応ラッチ部材５８，６２および６６が第１の位置から第２の位置へと移動する。例えば、カム７６を反時計回り方向に９０度だけ回転させることができ、これにより、ラッチアーム８０，８２，８４が図３Ａおよび図４Ａに示す非係合位置から図３Ｂおよび図４Ｂに示す係合位置に移動する。先に述べたように、カム７６は、互いに位相がずれている２つの独立したカムプロファイルを含み、これにより、動作時に側部ラッチ部材６６は、上部および下部ラッチ部材５８，６２がドアフレーム４０に係合する前の時点でドアフレーム４０に係合する。
多くの実施形態では、ばね８８が、第１のピボットポイント９２でカム７６に、第２のピボットポイント９４でドア２４にも連結される。いくつかの場合では、ばね８８が、示すようにＳ字状のばねであり得る。第１および第２のピボットポイント９２，９４はそれぞれ、カム７６に設けられたボスおよびドア２４の内面９１で画定されることができる。ばね部材８８は、カム７６を回転的に拘束し、中立にバイアスされ、カムがラッチまたはラッチ解除位置のいずれかにあるときにカム７６に何ら付勢力を発揮しない。ばね８８は、カム７６の初期回転位置に応じて第１の好ましい位置（非係合またはラッチ解除）または第２の好ましい位置（係合またはラッチ）のいずれかに向かってカム７６を付勢する回転付勢力を提供する。例として、カム７６が図３Ａに示される中立位置から反時計回りに回転すると、ばね８８は圧縮中に付勢され、最初に時計回りの回転方向にカム７６に着実に増加した回転付勢力を及ぼす。カム７６がさらに反時計回りに回転し、その回転移動範囲のほぼ中間点に到達すると、ばね８８の付勢力はカム７６の中心を通って導かれる。この位置では、ばね８８は圧縮されているが、カム７６に全く回転付勢力を与えない。カム７６がその回転移動範囲の中間点を過ぎて反時計回り方向にさらに回転すると、ばね８８は、今度は反時計回り方向にカム７６を付勢する付勢力を発揮する。反時計回り方向にさらにカム７６が回転すると、ばね８８によって及ぼされる回転付勢力は、ばね８８が圧縮解除すると着実に減少する。
動作中に、カム７６は、約９０度の回転移動範囲を経験する。ばね８８は、カムのほぼ全回転移動範囲にわたって回転付勢力を提供する。カム７６がその回転範囲の中間点にあるとき、および、それが非係合（ラッチ解除）または係合（ラッチ）位置のいずれかにあるとき、ばね８８によってはカム７６には付勢力はまったく作用しない。したがって、ばね部材８６がその好ましい位置に向かってカム部材６８を付勢する回転付勢力を提供する効果的な回転範囲は、各方向にほぼ４５度である。
先に述べたように、各カム７６は、２つの独立した回転プロファイルを含む。各回転プロファイルは、ラッチアームのそれぞれに関連する。例えば、第１の回転プロファイルは側部ラッチアーム８０と関連し、第２の回転プロファイルは上部および下部ラッチアーム８２，８４の双方に関連している。２つの独立した回転プロファイルは、それらが互いに位相がずれているように構成されている。いくつかの場合において、第１の回転プロファイルは、約１０度〜約３０度だけ第２の回転プロファイルと位相がずれている。他の場合には、第１の回転プロファイルは、約１５度〜約２５度だけ、より詳細には約１７度〜約２３度だけ第２の回転プロファイルと位相がずれている。１つの実施形態では、第１の回転プロファイルは、約２０度だけ第２の回転プロファイルと位相がずれている。
２つの独立した回転プロファイルを有するカム７６を利用すると、ラッチ部材５８，６２および６６の係合のタイミングに影響を与える。同一時点でラッチアーム８０，８２，８４のすべてが非係合またはラッチ解除位置から係合またはラッチ位置へと作動されるよりもむしろ、側部ラッチアーム８０を上部および下部ラッチアーム８２，８４とは異なるカム７６上の回転プロファイルに従わせると、側部ラッチ部材６６を頂部および底部ラッチ部材５８，６２とは異なる時点で作動させることが可能となる。単一アームが側部ラッチ部材６６を作動させるために使用され、第１の回転プロファイルと関連しているので、側部ラッチ部材６６はラッチ部材の第１のセットと考えることができる。同様に、頂部および底部ラッチ部材５８，６２の両方が第２の回転プロファイルと関連しているので、頂部および底部ラッチ部材５８，６２は、ラッチ部材の第２のセットとして規定することができる。２つの異なる回転プロファイルを提供すると、千鳥状にシステムによって提供される利用可能な負荷の印加を容易にし（例えば、利用可能な負荷は、ドアラッチ部材の第１のセットにまず印加され、次にドアラッチ部材の第２セットに印加される）、カム７６が、回転プロファイルの各々に関連するラッチ部材の数で分割された利用可能な負荷に等しいドア２４のラッチまたはラッチ解除のためにラッチ部材５８，６２および６６を作動させるためのおよそのトルク量を印加することが可能となり、単一ラッチ部材またはラッチ部材のセットを作動するために利用可能なトルク量が実質的に増加する。互いに位相がずれている２つの回転プロファイルを有するカム７６を提供することにより、各ドアラッチ機構５２によりドアに印加され得るトルク量が増大し、したがってドア２４とドアフレーム４０との間の頑健なシールを維持するためのクランプ力の量が増大する。
