JP2019214107A - Teaching data creating system and teaching data creating method - Google Patents

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Abstract

To provide a teaching data creating system capable of preventing interference between a glass substrate on a hand and a structure in a cassette when the glass substrate mounted on the hand is moved in the cassette even if a teaching work of a robot is simplified.SOLUTION: A teaching data creating system 23 creates teaching data of a robot 3 conveying a glass substrate to a cassette. In the teaching data creating system, a dummy cassette 7 which is formed into the same shape of the cassette and is used in a teaching work has a detection mechanism 28 which measures a position and a height of the glass substrate mounted on a hand and arranged on an upper side of a substrate mounting section of the dummy cassette 7 in a horizontal direction. A robot control section 4 for creating teaching data creates reference teaching data of the robot 3 with respect to the dummy cassette 7 on the basis of the measurement result of the detection mechanism 28 and creates teaching data of the robot 3 with respect to the cassette on the basis of data of a relative position of the cassette with respect to the dummy cassette 7 and the reference teaching data.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、水平多関節ロボットの教示データを作成するための教示データ作成システムおよび教示データ作成方法に関する。   The present invention relates to a teaching data creation system and a teaching data creation method for creating teaching data for a horizontal articulated robot.

従来、複数枚のガラス基板を収容可能なカセットに対してガラス基板を搬送するロボットと、ロボットを制御するロボットコントローラと、ロボットコントローラに接続される情報処理端末および教示操作端末とを備えるロボット教示システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のロボット教示システムでは、ロボットは、たとえば、２段重ねで２列に配置されている同形状の４個のカセットに対してガラス基板を搬送する。４個のカセットのうちの１個のカセットを基準カセットとし、残りの３個のカセットを展開カセットとすると、このロボット教示システムでは、基準カセットを用いてロボットの教示作業が行われる。   Conventionally, a robot teaching system including a robot that transports glass substrates to a cassette that can accommodate a plurality of glass substrates, a robot controller that controls the robot, and an information processing terminal and a teaching operation terminal that are connected to the robot controller Is known (for example, see Patent Document 1). In the robot teaching system described in Patent Literature 1, the robot transports the glass substrate to, for example, four cassettes having the same shape and arranged in two rows in a two-stage stack. If one of the four cassettes is used as a reference cassette and the remaining three cassettes are used as unfolding cassettes, the robot teaching system performs a robot teaching operation using the reference cassette.

特許文献１に記載のロボット教示システムでは、基準カセットに対するロボットの教示作業を行う際に、オペレータは、教示操作端末によって基準カセットに対する所定の位置までロボットを順次動作させて、各教示位置を特定し、各教示位置のデータを取得する。具体的には、このロボット教示システムでは、ガラス基板が搭載されたロボットのハンドが基準カセットの中に移動する前の収容前準備位置と、ハンドが基準カセットの中に入り込んで基準カセットの内部の縦はりにガラス基板を載置する体勢に入る収容準備位置と、ハンドが下降して縦はりにガラス基板を載置し終わる収容下降位置と、ハンドが基準カセットの外に引き戻された引戻位置とに、オペレータが教示操作端末によってロボットを順次動作させて、各教示位置を特定し、各教示位置のデータを取得する。このときには、オペレータが目視でロボットを確認しながら所定の位置までロボットを順次動作させる。   In the robot teaching system described in Patent Literature 1, when performing a teaching operation of the robot with respect to the reference cassette, an operator sequentially operates the robot to a predetermined position with respect to the reference cassette by using a teaching operation terminal to specify each teaching position. Then, the data of each teaching position is acquired. Specifically, in this robot teaching system, the pre-storage preparation position before the hand of the robot on which the glass substrate is mounted moves into the reference cassette, and the hand enters the reference cassette and A storage preparation position where the glass substrate is placed on the vertical beam, a storage lowering position where the hand descends to place the glass substrate on the vertical beam, and a retraction position where the hand is pulled out of the reference cassette. At this time, the operator sequentially operates the robot using the teaching operation terminal, specifies each teaching position, and acquires data of each teaching position. At this time, the operator sequentially operates the robot to a predetermined position while visually checking the robot.

特許文献１に記載のロボット教示システムでは、取得された各教示位置のデータから基準カセットに対するロボットの教示データである基準教示データが作成される。また、このロボット教示システムでは、基準カセットに対する３個の展開カセットのそれぞれの相対位置のデータと基準教示データとに基づいて、３個の展開カセットのそれぞれに対するロボットの教示データである展開教示データが自動で作成される。すなわち、このロボット教示システムでは、展開カセットを用いてロボットの教示作業を行わなくても、３個の展開カセットのそれぞれに対する展開教示データが自動で作成される。   In the robot teaching system described in Patent Literature 1, reference teaching data, which is teaching data of a robot with respect to a reference cassette, is created from data of each acquired teaching position. Further, in this robot teaching system, based on the data of the relative positions of the three developing cassettes with respect to the reference cassette and the reference teaching data, the developing teaching data, which is the teaching data of the robot for each of the three developing cassettes, is generated. Created automatically. That is, in this robot teaching system, the development teaching data for each of the three development cassettes is automatically created without performing the robot teaching operation using the development cassette.

特開２００６−１２３１５７号公報JP 2006-123157 A

特許文献１に記載のロボット教示システムでは、たとえば、ハンドがカセットの中に入り込む際に、ハンドに搭載されたガラス基板とカセット内部の縦はり等の構造物との干渉を防止するため、最適な収容準備位置を教示位置とした基準教示データを作成することが好ましい。   In the robot teaching system described in Patent Literature 1, for example, when the hand enters the cassette, interference between a glass substrate mounted on the hand and a structure such as a vertical beam inside the cassette is prevented. It is preferable to create reference teaching data using the accommodation preparation position as the teaching position.

一方で、特許文献１に記載のロボット教示システムでは、オペレータが目視でロボットを確認しながら収容準備位置までロボットを動作させているため、最適な収容準備位置を教示位置とした基準教示データを作成するためには、目視でロボットを確認しながらロボットの位置を微調整して、最適な収容準備位置までロボットを動作させなければならない。したがって、このロボット教示システムの場合、ハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物との干渉を防止するためには、ロボットの教示作業が煩雑になるおそれがある。   On the other hand, in the robot teaching system described in Patent Literature 1, since the operator operates the robot to the accommodation preparation position while visually checking the robot, reference teaching data with the optimal accommodation preparation position as the teaching position is created. To do so, the position of the robot must be finely adjusted while visually confirming the robot, and the robot must be operated to an optimum accommodation preparation position. Therefore, in the case of the robot teaching system, in order to prevent the glass substrate on the hand from interfering with the structure inside the cassette when the glass substrate mounted on the hand moves in the cassette, the teaching operation of the robot must be performed. It may be complicated.

そこで、本発明の課題は、カセットに対するガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示作業を簡素化しても、水平多関節ロボットのハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物との干渉を防止することが可能となる教示データ作成システムおよび教示データ作成方法を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to simplify the teaching operation of a horizontal articulated robot that transports a glass substrate to a cassette, but to reduce the hand when the glass substrate mounted on the hand of the horizontal articulated robot moves in the cassette. It is an object of the present invention to provide a teaching data creation system and a teaching data creation method capable of preventing interference between the above glass substrate and a structure inside the cassette.

上記の課題を解決するため、本発明の教示データ作成システムは、上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚のガラス基板を収容可能な同形状の複数のカセットに対するガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示データを作成するための教示データ作成システムであって、ガラス基板が載置される複数の基板載置部を有しカセットと同形状に形成されるとともに水平多関節ロボットの教示作業で使用されるダミーカセットと、水平多関節ロボットの教示データを作成する教示データ作成部とを備え、ダミーカセットは、水平多関節ロボットのハンドによってダミーカセットに搬入されるとともに基板載置部に載置される前に基板載置部の上側に配置されるガラス基板、および、基板載置部からハンドによって持ち上げられて基板載置部の上側に配置されるガラス基板の少なくともいずれか一方のガラス基板の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構を備え、教示データ作成部には、ダミーカセットに対する複数のカセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データが記憶され、教示データ作成部は、検知機構の測定結果に基づいて、ダミーカセットに対する水平多関節ロボットの教示データである基準教示データを作成するとともに、基準教示データと位置データとに基づいて、複数のカセットのそれぞれに対する水平多関節ロボットの教示データを作成することを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the teaching data creation system of the present invention transports glass substrates to a plurality of cassettes of the same shape capable of accommodating a plurality of glass substrates arranged at an interval in a vertical direction. A teaching data creating system for creating teaching data of a horizontal articulated robot, comprising: a plurality of substrate mounting portions on which glass substrates are mounted; formed in the same shape as a cassette; And a teaching data creating section for creating teaching data for the horizontal articulated robot. The dummy cassette is loaded into the dummy cassette by the hand of the horizontal articulated robot and mounted on the substrate. A glass substrate placed above the substrate platform before being placed on the platform, and a A detecting mechanism for measuring a horizontal position and a height of at least one of the glass substrates disposed on the mounting portion is provided. Position data which is data of each relative position of is stored, the teaching data creating unit creates reference teaching data which is teaching data of the horizontal articulated robot for the dummy cassette based on the measurement result of the detection mechanism, The teaching data of the horizontal articulated robot for each of the plurality of cassettes is created based on the reference teaching data and the position data.

