JP7267541B2

JP7267541B2 - Industrial robot adjustment method and measuring instrument

Info

Publication number: JP7267541B2
Application number: JP2019097366A
Authority: JP
Inventors: 雅裕青木; 保栗林
Original assignee: ニデックインスツルメンツ株式会社
Priority date: 2019-05-24
Filing date: 2019-05-24
Publication date: 2023-05-02
Anticipated expiration: 2039-05-24
Also published as: JP2020189390A

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットの調整方法に関する。また、本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具に関する。 The present invention relates to an adjustment method for an industrial robot that transports objects such as semiconductor wafers. The present invention also relates to a measuring instrument used for adjusting the vertical pitch of a plurality of hands on which objects to be transferred such as semiconductor wafers are placed.

従来、半導体ウエハを搬送する水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用されており、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）と半導体ウエハ処理装置との間でウエハを搬送する。この産業用ロボットは、半導体ウエハが載置される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。２個のハンドは、所定の隙間を介して上下方向で重なっている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a horizontal articulated industrial robot that transports semiconductor wafers is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 is incorporated in a semiconductor manufacturing system and used to transfer wafers between a FOUP (Front Open Unified Pod) and a semiconductor wafer processing apparatus. This industrial robot has two hands on which a semiconductor wafer is placed, an arm to which the two hands are rotatably connected to the tip side, and a main body to which the base end of the arm is rotatably connected. and The two hands overlap vertically with a predetermined gap therebetween.

特開２０１７－３５７７１号公報JP 2017-35771 A

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、一般に、２個のハンドの上下方向のピッチが調整されるため、この産業用ロボットは、２個のハンドの上下方向のピッチを調整するためのピッチ調整機構を備えている。また、この産業用ロボットにおいて、２個のハンドの上下方向のピッチを調整するときには、たとえば、まず、ピックテスタと、ピックテスタが取り付けられるハイトゲージとを使用して、２個のハンドのそれぞれの高さを測定する。２個のハンドのそれぞれの高さを測定するときには、たとえば、ハイトゲージが載置される架台の載置面を基準面にして２個のハンドのそれぞれの高さを測定する。また、測定された２個のハンドのそれぞれの高さに基づいて、ピッチ調整機構によって２個のハンドの上下方向のピッチを調整する。 In the industrial robot described in Patent Document 1, the vertical pitch of the two hands is generally adjusted. It has mechanism. Also, in this industrial robot, when adjusting the vertical pitch of the two hands, first, for example, a pick tester and a height gauge to which the pick tester is attached are used to adjust the height of each of the two hands. Measure. When measuring the height of each of the two hands, the height of each of the two hands is measured using, for example, the mounting surface of the pedestal on which the height gauge is mounted as a reference plane. Also, the vertical pitches of the two hands are adjusted by the pitch adjustment mechanism based on the measured heights of the two hands.

しかしながら、ピックテスタとハイトゲージとを使用して２個のハンドのそれぞれの高さを測定する場合には、ハイトゲージが載置されるとともに高さの基準面が形成される架台も必要になるため、２個のハンドの上下方向のピッチを調整する際に使用される測定用の器具（測定用器具）が大掛かりになる。測定用器具が大掛かりになると、測定用器具を設置するとき等の測定用器具の取り扱いが煩雑になるため、２個のハンドの上下方向のピッチの調整作業が煩雑になる。また、測定用器具が大掛かりになると、測定用器具の運搬が大変になるとともに、産業用ロボットの設置スペースが狭い場合に、測定用器具を設置することができなくなるおそれがある。 However, when measuring the height of each of two hands using a pick tester and a height gauge, it is also necessary to have a stand on which the height gauge is placed and a height reference plane is formed. A measuring instrument (measuring instrument) used for adjusting the vertical pitch of each hand becomes large-scale. If the measuring instrument becomes large-scaled, the handling of the measuring instrument, such as when installing the measuring instrument, becomes complicated, and thus the task of adjusting the pitch in the vertical direction of the two hands becomes complicated. Moreover, if the measuring instrument becomes large-scaled, it becomes difficult to transport the measuring instrument, and if the installation space for the industrial robot is narrow, there is a possibility that the measuring instrument cannot be installed.

そこで、本発明の課題は、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドが上下方向で隙間を介して重なっている産業用ロボットの調整方法において、複数のハンドの上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能となる産業用ロボットの調整方法を提供することにある。また、本発明の課題は、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具において、構成を簡素化して小型化することが可能な測定用器具を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an adjustment method for an industrial robot in which a plurality of hands on which objects to be transferred such as semiconductor wafers are placed are stacked vertically with a gap therebetween, wherein the vertical pitch of the plurality of hands is To provide an adjustment method for an industrial robot capable of simplifying the adjustment work of an industrial robot. Another object of the present invention is to simplify the configuration and reduce the size of a measuring instrument used to adjust the vertical pitch of a plurality of hands on which objects to be transferred such as semiconductor wafers are placed. To provide a measuring instrument capable of