他の実施形態では、ラッチ部材またはラッチ部材のセットの数に等しい回転プロファイルの数を伴う回転可能カムを、各個々のラッチ部材またはラッチ部材のセットに利用可能な負荷を印加するために使用することができる。１つの実施形態では、回転可能カムは、３つの独立した回転プロファイルを含むことができ、各プロファイルは、ラッチ機構の構成に依存するラッチ部材またはラッチ部材のセットに関連する。例えばラッチ機構は、３つのラッチアームを含むことができ、各ラッチアームは、３つの独立した回転プロファイルのうちの１つに従うように構成される。各ラッチアームは、合計６つのラッチ部材について２つのラッチ部材のセットを含み得る。カムの各回転プロファイルに関連する利用可能なトルクは、回転プロファイルの各々に関連するラッチ部材の数で分割された利用可能な負荷に等しい。例えば、２つのラッチ部材が回転プロファイルに関連する場合、利用可能な負荷は２つに分割されるであろう。回転プロファイルに関連する３つのラッチ部材を有する実施形態では、利用可能な負荷は３つに分割されるであろう。別の実施形態では、回転可能カムは、４つの独立した回転プロファイルを含むことができ、各プロファイルは各アームにつき２つのラッチ部材または合計８つのラッチ部材についてラッチ部材の１つのセットを作動させるためのラッチアームに関連する。この場合には、利用可能なトルクは、所与の回転プロファイルに関連する数のラッチ部材で分割された利用可能な負荷に等しい。本明細書で説明するように、独立したカムプロファイルは、千鳥状にシステムによって提供される利用可能な負荷の印加を容易にする（例えば、第１の利用可能な負荷は、ドアラッチ部材の第１のセットにまず印加され、次にドアラッチ部材の第２のセットに第２の負荷が印加され、最後にラッチ部材の第３のセットに第３の負荷が印加される）。
図５Ａ〜図５Ｄは、第１の回転プロファイルおよび第２の回転プロファイルを含むカム７６の様々な図を示す。カム７６は、上面９４と下面９６とを有する板状カム部分７８を含む。第１の回転プロファイルは、上面９４から下面９６へと板状カム部分７８を通って延びる第１および第２の湾曲開口またはスロット１０２，１０４によって画定される。第１の回転プロファイルを画定する第１および第２のスロット１０２，１０４は、カム７６の中心軸ｘに直交する平面内に延びている（図５Ａおよび図５Ｂ）。第２の回転プロファイルは、カム７６の中心軸ｘから離れるように延びる肩部またはローブ１１０によって画定される。第２の回転プロファイルを画定するローブ１１０はまた、中心軸ｘと直交して、第１の回転プロファイルを画定するスロット１０２，１０４が延びる平面に平行な平面内に延びている。図５Ａ〜図５Ｄに示すように、板状カム部分７８がローブ１１０の上方に配置される。いくつかの場合では、カム７６はまた、キャリアのドア２４と自動化機器との間の相互作用を容易にするためのキーホール１１４を含むことができる。また、図５Ｂおよび図５Ｄに最もよく示されるように、カム７６は、図３Ａおよび図３Ｂに示すようにばね８８の取り付けのためのピボットポイントを画定する第１のボス９２と、係合位置から非係合位置への側部ラッチアームの復帰を支援するための第２のボス１１６とを含む。
側部ラッチアーム８０の復帰を支援するために板状カム部分７８に設けられた第２のボス１１６の代替として、カム７６は、内面を有する第３の湾曲開口またはスロットを有する第２の略板状カム部分を含むことができる。第３の湾曲開口またはスロットの内面の第１の部分がローブ１１０を画定する。第１の部分の反対の内面の第２の外側部分が第３の湾曲開口またはスロットの外側曲率を画定する。側部アームに連結されたローラは、第３のスロット内に配置される。側部ラッチアームが第１の非係合位置から第２の係合位置に作動されると、ローブ１１０はローラ上を押してローラにスロット内を移動させ、これにより、それがローブ１１０の曲率に従う。側部ラッチアームが第２の係合位置から第１の非係合位置に作動されると、ローラは内面の第２の部分により画定される第３の湾曲開口の外側曲率に従う。
図６Ａ〜図６Ｄは、ラッチ機構の底部から見た作動の種々の段階における例示的なラッチ機構５２の拡大概略図を示す。図６Ａは、完全非係合位置におけるラッチ機構５２を示し、図６Ｄは、完全係合位置におけるラッチ機構５２を示す。図６Ａ〜図６Ｄに見られるように、ローラ１２０は、上部および下部ラッチアーム８２，８４の遠位端に設けられている。ラッチ機構５２がラッチ解除から係合位置へと作動されると、カム７６が第１の非係合位置（図６Ａ）から第２の係合位置（図６Ｄ）へと第１の方向に回転される際に、ローラ１２０は第１の回転プロファイルを画定する第１および第２の湾曲スロット１０２，１０４において移動する。カム７６が回転すると、ローラ１２０はスロット１０２，１０４において移動し、これにより、ラッチアーム８２，８４が、図６Ｂおよび図６Ｃに示すように徐々にカム７６の中心から離れて延びる。また、第２の回転プロファイルを画定するローブまたは肩部１１０は、水平ラッチアーム８０の下側に設けられたローラ１２２に接触し（図６Ｂおよび図６Ｃ）、矢印で示すように、第１および第２のラッチアーム８２，８４の延在方向と直交してドアの中心から離れる方向に外側に水平ラッチアーム８０を押し始める。図６Ｃに示すように、第２の回転プロファイルを画定するローブ１１０は、水平ラッチアーム８０に完全に係合し、したがって、上部および下部ラッチアーム８２，８４がその完全延在位置に到達する前に、水平ラッチアーム８０を完全に延ばし、側部ラッチ部材をドアフレームに係合させる。加えて、上部および下部ラッチアーム８２，８４のローラ１２０が図６Ｄに示すようにそれぞれ第１および第２のスロット１０２，１０４内の第２の位置に到達する前に、カム７６がドウェル状態に入り、側部ラッチ部材がドアフレームと係合しているときと、頂部および底部ラッチ部材がドアフレームと係合しているときとの間にタイミング遅延を発生させる。上部および下部ラッチアーム８２，８４のローラ１２０が、図６Ｄに示すように第１の回転プロファイルを画定する第１および第２のスロット１０２，１０４内の第２の位置にあるときに、頂部および底部ラッチ部材が係合される。