また、上記の課題を解決するため、本発明の教示データ作成方法は、上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚のガラス基板を収容可能な同形状の複数のカセットに対するガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示データを作成するための教示データ作成方法であって、ガラス基板が載置される複数の基板載置部を有しカセットと同形状に形成されるダミーカセットであって、水平多関節ロボットのハンドによってダミーカセットに搬入されるとともに基板載置部に載置される前に基板載置部の上側に配置されるガラス基板、および、基板載置部からハンドによって持ち上げられて基板載置部の上側に配置されるガラス基板の少なくともいずれか一方のガラス基板の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構を備えるダミーカセットを使用し、検知機構の測定結果に基づいて、ダミーカセットに対する水平多関節ロボットの教示データである基準教示データを作成するとともに、ダミーカセットに対する複数のカセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データと基準教示データとに基づいて、複数のカセットのそれぞれに対する水平多関節ロボットの教示データを作成することを特徴とする。   Further, in order to solve the above-mentioned problem, the teaching data creating method of the present invention provides a method of preparing glass data for a plurality of cassettes of the same shape capable of accommodating a plurality of glass substrates arranged at intervals in a vertical direction. A teaching data creation method for creating teaching data of a horizontal articulated robot for carrying, comprising: a dummy cassette having a plurality of substrate mounting portions on which glass substrates are mounted and having the same shape as the cassette. There is a glass substrate placed above the substrate mounting portion before being loaded into the dummy cassette by the hand of the horizontal articulated robot and being mounted on the substrate mounting portion, and by the hand from the substrate mounting portion. A detection mechanism is provided for measuring the horizontal position and height of at least one of the glass substrates lifted and placed above the substrate mounting portion. Using the dummy cassette, based on the measurement result of the detection mechanism, the reference teaching data that is the teaching data of the horizontal articulated robot with respect to the dummy cassette is created, and the data of the relative positions of the plurality of cassettes with respect to the dummy cassette. The teaching data of the horizontal articulated robot for each of the plurality of cassettes is created based on the position data and the reference teaching data.

本発明では、カセットと同形状に形成されるとともに水平多関節ロボットの教示作業で使用されるダミーカセットは、水平多関節ロボットのハンドによってダミーカセットに搬入されるとともに基板載置部に載置される前に基板載置部の上側に配置されるガラス基板、および、基板載置部からハンドによって持ち上げられて基板載置部の上側に配置されるガラス基板の少なくともいずれか一方のガラス基板の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構を備えている。また、本発明では、検知機構の測定結果に基づいて、ダミーカセットに対する水平多関節ロボットの教示データである基準教示データを作成している。   According to the present invention, the dummy cassette formed in the same shape as the cassette and used in the teaching operation of the horizontal articulated robot is carried into the dummy cassette by the hand of the horizontal articulated robot and placed on the substrate mounting part. The glass substrate disposed above the substrate mounting portion before the mounting, and at least one of the glass substrate lifted by a hand from the substrate mounting portion and disposed above the substrate mounting portion. A detection mechanism for measuring the position and height in the direction is provided. In the present invention, reference teaching data, which is teaching data of a horizontal articulated robot for a dummy cassette, is created based on a measurement result of the detection mechanism.

そのため、本発明では、ダミーカセットに対して水平多関節ロボットの教示作業を行う際にロボットの位置を微調整しなくても、検知機構の検知結果に基づいて、ガラス基板が搭載されたハンドが基板載置部の上側に配置される位置の中の最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。すなわち、本発明では、水平多関節ロボットの教示作業を行う際にロボットの位置を微調整しなくても、水平多関節ロボットのハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物とが干渉しない最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。   Therefore, in the present invention, the hand on which the glass substrate is mounted can be used based on the detection result of the detection mechanism without finely adjusting the position of the robot when performing the teaching work of the horizontal articulated robot on the dummy cassette. It is possible to create reference teaching data in which the optimum position among the positions arranged above the substrate mounting portion is set as the teaching position. That is, in the present invention, even when the glass substrate mounted on the hand of the horizontal articulated robot moves in the cassette without fine-tuning the position of the robot when performing the teaching work of the horizontal articulated robot, It is possible to create reference teaching data in which an optimum position where the glass substrate does not interfere with the structure inside the cassette is set as the teaching position.

また、本発明では、ダミーカセットに対する複数のカセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データと基準教示データとに基づいて、複数のカセットのそれぞれに対する水平多関節ロボットの教示データを作成しているため、水平多関節ロボットの教示作業を行う際にロボットの位置を微調整しなくても、ハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物とが干渉しない最適な位置を教示位置とする基準教示データに基づいて、教示データを作成することが可能になる。したがって、本発明では、水平多関節ロボットの教示作業を簡素化しても、水平多関節ロボットのハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物との干渉を防止することが可能になる。   Further, in the present invention, the teaching data of the horizontal articulated robot for each of the plurality of cassettes is created based on the position data which is the data of the relative positions of the plurality of cassettes with respect to the dummy cassette and the reference teaching data. Therefore, the glass substrate mounted on the hand and the structure inside the cassette move when the glass substrate mounted on the hand moves within the cassette without fine-tuning the position of the robot when teaching the horizontal articulated robot. The teaching data can be created based on the reference teaching data in which the optimum position where the interference does not occur with the teaching data is set as the teaching position. Therefore, according to the present invention, even if the teaching operation of the horizontal articulated robot is simplified, the glass substrate mounted on the hand of the horizontal articulated robot and the structure inside the cassette are moved when the glass substrate moves in the cassette. Can be prevented.

なお、本発明では、ダミーカセットに対する複数のカセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データと基準教示データとに基づいて、複数のカセットのそれぞれに対する水平多関節ロボットの教示データを作成しているため、複数のカセットのそれぞれに対する水平多関節ロボットの教示作業を行わなくても、複数のカセットのそれぞれに対する水平多関節ロボットの教示データが作成される。したがって、本発明では、水平多関節ロボットの教示作業をより簡素化することが可能になる。   In the present invention, the teaching data of the horizontal articulated robot for each of the plurality of cassettes is created based on the position data, which is the data of the relative positions of the plurality of cassettes with respect to the dummy cassette, and the reference teaching data. Therefore, the teaching data of the horizontal articulated robot for each of the plurality of cassettes is created without performing the teaching work of the horizontal articulated robot for each of the plurality of cassettes. Therefore, according to the present invention, it is possible to further simplify the teaching operation of the horizontal articulated robot.

本発明において、たとえば、検知機構は、ガラス基板の水平方向の位置を測定するための第１検知機構を備え、ダミーカセットに対するガラス基板の搬入搬出方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、第１検知機構は、ガラス基板の左右方向の位置を測定する第１センサと、ガラス基板の前後方向の位置を測定する第２センサとを備えている。   In the present invention, for example, the detection mechanism includes a first detection mechanism for measuring the horizontal position of the glass substrate, and the loading and unloading direction of the glass substrate with respect to the dummy cassette is the front-rear direction. Assuming that the orthogonal direction is the left-right direction, the first detection mechanism includes a first sensor that measures the position of the glass substrate in the left-right direction, and a second sensor that measures the position of the glass substrate in the front-rear direction.