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの調整方法は、搬送対象物が載置されるとともに上下方向で隙間を介して重なる複数のハンドと、複数のハンドの上下方向のピッチを調整するためのピッチ調整機構とを備える産業用ロボットの調整方法であって、上下方向で隣り合う２個のハンドのうちの一方のハンドを第１ハンドとし、他方のハンドを第２ハンドとすると、第２ハンドに向かって突出するピンが取り付けられた第１の錘を、ピンが第１ハンドの端面よりも第１ハンドの外側に配置されるように第１ハンドに載置するとともに、第１ハンド側を向く平面が形成された第２の錘を、第２の錘の一部分が第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置されるように、かつ、第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置される第２の錘の一部分とピンとが上下方向で重なるように第２ハンドに載置する錘載置工程と、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を隙間ゲージで測定する隙間測定工程と、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ピッチ調整機構によって第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整するピッチ調整工程とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a method for adjusting an industrial robot according to the present invention includes: a plurality of hands on which an object to be conveyed is placed and which overlap in the vertical direction with a gap therebetween; and a pitch adjustment mechanism for adjustment, wherein one hand of two vertically adjacent hands is defined as the first hand and the other hand is defined as the second hand. a first weight attached with a pin protruding toward the second hand is placed on the first hand so that the pin is arranged outside the first hand relative to the end surface of the first hand; A second weight formed with a flat surface facing the first hand is positioned so that a portion of the second weight is located outside the second hand and is positioned further from the end surface of the second hand. a weight placing step of placing the second weight on the second hand so that a portion of the second weight arranged outside the second hand overlaps the pin in the vertical direction; and a plane of the second weight facing the first hand. A gap measuring step of measuring the gap between the pin and the tip of the pin using a gap gauge, and a pitch adjusting mechanism for adjusting the vertical pitch between the first hand and the second hand based on the measurement results in the gap measuring step. and an adjusting step.

本発明の産業用ロボットの調整方法では、錘載置工程において、第２ハンドに向かって突出するピンが取り付けられた第１の錘を第１ハンドに載置するとともに、第１ハンド側を向く平面が形成された第２の錘を、第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置される第２の錘の一部分とピンとが上下方向で重なるように第２ハンドに載置し、隙間測定工程において、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を隙間ゲージで測定している。また、本発明では、ピッチ調整工程において、隙間測定工程での測定結果に基づいて第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整している。 In the adjustment method of the industrial robot of the present invention, in the weight placement step, the first weight attached with the pin protruding toward the second hand is placed on the first hand, and the weight faces the first hand. A second weight having a flat surface is placed on the second hand so that a portion of the second weight arranged outside the second hand relative to the end face of the second hand overlaps the pin in the vertical direction, In the gap measuring step, the gap between the plane of the second weight facing the first hand and the tip of the pin is measured with a gap gauge. Further, in the present invention, in the pitch adjusting process, the vertical pitch between the first hand and the second hand is adjusted based on the measurement result in the gap measuring process.

すなわち、本発明では、ピンが取り付けられた第１の錘と第２の錘と隙間ゲージとを用いて測定された第２の錘の平面とピンの先端との隙間に基づいて、第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整しており、複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに大掛かりな測定用器具を使用する必要がない。そのため、本発明の産業用ロボットの調整方法で産業用ロボットを調整すれば、複数のハンドの上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能になる。 That is, in the present invention, based on the gap between the plane of the second weight and the tip of the pin, which is measured using the first weight and the second weight to which the pin is attached, and a clearance gauge, the first hand is measured. and the second hand are adjusted, and there is no need to use a large-scale measuring instrument when adjusting the vertical pitches of a plurality of hands. Therefore, if an industrial robot is adjusted by the industrial robot adjusting method of the present invention, it becomes possible to simplify the work of adjusting the vertical pitches of a plurality of hands.

本発明において、錘載置工程では、たとえば、複数箇所に第１の錘および第２の錘を載置する。この場合には、錘載置工程において、少なくとも３箇所に第１の錘および第２の錘を載置することが好ましい。このように構成すると、隙間測定工程での測定結果に基づいて、第１ハンドに対する第２ハンドの傾きを特定することが可能になるため、ピッチ調整工程において第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。すなわち、複数のハンドの上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。 In the present invention, in the weight placement step, for example, the first weight and the second weight are placed at a plurality of locations. In this case, it is preferable to place the first weight and the second weight in at least three places in the weight placing step. With this configuration, it is possible to specify the inclination of the second hand with respect to the first hand based on the measurement result in the gap measurement process. It becomes possible to adjust the pitch of the direction with high accuracy. That is, it is possible to accurately adjust the vertical pitches of a plurality of hands.

本発明において、第１ハンドに載置される複数の第１の錘およびピンの重さの合計、および、第２ハンドに載置される複数の第２の錘の重さの合計は、搬送対象物の重さと等しくなっていることが好ましい。このように構成すると、第１ハンドおよび第２ハンドに搬送対象物が実際に載置されている状態と近い条件で、第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、搬送対象物を搬送するときの、複数のハンドの上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。 In the present invention, the total weight of the plurality of first weights and pins placed on the first hand and the total weight of the plurality of second weights placed on the second hand are It is preferably equal to the weight of the object. With this configuration, it is possible to adjust the vertical pitch between the first hand and the second hand under conditions similar to the state in which the object to be conveyed is actually placed on the first hand and the second hand. become. Therefore, it is possible to accurately adjust the pitch in the vertical direction of the plurality of hands when conveying the object to be conveyed.

本発明において、産業用ロボットは、２個のハンドを備え、ハンドは、搬送対象物の複数箇所を下側から支持する複数の支持部材を備え、錘載置工程では、第１の錘および第２の錘を、複数の支持部材のそれぞれの近傍に載置することが好ましい。このように構成すると、第１ハンドおよび第２ハンドに搬送対象物が実際に載置されている状態とほぼ同じ条件で、第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、搬送対象物を搬送するときの、複数のハンドの上下方向のピッチをより精度良く調整することが可能になる。 In the present invention, an industrial robot includes two hands, each hand includes a plurality of support members for supporting a plurality of locations of an object to be conveyed from below, and in a weight placement step, a first weight and a first weight. Preferably, two weights are placed near each of the plurality of support members. With this configuration, the vertical pitch between the first hand and the second hand can be adjusted under substantially the same conditions as when the object to be conveyed is actually placed on the first hand and the second hand. be possible. Therefore, it is possible to more accurately adjust the vertical pitch of the hands when transporting the object to be transported.