ここで図７〜図１０Ｃを参照すると、このように密閉されたエンクロージャを提供する容器本体２２のドアフレーム４０内のドア２４を固定するためのラッチ機構１５２の別の実施形態が示されている。図７は、係合（ラッチ）位置におけるラッチ機構１５２を示している。図８Ａおよび図８Ｂは、ドアアセンブリから分離したラッチ機構１５２の上から見た図および下から見た図を示す。図９は、ラッチ機構１５２の分解図である。図７に見られるように、各ラッチ機構１５２は、ドア２４の中心線７２から等距離だけ離れて配置されている。いくつかの場合では、図７に示すように、左ラッチ機構１５２は、右ラッチ機構５２の鏡像である。したがって簡略化のため、左右のラッチ機構１５２の両方の特徴を示して説明するために左ラッチ機構１５２が使用されるであろう。
図７〜図１０Ｃをまとめて参照すると、各ラッチ機構５２はそれぞれ、ドア２４の両側１６８でラッチ部材１６６を作動させるための側部または水平ラッチアーム１８０、および、ドア２４の頂部および底部１６０，１６４でラッチ部材１５８，１６２を作動させるための上部および下部ラッチアーム１８２，１８４を含む。側部ラッチアーム１８０は、少なくとも１つのラッチ部材１６６および４つもの数のラッチ部材１６６を含むことができる。いくつかの場合では、側部ラッチアーム１８０は、２つのラッチ部材１６６を含む。各ラッチ部材１６６は、側部ラッチアーム１８０に接続され、これにより、ドア２４がドアフレーム４０内に受容されてラッチ機構１５２が非係合位置から係合位置へと作動されたときに、ラッチ部材１６６は、ドアフレーム４０内に設けられた対応開口またはスロット内に受容される。さらに、いくつかの場合では、上部および下部垂直ラッチアーム１８２，１８４はそれぞれ、それらの各遠位端に連結されたラッチ部材１５８，１６２を含む。動作時に、ドア２４がドアフレーム４０内に受容されてラッチ機構１５２がラッチ解除からラッチ位置へと作動されると、ラッチ部材１５８，１６２はドアフレーム４０内に設けられた対応開口またはスロット内に受容される。いくつかの場合では、ラッチ部材１５８，１６２および１６６のそれぞれは、ピボットピンを含み、それらの各ラッチアーム１８０，１８２および１８４に連結され、これにより、それらがピボットピンの周りで旋回または回転するように構成される。
図７〜図１０Ｃに示すように、側部ラッチアーム１８０ならびに上部および下部ラッチアーム１８２，１８４の各々は、作動可能にカム１７６に接続されている。いくつかの場合では、カム１７６は、図５Ａ〜図５Ｄを参照して詳細に説明したように、それが２つの独立した回転プロファイルを含むように構成されている。その中心軸周りにカム１７６が回転すると、ラッチアーム１８０，１８２および１８４をまず、図７に示すように第１の非係合（ラッチ解除）位置から第２の係合（ラッチ）位置に移動させる。カム１７６が回転すると、各ラッチ機構１５２は、水平ラッチアーム１８０は上部および下部ラッチアーム１８２，１８４の移動方向に直交する方向に移動するよう構成される。例えば、カム１７６が回転すると、側部または水平ラッチアーム１８０は、ドア２４の中心線１７２から離れる第１の方向に移動し、上部および下部ラッチアーム１８２，１８４は、ドア２４の中心線１７２に平行な第２の方向に移動する。
図８Ａ〜図９に最もよく示されるように、水平ラッチアーム１８０は、アーム１８０の各端部に配置されている第１および第２のローラ１８３を含む。しかし、ローラ８３がアーム８０のそれぞれの遠位端に位置している図３Ａ〜図４Ｂを参照して示されている実施形態とは異なり、図７〜図１０Ｃに図示した実施形態では、ローラ１８３は、アーム１８０のそれぞれの遠位端からわずかに内側に位置している。さらに、ローラ１８３は、ドア２４の内面１９１に固定または一体に形成されたブロック構造１８５に従ってそれに沿って乗り上げるように構成されている。ブロック構造１８５は、ローラ１８３、より具体的には水平アーム１８０のＸ方向への移動を防止する。
図７〜図９に示されているように、上部および下部ラッチアーム１８２，１８４の各々は、横方向に延びる側部アーム１９０を含むことができる。各側部アーム１９０は、それらの各上部および下部ラッチアーム１８２，１８４から離れて水平ラッチ１８０に向かう方向に延びる。いくつかの場合において、側部アーム１９０は、上部および下部ラッチアーム１８２，１８４の延在方向と直交する方向に延びている。ローラ１８３は、図７に示すようにラッチ機構１５２がラッチ位置にあるとき、上部および下部ラッチアーム１８４の側部アーム１９０と接触する。各側部アーム１９０の遠位端は、水平ラッチアーム１８０の各端部に提供されるローラ１８３と相互作用するように構成される。いくつかの場合では、側部アーム１９０はそれぞれ、各ローラ１８３のサイズおよび形状と一致するようにサイズおよび形状が定められた切欠部分２０６を含む。１つの実施形態において、切欠部分２０６は、ラッチ機構１５２がラッチ位置にあるときに側部アーム１９０の各遠位端に位置する各切欠部分２０６が各ローラ１８３にそれぞれ当接するようにローラ１８３の曲率に従う曲率を有する。
