JP2019531495A - 走査反射鏡振幅測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
光信号を出力する光源と、前記光源が出力する光信号のスポットのサイズ及び形状を調節する絞りと、
測定される走査反射鏡が載置され、前記走査反射鏡が載置された後、前記光信号を周期的に反射することができる走査反射鏡設置構造と、
前記走査反射鏡の一側に横方向に設置され、前記走査反射鏡によって反射された後の光信号を検出及び収集するための3つ以上のセンサーユニットを含む光電センサーと、
前記光電センサーで収集された信号を処理して前記走査反射鏡の振幅を得る信号収集及び処理機と、を含む走査反射鏡振幅測定装置を提供する。
各センサーユニットの縦方向位置y1、y2・・・・・・yNを記録するステップ;
走査反射鏡を走査反射鏡設置構造の上に載置し、それを周波数fで動作させ、前記スポットを前記光電センサー上に投影するステップ;
信号収集及び処理器は各センサーユニットが各サンプリング時刻tjiで検出した発光強度Ijiを収集し、それぞれ以下のように記録するステップ;
センサーユニット1:(t11、I11)、(t12、I12)・・・(t1i、I1i)・・・,
センサーユニット2:(t21、I21)、(t22、I22)・・・(t2i、I2i)・・・,
・・・・・・
センサーユニットj:(tj1、Ij1)、(tj2、Ij2)・・・(tji、Iji)・・・,
・・・・・・
センサーユニットN:(tN1,IN1),(tN2,IN2)・・・(tNi,INi);
収集した発光強度Ijiに対してマッチングを行い、各センサーユニットによって検出された発光強度の極値点に対応する時刻Tjkを取得し、以下のように記録するステップ;
センサーユニット1:T11、T12、・・・、T1k、・・・,
T11<T12<・・・<T1k<・・・を満たし、
センサーユニット2:T21、T22、・・・、T2k、・・・,
T21<T22<・・・<T2k<・・・を満たし、
・・・・・・
センサーユニットj:Tj1、Tj2、・・・、Tjk、・・・,
Tj1<Tj2<・・・<Tjk<・・・を満たし、
・・・・・・
センサーユニットN:TN1、TN2、・・・、TNk、・・・,
TN1<TN2<・・・<TNk<・・・を満たす;
複数のセンサーユニットのそれぞれ二つの連続する時刻差Tj(k+1)−Tjk及びTjk−Tj(k−1)を計算し、二つの連続する時刻差が同時に1/(2f)より大きいセンサーユニットに対応する時刻差Tj(k+1)−Tjkを選択して、スポットの振動周波数fc=1/(Tj(k+1)−Tjk)を得るステップ;
二つの連続する時刻差が同時に1/(2f)より大きくないセンサーユニットについて、前記スポットの振動周波数fc、前記二つの連続する時刻差が同時に1/(2f)より大きくないセンサーユニットの前記縦方向位置及び前記検出した発光強度の極値点に対応する時刻によって、振動関数を通じて前記走査反射鏡の振幅を得るステップ;
を含み、ここで、N、i、j、kは正整数であり、且つN≧3、1≦j≦Nである。
前記光電センサーを第二横方向位置に位置させて測定し、前記走査反射鏡が第二横方向位置における第二振幅A2をマッチングするステップ;
及び、前記第一横方向位置及び第二横方向位置の間隔がΔLのときには、第一振幅A1、第二振幅A2及び間隔ΔLによって走査反射鏡の動作時に反射される光束の一方向最大スイング角度θmを計算して得るステップ;
をさらに含む。
光信号を出力する光源20と、
前記光源20から出力される光信号のスポットのサイズ及び形状を調節する絞り21と、
測定する走査反射鏡22を載置し、前記走査反射鏡22が周期的に振動するようにして前記走査反射鏡22を載置した後周期的に前記光信号を反射する走査反射鏡設置構造と、
3つ以上のセンサーユニットを含み、前記走査反射鏡22により反射された後の光信号を検出及び収集する光電センサー23であって、選択できるものとして、第一位置231または第二位置232(図2に示すように)に設置されることができる光電センサー23と、
前記光電センサーによって収集された信号を処理して前記走査反射鏡の振幅を得る信号収集及び処理器24と、を含む。
センサーユニット2:(t21、I21)、(t22、I22)・・・(t2i、I2i)・・・,
・・・・・・
センサーユニットj:(tj1、Ij1)、(tj2、Ij2)・・・(tji、Iji)・・・,
・・・・・・
センサーユニットN:(tN1、IN1)、(tN2、IN2)・・・(tNi、INi)・・・,
;ここで、jは第j番目のセンサーユニットを表し、iは第i番目のサンプリング時刻を表し、1≦j≦N;
センサーユニット1:T11、T12、・・・、T1k、・・・,
T11<T12<・・・<T1k<・・・を満たし、
センサーユニット2:T21、T22、・・・、T2k、・・・,
T21<T22<・・・<T2k<・・・を満たし、
・・・・・・
センサーユニットj:Tj1、Tj2、・・・、Tjk、・・・,
Tj1<Tj2<・・・<Tjk<・・・を満たし、
・・・・・・
センサーユニットN:TN1、TN2、・・・、TNk、・・・,
TN1<TN2<・・・<TNk<・・・を満たす。