また、上記の課題を解決するため、本発明の測定用器具は、搬送対象物が載置されるとともに上下方向で隙間を介して重なる複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具であって、上下方向で隣り合う２個のハンドのうちの一方のハンドを第１ハンドとし、他方のハンドを第２ハンドとすると、第１ハンドに載置される第１の錘と、第１の錘に取り付けられ第２ハンドに向かって突出するとともに第１ハンドの端面よりも第１ハンドの外側に配置されるピンと、第１ハンド側を向く平面が形成されるとともに一部分が第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置されるように、かつ、第２ハンドの端面よりも第２ハンドの外側に配置される一部分とピンとが上下方向で重なるように第２ハンドに載置される第２の錘と、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を測定するための隙間ゲージとを備えることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the measuring instrument of the present invention is used to adjust the vertical pitch of a plurality of hands on which an object to be conveyed is placed and which overlap vertically with a gap therebetween. In this measurement instrument, one hand of two vertically adjacent hands is defined as a first hand, and the other hand is defined as a second hand. A weight, a pin that is attached to the first weight and protrudes toward the second hand and is arranged outside the first hand relative to the end surface of the first hand, and a plane that faces the first hand and is partially formed. is arranged outside the second hand than the end face of the second hand, and the second hand is arranged such that a portion arranged outside the second hand than the end face of the second hand overlaps the pin in the vertical direction. It is characterized by comprising a second weight placed on the hand, and a gap gauge for measuring the gap between the plane of the second weight facing the first hand and the tip of the pin.

本発明の測定用器具は、第１の錘とピンと第２の錘と隙間ゲージとによって構成されている。そのため、本発明では、複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具の構成を簡素化して測定用器具を小型化することが可能になる。 The measuring instrument of the present invention comprises a first weight, a pin, a second weight and a feeler gauge. Therefore, in the present invention, it is possible to simplify the configuration of the measuring instrument used when adjusting the vertical pitch of a plurality of hands, and to reduce the size of the measuring instrument.

本発明において、ピンの先端は、半球状に形成されていることが好ましい。このように構成すると、第１ハンド側を向く第２の錘の平面とピンの先端との隙間を隙間ゲージによって精度良く測定することが可能になる。 In the present invention, the tip of the pin is preferably formed in a hemispherical shape. With this configuration, the clearance between the plane of the second weight facing the first hand and the tip of the pin can be accurately measured by the clearance gauge.

本発明において、第１の錘に対するピンの取付位置は、ピンの突出方向において調整可能となっていることが好ましい。このように構成すると、第１の錘に対するピンの取付位置を変更することで、複数のハンドの上下方向のピッチが異なる様々な産業用ロボットの調整を行う際に共通の測定用器具を使用することが可能になる。したがって、測定用器具の汎用性を高めることが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the mounting position of the pin with respect to the first weight be adjustable in the projecting direction of the pin. With this configuration, by changing the mounting position of the pin with respect to the first weight, a common measuring instrument can be used when adjusting various industrial robots having different vertical pitches of the hands. becomes possible. Therefore, it is possible to increase the versatility of the measuring instrument.

本発明において、第１の錘には、ピンが挿通される貫通穴が形成され、貫通穴は、第１の錘の中心から外れた位置に形成されていることが好ましい。すなわち、本発明において、ピンは、第１の錘の中心から外れた位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、ピンが第１ハンドの端面よりも第１ハンドの外側に配置されるように、第１の錘を第１ハンドに載置しやすくなる。 In the present invention, it is preferable that a through hole through which the pin is inserted is formed in the first weight, and the through hole is formed at a position off the center of the first weight. That is, in the present invention, the pin is preferably arranged at a position off the center of the first weight. With this configuration, it becomes easier to place the first weight on the first hand so that the pin is arranged outside the first hand relative to the end face of the first hand.

以上のように、本発明では、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドが上下方向で隙間を介して重なっている産業用ロボットの調整方法において、複数のハンドの上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能になる。また、本発明では、半導体ウエハ等の搬送対象物が載置される複数のハンドの上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具において、測定用器具の構成を簡素化して測定用器具を小型化することが可能になる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, in a method for adjusting an industrial robot in which a plurality of hands on which objects to be conveyed such as semiconductor wafers are placed overlap in the vertical direction with a gap therebetween, It becomes possible to simplify the pitch adjustment work. Further, in the present invention, in a measuring instrument used for adjusting the vertical pitch of a plurality of hands on which objects to be transferred such as semiconductor wafers are placed, the configuration of the measuring instrument is simplified and the It becomes possible to miniaturize the equipment.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの調整方法で調整が行われる産業用ロボットの斜視図である。1 is a perspective view of an industrial robot to be adjusted by an industrial robot adjusting method according to an embodiment of the present invention; FIG. （Ａ）は、図１に示す第１ハンド、第２ハンドの側面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＥ部の拡大図である。(A) is a side view of the first hand and the second hand shown in FIG. 1, and (B) is an enlarged view of part E of (A). （Ａ）は、図１に示す第１ハンドの平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＦ部の拡大図である。(A) is a plan view of the first hand shown in FIG. 1, and (B) is an enlarged view of part F of (A). （Ａ）は、図１に示す第２ハンドの平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＧ部の拡大図である。(A) is a plan view of the second hand shown in FIG. 1, and (B) is an enlarged view of the G section of (A). 図１に示す第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチの調整手順を説明するための平面図である。FIG. 4 is a plan view for explaining a procedure for adjusting the pitch in the vertical direction between the first hand and the second hand shown in FIG. 1; （Ａ）は、図１に示す第１ハンドと第２ハンドとの上下方向のピッチの調整手順を説明するための側面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＨ部の拡大図であり、（Ｃ）は、（Ａ）のＪ部の拡大図である。(A) is a side view for explaining the procedure for adjusting the pitch in the vertical direction between the first hand and the second hand shown in FIG. 1, and (B) is an enlarged view of part H of (A). (C) is an enlarged view of part J of (A).