ローラ１８３が上部および下部垂直ラッチアーム１８２，１８４と相互作用する様式のため、図７に示すようにラッチ機構１５２がラッチ位置にあるときに水平ラッチアーム１８０の移動がＹ方向に拘束されている。これは、上部および下部ラッチアーム１８２，１８４がそれぞれ、ドアの内面１９１に固定され、またはいくつかの場合には一体に形成されているボス２０４に沿ってＸ方向に並進するよう構成されている少なくとも１つのスロット２０２を含むからである。いくつかの場合では、ボス２０４は上部および下部ラッチアーム１８２，１８４の移動を容易にするためにローラを含むことができる。水平ラッチアーム１８０は、ボスまたはローラ２０４に沿って並進する上部および下部ラッチアーム１８２，１８４の各側部アーム１９０と相互作用するので、ドア構造に結合されている。水平ラッチアーム、したがって側部ラッチ部材１６６はドア２４の内面に固定されたボス２０２にアンカリングされているので、水平ラッチアーム１８０、上部および下部垂直ラッチアーム１８２，１８４の間のこの構成は、ラッチ機構のときに側部ラッチ部材１６６を安定して支持する。加えて、水平ラッチアーム１８０、上部および下部垂直ラッチアーム１８２，１８４の間の構成は、より堅牢なラッチ構造を提供し、側部ラッチ部材１６６の力を最大にし、ラッチ部材１６６によって水平ラッチアーム１８０に印加される力の量によって引き起こされる水平ラッチアーム１８０の撓みを防止し得る。
動作時において、カム１７６を、ラッチアーム１８０，１８２，１８４を第１の位置から第２の位置へ移動させるよう、時計回りまたは反時計回り方向のいずれかに十分な量だけ回転させる。例えば、カム１７６を、示すようにラッチアーム１８０，１８２，１８４を非係合位置から係合位置へと移動させるよう、反時計回り方向に約９０度だけ回転させることができる。先に述べたように、カム１７６は、互いに位相がずれている２つの独立した回転プロファイルを含み、これにより、動作時に側部ラッチ部材１６６は、上部および下部ラッチ部材１５８，１６２がドアフレーム４０に係合する前の時点においてドアフレーム４０に係合する。
多くの実施形態において、ばね１８８は、第１のピボットポイント１９２でカム１７６に、また第２のピボットポイント１９４でドア２４に連結される。第１および第２のピボットポイント１９２，１９４はそれぞれ、カム１７６に設けられたボスおよびドア２４の内面１９１によって画定することができる。ばね部材１８８は、カム１７６を回転的に拘束し、中立にバイアスされており、カムがラッチまたはラッチ解除位置のいずれかにあるときにカム１７６に何らの付勢力も及ぼさない。ばね１８８は、図３Ａおよび図３Ｂを参照して本明細書に記載されるように、カム１７６の初期回転位置に応じて、第１の好ましい位置（ラッチ解除）または第２の好ましい位置（ラッチ）のいずれかに向かってカム１７６を付勢する回転付勢力を提供する。
カム１７６は、図５Ａ〜図５Ｄを参照して本明細書に記載されたカムと同様の構造および機能を有する。各カム１７６は、２つの独立した回転プロファイルを含む。２つの独立した回転プロファイルは、互いに位相がずれている。いくつかの場合において、第１の回転プロファイルは、約１０度〜約３０度だけ第２の回転プロファイルと位相がずれている。他の場合には、第１の回転プロファイルは、約１５度〜約２５度だけ、より詳細には約１７度〜約２３度だけ第２の回転プロファイルと位相がずれている。１つの実施形態では、第１の回転プロファイルは、約２０度だけ第２の回転プロファイルと位相がずれている。
２つの独立した回転プロファイルを有するカム１７６を利用すると、ラッチ部材１５８，１６２および１６６の係合のタイミングに影響を与える。一度に４つのラッチアームのすべてが作動されるよりもむしろ、側部ラッチアーム１８０を上部および下部ラッチアーム１８２，１８４とは異なる回転プロファイルに従わせると、側部ラッチ部材１６６を頂部および底部ラッチ部材１５８，１６２とは異なる時点で作動させることが可能となる。さらに、２つの異なるラッチプロファイルを提供すると、千鳥状にシステムによって提供される利用可能な負荷の印加を容易にし（例えば、第１の利用可能な負荷は、ドアラッチ部材の第１のセットにまず印加され、次に第２の負荷がドアラッチ部材の第２セットに印加される）、カム１７６が、個々の回転プロファイルに関連するラッチ部材の数で分割された利用可能な負荷に等しいドア２４のラッチまたはラッチ解除のためにラッチ部材１５８，１６２および１６６の各セットを作動させることを可能にするおよそのトルク量を印加することが可能となり、ラッチ部材の各セットのためのトルク量が大幅に増加する。互いに位相がずれている２つのカム回転プロファイルを有するカム１７６を提供することにより、各ドアラッチ機構１５２に印加され得るトルク量が増大し、したがってシールを維持するおよび基板を容器内に固定する、あるいはシールを維持するまたは基板を容器内に固定するためのクランプ力の量が増大する。異なる実施形態において、本明細書に記載されるように、ラッチ部材の数に等しい数の回転プロファイルを伴う回転可能カムを、各ラッチ部材に印加するトルクの量を最大にするように各個々のラッチ部材に利用可能な負荷を印加するために使用することができる。