この場合には、第１検知機構は、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２個の第１センサを備えることが好ましい。このように構成すると、２個の第１センサを用いて前後方向に対するガラス基板の傾きを測定することが可能になる。したがって、検知機構の検知結果に基づいて、ハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物とが干渉しないより最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。   In this case, it is preferable that the first detection mechanism includes two first sensors arranged at an interval in the front-rear direction. With this configuration, it is possible to measure the inclination of the glass substrate with respect to the front-rear direction using the two first sensors. Therefore, based on the detection result of the detection mechanism, the more optimal position where the glass substrate on the hand does not interfere with the structure inside the cassette when the glass substrate mounted on the hand moves in the cassette is set as the teaching position. Reference teaching data can be created.

本発明において、検知機構は、ガラス基板の高さを測定するための第２検知機構を備え、第２検知機構は、長方形状に形成されるガラス基板の四隅のそれぞれに対応する位置に配置される４個の第３センサを備えることが好ましい。このように構成すると、たとえば、ガラス基板が大型化して、ハンドに搭載されるガラス基板に撓みやねじれが生じたり、ハンドに撓みが生じたりして、その結果、ハンド上のガラス基板の一端側の高さとガラス基板の他端側の高さとに差異が生じても、４個の第３センサによって、ガラス基板の高さを精度良く測定することが可能になる。したがって、検知機構の検知結果に基づいて、ハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物とが干渉しないより最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。   In the present invention, the detection mechanism includes a second detection mechanism for measuring the height of the glass substrate, and the second detection mechanism is disposed at a position corresponding to each of four corners of the rectangular glass substrate. Preferably, four third sensors are provided. With this configuration, for example, the size of the glass substrate increases, and the glass substrate mounted on the hand bends or twists, or the hand bends. As a result, one end of the glass substrate on the hand Even if there is a difference between the height of the glass substrate and the height of the other end of the glass substrate, it is possible to accurately measure the height of the glass substrate by the four third sensors. Therefore, based on the detection result of the detection mechanism, the more optimal position where the glass substrate on the hand does not interfere with the structure inside the cassette when the glass substrate mounted on the hand moves in the cassette is set as the teaching position. Reference teaching data can be created.

本発明において、検知機構は、たとえば、ダミーカセットの上端側と下端側との２箇所に設置されている。この場合には、ダミーカセットの上端側と下端側との２箇所で、ダミーカセットに対する水平多関節ロボットの教示作業が行われる。   In the present invention, the detection mechanisms are installed at, for example, two positions on the upper end side and the lower end side of the dummy cassette. In this case, the teaching operation of the horizontal articulated robot with respect to the dummy cassette is performed at two places, that is, the upper end side and the lower end side of the dummy cassette.

以上のように、本発明では、カセットに対するガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示作業を簡素化しても、水平多関節ロボットのハンドに搭載されたガラス基板がカセット内で移動するときにハンド上のガラス基板とカセット内部の構造物との干渉を防止することが可能になる。   As described above, according to the present invention, even if the teaching operation of the horizontal articulated robot that transports the glass substrate to the cassette is simplified, the glass substrate mounted on the hand of the horizontal articulated robot moves in the cassette. Interference between the glass substrate on the hand and the structure inside the cassette can be prevented.

本発明の実施の形態にかかる教示データ作成システムを含むロボットシステムの構成を説明するためのブロック図である。FIG. 1 is a block diagram for explaining a configuration of a robot system including a teaching data creation system according to an embodiment of the present invention. 図１に示す水平多関節ロボット、カセットおよびダミーカセットを示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a horizontal articulated robot, a cassette, and a dummy cassette shown in FIG. 1. 図２に示すダミーカセットの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the dummy cassette shown in FIG. 2. 図３に示すダミーカセットの正面図である。FIG. 4 is a front view of the dummy cassette shown in FIG. 3. （Ａ）は、図３に示す第１センサの構成および配置を説明するための図であり、（Ｂ）は、図３に示す第２センサの構成および配置を説明するための図である。(A) is a figure for explaining composition and arrangement of the 1st sensor shown in Drawing 3, and (B) is a figure for explaining composition and arrangement of the 2nd sensor shown in Drawing 3. 図３に示す第３センサの構成を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of a third sensor illustrated in FIG. 3. 図３に示す検知機構によって水平方向の位置および高さが測定されるときのガラス基板の状態を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a state of the glass substrate when a position and a height in a horizontal direction are measured by the detection mechanism illustrated in FIG. 3.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（ロボットシステムの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる教示データ作成システム２３を含むロボットシステム１の構成を説明するためのブロック図である。図２は、図１に示す水平多関節ロボット３、カセット６およびダミーカセット７を示す平面図である。 (Robot system configuration)
FIG. 1 is a block diagram for explaining a configuration of a robot system 1 including a teaching data creation system 23 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing the horizontal articulated robot 3, the cassette 6, and the dummy cassette 7 shown in FIG.

本形態のロボットシステム１は、液晶ディスプレイのガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送する水平多関節ロボット３（以下、「ロボット３」とする。）と、ロボット３を制御するロボット制御部４と、ロボット制御部４に電気的に接続される教示操作端末（ティーチングペンダント）５と、上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚の基板２を収容可能な同形状の複数のカセット６と、ロボット３の教示作業で使用されるダミーカセット７とを備えている。   The robot system 1 of the present embodiment controls a horizontal articulated robot 3 (hereinafter, “robot 3”) that transports a glass substrate 2 (hereinafter, “substrate 2”) of a liquid crystal display, and controls the robot 3. Robot control unit 4, a teaching operation terminal (teaching pendant) 5 electrically connected to the robot control unit 4, and a plurality of substrates 2 which can accommodate a plurality of substrates 2 arranged at intervals in the vertical direction. It has a plurality of cassettes 6 having a shape, and a dummy cassette 7 used in the teaching operation of the robot 3.

基板２は、長方形状に形成されている。本形態の基板２は、比較的大型の基板であり、たとえば、基板２の横幅は、２９００（ｍｍ）程度となっており、基板２の縦幅は、３３００（ｍｍ）程度となっている。また、たとえば、基板２の厚さは、０．４（ｍｍ）〜０．７（ｍｍ）程度となっている。   The substrate 2 is formed in a rectangular shape. The substrate 2 of the present embodiment is a relatively large substrate. For example, the horizontal width of the substrate 2 is approximately 2900 (mm), and the vertical width of the substrate 2 is approximately 3300 (mm). Further, for example, the thickness of the substrate 2 is about 0.4 (mm) to 0.7 (mm).

ロボット３は、複数のカセット６に対する基板２の搬送を行う。図２に示すように、ロボット３は、基板２が搭載される２個のハンド１１と、２個のハンド１１のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム１２と、２本のアーム１２を支持する本体部１３と、本体部１３を水平方向に移動可能に支持するベース部材１４とを備えている。以下の説明では、ベース部材１４に対する本体部１３の移動方向（図２等のＸ方向）を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する図２等のＹ方向を前後方向とする。   The robot 3 transports the substrate 2 to a plurality of cassettes 6. As shown in FIG. 2, the robot 3 includes two hands 11 on which the substrate 2 is mounted, two arms 12 to which each of the two hands 11 is connected to the distal end side, and two arms 12. And a base member 14 for supporting the main body 13 movably in the horizontal direction. In the following description, the moving direction of the main body 13 with respect to the base member 14 (X direction in FIG. 2 and the like) is defined as the left-right direction, and the Y direction in FIG.

本体部１３は、アーム１２の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート１５と、アームサポート１５を昇降可能に支持する支持フレーム１６と、本体部１３の下端部分を構成するとともにベース部材１４に対して水平移動可能な基台１７と、支持フレーム１６の下端が固定されるとともに基台１７に対して回動可能な旋回フレーム１８とを備えている。   The main body 13 includes an arm support 15 that supports the base end side of the arm 12 and can move up and down, a support frame 16 that supports the arm support 15 so that the arm support 15 can move up and down, and a lower end portion of the main body 13 and a base member 14. And a turning frame 18 to which the lower end of the support frame 16 is fixed and which can rotate with respect to the base 17.

アーム１２は、第１アーム部と第２アーム部との２個のアーム部によって構成されている。アーム１２の基端側は、本体部１３に回動可能に連結されている。アーム１２の先端側には、ハンド１１が回動可能に連結されている。アーム１２は、ハンド１１が一定方向を向いた状態で略直線的に移動するように水平方向へ伸縮可能となっている。具体的には、アーム１２は、ハンド１１が一定方向を向いた状態で、かつ、ハンド１１とアーム１２との連結部分が略直線的に移動するように水平方向へ伸縮可能となっている。   The arm 12 is composed of two arms, a first arm and a second arm. The base end of the arm 12 is rotatably connected to the main body 13. A hand 11 is rotatably connected to the distal end side of the arm 12. The arm 12 can be extended and contracted in the horizontal direction so that the hand 11 moves substantially linearly in a state where the hand 11 faces in a certain direction. Specifically, the arm 12 is capable of extending and contracting in the horizontal direction so that the hand 11 is oriented in a certain direction, and the connecting portion between the hand 11 and the arm 12 moves substantially linearly.