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの調整方法で調整が行われる産業用ロボット１の斜視図である。図２（Ａ）は、図１に示すハンド４、５の側面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＥ部の拡大図である。図３（Ａ）は、図１に示すハンド４の平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＦ部の拡大図である。図４（Ａ）は、図１に示すハンド５の平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＧ部の拡大図である。 (Configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a perspective view of an industrial robot 1 to be adjusted by an industrial robot adjusting method according to an embodiment of the present invention. FIG. 2(A) is a side view of the hands 4 and 5 shown in FIG. 1, and FIG. 2(B) is an enlarged view of part E in FIG. 2(A). 3(A) is a plan view of the hand 4 shown in FIG. 1, and FIG. 3(B) is an enlarged view of the F portion of FIG. 3(A). 4(A) is a plan view of the hand 5 shown in FIG. 1, and FIG. 4(B) is an enlarged view of the G portion of FIG. 4(A).

本形態の産業用ロボットの調整方法で調整が行われる産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送体対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節ロボットである。ロボット１は、半導体製造システムに組み込まれて使用される。ロボット１は、ウエハ２が載置される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。 An industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") to be adjusted by the adjustment method for an industrial robot of the present embodiment is a semiconductor wafer 2 (hereinafter referred to as "wafer 2") which is an object to be transferred. ) is a horizontal articulated robot for transporting The robot 1 is used by being incorporated in a semiconductor manufacturing system. The robot 1 includes two hands 4 and 5 on which a wafer 2 is placed, an arm 6 to which the hands 4 and 5 are rotatably connected to the tip side and which moves horizontally, and a base end of the arm 6. and a body portion 7 to which the side is rotatably connected.

アーム６は、基端側が本体部７に回動可能に連結される第１アーム部９と、第１アーム部９の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１０と、第２アーム部１０の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１１とから構成されている。本体部７と第１アーム部９と第２アーム部１０と第３アーム部１１とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。本体部７は、アーム６の基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、昇降体を昇降可能に保持する筺体と、筺体に対して昇降体を昇降させる昇降機構とを備えている。 The arm 6 includes a first arm portion 9 rotatably connected to the body portion 7 at the base end side, and a second arm portion 10 rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 9 at the base end side. , and a third arm portion 11 whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 10 . The body portion 7, the first arm portion 9, the second arm portion 10, and the third arm portion 11 are arranged in this order from the bottom in the vertical direction. The main body 7 includes an elevating body whose base end side of the arm 6 is rotatably connected to the upper surface side, a housing that holds the elevating body so that it can be lifted and lowered, and an elevating mechanism that elevates the elevating body with respect to the housing. ing.

ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端部は、第３アーム部１１の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４とハンド５とは、上下方向で重なるように配置されている。また、ハンド４とハンド５とは、上下方向において隙間を介して重なっている。本形態では、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１１よりも上側に配置されている。本形態のハンド４は、上下方向で隣り合う２個のハンド４、５のうちの一方のハンドである第１ハンドとなっており、ハンド５は、他方のハンドである第２ハンドとなっている。 The hands 4 and 5 are formed to have a substantially Y shape when viewed from above and below. Base end portions of the hands 4 and 5 are rotatably connected to the distal end side of the third arm portion 11 . The hand 4 and the hand 5 are arranged so as to overlap in the vertical direction. Moreover, the hand 4 and the hand 5 overlap each other with a gap in the vertical direction. In this embodiment, the hand 4 is arranged on the upper side and the hand 5 is arranged on the lower side. Also, the hands 4 and 5 are arranged above the third arm portion 11 . The hand 4 of this embodiment is the first hand, which is one of two vertically adjacent hands 4 and 5, and the hand 5 is the other hand, the second hand. there is

ハンド４、５の先端側部分は、ウエハ２が載置される平板状のウエハ載置部４ａ、５ａとなっている。ウエハ載置部４ａ、５ａの上面には、ウエハ２の複数箇所を下側から支持する支持部材１３、１４が取り付けられている。すなわち、ハンド４、５は、ウエハ２の複数箇所を下側から支持する複数の支持部材１３、１４を備えている。具体的には、ハンド４は、ウエハ２の４箇所を下側から支持する２個の支持部材１３および２個の支持部材１４を備えている。同様に、ハンド５は、ウエハ２の４箇所を下側から支持する２個の支持部材１３および２個の支持部材１４を備えている。 The tip end portions of the hands 4 and 5 are flat wafer mounting portions 4a and 5a on which the wafer 2 is mounted. Support members 13 and 14 are attached to the upper surfaces of the wafer mounting portions 4a and 5a to support the wafer 2 at a plurality of positions from below. That is, the hands 4 and 5 are provided with a plurality of support members 13 and 14 that support the wafer 2 at a plurality of locations from below. Specifically, the hand 4 includes two support members 13 and two support members 14 that support the wafer 2 at four locations from below. Similarly, the hand 5 includes two support members 13 and two support members 14 that support the wafer 2 at four locations from below.

支持部材１３は、ウエハ載置部４ａ、５ａの先端部の２箇所に配置されている。支持部材１４は、ウエハ載置部４ａ、５ａの基端部の２箇所に配置されている。支持部材１３には、ウエハ２が載置される載置面１３ａと、水平方向へのウエハ２のずれを防止するガイド部１３ｂとが形成されている。同様に、支持部材１４には、ウエハ２が載置される載置面１４ａと、水平方向へのウエハ２のずれを防止するガイド部１４ｂとが形成されている。ハンド４、５に載置されるウエハ２は、２個の載置面１３ａと２個の載置面１４ａとに載置されており、ウエハ２の下面は、２個の載置面１３ａと２個の載置面１４ａとに接触している。 The support members 13 are arranged at two positions at the tip end portions of the wafer mounting portions 4a and 5a. The support members 14 are arranged at two locations at the base end portions of the wafer mounting portions 4a and 5a. The support member 13 is formed with a mounting surface 13a on which the wafer 2 is mounted and a guide portion 13b for preventing the wafer 2 from shifting in the horizontal direction. Similarly, the support member 14 is formed with a mounting surface 14a on which the wafer 2 is mounted, and guide portions 14b for preventing the wafer 2 from shifting in the horizontal direction. The wafers 2 mounted on the hands 4 and 5 are mounted on two mounting surfaces 13a and two mounting surfaces 14a. It is in contact with two mounting surfaces 14a.