図１０Ａ〜図１０Ｃは、ラッチ機構の下から見たときの作動の様々な段階における例示的なラッチ機構１５２の拡大模式図を示す。図１０Ａは、非係合位置におけるラッチ機構１５２を示し、図１０Ｃは、完全係合位置におけるラッチ機構１５２を示している。図１０Ａ〜図１０Ｃに見られるように、ローラ２２０は、上部および下部ラッチアーム１８２，１８４の遠位端に設けられている。ラッチ機構１５２が非係合から係合位置に作動されると、カム１７６が第１の非係合（ラッチ解除）位置（図１０Ａ）から第２の係合（ラッチ）位置（図１０Ｃ）へと第１の方向に回転されるので、ローラ２２０は第１の回転プロファイルを画定する第１および第２の湾曲スロット２１２，２１４内で移動する。カム１７６が回転すると、ローラ２２０がスロット２１２，２１４内で移動し、これにより、ラッチアーム１８２，１８４は、図１０Ｂおよび図１０Ｃに示すように徐々にカム１７６の中心から離れて延ばされる。また、ローラ１８３は、側部アーム１９０の切欠部分２０６の曲率に沿って摺動し始め、第２の回転プロファイルを画定するローブまたは肩部２１０が、水平ラッチアーム１８０の下面に設けられたローラ２２２に接触する（図１０Ｂ）。ローブがローラ２２２に接触すると、ローブ２１０は、ドアの中心から離れる方向であって第１および第２のラッチアーム１８２，１８４が延びる方向と直交する方向に外側に水平ラッチアーム１８０を押し始める。
図１０Ｃに示すように、第２の回転プロファイルを画定するローブ２１０は、完全に水平ラッチアーム１８０に係合し、したがって水平ラッチアーム１８０を完全に延ばして側部ラッチ部材を上部および下部ラッチアーム１８２，１８４がその完全延長位置に到達する前にドアフレームに係合させる。また、側部アーム１９０の切欠部分２０６は、水平アーム１８０のローラ１８３に当接し、したがってラッチ位置において水平ラッチアーム１８０を支持する。いくつかの場合において、カム１７６は、上部および下部ラッチアーム１８２，１８４のローラ２２０がそれぞれ第１および第２のスロット２１２，２１４内の第２の位置に到達する前にドウェル状態に入ることができ、側部ラッチ部材が係合されるときと頂部および底部ラッチ部材がドアフレームに係合されるときとの間にタイミング遅延を発生させる。上部および下部ラッチアーム１８２，１８４のローラ２２０が図１０Ｃに示すように第１の回転プロファイルを画定する第１および第２のスロット２１２，２１４内の第２の位置にあるとき、頂部および底部ラッチ部材が係合される。
本開示のいくつかの例示的な実施形態をこのように説明してきたが、さらに他の実施形態が添付の特許請求の範囲内でなされ、使用され得ることを当業者は容易に理解するであろう。この文書で対象とされる本開示の多くの利点は、前述の説明に記載されている。しかし、本開示は多くの点で単に例示にすぎないことが理解されるであろう。変更は、本開示の範囲を超えることなく、詳細において、特に部品の形状、サイズおよび構成の点で行うことができる。開示の範囲は、当然のことながら、添付の特許請求の範囲が表現される言語で規定される。
本開示は概して、基板容器及びドアに係り、より詳細にはこのような容器のドアをラッチおよびラッチ解除するために使用されるラッチ機構に関する。
Claims (20)
- 複数の開口を有するドアフレームを画定する容器本体と、
前記ドアフレームの周囲で受容されるドアと、
非係合位置と係合位置との間で作動可能な、前記ドア内に配置されたラッチ機構と、を備える基板容器であって、
前記ラッチ機構が
第２の回転プロファイルとは位相がずれている第１の回転プロファイルを有する回転可能なカムと、
回転可能な前記カムに連結された第１のラッチアームであって、前記ラッチ機構が前記係合位置にあるときに前記ドアフレームの第１の対応開口に受容されるように構成された第１のラッチ部材を有する第１のラッチアームと、
回転可能な前記カムに連結された第２のラッチアームであって、前記ラッチ機構が前記係合位置にあるときに前記ドアフレームの第２の対応開口に受容されるように構成された第２のラッチ部材を有する第２のラッチアームと、を備え、
前記カムが前記非係合位置から前記係合位置に前記ラッチ機構を作動させるよう回転するときに、前記第２のラッチ部材が前記ドアフレーム内に設けられた前記第２の対応開口に係合する前の時点において、前記第１のラッチ部材が前記ドアフレーム内の前記第１の対応開口に係合する、基板容器。 - 前記第１のラッチアームが前記第２のラッチアームの移動方向と略直交する方向に移動するように構成されている、請求項１に記載の基板容器。
- 前記第１の回転プロファイルは、前記カムに形成された第１および第２の湾曲スロットを備え、前記第２の回転プロファイルは、前記カムの中心軸から離れる方向に延びるローブを備える、請求項１に記載の基板容器。
- 前記第２の回転プロファイルは、前記カムの中心軸ｘに直交し、前記第１の回転プロファイルを画定する前記第１および第２の湾曲スロットの延在面に平行な平面内において延びる、請求項３に記載の基板容器。
- 前記第１のラッチアームは、前記第１および第２の端部のそれぞれに配置された第１および第２のローラを有し、前記第１および第２のローラは前記ドアの内面に固定されたブロックに沿って乗り上げるように構成されている、請求項１に記載の基板容器。
- 前記第２のラッチアームは、前記ラッチ機構が前記非係合位置から前記係合位置に移行されたときに前記第１のラッチアームの前記第１または第２のローラのいずれかと相互作用するように構成された側部アームを有する、請求項５に記載の基板容器。