支持フレーム１６は、アームサポート１５を昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム２０と、第１支持フレーム２０を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム２１とを備えている。旋回フレーム１８の先端側には、第２支持フレーム２１の下端部が固定されている。旋回フレーム１８の基端側は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように基台１７に支持されている。ロボット３は、アーム１２の伸縮動作と、アーム１２等の昇降動作、回動動作および水平移動動作との組合せによって基板２を搬送する。   The support frame 16 includes a columnar first support frame 20 that holds the arm support 15 so as to be able to move up and down, and a columnar second support frame 21 that holds the first support frame 20 so that it can be moved up and down. The lower end of the second support frame 21 is fixed to the tip end of the turning frame 18. The base end side of the revolving frame 18 is supported by the base 17 so as to be rotatable with the vertical direction as the axis of rotation. The robot 3 transports the substrate 2 by a combination of an extension / retraction operation of the arm 12 and a lifting operation, a rotation operation, and a horizontal movement operation of the arm 12 and the like.

ロボット制御部４は、たとえば、ロボットコントローラと、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置とから構成されている。ロボットコントローラは、ロボット１の各種のモータを制御するサーボ制御部を備えている。また、ロボット制御部４は、ＣＰＵ等の演算手段と、ＲＯＭおよびＲＡＭ等の記憶手段と、データの入出力が行われる入出力手段とを備えている。ロボット制御部４は、後述のように、ロボット３の教示データを作成する。本形態のロボット制御部４は、ロボット３の教示データを作成する教示データ作成部である。また、本形態では、ロボット制御部４およびダミーカセット７等によってロボット３の教示データを作成するための教示データ作成システム２３が構成されている。   The robot controller 4 includes, for example, a robot controller and an information processing device such as a personal computer. The robot controller includes a servo control unit that controls various motors of the robot 1. Further, the robot control unit 4 includes arithmetic means such as a CPU, storage means such as a ROM and a RAM, and input / output means for inputting and outputting data. The robot control unit 4 creates teaching data of the robot 3 as described later. The robot control unit 4 of the present embodiment is a teaching data creation unit that creates teaching data of the robot 3. In the present embodiment, a teaching data creation system 23 for creating teaching data of the robot 3 by the robot controller 4 and the dummy cassette 7 is configured.

カセット６は、前後方向の一端側が開口する直方体の箱状に形成されている。複数のカセット６は、左右方向で隣り合うように配置されている。また、複数のカセット６は、前後方向においてロボット３の一方側に配置されている。カセット６の開口部は、ロボット３側を向いている。基板２は、上述のように長方形状に形成されている。カセット６に収容される基板２の長辺方向は前後方向と一致し、カセット６に収容される基板２の短辺方向は左右方向と一致している。   The cassette 6 is formed in a rectangular parallelepiped box shape open at one end in the front-rear direction. The plurality of cassettes 6 are arranged so as to be adjacent in the left-right direction. The plurality of cassettes 6 are arranged on one side of the robot 3 in the front-rear direction. The opening of the cassette 6 faces the robot 3 side. The substrate 2 is formed in a rectangular shape as described above. The long side direction of the substrate 2 accommodated in the cassette 6 coincides with the front-back direction, and the short side direction of the substrate 2 accommodated in the cassette 6 coincides with the left-right direction.

カセット６に基板２を搬入するとき、および、カセット６に収容される基板２を搬出するときには、ハンド１１が前後方向に直線的に移動して、カセット６の中に入り込む。以下の説明では、前後方向のうちのロボット３が配置されている側（図２等のＹ１方向側）を「前」側とし、カセット６が配置されている側（図２等のＹ２方向側）を「後ろ」側とする。   When the substrate 2 is loaded into the cassette 6 and when the substrate 2 stored in the cassette 6 is unloaded, the hand 11 linearly moves in the front-rear direction and enters the cassette 6. In the following description, the side of the front-rear direction on which the robot 3 is disposed (Y1 direction side in FIG. 2 and the like) is referred to as the “front” side, and the side on which the cassette 6 is disposed (Y2 direction side in FIG. 2 and the like). ) Is the “back” side.

上述のように、カセット６には、上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚の基板２が収容可能となっている。カセット６は、基板２が載置される複数の基板載置部２４を備えている。複数の基板載置部２４は、上下方向に一定のピッチで配列されている。基板載置部２４は、基板２の左右の両端部を下側から支持する複数の支持部材２５と、左右方向における所定の位置で基板２を下側から支持する複数の支持部材２６とを備えている。   As described above, the cassette 6 is capable of accommodating a plurality of substrates 2 arranged at intervals in the vertical direction. The cassette 6 includes a plurality of substrate mounting portions 24 on which the substrates 2 are mounted. The plurality of substrate mounting portions 24 are arranged at a constant pitch in the vertical direction. The substrate mounting portion 24 includes a plurality of support members 25 that support the left and right ends of the substrate 2 from below, and a plurality of support members 26 that support the substrate 2 from below at predetermined positions in the left-right direction. ing.

支持部材２５は、左右方向を長手方向とする棒状に形成されている。支持部材２５は、カセット６の枠体の左右の両端部から左右方向の内側に向かって伸びている。また、複数の支持部材２５は、前後方向に一定の間隔をあけた状態で配列されている。支持部材２６は、前後方向を長手方向とする棒状に形成されている。支持部材２６は、カセット６の枠体の後端部から前側に向かって伸びている。また、複数の支持部材２５は、左右方向に一定の間隔をあけた状態で配列されている。なお、カセット６は、後述の検知機構２８を備えていない。   The support member 25 is formed in a rod shape whose longitudinal direction is the left-right direction. The support members 25 extend inward in the left-right direction from both left and right ends of the frame of the cassette 6. In addition, the plurality of support members 25 are arranged with a certain interval in the front-rear direction. The support member 26 is formed in a rod shape having the longitudinal direction as the longitudinal direction. The support member 26 extends from the rear end of the frame of the cassette 6 toward the front. In addition, the plurality of support members 25 are arranged at a constant interval in the left-right direction. The cassette 6 does not include a detection mechanism 28 described later.

ダミーカセット７は、カセット６と同形状に形成されている。以下、ダミーカセット７の構成を説明する。なお、上述のように、ダミーカセット７は、ロボット３の教示作業で使用される。ロボット３の教示作業が行われるときには、複数のカセット６のうちの１個のカセット６がダミーカセット７に置き換えられる。ダミーカセット７は、置き換えられる１個のカセット６が設置されていた位置と同じ位置に設置される。図２には、ロボット３の教示作業が行われるときの状態が図示されている。   The dummy cassette 7 is formed in the same shape as the cassette 6. Hereinafter, the configuration of the dummy cassette 7 will be described. As described above, the dummy cassette 7 is used for the teaching operation of the robot 3. When the teaching operation of the robot 3 is performed, one of the plurality of cassettes 6 is replaced with a dummy cassette 7. The dummy cassette 7 is installed at the same position where the one cassette 6 to be replaced was installed. FIG. 2 illustrates a state where the teaching operation of the robot 3 is performed.

（ダミーカセットの構成）
図３は、図２に示すダミーカセット７の平面図である。図４は、図３に示すダミーカセット７の正面図である。図５（Ａ）は、図３に示すセンサ３１の構成および配置を説明するための図であり、図５（Ｂ）は、図３に示すセンサ３２の構成および配置を説明するための図である。図６は、図３に示すセンサ３３の構成を説明するための図である。図７は、図３に示す検知機構２８によって水平方向の位置および高さが測定されるときの基板２の状態を説明するための図である。 (Configuration of dummy cassette)
FIG. 3 is a plan view of the dummy cassette 7 shown in FIG. FIG. 4 is a front view of the dummy cassette 7 shown in FIG. FIG. 5A is a diagram for explaining the configuration and arrangement of the sensor 31 shown in FIG. 3, and FIG. 5B is a diagram for explaining the configuration and arrangement of the sensor 32 shown in FIG. is there. FIG. 6 is a diagram for explaining the configuration of the sensor 33 shown in FIG. FIG. 7 is a view for explaining the state of the substrate 2 when the position and height in the horizontal direction are measured by the detection mechanism 28 shown in FIG.