また、ロボット１は、第１アーム部９および第２アーム部１０を回動させて第１アーム部９と第２アーム部１０とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第３アーム部１１を回動させる第３アーム部駆動機構とを備えている。また、ロボット１は、ハンド４を回動させるハンド駆動機構と、ハンド５を回動させるハンド駆動機構とを備えている。すなわち、ハンド４とハンド５とは個別に回動可能となっている。さらに、ロボット１は、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するためのピッチ調整機構１２を備えている。 The robot 1 also includes an arm drive mechanism that rotates the first arm 9 and the second arm 10 to expand and contract a part of the arm 6 composed of the first arm 9 and the second arm 10; and a third arm driving mechanism for rotating the third arm 11 . The robot 1 also includes a hand drive mechanism that rotates the hand 4 and a hand drive mechanism that rotates the hand 5 . That is, the hand 4 and the hand 5 are rotatable independently. Furthermore, the robot 1 includes a pitch adjustment mechanism 12 for adjusting the vertical pitch between the hands 4 and 5 .

ピッチ調整機構１２は、ハンド４の上下方向の位置およびハンド４の傾きを調整するための複数の調整用ネジ１５と、ハンド５の上下方向の位置およびハンド５の傾きを調整するための複数の調整用ネジ１６とを備えている。本形態のピッチ調整機構１２は、３個の調整用ネジ１５と、３個の調整用ネジ１６とを備えている。３個の調整用ネジ１５は、ハンド４の基端部に配置され、３個の調整用ネジ１６は、ハンド５の基端部に配置されている。また、３個の調整用ネジ１５は、第３アーム部１１に対するハンド４の回動中心を中心にして略等角度ピッチで配置され、３個の調整用ネジ１６は、第３アーム部１１に対するハンド５の回動中心を中心にして略等角度ピッチで配置されている。 The pitch adjustment mechanism 12 includes a plurality of adjusting screws 15 for adjusting the vertical position of the hand 4 and the inclination of the hand 4, and a plurality of adjusting screws 15 for adjusting the vertical position of the hand 5 and the inclination of the hand 5. An adjustment screw 16 is provided. The pitch adjusting mechanism 12 of this embodiment includes three adjusting screws 15 and three adjusting screws 16 . Three adjusting screws 15 are arranged at the proximal end of the hand 4 , and three adjusting screws 16 are arranged at the proximal end of the hand 5 . The three adjusting screws 15 are arranged at substantially equal angular pitches around the rotation center of the hand 4 with respect to the third arm portion 11, and the three adjusting screws 16 are arranged with respect to the third arm portion 11. They are arranged at substantially equal angular pitches around the rotation center of the hand 5 .

図２（Ｂ）に示すように、ハンド４の基端部には、調整用ネジ１５が螺合するネジ穴４ｂが形成され、ハンド５の基端部には、調整用ネジ１６が螺合するネジ穴５ｂが形成されている。ハンド４の上下方向の位置および傾きは、ネジ穴４ｂの下端からの３個の調整用ネジ１５の突出量によって調整される。ハンド５の上下方向の位置および傾きは、ネジ穴５ｂの下端からの３個の調整用ネジ１６の突出量によって調整される。また、ハンド４、５の上下方向の位置および傾きを調整することで、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチが調整される。なお、調整後のハンド４、５は、固定用ネジ１７によって固定される。 As shown in FIG. 2B, the proximal end of the hand 4 is formed with a screw hole 4b into which an adjusting screw 15 is screwed, and the proximal end of the hand 5 is screwed with an adjusting screw 16. A threaded hole 5b is formed. The vertical position and inclination of the hand 4 are adjusted by the amount of protrusion of the three adjusting screws 15 from the lower end of the screw hole 4b. The vertical position and inclination of the hand 5 are adjusted by the amount of projection of the three adjusting screws 16 from the lower end of the screw hole 5b. Further, by adjusting the vertical positions and inclinations of the hands 4 and 5, the vertical pitch between the hands 4 and 5 is adjusted. The hands 4 and 5 after adjustment are fixed by fixing screws 17 .

（ハンドの上下方向のピッチの調整手順）
図５は、図１に示すハンド４とハンド５との上下方向のピッチの調整手順を説明するための平面図である。図６（Ａ）は、図１に示すハンド４とハンド５との上下方向のピッチの調整手順を説明するための側面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＨ部の拡大図であり、図６（Ｃ）は、図６（Ａ）のＪ部の拡大図である。 (Procedure for adjusting the vertical pitch of the hand)
FIG. 5 is a plan view for explaining the procedure for adjusting the pitch in the vertical direction between the hands 4 and 5 shown in FIG. FIG. 6A is a side view for explaining the procedure for adjusting the pitch in the vertical direction between the hands 4 and 5 shown in FIG. 1, and FIG. 6(C) is an enlarged view of part J of FIG. 6(A).

ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときには、測定用器具２０が使用される。測定用器具２０は、ハンド４に載置される第１の錘としての錘２１と、錘２１に取り付けられるピン２２と、ハンド５に載置される第２の錘としての錘２３とを備えている。本形態の測定用器具２０は、４個の錘２１と４本のピン２２と４個の錘２３とを備えている。また。測定用器具２０は、隙間ゲージ（シックネスゲージ）２４を備えている。 A measuring instrument 20 is used when adjusting the vertical pitch between the hands 4 and 5 . The measuring instrument 20 includes a weight 21 as a first weight placed on the hand 4, a pin 22 attached to the weight 21, and a weight 23 as a second weight placed on the hand 5. ing. The measuring instrument 20 of this embodiment includes four weights 21 , four pins 22 and four weights 23 . again. The measuring instrument 20 has a thickness gauge 24 .