- 前記第２のラッチアームは、前記ドアの内面に位置する固定されたボスに沿って並進するように構成された少なくとも１つのスロットを有する、請求項１に記載の基板容器。
- 前記ボスはローラを備える、請求項７に記載の基板容器。
- 前記第１の回転プロファイルは、１０度〜３０度だけ前記第２の回転プロファイルと位相がずれている、請求項１に記載の基板容器。
- 前記第１の回転プロファイルは、１７度〜２３度だけ前記第２の回転プロファイルと位相がずれている、請求項１に記載の基板容器。
- 非係合位置と係合位置との間で作動可能な、前記ドア内に配置された第２のラッチ機構をさらに備え、
前記第２のラッチ機構が、
第２の回転プロファイルとは位相がずれている第１の回転プロファイルを有する回転可能なカムと、
回転可能な前記カムに連結された第１のラッチアームであって、前記ラッチ機構が前記係合位置にあるときに前記ドアフレームの第１の対応開口に受容されるように構成された第１のラッチ部材を有する第１のラッチアームと、
回転可能な前記カムに連結された第２のラッチアームであって、前記ラッチ機構が前記係合位置にあるときに前記ドアフレームの第２の対応開口に受容されるように構成された第２のラッチ部材を有する第２のラッチアームと、を備え、
前記カムが前記非係合位置から前記係合位置に前記ラッチ機構を作動させるよう回転するときに、前記第２のラッチ部材が前記ドアフレーム内に設けられた前記第２の対応開口に係合する前の時点において、前記第１のラッチ部材が前記ドアフレーム内の前記第１の対応開口に係合する、請求項１に記載の基板容器。 - 前記基板容器は、前面開口基板容器である、請求項１に記載の基板容器。
- 前記基板容器は、底部開口基板容器である、請求項１に記載の基板容器。
- 前記ラッチ機構の動作時に、前記第１の回転プロファイルおよび前記第２の回転プロファイルの各々に関連するトルクの量は、前記第１および第２の回転プロファイルの各々と関連するラッチ部材の数によって分割される、請求項１に記載の基板容器。
- ラッチ部材のセットは、１つ以上の個々のラッチ部材を備える、請求項１に記載の基板容器。
- 基板容器とともに使用されるドアであって、
第２の回転プロファイルとは位相がずれている第１の回転プロファイルを有する回転可能なカムを有するラッチ機構と、
回転可能な前記カムに連結され、ラッチ解除位置からラッチ位置へと移動するように構成された第１のラッチ部材を有する第１のラッチアームと、
回転可能な前記カムに連結され、ラッチ解除位置からラッチ位置へと移動するように構成された第２のラッチ部材を有する第２のラッチアームと、を備え、
前記カムが非係合位置から係合位置に前記ラッチ機構を作動させるよう回転するときに、前記第１のラッチアームが前記第２のラッチアームの移動方向と略直交する方向に移動し、前記第２のラッチ部材が前記係合位置に移行する前の時点において、前記第１のラッチ部材が前記係合位置に移行する、ドア。 - 非係合位置と前記係合位置との間で作動可能な、前記ドア内に配置された第２のラッチ機構をさらに備え、
前記第２のラッチ機構が、
第２の回転プロファイルとは位相がずれている第１の回転プロファイルを有する回転可能なカムと、
回転可能な前記カムに連結された第１のラッチアームであって、非係合位置から係合位置に移行するように構成された第１のラッチ部材を有する第１のラッチアームと、
回転可能な前記カムに連結された第２のラッチアームであって、非係合位置から係合位置に移行するように構成された第２のラッチ部材を有する第２のラッチアームとを備え、
前記カムが前記非係合位置から前記係合位置に前記ラッチ機構を作動させるよう回転するときに、前記第１のラッチアームが前記第２のラッチアームの移動方向と略直交する方向に移動し、前記第２のラッチ部材が前記係合位置に移行する前の時点において、前記第１のラッチ部材が前記係合位置に移行する、請求項１６に記載のドア。 - 前記第１のラッチアームの各々は、該ラッチアームの第１および第２の端部の各々に配置された第１および第２のローラを有し、前記第１および第２のローラは前記ドアの内面に固定されたブロックに沿って乗り上げるように構成され、
前記第２のラッチアームの各々は、前記第１のラッチアームの前記第１の端部にて前記第１のローラと相互作用するように構成された第１の側部アームと、前記ラッチ機構が前記非係合位置から前記係合位置に移行するときに前記ドアの内面に固定されたボスに沿って並進するように構成された少なくとも１つのスロットとを有する、請求項１７に記載のドア。 - 前記第１の回転プロファイルは、１０度〜３０度だけ前記第２の回転プロファイルと位相がずれている、請求項１６に記載のドア。
- 前記第１の回転プロファイルは、１７度〜２３度だけ前記第２の回転プロファイルと位相がずれている、請求項１６に記載のドア。
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|---|---|---|---|---|
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| US20220259902A1 (en) * | 2021-02-16 | 2022-08-18 | Lear Corporation | Modular attachment mechanism and method |