まず、光電センサー23が第1位置231に位置するように調節して前記S11〜S17の測定過程を行って、第1位置における走査反射鏡22の振幅A1をマッチングし、次に、前記光電センサー23を横方向に距離ΔL調節して第2位置232に位置するようにして測定を行って、第2位置における走査反射鏡22の振幅A2をマッチングする。
Claims (10)
- 光信号を出力する光源と、
前記光源が出力する光信号のスポットのサイズ及び形状を調節する絞りと、
測定される走査反射鏡が載置され、前記走査反射鏡を載置した後、周期的に前記光信号を反射することができる走査反射鏡設置構造と、
前記走査反射鏡の一側に横方向に設置され、前記走査反射鏡によって反射された後の光信号を検出及び収集するための3つ以上のセンサーユニットを含む光電センサーと、
前記光電センサーによって収集された信号を処理して前記走査反射鏡の振幅を得る信号収集及び処理器と、
を含むことを特徴とする走査反射鏡振幅測定装置。 - 前記光源から出力される光信号は空間ガウス分布の光信号であることを特徴とする請求項1に記載の走査反射鏡振幅測定装置。
- 前記センサーユニットは奇数個であることを特徴とする請求項1に記載の走査反射鏡振幅測定装置。
- 前記センサーユニットは密接に配列されることを特徴とする請求項1に記載の走査反射鏡振幅測定装置。
- 前記スポットは円形を呈し、その直径は前記センサーユニットの測定サイズと同じであることを特徴とする請求項1に記載の走査反射鏡振幅測定装置。
- 位置調節装置をさらに含み、前記位置調節装置は前記光電センサーの横方向位置を調節して、前記光電センサーを第一横方向位置または第二横方向位置上に位置させることができることを特徴とする請求項1に記載の走査反射鏡振幅測定装置。
- 前記第一横方向位置及び第二横方向位置の間隔は0.2m〜1mであることを特徴とする請求項6に記載の走査反射鏡振幅測定装置。
- 前記第一横方向位置及び第二横方向位置の間隔は0.5mであることを特徴とする請求項7に記載の走査反射鏡振幅測定装置。
- 各センサーユニットの縦方向位置y1、y2・・・・・・yNを記録するステップ;
走査反射鏡を走査反射鏡設置構造の上に載置し、それを周波数fで動作させ、前記スポットを前記光電センサー上に投影するステップ;
信号収集及び処理器は各センサーユニットが各サンプリング時刻tjiで検出した発光強度Ijiを収集し、それぞれ以下のように記録するステップ、
センサーユニット1:(t11、I11)、(t12、I12)・・・(t1i、I1i)・・・,
センサーユニット2:(t21、I21)、(t22、I22)・・・(t2i、I2i)・・・,
・・・
センサーユニットj:(tj1、Ij1)、(tj2、Ij2)・・・(tji、Iji)・・・,
・・・
センサーユニットN:(tN1、IN1)、(tN2、IN2)・・・(tNi、INi)・・・;
収集した発光強度Ijiに対してマッチングを行い、各センサーユニットによって検出された発光強度の極値点に対応する時刻Tjkを取得するステップ、
センサーユニット1:T11、T12、・・・、T1k、・・・,
T11<T12<・・・<T1k<・・・を満たし、
センサーユニット2:T21、T22、・・・、T2k、・・・,
T21<T22<・・・<T2k<・・・を満たし、
・・・
センサーユニットj:Tj1、Tj2、・・・、Tjk、・・・,
Tj1<Tj2<・・・<Tjk<・・・を満たし、
・・・
センサーユニットN:TN1、TN2、・・・、TNk、・・・,
TN1<TN2<・・・<TNk<・・・を満たす;
複数のセンサーユニットのそれぞれ二つの連続する時刻差Tj(k+1)−Tjk及びTjk−Tj(k−1)を計算し、二つの連続する時刻差が同時に1/(2f)より大きいセンサーユニットに対応する時刻差Tj(k+1)−Tjkを選択して、スポットの振動周波数fc=1/(Tj(k+1)−Tjk)を得るステップ;
二つの連続する時刻差が同時に1/(2f)より大きくないセンサーユニットに対し、前記スポットの振動周波数fc、前記二つの連続する時刻差が1/(2f)より大きくないセンサーユニットの前記縦方向位置及び前記検出した発光強度の極値点に対応する時刻によって、振動関数を通じて前記走査反射鏡の振幅を得るステップ;
を含み、
ここで、N、i、j、kは正整数であり、且つN≧3、1≦j≦Nであることを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の走査反射鏡振幅測定装置を用いた走査反射鏡振幅測定方法。 - 前記光電センサーを第一横方向位置に位置させて測定して、前記走査反射鏡が第一横方向位置における第一振幅(A1)をマッチングするステップ;
前記光電センサーを第二横方向位置に位置させて測定して前記走査反射鏡が第二横方向位置における第二振幅(A2)をマッチングするステップ;
及び、前記第一横方向位置及び第二横方向位置の間隔がΔLのときには、第一振幅A1、第二振幅A2及び間隔ΔLによって走査反射鏡の動作時に反射される光束の一方向最大スイング角度(θm)を計算して得るステップ;
をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の走査反射鏡振幅測定方法。
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