錘２１は、円板状に形成されている。ピン２２は、細長い円柱状に形成されている。錘２１には、ピン２２が挿通される貫通穴２１ａが形成されている。貫通穴２１ａは、円板状に形成される錘２１の厚さ方向で錘２１を貫通している。貫通穴２１ａは、錘２１の中心から外れた位置に形成されている。貫通穴２１ａに挿通されたピン２２は、ピン２２の両端部が錘２１の端面から突出するように錘２１に固定されている。ピン２２の一端は、半球状に形成されている。ピン２２の他端は、平面状に形成されている。以下では、半球状に形成されるピン２２の一端をピン２２の先端とする。 Weight 21 is formed in a disc shape. The pin 22 is formed in an elongated cylindrical shape. A through hole 21 a through which the pin 22 is inserted is formed in the weight 21 . The through hole 21a penetrates the weight 21 in the thickness direction of the disk-shaped weight 21 . Through hole 21 a is formed at a position off the center of weight 21 . The pin 22 inserted through the through hole 21a is fixed to the weight 21 so that both ends of the pin 22 protrude from the end surface of the weight 21 . One end of the pin 22 is formed in a hemispherical shape. The other end of the pin 22 is formed flat. Below, one end of the pin 22 formed in a hemispherical shape is defined as the tip of the pin 22 .

また、錘２１には、貫通穴２１ａに通じるネジ穴２１ｂが形成されている（図６（Ｂ）参照）。ネジ穴２１ｂは、円板状に形成される錘２１の径方向で錘２１を貫通している。ネジ穴２１ｂには、貫通穴２１ａに挿通されたピン２２を固定するためのネジ（図示省略）が螺合している。このネジは、たとえば、六角穴付止めネジである。本形態では、ネジ穴２１ｂに螺合するネジを緩めることで、ピン２２の先端側の錘２１から突出量を調整することが可能になっている。すなわち、錘２１に対するピン２２の取付位置は、ピン２２の突出方向において調整可能となっている。なお、図６（Ｃ）では、ネジ穴２１ｂの図示を省略している。 Further, the weight 21 is formed with a screw hole 21b communicating with the through hole 21a (see FIG. 6B). The screw hole 21b penetrates the weight 21 in the radial direction of the disk-shaped weight 21 . A screw (not shown) for fixing the pin 22 inserted through the through hole 21a is screwed into the screw hole 21b. This screw is, for example, a hexagon socket set screw. In this embodiment, it is possible to adjust the amount of protrusion from the weight 21 on the tip side of the pin 22 by loosening the screw that is screwed into the screw hole 21b. That is, the mounting position of the pin 22 with respect to the weight 21 can be adjusted in the projecting direction of the pin 22 . In addition, illustration of the screw hole 21b is omitted in FIG. 6(C).

錘２３は、円板状に形成されている。錘２３の外径は、錘２１の外径と等しくなっており、錘２３の厚さは、錘２１の厚さと等しくなっている。錘２３には、貫通穴２１ａに相当する貫通穴、および、ネジ穴２１ｂに相当するネジ穴は形成されていない。後述の錘載置工程では、ピン２２が取り付けられた４個の錘２１がハンド４に載置され、４個の錘２３がハンド５に載置される。本形態では、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さ（重量）の合計と、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さ（重量）の合計とが等しくなっている。また、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さの合計、および、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さの合計は、ウエハ２の重さ（重量）と等しくなっている。 The weight 23 is formed in a disc shape. The outer diameter of weight 23 is equal to the outer diameter of weight 21 , and the thickness of weight 23 is equal to the thickness of weight 21 . A through hole corresponding to the through hole 21 a and a screw hole corresponding to the screw hole 21 b are not formed in the weight 23 . In the weight placing process described later, four weights 21 with pins 22 attached thereto are placed on the hand 4 and four weights 23 are placed on the hand 5 . In this embodiment, the total weight (weight) of the four weights 21 and the four pins 22 placed on the hand 4 and the weight (weight) of the four weights 23 placed on the hand 5 are is equal to the sum of The total weight of the four weights 21 and the four pins 22 placed on the hand 4 and the total weight of the four weights 23 placed on the hand 5 are It is equal to the weight (weight).

ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときには、まず、ハンド４に向かって突出するピン２２が取り付けられた錘２１をハンド４に載置するとともに、錘２３をハンド５に載置する（錘載置工程）。錘載置工程では、錘２１の厚さ方向と上下方向とが一致するように、かつ、ピン２２の先端が下側を向くように錘２１をウエハ載置部４ａに載置する。また、錘載置工程では、錘２３の厚さ方向と上下方向とが一致するように錘２３をウエハ載置部５ａに載置する。なお、錘載置工程では、錘２１をハンド４に載置した後に錘２３をハンド５に載置しても良いし、錘２３をハンド５に載置した後に錘２１をハンド４に載置しても良い。 When adjusting the pitch between the hands 4 and 5 in the vertical direction, first, the weight 21 to which the pin 22 projecting toward the hand 4 is attached is placed on the hand 4, and the weight 23 is placed on the hand 5. (weight placement step). In the weight mounting step, the weight 21 is mounted on the wafer mounting portion 4a so that the thickness direction of the weight 21 coincides with the vertical direction and the tips of the pins 22 face downward. In the weight mounting step, the weight 23 is mounted on the wafer mounting portion 5a so that the thickness direction of the weight 23 coincides with the vertical direction. In the weight placing step, the weight 23 may be placed on the hand 5 after placing the weight 21 on the hand 4, or the weight 21 may be placed on the hand 4 after placing the weight 23 on the hand 5. You can