ダミーカセット７は、上述のように、カセット６と同形状に形成されており、上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚の基板２が収容可能となっている。また、ダミーカセット７は、基板２が載置される複数の基板載置部２４を備えている。基板載置部２４は、支持部材２５、２６を備えている。また、上述のように、ロボット３の教示作業が行われるときに、ダミーカセット７は、置き換えられる１個のカセット６が設置されていた位置と同じ位置に設置される。   As described above, the dummy cassette 7 is formed in the same shape as the cassette 6, and can accommodate a plurality of substrates 2 that are arranged at intervals in the vertical direction. Further, the dummy cassette 7 includes a plurality of substrate mounting portions 24 on which the substrates 2 are mounted. The substrate mounting section 24 includes support members 25 and 26. Further, as described above, when the teaching operation of the robot 3 is performed, the dummy cassette 7 is installed at the same position as the position where the one cassette 6 to be replaced is installed.

ロボット３の教示作業が行われるときには、ハンド１１がダミーカセット７の中に入り込んで、ダミーカセット７への基板２の搬入動作およびダミーカセット７からの基板２の搬出動作の少なくともいずれか一方の動作を行う。基板２の搬入動作および搬出動作が行われるときには、ハンド１１は前後方向に直線的に移動する。すなわち、前後方向（Ｙ方向）は、ダミーカセット７に対する基板２の搬入搬出方向である。   When the teaching operation of the robot 3 is performed, the hand 11 enters the dummy cassette 7 and at least one of the operation of loading the substrate 2 into the dummy cassette 7 and the operation of unloading the substrate 2 from the dummy cassette 7. I do. When the loading operation and the unloading operation of the substrate 2 are performed, the hand 11 moves linearly in the front-back direction. That is, the front-rear direction (Y direction) is the loading / unloading direction of the substrate 2 with respect to the dummy cassette 7.

ダミーカセット７は、ハンド１１によってダミーカセット７に搬入されるとともに基板載置部２４に載置される前に基板載置部２４の上側に配置される基板２、および、基板載置部２４からハンド１１によって持ち上げられて基板載置部２４の上側に配置される基板２の少なくともいずれか一方の基板２（図７参照）の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構２８を備えている。検知機構２８は、基板２の水平方向の位置を測定するための第１検知機構２９と、基板２の高さを測定するための第２検知機構３０とから構成されている。   The dummy cassette 7 is loaded into the dummy cassette 7 by the hand 11 and is placed on the substrate mounting portion 24 before being placed on the substrate mounting portion 24. A detection mechanism 28 for measuring the horizontal position and height of at least one of the substrates 2 (see FIG. 7) lifted by the hand 11 and disposed above the substrate placement unit 24 is provided. ing. The detection mechanism 28 includes a first detection mechanism 29 for measuring the horizontal position of the substrate 2 and a second detection mechanism 30 for measuring the height of the substrate 2.

また、検知機構２８は、ダミーカセット７の上端側と下端側との２箇所に設置されている。すなわち、ダミーカセット７は、２個の検知機構２８を備えている。ダミーカセット７の上端側に配置される検知機構２８は、最上段の基板載置部２４の上側に配置される基板２の水平方向の位置および高さを測定する。ダミーカセット７の下端側に配置される検知機構２８は、最下段の基板載置部２４の上側に配置される基板２の水平方向の位置および高さを測定する。   In addition, the detection mechanisms 28 are installed at two places on the upper end side and the lower end side of the dummy cassette 7. That is, the dummy cassette 7 includes two detection mechanisms 28. The detection mechanism 28 disposed on the upper end side of the dummy cassette 7 measures the horizontal position and height of the substrate 2 disposed above the uppermost substrate mounting portion 24. The detection mechanism 28 disposed at the lower end of the dummy cassette 7 measures the horizontal position and height of the substrate 2 disposed above the lowermost substrate mounting portion 24.

第１検知機構２９は、基板２の左右方向の位置を測定するセンサ３１と、基板２の前後方向の位置を測定するセンサ３２とを備えている。センサ３１、３２は、発光素子と受光素子とを有する透過型の光学式センサである。センサ３１、３２の発光素子と受光素子とは、所定の間隔をあけた状態で上下方向で対向配置されている。また、センサ３１、３２は、直線状に配列される複数の受光素子を備えるラインセンサである。本形態の第１検知機構２９は、２個のセンサ３１と１個のセンサ３２とを備えている。センサ３１、３２は、ロボット制御部４に電気的に接続されている。本形態のセンサ３１は第１センサであり、センサ３２は第２センサである。   The first detection mechanism 29 includes a sensor 31 that measures the position of the substrate 2 in the left-right direction, and a sensor 32 that measures the position of the substrate 2 in the front-rear direction. The sensors 31 and 32 are transmission-type optical sensors having a light emitting element and a light receiving element. The light emitting element and the light receiving element of the sensors 31 and 32 are vertically opposed to each other with a predetermined space therebetween. The sensors 31 and 32 are line sensors including a plurality of light receiving elements arranged in a straight line. The first detection mechanism 29 of the present embodiment includes two sensors 31 and one sensor 32. The sensors 31 and 32 are electrically connected to the robot controller 4. The sensor 31 of the present embodiment is a first sensor, and the sensor 32 is a second sensor.

２個のセンサ３１は、ダミーカセット７の左右方向の一端部に配置されている。また、２個のセンサ３１は、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、２個のセンサ３１は、ダミーカセット７の前後方向の両端部に配置されている。ラインセンサであるセンサ３１は、図５（Ａ）に示すように、センサ３１の長手方向（受光素子の配列方向）と左右方向とが一致するように配置されている。センサ３１は、基板２の左右方向の一端面の位置を受光素子によって検知することで基板２の左右方向の位置を測定する。   The two sensors 31 are arranged at one end of the dummy cassette 7 in the left-right direction. Further, the two sensors 31 are arranged at an interval in the front-rear direction. Specifically, the two sensors 31 are arranged at both ends in the front-rear direction of the dummy cassette 7. As shown in FIG. 5A, the sensor 31, which is a line sensor, is arranged so that the longitudinal direction of the sensor 31 (the direction in which the light receiving elements are arranged) and the left-right direction coincide. The sensor 31 measures the position of the substrate 2 in the left-right direction by detecting the position of one end surface in the left-right direction of the substrate 2 with a light receiving element.

センサ３２は、ダミーカセット７の後端部に配置されている。また、センサ３２は、左右方向におけるダミーカセット７の略中心位置に配置されている。ラインセンサであるセンサ３２は、図５（Ｂ）に示すように、センサ３２の長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。センサ３２は、基板２の後端面の位置を受光素子によって検知することで基板２の前後方向の位置を測定する。   The sensor 32 is arranged at the rear end of the dummy cassette 7. The sensor 32 is disposed at a substantially central position of the dummy cassette 7 in the left-right direction. As shown in FIG. 5B, the sensor 32 that is a line sensor is disposed so that the longitudinal direction of the sensor 32 coincides with the front-back direction. The sensor 32 measures the position of the substrate 2 in the front-rear direction by detecting the position of the rear end surface of the substrate 2 with a light receiving element.

第２検知機構３０は、４個のセンサ３３を備えている。４個のセンサ３３は、ロボット制御部４に電気的に接続されている。４個のセンサ３３のそれぞれは、長方形状に形成される基板２の四隅のそれぞれに対応する位置に配置されている。すなわち、４個のセンサ３３のそれぞれは、ダミーカセット７の四隅のそれぞれに配置されている。本形態のセンサ３３は、第３センサである。   The second detection mechanism 30 includes four sensors 33. The four sensors 33 are electrically connected to the robot controller 4. Each of the four sensors 33 is arranged at a position corresponding to each of the four corners of the substrate 2 formed in a rectangular shape. That is, each of the four sensors 33 is arranged at each of the four corners of the dummy cassette 7. The sensor 33 of the present embodiment is a third sensor.

