JP2019506008A - 処理運転のパラメータを決定する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本願は、2015年12月10日出願の「処理情報のデータを取得する装置および方法」という発明の名称である米国仮出願第62/265,807号、および2016年7月25日出願の「静電チャックの熱特性を測定する装置および方法」という発明の名称である米国仮出願第62/366,491号に基づく優先権を主張し、それらの開示の全体が言及によって本願明細書に組み込まれる。
本開示は、一般に半導体試験装置に関する。より具体的には、本技術の特定の実施形態は、半導体装置の処理情報を試験する方法およびシステムに関する。
Claims (23)
- 処理ツールの処理パラメータを決定するための、コンピュータ実装方法であって、
基板と、プロセッサー、複数のセンサー、電源、通信デバイス、相互接続部、およびシールド層を含む能動層とを含み、該シールド層は前記処理ツール内の電磁(EM)放射が前記能動層の部品によって行われる測定および信号処理に干渉しないように作用可能である処理プローブ装置(Processing Probe Apparatus、PPA)を、前記処理ツールにロードするステップと、
前記処理ツールにおいて処理レシピを実行するステップと、
前記処理レシピを実行しながら、前記PPAに前記処理ツールの処理パラメータを測定させるステップと、
測定された処理データを前記PPAから受信するステップと、
前記測定された処理データを解析して、前記処理パラメータを決定するステップと、を含む方法。 - 前記複数のセンサーは、測温抵抗体(resistance thermal detector、RTD)、熱電対、または光センサーである、請求項1に記載の方法。
- 前記PPAは、前記PPAと前記処理ツールの静電チャック(electrostatic chuck、ESC)との間の相対位置を検出するように構成された1つ以上の配置センサーをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記1つ以上の配置センサーは静電クランピングの開始を感知し、前記複数のセンサーに温度測定を開始する時間基準を提供するように構成される、請求項3に記載の方法。
- 前記PPAは実質的に平坦な上部面を有するバリア層をさらに含み、該バリア層は前記基板の上部に配された前記能動層の上部に設けられる、請求項1に記載の方法。
- 前記能動層は、前記能動層の部品同士の間の空間を充填するように作用可能である充填材料をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記能動層は、前記PPAに物理的に接触することなく前記電源を充電するように作用可能な光充電システムをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記シールド層は、第1の周波数範囲を有する光を通過させて前記光充電システムに到達させるために光学的に透明である第1の光学開口部を含む、請求項7に記載の方法。
- 前記シールド層は、前記通信デバイスが前記PPAの外部の受信機と通信できるように作用可能な第2の光学開口部を含む、請求項8に記載の方法。
- 前記PPAは実質的に平坦な底部面を有するバリア層をさらに含み、前記バリア層の上部には前記能動層が設けられるとともに、前記能動層の上部には前記基板が設けられる、請求項1に記載の方法。
- 前記能動層は熱伝導媒体をさらに含み、前記熱伝導媒体の互いに対向する第1表面と第2表面とに前記複数のセンサーが設けられる、請求項1に記載の方法。
- 処理ツールの処理パラメータを決定するための装置であって、
基板と、
プロセッサー、複数のセンサー、電源、通信デバイス、相互接続部、シールド層、および1つ以上の配置センサーを含む能動層とを含み、
前記シールド層は、前記処理ツール内の電磁(EM)放射が前記能動層の部品によって行われる測定および信号処理に干渉しないように作用可能であり、
1つ以上の配置センサーは、前記装置と前記処理ツールの静電チャック(ESC)との間の相対位置を検出するように構成される、装置。 - 前記複数のセンサーは、測温抵抗体(RTD)、熱電対、または光センサーであり、前記1つ以上の配置センサーは、静電クランピングの開始を感知し、前記複数のセンサーに温度測定を開始する時間基準を提供するように構成される、請求項12に記載の装置。
- 実質的に平坦な上部面を有するバリア層をさらに含み、前記バリア層は前記基板の上部に設けられた前記能動層の上部に設けられる、請求項12に記載の装置。
- 前記能動層は、前記能動層の部品同士の間の空間を充填するように作用可能である充填材料をさらに含む、請求項12に記載の装置。
- 前記能動層は、前記装置に物理的に接触することなく前記電源を充電するように作用可能な光充電システムをさらに含む、請求項12に記載の装置。
- 前記シールド層は、第1の周波数範囲を有する光を通過させて前記光充電システムに到達させるために光学的に透明である第1の光学開口部を含む、請求項16に記載の装置。
- 前記シールド層は、前記通信デバイスが前記装置の外部の受信機と通信できるように作用可能な第2の光学開口部を含む、請求項17に記載の装置。
- 実質的に平坦な底部面を有するバリア層をさらに含み、前記バリア層の上部には前記能動層が設けられるとともに、前記能動層の上部には前記基板が設けられる、請求項12に記載の装置。
- 前記能動層は熱伝導媒体をさらに含み、前記熱伝導媒体の互いに対向する第1表面と第2表面とに前記複数のセンサーが設けられる、請求項12に記載の装置。
- 前記能動層は、前記装置に物理的に接触することなく前記電源を充電するように作用可能な光充電システムをさらに含む、請求項12に記載の装置。
- 前記シールド層は、第1の周波数範囲を有する光を通過させて前記光充電システムに到達させるために光学的に透明である第1の光学開口部を含む、請求項21に記載の装置。
- 前記シールド層は、前記通信デバイスが前記装置の外部の受信機と通信できるように作用可能な第2の光学開口部を含む、請求項22に記載の装置。
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