また、錘載置工程では、図５（Ａ）に示すように、ピン２２がハンド４の端面（具体的には、ウエハ載置部４ａの端面）よりもハンド４の外側に配置されるように錘２１をウエハ載置部４ａに載置する。さらに、錘載置工程では、ハンド４の４箇所に錘２１を載置する。具体的には、錘載置工程では、４個の支持部材１３、１４のそれぞれの近傍に錘２１を載置する。すなわち、２個の支持部材１３のそれぞれの近傍に錘２１を載置するとともに、２個の支持部材１４のそれぞれの近傍に錘２１を載置する。 In the weight mounting step, as shown in FIG. 5A, the pins 22 are positioned outside the hand 4 relative to the end surface of the hand 4 (specifically, the end surface of the wafer mounting portion 4a). Then, the weight 21 is placed on the wafer placement portion 4a. Furthermore, in the weight placement step, weights 21 are placed at four locations on the hand 4 . Specifically, in the weight placement step, the weights 21 are placed near the four support members 13 and 14, respectively. That is, the weights 21 are placed near the two support members 13 and the weights 21 are placed near the two support members 14, respectively.

また、錘載置工程では、錘２３の一部分がハンド５の端面（具体的には、ウエハ載置部５ａの端面）よりもハンド５の外側に配置されるように、錘２３をウエハ載置部５ａに載置する（図５（Ｂ）参照）。また、錘載置工程では、ハンド５の端面よりもハンド５の外側に配置される錘２３の一部分とピン２２とが上下方向で重なるように、錘２３をウエハ載置部５ａに載置する（図６参照）。ウエハ載置部５ａに載置された錘２３の上面は、平面となっており、ハンド４側を向いている。さらに、錘載置工程では、ハンド５の４箇所に錘２３を載置する。具体的には、錘載置工程では、４個の支持部材１３、１４のそれぞれの近傍に錘２３を載置する。 In the weight placing step, the weight 23 is placed on the wafer so that a part of the weight 23 is positioned outside the hand 5 relative to the end face of the hand 5 (specifically, the end face of the wafer placement portion 5a). It is placed on the portion 5a (see FIG. 5(B)). In the weight placing step, the weight 23 is placed on the wafer placing portion 5a so that a portion of the weight 23 arranged outside the hand 5 and the pins 22 overlap in the vertical direction. (See Figure 6). The upper surface of the weight 23 mounted on the wafer mounting portion 5a is flat and faces the hand 4 side. Further, in the weight placement step, weights 23 are placed at four locations on the hand 5 . Specifically, in the weight placement step, the weights 23 are placed near the four support members 13 and 14, respectively.

その後、ハンド４側を向く錘２３の上面とピン２２の先端との隙間を隙間ゲージ２４で測定する（隙間測定工程、図６（Ｂ）、（Ｃ）参照）。すなわち、隙間ゲージ２４は、錘２３の上面とピン２２の先端との隙間を測定するために使用される。本形態では、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチが適切なピッチになったときに、錘２３の上面とピン２２の先端との間に所定の隙間が形成されるように、錘２１からのピン２２の先端側の突出量が調整されている。なお、錘２１からのピン２２の先端側の突出量は、ブロックゲージ等の所定の治具を用いて調整される。 After that, the clearance between the upper surface of the weight 23 facing the hand 4 and the tip of the pin 22 is measured by the clearance gauge 24 (clearance measurement step, see FIGS. 6B and 6C). That is, the gap gauge 24 is used to measure the gap between the upper surface of the weight 23 and the tip of the pin 22 . In this embodiment, the weight 21 is arranged so that a predetermined gap is formed between the upper surface of the weight 23 and the tip of the pin 22 when the vertical pitch between the hands 4 and 5 becomes appropriate. The amount of protrusion of the tip side of the pin 22 from the is adjusted. The amount of protrusion of the tip of the pin 22 from the weight 21 is adjusted using a predetermined jig such as a block gauge.

その後、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ピッチ調整機構１２によってハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整する（ピッチ調整工程）。具体的には、ピッチ調整工程では、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ネジ穴４ｂの下端からの３個の調整用ネジ１５の突出量や、ネジ穴５ｂの下端からの３個の調整用ネジ１６の突出量を調整して、ハンド４、５の上下方向の位置および傾きを調整することで、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整する。また、ピッチ調整工程では、ハンド４とハンド５とが平行になるように、ハンド４、５の傾きを調整する。 After that, the vertical pitch between the hands 4 and 5 is adjusted by the pitch adjusting mechanism 12 based on the measurement result in the gap measuring step (pitch adjusting step). Specifically, in the pitch adjustment process, based on the measurement results in the gap measurement process, the amount of protrusion of the three adjustment screws 15 from the lower end of the screw hole 4b and the amount of protrusion of the three adjustment screws from the lower end of the screw hole 5b are determined. The vertical pitch between the hands 4 and 5 is adjusted by adjusting the projection amount of the adjustment screw 16 to adjust the vertical position and inclination of the hands 4 and 5 . Also, in the pitch adjustment process, the inclination of the hands 4 and 5 is adjusted so that the hands 4 and 5 are parallel.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の測定用器具２０は、錘２１とピン２２と錘２３と隙間ゲージ２４とによって構成されている。そのため、本形態では、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときに使用される測定用器具２０の構成を簡素化して測定用器具２０を小型化することが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, the measuring instrument 20 of this embodiment is composed of the weight 21 , the pin 22 , the weight 23 and the clearance gauge 24 . Therefore, in this embodiment, it is possible to simplify the structure of the measuring instrument 20 used when adjusting the vertical pitch between the hands 4 and 5, and to reduce the size of the measuring instrument 20.