| US12009242B2 (en) * | 2021-08-30 | 2024-06-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wafer transport container |
| CN114743905B (zh) * | 2022-04-19 | 2023-11-17 | 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司 | 一种半导体晶片收纳容器 |
| TWI818653B (zh) * | 2022-08-01 | 2023-10-11 | 中勤實業股份有限公司 | 基材容器 |
| TWI822366B (zh) * | 2022-09-28 | 2023-11-11 | 家登精密工業股份有限公司 | 鎖附導正結構 |
| TWI834526B (zh) * | 2023-03-17 | 2024-03-01 | 中勤實業股份有限公司 | 容器門板及具有該容器門板之基板容器 |
| CN116646286B (zh) * | 2023-05-04 | 2024-01-30 | 北京鑫跃微半导体技术有限公司 | 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000039006A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器の蓋開閉ラッチ機構 |
| US6622883B1 (en) * | 2000-06-23 | 2003-09-23 | Industrial Technology Research Institute | Door for wafer container having rotatable cammed member and movable links |
Family Cites Families (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US554126A (en) * | 1896-02-04 | Safe-lock | ||
| US2481429A (en) * | 1947-04-18 | 1949-09-06 | Kerr Robert | Safety hatch operating mechanism |
| US3884515A (en) * | 1973-12-10 | 1975-05-20 | Get Automatic Electric Lab Inc | Vault door |
| US5516161A (en) * | 1993-12-27 | 1996-05-14 | Von Duprin, Inc. | Breakaway lever clutch with cam drive pin |
| US5915562A (en) * | 1996-07-12 | 1999-06-29 | Fluoroware, Inc. | Transport module with latching door |
| US5957292A (en) * | 1997-08-01 | 1999-09-28 | Fluoroware, Inc. | Wafer enclosure with door |
| JPH11159218A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-15 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板容器のドアラッチ機構 |
| US5911763A (en) | 1998-01-12 | 1999-06-15 | Quesada; Flavio R. | Three point lock mechanism |
| US8083272B1 (en) * | 1998-06-29 | 2011-12-27 | Industrial Technology Research Institute | Mechanically actuated air tight device for wafer carrier |
| JP3556480B2 (ja) * | 1998-08-17 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
| TW437723U (en) | 2000-06-16 | 2001-05-28 | Ind Tech Res Inst | Wafer box with foldable handle |
| TW534165U (en) | 2002-09-04 | 2003-05-21 | Ind Tech Res Inst | Latch locking mechanism used in doors of wafer boxes |
| TWI239931B (en) * | 2003-05-19 | 2005-09-21 | Miraial Co Ltd | Lid unit for thin plate supporting container and thin plate supporting container |
| US7313937B2 (en) * | 2004-02-22 | 2008-01-01 | Southco, Inc. | Latch |
| JP4573566B2 (ja) * | 2004-04-20 | 2010-11-04 | 信越ポリマー株式会社 | 収納容器 |
