JP2019220543A - 酸化物半導体層、酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲット、および薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
Description
2・・・ゲート絶縁膜層
3・・・ZTO層(Ga導入)
4・・・ホトレジストパターン(チャネルパターン)
5・・・SD電極層
6・・・ホトレジストパターン(SD電極パターン)
7・・・保護膜
10・・・基板
Claims (14)
- 亜鉛と錫の酸化物を含み、
バンドギャップが3.5〜3.9eVであること
を特徴とする酸化物半導体層。 - 請求項1に記載の酸化物半導体層であって、
バンドギャップが3.5〜3.6eVであること
を特徴とする酸化物半導体層。 - 請求項1に記載の酸化物半導体層であって、
ガリウムを含むこと
を特徴とする酸化物半導体焼結体。 - 請求項3に記載の酸化物半導体層であって、
ガリウムを5at%〜23at%含むこと
を特徴とする酸化物半導体層。 - 請求項4に記載の酸化物半導体層であって、
アルミニウムを0.02at%〜20.80at%含むこと
を特徴とする酸化物半導体層。 - 請求項5に記載の酸化物半導体層であって、
原子比で亜鉛と錫の合計を1としたときに亜鉛の比率が0.6〜0.8であること
を特徴とする酸化物半導体層。 - 亜鉛と錫の酸化物を含み、
バンドギャップが3.5〜3.9eVである酸化物半導体層を形成するための焼結体からなること
を特徴とする酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲット。 - 請求項7に記載の酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲットであって、
ガリウムを5at%〜23at%含むこと
を特徴とする酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲット。 - 請求項8に記載の酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲットであって、
アルミニウムを0.02at%〜20.80at%含むこと
を特徴とする酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲット。 - 請求項9に記載の酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲットであって、
原子比で亜鉛と錫の合計を1としたときに亜鉛の比率が0.6〜0.8であること
を特徴とする酸化物半導体層形成用スパッタリングターゲット材。 - 薄膜トランジスタであって、
第一の面と第二の面を有するゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜の第一の面に接するゲート電極と、
前記ゲート絶縁膜の第二の面に接する酸化物半導体チャネル層と、
前記酸化物半導体チャネル層にそれぞれ接するソース電極およびドレイン電極と
を備え、
前記酸化物半導体チャネル層は、
亜鉛と錫の酸化物を含み、
バンドギャップが3.5〜3.9eVであること
を特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項11に記載の薄膜トランジスタであって、
前記酸化物半導体チャネル層にガリウムを5at%〜23at%含むこと
を特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項12に記載の薄膜トランジスタであって、
前記酸化物半導体チャネル層にアルミニウムを0.02at%〜20.80at%含むこと
を特徴とする薄膜トランジスタ。 - 請求項13に記載の薄膜トランジスタであって、
原子比で亜鉛と錫の合計を1としたときに亜鉛の比率が0.6〜0.8であること
を特徴とする薄膜トランジスタ。
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