JP2019510990A - ビーム測定システム、リソグラフィシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図3
Description
[0001] 本願は2016年1月18日に提出された欧州出願第16151638.0号の優先権を主張するものであり、同出願は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
(a)コレクタを用いてプラズマから放出された放射を収集するように、且つコレクタから放射ビームを出力するように構成された放射源と、
(b)放射ビームの特性を測定することによって、プラズマと、プラズマの画像と、コレクタと、のうち1つ以上の特性を決定するように構成されたビーム測定システムと、
を備えたリソグラフィシステムが提供されており、
このビーム測定システムは、放射ビームの少なくとも一部を受けるように構成された少なくとも1つのセンサユニットを備え、各センサユニットは、第1のパターニングされた要素と、第2のパターニングされた要素と、第1のパターニングされた要素及び第2のパターニングされた要素を通過した放射を検出するように構成されたディテクタと、を備えており、各センサユニットにおいて、第1のパターニングされた要素及び第2のパターニングされた要素はそれぞれ、空間的に不均一な透過率をもってパターニングされており、センサユニットへの放射の入射方向に関して不均一な角度依存性のある組み合わせ透過率を提供するように互いに対して位置決めされている。
Claims (20)
- レーザ生成プラズマ放射源のプラズマ、プラズマの画像、及びコレクタのうち1つ以上の特性を決定するビーム測定システムであって、
前記コレクタから出力された放射ビームの少なくとも一部を受けるように構成された少なくとも1つのセンサユニットを備え、
各センサユニットは、第1のパターニングされた要素と、第2のパターニングされた要素と、前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素を通過した放射を検出するように構成されたディテクタと、を備えており、
前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素はそれぞれ、空間的に不均一な透過率をもってパターニングされており、前記センサユニットへの放射の入射方向に関して不均一な角度依存性のある組み合わせ透過率を提供するように互いに対して位置決めされている、ビーム測定システム。 - 一群の前記センサユニットを備え、
前記一群中の各センサユニットは、角度依存性のある組み合わせ透過率を有する第1パターニングされた要素及び第2のパターニングされた要素を有しており、
前記一群のセンサユニットの前記角度依存性は、互いに異なっている、請求項1のビーム測定システム。 - 前記異なる角度依存性は、各センサユニットの前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素の、そうでなければ同一のパターンの間で、異なる相対的な位置決めを行うことによって得られる、請求項2のビーム測定システム。
- 複数群の前記センサユニットを備えたアレイを備える、請求項2又は3のビーム測定システム。
- 複数の前記アレイを備えており、
各アレイは、前記放射ビームの異なる部分を受けるように位置決めされている、請求項4のビーム測定システム。 - 前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素の各々は、より低い透過率の領域によって分離された高い透過率の領域の周期的配置をもってパターニングされている、請求項1から5のいずれか一項のビーム測定システム。
- 前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素は、実質的に平面状であり、
前記第1のパターニングされた要素と前記第2のパターニングされた要素とは、前記第1のパターニングされた要素の平面に垂直な方向で互いに分離している、請求項1から6のいずれか一項のビーム測定システム。 - 前記プラズマ、前記プラズマの画像、及び前記コレクタのうち1つ以上の前記決定された特性は、中間焦点における前記プラズマの画像の形状、前記中間焦点における前記プラズマの画像の大きさ、及び前記中間焦点における前記プラズマの画像の位置のうち少なくとも1つを含み、
前記中間焦点とは、前記コレクタと前記放射ビームを調整するように構成された照明システムとの間に前記コレクタによって形成される焦点である、請求項1から7のいずれか一項のビーム測定システム。 - 前記少なくとも1つのセンサユニットのうち1つ以上が、前記中間焦点に対して遠視野に位置決めされている、請求項8のビーム測定システム。
- 前記プラズマ、前記プラズマの画像、及び前記コレクタのうち1つ以上の前記決定された特性は、前記プラズマの形状、前記プラズマの大きさ、及び前記プラズマの位置のうち少なくとも1つを含む、請求項1から9のいずれか一項のビーム測定システム。