センサ３３は、発光素子と受光素子とを有する反射型の光学式センサである。また、センサ３３は、いわゆる距離センサ（変位センサ）である。センサ３３の発光素子は、基板２の下面または上面に向かって光を射出する。たとえば、センサ３３の発光素子は、レーザ光を射出する。センサ３３は、たとえば、基板２の下面または上面で反射された光がセンサ３３の受光素子に入射する位置によって基板２の高さを測定する。   The sensor 33 is a reflective optical sensor having a light emitting element and a light receiving element. The sensor 33 is a so-called distance sensor (displacement sensor). The light emitting element of the sensor 33 emits light toward the lower surface or the upper surface of the substrate 2. For example, the light emitting element of the sensor 33 emits a laser beam. The sensor 33 measures the height of the substrate 2 based on, for example, the position where light reflected on the lower surface or the upper surface of the substrate 2 enters the light receiving element of the sensor 33.

（ロボットの教示作業および教示データの作成方法）
ロボット３の教示作業を行ってロボット３の教示データを作成するときには、ダミーカセット７を使用する。すなわち、ロボット３の教示作業を行ってロボット３の教示データを作成するときには、上述のように、１個のカセット６をダミーカセット７に置き換える。ダミーカセット７は、置き換えられる１個のカセット６が設置されていた位置と同じ位置に設置される。 (Robot teaching work and teaching data creation method)
When creating teaching data of the robot 3 by performing the teaching operation of the robot 3, the dummy cassette 7 is used. That is, when the teaching operation of the robot 3 is performed to create the teaching data of the robot 3, one cassette 6 is replaced with the dummy cassette 7 as described above. The dummy cassette 7 is installed at the same position where the one cassette 6 to be replaced was installed.

ロボット３の教示作業が行われるときには、ロボット３のオペレータは、目視でロボット３を確認しながら、教示操作端末５によってロボット３を操作する。また、ロボット３の教示作業が行われるときには、オペレータは、ダミーカセット７に対する所定の教示位置を特定するために、ダミーカセット７に対して所定の位置までロボット３を順次動作させる。本形態では、ダミーカセット７の上端側と下端側の２箇所でロボット３の教示作業が行われる。   When the teaching operation of the robot 3 is performed, the operator of the robot 3 operates the robot 3 with the teaching operation terminal 5 while visually confirming the robot 3. When the teaching operation of the robot 3 is performed, the operator sequentially operates the robot 3 to a predetermined position with respect to the dummy cassette 7 in order to specify a predetermined teaching position with respect to the dummy cassette 7. In the present embodiment, the teaching operation of the robot 3 is performed at two positions on the upper end side and the lower end side of the dummy cassette 7.

また、本形態では、ハンド１１によってダミーカセット７に搬入されるとともに基板載置部２４に載置される前の基板２が基板載置部２４の上側に配置されている位置、および、基板載置部２４からハンド１１によって持ち上げられた基板２が基板載置部２４の上側に配置されている位置（図７参照）の少なくともいずれか一方（すなわち、ハンド１１に搭載された基板２が基板載置部２４の上側に配置されている位置）も、ロボット３の教示位置となっている。   Further, in this embodiment, the position where the substrate 2 before being loaded into the dummy cassette 7 by the hand 11 and placed on the substrate placing portion 24 is arranged above the substrate placing portion 24, At least one of the positions (see FIG. 7) where the substrate 2 lifted by the hand 11 from the mounting portion 24 is arranged above the substrate mounting portion 24 (that is, the substrate 2 mounted on the hand 11 is mounted on the substrate mounting portion 24). The position located above the placement section 24) is also the teaching position of the robot 3.

具体的には、ハンド１１に搭載された基板２が最上段の基板載置部２４の上側に配置されている位置、および、ハンド１１に搭載された基板２が最下段の基板載置部２４の上側に配置されている位置も、ロボット３の教示位置となっている。この教示位置を特定するため、オペレータは、目視でロボット３を確認しながら教示操作端末５によってこの位置までロボット３を動作させる。この位置までロボット３が動作して、ハンド１１に搭載された基板２が基板載置部２４の上側に配置されると、検知機構２８によって、基板２の水平方向の位置および高さが測定される。   Specifically, the position where the substrate 2 mounted on the hand 11 is disposed above the uppermost substrate mounting portion 24, and the position where the substrate 2 mounted on the hand 11 is positioned on the lowermost substrate mounting portion 24. The position arranged above is also the teaching position of the robot 3. In order to identify this teaching position, the operator operates the robot 3 to this position using the teaching operation terminal 5 while visually confirming the robot 3. When the robot 3 operates to this position and the substrate 2 mounted on the hand 11 is disposed above the substrate mounting portion 24, the detection mechanism 28 measures the position and height of the substrate 2 in the horizontal direction. You.

検知機構２８の測定結果は、ロボット制御部４に入力される。ロボット制御部４は、検知機構２８の測定結果に基づいて、教示位置を特定する。また、ロボット制御部４には、オペレータが目視で基板２およびロボット３の位置を確認して特定したその他の教示位置のデータが入力される。ロボット制御部４は、検知機構２８の測定結果に基づいて特定された教示位置と、ロボット制御部４に入力されたその他の教示位置のデータとに基づいて、ダミーカセット７に対するロボット３の教示データである基準教示データを作成する。すなわち、ロボット制御部４は、検知機構２８の測定結果に基づいて基準教示データを作成する。   The measurement result of the detection mechanism 28 is input to the robot controller 4. The robot control unit 4 specifies the teaching position based on the measurement result of the detection mechanism 28. Further, data of other teaching positions specified by the operator visually confirming the positions of the substrate 2 and the robot 3 are input to the robot controller 4. Based on the teaching position specified based on the measurement result of the detection mechanism 28 and the data of the other teaching positions input to the robot control unit 4, the robot control unit 4 provides the teaching data of the robot 3 for the dummy cassette 7 based on the teaching position data. Is created. That is, the robot control unit 4 creates the reference teaching data based on the measurement result of the detection mechanism 28.

本形態では、ロボット制御部４に、ダミーカセット７に対する複数のカセット６のそれぞれの相対位置のデータである位置データが記憶されている。すなわち、ロボット制御部４には、ロボット３の教示作業時に置き換えられる１個のカセット６に対する残りの複数のカセット６のそれぞれの相対位置のデータである位置データが記憶されている。ロボット制御部４は、基準教示データを作成した後、基準教示データと位置データとに基づいて、複数のカセット６のそれぞれに対するロボット３の教示データを作成する。   In the present embodiment, the robot control unit 4 stores position data which is data of the relative positions of the plurality of cassettes 6 with respect to the dummy cassette 7. That is, the robot control unit 4 stores position data that is data of the relative positions of the remaining cassettes 6 with respect to one cassette 6 that is replaced during the teaching operation of the robot 3. After creating the reference teaching data, the robot control unit 4 creates the teaching data of the robot 3 for each of the plurality of cassettes 6 based on the reference teaching data and the position data.

すなわち、本形態では、複数のカセット６のそれぞれに対するロボット３の教示データは自動で作成されており、カセット６を用いたロボット３の教示作業は行われない。なお、基準教示データは、そのまま、ロボット３の教示作業時に置き換えられる１個のカセット６に対するロボット３の教示データとなる。   That is, in the present embodiment, the teaching data of the robot 3 for each of the plurality of cassettes 6 is automatically created, and the teaching operation of the robot 3 using the cassette 6 is not performed. Note that the reference teaching data becomes the teaching data of the robot 3 for one cassette 6 that is replaced during the teaching operation of the robot 3 as it is.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ダミーカセット７は、ハンド１１に搭載されて基板載置部２４の上側に配置される基板２の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構２８を備えている。また、本形態では、ロボット制御部４は、検知機構２８の測定結果に基づいて、ダミーカセット７に対するロボット３の教示データである基準教示データを作成している。 (Main effects of this embodiment)
As described above, in the present embodiment, the dummy cassette 7 is provided with the detection mechanism 28 for measuring the horizontal position and the height of the substrate 2 mounted on the hand 11 and disposed above the substrate mounting portion 24. It has. Further, in the present embodiment, the robot controller 4 creates reference teaching data, which is teaching data of the robot 3 with respect to the dummy cassette 7, based on the measurement result of the detection mechanism 28.