| JP4851445B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2012-01-11 | 三甲株式会社 | 薄板搬送容器の開閉構造 |
| JP4841383B2 (ja) | 2006-10-06 | 2011-12-21 | 信越ポリマー株式会社 | 蓋体及び基板収納容器 |
| AU2009203066A1 (en) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Lokaway Pty. Ltd. | Sequential safe door opening |
| US8276758B2 (en) * | 2008-08-14 | 2012-10-02 | Gudeng Precision Industrial Co, Ltd | Wafer container with at least one oval latch |
| US7909166B2 (en) * | 2008-08-14 | 2011-03-22 | Gudeng Precision Industrial Co, Ltd | Front opening unified pod with latch structure |
| TWI365030B (en) * | 2009-06-25 | 2012-05-21 | Wistron Corp | Covering mechanism for covering an opening of a housing |
| US8276527B2 (en) * | 2009-10-08 | 2012-10-02 | Prosteel Security Products, Inc. | Corner bolt locking system |
| US8347665B2 (en) * | 2010-01-18 | 2013-01-08 | Liberty Safe And Security Products, Inc. | Self-balancing locking mechanism for doors |
| US20110193352A1 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-11 | Lien-Hsi Huang | Lock structure |
| TWI394695B (zh) * | 2010-04-29 | 2013-05-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 一種具有橢圓門閂結構之前開式晶圓盒 |
| TW201138002A (en) * | 2010-04-29 | 2011-11-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container with oval latch |
| TW201200699A (en) | 2010-06-17 | 2012-01-01 | Univ Nat Taiwan | Latching mechanism for airtight container |
| US8973770B2 (en) * | 2010-11-11 | 2015-03-10 | Zhigang He | Cover for pressure cooker with locking pieces |
| KR101437351B1 (ko) * | 2012-09-27 | 2014-11-03 | 주식회사 삼에스코리아 | 박판수납용기용 도어 |
| EP2989657B1 (en) | 2013-04-26 | 2018-05-23 | Entegris, Inc. | Wafer container with latching mechanism for large diameter wafers |
| US9540843B2 (en) * | 2014-08-27 | 2017-01-10 | Shade River Outfitters, Inc. | Lock pin and bolt construction for securing doors and other closures |
| US20200040623A1 (en) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | Liberty Safe And Security Products, Inc. | Flat Pin Safe Lock System |
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000039006A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器の蓋開閉ラッチ機構 |
| US6622883B1 (en) * | 2000-06-23 | 2003-09-23 | Industrial Technology Research Institute | Door for wafer container having rotatable cammed member and movable links |
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