- 前記コレクタは、パターニングされた領域を備えており、
前記ビーム測定システムは、前記パターニングされた領域によって調節された放射を受けるように位置決めされた少なくとも1つのセンサユニットを備えており、
前記ディテクタによって検出される前記調節された放射の割合は、前記放射ビームを調整するように構成された照明システムに対する前記コレクタの位置と前記照明システムに対する前記コレクタの配向とのうち少なくとも一方に依存する、請求項1から10のいずれか一項のビーム測定システム。 - 前記パターニングされた領域は、複数の同心円の一部を備えている、請求項11のビーム測定システム。
- 前記第1のパターニングされた要素は、より低い透過率の領域によって分離された高い透過率の領域の、第1のピッチを有する周期的配置をもってパターニングされており、
前記第2のパターニングされた要素は、より低い透過率の領域によって分離された高い透過率の領域の、前記第1のピッチと異なる又は同一の第2のピッチを有する周期的配置をもってパターニングされており、
前記コレクタの前記パターニングされた領域によって調節された、受けた放射は、周期的であり、前記第1のピッチ及び前記第2のピッチのいずれか又は両方とは異なるピッチを有する、請求項11又は12のビーム測定システム。 - 前記センサユニットのうち少なくとも1つが前記コレクタの複数の異なるパターニングされた領域のうち1つによって調節された放射を選択的に受けるように移動されることを可能にするように構成されたセンサユニット取付システムをさらに備える、請求項11から13のいずれか一項のビーム測定システム。
- 前記プラズマ、前記プラズマの画像、及び前記コレクタのうち1つ以上の前記決定された特性は、前記照明システムに対する前記コレクタの位置と前記照明システムに対する前記コレクタの配向とのうち少なくとも一方を含む、請求項11から14のいずれか一項のビーム測定システム。
- 前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素の前記パターニングは、回折効果が無視できるようになっている、請求項1から15のいずれか一項のビーム測定システム。
- 前記第1のパターニングされた要素における前記パターニングの最も小さい特徴的な寸法及び前記第2のパターニングされた要素における前記パターニングの最も小さい特徴的な寸法は、前記レーザ生成プラズマ放射源によって生成される放射の波長よりも少なくとも10倍大きい、請求項16のビーム測定システム。
- 前記少なくとも1つのセンサユニットからの出力に基づいて前記レーザ生成プラズマ放射源を制御するように構成された制御デバイスをさらに備える、請求項1から17のいずれか一項のビーム測定システム。
- (a)コレクタを用いてプラズマから放出された放射を収集するように、且つ前記コレクタから放射ビームを出力するように構成された放射源と、
(b)前記放射ビームの特性を測定することによって、前記プラズマと、前記プラズマの画像と、前記コレクタとのうち1つ以上の特性を決定するように構成されたビーム測定システムと、
を備えたリソグラフィシステムであって、
前記ビーム測定システムは、前記放射ビームの少なくとも一部を受けるように構成された少なくとも1つのセンサユニットを備え、
各センサユニットは、第1のパターニングされた要素と、第2のパターニングされた要素と、前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素を通過した放射を検出するように構成されたディテクタと、を備えており、
各センサユニットにおいて、前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素はそれぞれ、空間的に不均一な透過率をもってパターニングされており、前記センサユニットへの放射の入射方向に関して不均一な角度依存性のある組み合わせ透過率を提供するように互いに対して位置決めされている、リソグラフィシステム。 - レーザ生成プラズマ放射源によって出力された放射ビームの特性を測定することによって、前記レーザ生成プラズマ放射源のプラズマと、プラズマの画像と、コレクタと、のうち1つ以上の特性を決定することを備える方法であって、
前記放射ビームの前記特性を測定することは、少なくとも1つのセンサユニットを用いて前記放射ビームの少なくとも一部を受けることを含み、
各センサユニットは、第1のパターニングされた要素と、第2のパターニングされた要素と、前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素を通過した放射を検出するように構成されたディテクタと、を備えており、
前記第1のパターニングされた要素及び前記第2のパターニングされた要素はそれぞれ、空間的に不均一な透過率をもってパターニングされており、前記センサユニットへの放射の入射方向に関して不均一な角度依存性のある組み合わせ透過率を提供するように互いに対して位置決めされている、方法。
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