そのため、本形態では、ダミーカセット７に対してロボット３の教示作業を行う際にオペレータがロボット３の位置を微調整しなくても、検知機構２８の検知結果に基づいて、基板２が搭載されたハンド１１が基板載置部２４の上側に配置される位置の中の最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。すなわち、本形態では、ロボット３の教示作業を行う際にロボット３の位置を微調整しなくても、ハンド１１に搭載された基板２がカセット６の中で移動するときにハンド１１上の基板２とカセット６の内部の構造物とが干渉しない最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。   Therefore, in the present embodiment, the substrate 2 is mounted on the dummy cassette 7 based on the detection result of the detection mechanism 28 even when the operator does not finely adjust the position of the robot 3 when performing the teaching operation of the robot 3. It is possible to create reference teaching data in which the optimum position among the positions at which the hand 11 is placed above the substrate mounting portion 24 is the teaching position. That is, in the present embodiment, even when the position of the robot 3 is not finely adjusted when performing the teaching operation of the robot 3, the substrate 2 mounted on the hand 11 moves on the hand 11 when the substrate 2 moves in the cassette 6. It is possible to create reference teaching data in which an optimum position at which the structure 2 and the structure inside the cassette 6 do not interfere with each other is set as a teaching position.

また、本形態では、ダミーカセット７に対する複数のカセット６のそれぞれの相対位置のデータである位置データと基準教示データとに基づいて、複数のカセット６のそれぞれに対するロボット３の教示データを作成している。そのため、本形態では、ロボット３の教示作業を行う際にロボット３の位置を微調整しなくても、ハンド１１に搭載された基板２がカセット６の中で移動するときにハンド１１上の基板２とカセット６の内部の構造物とが干渉しない最適な位置を教示位置とする基準教示データに基づいて、教示データを作成することが可能になる。したがって、本形態では、ロボット３の教示作業を簡素化しても、ハンド１１に搭載された基板２がカセット６の中で移動するときにハンド１１上の基板２とカセット６の内部の構造物との干渉を防止することが可能になる。   Further, in the present embodiment, the teaching data of the robot 3 for each of the plurality of cassettes 6 is created based on the position data which is the data of the relative positions of the plurality of cassettes 6 with respect to the dummy cassette 7 and the reference teaching data. I have. Therefore, in the present embodiment, the substrate 2 mounted on the hand 11 moves in the cassette 6 without fine adjustment of the position of the robot 3 when performing the teaching operation of the robot 3. The teaching data can be created based on the reference teaching data in which the teaching position is set to an optimum position at which the structure 2 and the structure inside the cassette 6 do not interfere with each other. Therefore, in the present embodiment, even when the teaching operation of the robot 3 is simplified, when the substrate 2 mounted on the hand 11 moves in the cassette 6, the substrate 2 on the hand 11 and the internal structure of the cassette 6 Can be prevented.

本形態では、第１検知機構２９は、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２個のセンサ３１を備えている。そのため、本形態では、２個のセンサ３１を用いて前後方向に対する基板２の傾きを測定することが可能になる。したがって、本形態では、検知機構２８の検知結果に基づいて、ハンド１１に搭載された基板２がカセット６の中で移動するときにハンド１１上の基板２とカセット６の内部の構造物とが干渉しないより最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。   In the present embodiment, the first detection mechanism 29 includes two sensors 31 arranged at an interval in the front-rear direction. Therefore, in the present embodiment, it is possible to measure the inclination of the substrate 2 with respect to the front-rear direction using the two sensors 31. Therefore, in the present embodiment, when the substrate 2 mounted on the hand 11 moves in the cassette 6 based on the detection result of the detection mechanism 28, the substrate 2 on the hand 11 and the structure inside the cassette 6 are separated. It is possible to create reference teaching data in which a more optimal position that does not interfere is set as a teaching position.

本形態では、４個のセンサ３３のそれぞれは、長方形状に形成される基板２の四隅のそれぞれに対応する位置に配置されている。そのため、本形態では、基板２が大型化して、ハンド１１に搭載される基板２に撓みやねじれが生じたり、ハンド１１に撓みが生じたりして、その結果、ハンド１１上の基板２の前端側の高さと後端側の高さとに差異が生じたり、ハンド１１上の基板２の左右の一端側の高さと他端側の高さとに差異が生じたりしても、４個のセンサ３３によって、基板２の高さを精度良く測定することが可能になる。したがって、本形態では、検知機構２８の検知結果に基づいて、ハンド１１に搭載された基板２がカセット６の中で移動するときにハンド１１上の基板２とカセット６の内部の構造物とが干渉しないより最適な位置を教示位置とする基準教示データを作成することが可能になる。   In the present embodiment, each of the four sensors 33 is arranged at a position corresponding to each of the four corners of the substrate 2 formed in a rectangular shape. Therefore, in the present embodiment, the substrate 2 becomes large, and the substrate 2 mounted on the hand 11 bends or twists, or the hand 11 bends. As a result, the front end of the substrate 2 on the hand 11 Even if there is a difference between the height of the side and the height of the rear end, or the difference between the height of the left and right ends of the substrate 2 on the hand 11 and the height of the other end. Thereby, the height of the substrate 2 can be accurately measured. Therefore, in the present embodiment, when the substrate 2 mounted on the hand 11 moves in the cassette 6 based on the detection result of the detection mechanism 28, the substrate 2 on the hand 11 and the structure inside the cassette 6 are separated. It is possible to create reference teaching data in which a more optimal position that does not interfere is set as a teaching position.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited thereto, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

上述した形態において、第１検知機構２９が備えるセンサ３１の数は１個であっても良い。この場合には、たとえば、１個のセンサ３１は、前後方向におけるダミーカセット７の略中心位置に配置されている。また、第１検知機構２９が備えるセンサ３１の数が１個である場合には、第１検知機構２９は、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２個のセンサ３２を備えていても良い。この場合には、２個のセンサ３２を用いて左右方向に対する基板２の傾きを測定することが可能になる。すなわち、この場合でも、２個のセンサ３２を用いて前後方向に対する基板２の傾きを測定することが可能になる。   In the above-described embodiment, the number of the sensors 31 included in the first detection mechanism 29 may be one. In this case, for example, one sensor 31 is arranged at a substantially central position of the dummy cassette 7 in the front-rear direction. When the number of the sensors 31 included in the first detection mechanism 29 is one, the first detection mechanism 29 includes two sensors 32 arranged at an interval in the left-right direction. Is also good. In this case, it is possible to measure the inclination of the substrate 2 with respect to the left-right direction using the two sensors 32. That is, even in this case, it is possible to measure the inclination of the substrate 2 with respect to the front-back direction using the two sensors 32.

上述した形態において、第２検知機構３０が備えるセンサ３３の数は３個以下であっても良い。また、上述した形態において、検知機構２８は、ダミーカセット７の上端側のみに設置されていても良いし、ダミーカセット７の下端側のみに設置されていても良い。また、検知機構２８は、ダミーカセット７の上端側および下端側以外の１箇所または複数箇所に設置されていても良い。   In the above-described embodiment, the number of the sensors 33 included in the second detection mechanism 30 may be three or less. Further, in the above-described embodiment, the detection mechanism 28 may be installed only on the upper end side of the dummy cassette 7 or may be installed only on the lower end side of the dummy cassette 7. Further, the detection mechanism 28 may be installed at one or more places other than the upper end side and the lower end side of the dummy cassette 7.

上述した形態において、ロボット３の教示作業を行うときに、ダミーカセット７は、置き換えられる１個のカセット６が設置されていた位置と異なる位置に設置されても良い。また、上述した形態において、２個以上のカセット６が上下方向で重なるように配置されていても良い。また、上述した形態において、ロボット３は、液晶ディスプレイ以外の用途で使用されるガラス基板２を搬送するロボットであっても良い。   In the above-described embodiment, when performing the teaching operation of the robot 3, the dummy cassette 7 may be installed at a position different from the position where the single cassette 6 to be replaced is installed. In the above-described embodiment, two or more cassettes 6 may be arranged so as to overlap in the vertical direction. In the above-described embodiment, the robot 3 may be a robot that transports the glass substrate 2 used for applications other than the liquid crystal display.

