JP2019533513A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. デバイスを除染するためのシステムであって、前記システムは、
   囲まれた空間を画定するチャンバであって、前記チャンバは、前記囲まれた空間内での圧力の変化に耐え、内腔を含むデバイスを収容するように構成される、チャンバと、
   前記チャンバ内の温度および圧力を制御するように構成された制御装置と、
   前記囲まれた空間と流体連通する真空ポンプと、
   除染物質の供給源と、
   前記除染物質の供給源と流体連通し、前記囲まれた空間内に気化した除染物質を提供するように構成された蒸発器および噴霧器のうちの少なくとも一方と、
   前記チャンバ内に位置決めされたポンプであって、前記ポンプは入口および出口を有し、前記入口および前記出口のうちの一方は、前記チャンバの囲まれた空間と流体連通し、前記入口および前記出口のうちの他方は、前記内腔と流体連通するように構成される、ポンプと、
   を備える、システム。
2. 前記ポンプの入口および出口の少なくとも一方は、前記ポンプおよび前記内腔に装着された導管を介して前記内腔と流体連通するように構成される、請求項１に記載のシステム。
3. 前記ポンプの出口は、前記デバイスから離間されている導管を介して前記内腔と流体連通するように構成され、前記ポンプの出口から前記内腔を通じて流れを誘導するように成形される、請求項１に記載のシステム。
4. 前記システムは、前記囲まれた空間内に位置決めされ、前記デバイスを取り囲む容器をさらに備え、前記容器は、前記気化した除染物質によって透過可能である少なくとも１つの外壁によって形成され、前記ポンプは、前記容器の外側に位置決めされ、前記気化した除染物質の流れを前記容器の外壁を通じて前記内腔に提供する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のシステム。
5. 前記システムは、前記囲まれた空間内に位置決めされ、前記デバイスを取り囲む容器をさらに備え、前記容器は、前記気化した除染物質によって透過可能である少なくとも１つの外壁によって形成され、前記ポンプは、前記容器の内側に位置決めされ、前記気化した除染物質の流れを前記内腔に提供する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のシステム。
6. 前記除染物質を前記ポンプの出口から前記内腔へと誘導するための、前記ポンプの出口に接続された導管をさらに備える、請求項１に記載のシステム。
7. 前記気化した除染物質を前記内腔および前記デバイスの外面に誘導するための、前記ポンプに接続された第１の端部と、前記内腔と流体連通する第２の端部とを有する導管をさらに備える、請求項１に記載のシステム。