２ 基板（ガラス基板）
３ ロボット（水平多関節ロボット）
４ ロボット制御部（教示データ作成部）
６ カセット
７ ダミーカセット
１１ ハンド
２３ 教示データ作成システム
２４ 基板載置部
２８ 検知機構
２９ 第１検知機構
３０ 第２検知機構
３１ センサ（第１センサ）
３２ センサ（第２センサ）
３３ センサ（第３センサ）
Ｘ 左右方向
Ｙ 前後方向 2 Substrate (glass substrate)
3 robots (horizontal articulated robots)
4 Robot control unit (teaching data creation unit)
Reference Signs List 6 cassette 7 dummy cassette 11 hand 23 teaching data creation system 24 substrate mounting part 28 detection mechanism 29 first detection mechanism 30 second detection mechanism 31 sensor (first sensor)
32 sensors (second sensor)
33 sensors (third sensor)
X left-right direction Y front-rear direction

Claims (6)

上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚のガラス基板を収容可能な同形状の複数のカセットに対する前記ガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示データを作成するための教示データ作成システムであって、
前記ガラス基板が載置される複数の基板載置部を有し前記カセットと同形状に形成されるとともに前記水平多関節ロボットの教示作業で使用されるダミーカセットと、前記水平多関節ロボットの教示データを作成する教示データ作成部とを備え、
前記ダミーカセットは、前記水平多関節ロボットのハンドによって前記ダミーカセットに搬入されるとともに前記基板載置部に載置される前に前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板、および、前記基板載置部から前記ハンドによって持ち上げられて前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板の少なくともいずれか一方の前記ガラス基板の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構を備え、
前記教示データ作成部には、前記ダミーカセットに対する複数の前記カセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データが記憶され、
前記教示データ作成部は、前記検知機構の測定結果に基づいて、前記ダミーカセットに対する前記水平多関節ロボットの教示データである基準教示データを作成するとともに、前記基準教示データと前記位置データとに基づいて、複数の前記カセットのそれぞれに対する前記水平多関節ロボットの教示データを作成することを特徴とする教示データ作成システム。 Creation of teaching data for creating teaching data of a horizontal articulated robot that transports the glass substrates to a plurality of cassettes of the same shape capable of accommodating a plurality of glass substrates arranged at intervals in a vertical direction. The system
A dummy cassette having a plurality of substrate mounting portions on which the glass substrates are mounted and having the same shape as the cassette and used for teaching work of the horizontal articulated robot; A teaching data creation unit for creating data,
The dummy cassette is carried into the dummy cassette by the hand of the horizontal articulated robot, and the glass substrate disposed above the substrate mounting portion before being mounted on the substrate mounting portion, and A detection mechanism for measuring a horizontal position and a height of at least one of the glass substrates lifted by the hand from the substrate mounting portion and disposed above the substrate mounting portion. With
In the teaching data creation unit, position data that is data of relative positions of the plurality of cassettes with respect to the dummy cassette is stored,
The teaching data creation unit creates reference teaching data that is teaching data of the horizontal articulated robot for the dummy cassette based on the measurement result of the detection mechanism, and based on the reference teaching data and the position data. A teaching data creation system for creating teaching data of the horizontal articulated robot for each of the plurality of cassettes. 前記検知機構は、前記ガラス基板の水平方向の位置を測定するための第１検知機構を備え、
前記ダミーカセットに対する前記ガラス基板の搬入搬出方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記第１検知機構は、前記ガラス基板の左右方向の位置を測定する第１センサと、前記ガラス基板の前後方向の位置を測定する第２センサとを備えることを特徴とする請求項１記載の教示データ作成システム。 The detection mechanism includes a first detection mechanism for measuring a horizontal position of the glass substrate,
When the loading / unloading direction of the glass substrate with respect to the dummy cassette is the front-back direction, and the direction perpendicular to the vertical direction and the front-back direction is the left-right direction,
The said 1st detection mechanism is provided with the 1st sensor which measures the position of the said glass substrate in the left-right direction, and the 2nd sensor which measures the position of the said glass substrate in the front-back direction. Teaching data creation system. 前記第１検知機構は、前後方向に間隔をあけた状態で配置される２個の前記第１センサを備えることを特徴とする請求項２記載の教示データ作成システム。   The teaching data creation system according to claim 2, wherein the first detection mechanism includes two first sensors arranged at an interval in a front-rear direction. 前記検知機構は、前記ガラス基板の高さを測定するための第２検知機構を備え、
前記第２検知機構は、長方形状に形成される前記ガラス基板の四隅のそれぞれに対応する位置に配置される４個の第３センサを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の教示データ作成システム。 The detection mechanism includes a second detection mechanism for measuring the height of the glass substrate,
The said 2nd detection mechanism is provided with four 3rd sensors arrange | positioned in the position corresponding to each of the four corners of the said glass substrate formed in rectangular shape, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. The described teaching data creation system. 前記検知機構は、前記ダミーカセットの上端側と下端側との２箇所に設置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の教示データ作成システム。   The teaching data creation system according to any one of claims 1 to 4, wherein the detection mechanism is provided at two locations on an upper end side and a lower end side of the dummy cassette. 上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚のガラス基板を収容可能な同形状の複数のカセットに対する前記ガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示データを作成するための教示データ作成方法であって、
前記ガラス基板が載置される複数の基板載置部を有し前記カセットと同形状に形成されるダミーカセットであって、前記水平多関節ロボットのハンドによって前記ダミーカセットに搬入されるとともに前記基板載置部に載置される前に前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板、および、前記基板載置部から前記ハンドによって持ち上げられて前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板の少なくともいずれか一方の前記ガラス基板の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構を備えるダミーカセットを使用し、
前記検知機構の測定結果に基づいて、前記ダミーカセットに対する前記水平多関節ロボットの教示データである基準教示データを作成するとともに、前記ダミーカセットに対する複数の前記カセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データと前記基準教示データとに基づいて、複数の前記カセットのそれぞれに対する前記水平多関節ロボットの教示データを作成することを特徴とする教示データ作成方法。 Creation of teaching data for creating teaching data of a horizontal articulated robot that transports the glass substrates to a plurality of cassettes of the same shape capable of accommodating a plurality of glass substrates arranged at intervals in a vertical direction. The method,
A dummy cassette having a plurality of substrate mounting portions on which the glass substrates are mounted and formed in the same shape as the cassette, wherein the substrate is carried into the dummy cassette by a hand of the horizontal articulated robot, and The glass substrate arranged above the substrate placing part before being placed on the placing part; and the glass substrate lifted by the hand from the substrate placing part and arranged above the substrate placing part Using a dummy cassette having a detection mechanism for measuring the horizontal position and height of at least one of the glass substrates of the glass substrate,
Based on the measurement result of the detection mechanism, reference teaching data that is teaching data of the horizontal articulated robot with respect to the dummy cassette is created, and a position that is data of a relative position of each of the plurality of cassettes with respect to the dummy cassette. A teaching data creation method, wherein teaching data of the horizontal articulated robot is created for each of a plurality of cassettes based on data and the reference teaching data.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112744542A (en) * 2020-09-30 2021-05-04 乐金显示光电科技(中国)有限公司 Clamp device and robot automatic teaching method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH106262A (en) * 1996-06-20 1998-01-13 Toshiba Corp Instructing method and its device for robot
JP2004241730A (en) * 2003-02-07 2004-08-26 Yaskawa Electric Corp Automatic teaching device and method for robot
JP2006123157A (en) * 2004-09-28 2006-05-18 Nidec Sankyo Corp Robot teaching program for teaching robot, cassette used therefor, position measuring apparatus and robot operation method using these
JP2007088110A (en) * 2005-09-21 2007-04-05 Daihen Corp Method of teaching reference position of substrate transfer robot
JP2015032617A (en) * 2013-07-31 2015-02-16 株式会社ダイヘン Teaching data correction method of carrier robot, and carrier system
KR20170087548A (en) * 2016-01-19 2017-07-31 로체 시스템즈(주) Apparatus for teaching a transferring robot

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5597536B2 (en) * 2008-08-01 2014-10-01 株式会社アルバック Teaching method for transfer robot
JP5750472B2 (en) * 2013-05-22 2015-07-22 株式会社安川電機 Substrate transport robot, substrate transport system, and method for detecting substrate arrangement state
JP6384195B2 (en) * 2014-08-20 2018-09-05 株式会社安川電機 Robot system and robot teaching method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH106262A (en) * 1996-06-20 1998-01-13 Toshiba Corp Instructing method and its device for robot
JP2004241730A (en) * 2003-02-07 2004-08-26 Yaskawa Electric Corp Automatic teaching device and method for robot
JP2006123157A (en) * 2004-09-28 2006-05-18 Nidec Sankyo Corp Robot teaching program for teaching robot, cassette used therefor, position measuring apparatus and robot operation method using these
JP2007088110A (en) * 2005-09-21 2007-04-05 Daihen Corp Method of teaching reference position of substrate transfer robot
JP2015032617A (en) * 2013-07-31 2015-02-16 株式会社ダイヘン Teaching data correction method of carrier robot, and carrier system
KR20170087548A (en) * 2016-01-19 2017-07-31 로체 시스템즈(주) Apparatus for teaching a transferring robot

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