また、本形態では、ピン２２が取り付けられた錘２１と錘２３と隙間ゲージ２４とを用いて測定された錘２３の上面とピン２２の先端との隙間に基づいて、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整しており、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整するときに大掛かりな測定用器具を使用する必要はない。そのため、本形態の調整方法でロボット１を調整すれば、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチの調整作業を簡素化することが可能になる。 Further, in this embodiment, the hand 4 and the hand 5 are measured based on the gap between the upper surface of the weight 23 and the tip of the pin 22, which is measured using the weight 21 to which the pin 22 is attached, the weight 23, and the gap gauge 24. The vertical pitch of the hands 4 and 5 is adjusted, and there is no need to use a large-scale measuring instrument when adjusting the vertical pitch of the hand 4 and the hand 5.例文帳に追加Therefore, if the robot 1 is adjusted by the adjustment method of this embodiment, it becomes possible to simplify the work of adjusting the vertical pitch between the hands 4 and 5 .

本形態では、錘載置工程において、４箇所に錘２１、２３を載置している。そのため、本形態では、隙間測定工程での測定結果に基づいて、ハンド４に対するハンド５の傾きを特定することが可能になる。したがって、本形態では、ピッチ調整工程においてハンド４とハンド５との上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。 In this embodiment, the weights 21 and 23 are placed at four positions in the weight placement step. Therefore, in this embodiment, it is possible to specify the inclination of the hand 5 with respect to the hand 4 based on the measurement result in the clearance measurement step. Therefore, in this embodiment, it is possible to accurately adjust the vertical pitch between the hands 4 and 5 in the pitch adjustment process.

本形態では、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さの合計、および、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さの合計は、ウエハ２の重さと等しくなっている。そのため、本形態では、ハンド４、５にウエハ２が実際に載置されている状態と近い条件で、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド４、５によってウエハ２を搬送するときの、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを精度良く調整することが可能になる。 In this embodiment, the total weight of the four weights 21 and the four pins 22 placed on the hand 4 and the total weight of the four weights 23 placed on the hand 5 are equal to the wafer equal to the weight of 2. Therefore, in this embodiment, it is possible to adjust the vertical pitch between the hands 4 and 5 under conditions close to the state in which the wafers 2 are actually placed on the hands 4 and 5 . Therefore, in this embodiment, it is possible to accurately adjust the vertical pitch between the hands 4 and 5 when the wafer 2 is transferred by the hands 4 and 5 .

特に本形態では、錘載置工程において、錘２１、２３を４個の支持部材１３、１４のそれぞれの近傍に載置しているため、ハンド４、５にウエハ２が実際に載置されている状態とほぼ同じ条件で、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチを調整することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド４、５によってウエハ２を搬送するときの、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチをより精度良く調整することが可能になる。 In particular, in this embodiment, the weights 21 and 23 are placed in the vicinity of the four support members 13 and 14 in the weight placing process, so that the wafers 2 are actually placed on the hands 4 and 5. It is possible to adjust the pitch in the vertical direction between the hands 4 and 5 under substantially the same conditions as in the state where the hands 4 and 5 are present. Therefore, in this embodiment, it is possible to adjust the vertical pitch between the hands 4 and 5 when the wafer 2 is transferred by the hands 4 and 5 with higher accuracy.

本形態では、錘２１に対するピン２２の取付位置は、ピン２２の突出方向において調整可能となっている。そのため、本形態では、錘２１に対するピン２２の取付位置を変更することで、ハンド４とハンド５との上下方向のピッチが異なる様々なロボット１の調整を行う際に共通の測定用器具２０を使用することが可能になる。したがって、本形態では、測定用器具２０の汎用性を高めることが可能になる。 In this embodiment, the mounting position of the pin 22 with respect to the weight 21 is adjustable in the projecting direction of the pin 22 . Therefore, in this embodiment, by changing the attachment position of the pin 22 with respect to the weight 21, the common measuring instrument 20 can be used when adjusting various robots 1 having different vertical pitches between the hands 4 and 5. becomes possible to use. Therefore, in this embodiment, it is possible to increase the versatility of the measuring instrument 20. FIG.

本形態では、ピン２２の先端は、半球状に形成されている。そのため、本形態では、錘２３の上面とピン２２の先端との隙間を隙間ゲージ２４によって精度良く測定することが可能になる。また、本形態では、ピン２２が挿通される貫通穴２１ａが錘２１の中心から外れた位置に形成されており、錘２１の中心から外れた位置にピン２２が配置されている。そのため、本形態では、ピン２２がハンド４の端面よりもハンド４の外側に配置されるように、錘２１をハンド４に載置しやすくなる。 In this embodiment, the tip of the pin 22 is formed in a hemispherical shape. Therefore, in this embodiment, the clearance between the upper surface of the weight 23 and the tip of the pin 22 can be accurately measured by the clearance gauge 24 . Further, in this embodiment, the through hole 21 a through which the pin 22 is inserted is formed at a position off the center of the weight 21 , and the pin 22 is arranged at a position off the center of the weight 21 . Therefore, in this embodiment, it becomes easier to place the weight 21 on the hand 4 so that the pin 22 is arranged outside the hand 4 relative to the end surface of the hand 4 .

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The embodiment described above is an example of the preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

上述した形態において、支持部材１３、１４から離れた位置に錘２１、２３を載置しても良い。また、上述した形態において、ハンド４に載置される４個の錘２１および４本のピン２２の重さの合計とウエハ２の重さとが異なっていても良いし、ハンド５に載置される４個の錘２３の重さの合計とウエハ２の重さとが異なっていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド４、５の３箇所または５箇所以上に錘２１、２３を載置しても良いし、ハンド４、５の１箇所または２箇所に錘２１、２３を載置しても良い。 In the embodiment described above, the weights 21 and 23 may be placed at positions separated from the support members 13 and 14. FIG. Further, in the above embodiment, the total weight of the four weights 21 and the four pins 22 placed on the hand 4 and the weight of the wafer 2 may be different. The total weight of the four weights 23 and the weight of the wafer 2 may be different. Furthermore, in the embodiment described above, the weights 21 and 23 may be placed at three or more than five locations on the hands 4 and 5, or the weights 21 and 23 may be placed at one or two locations on the hands 4 and 5. You can

上述した形態において、錘２１、２３は、円板状以外の形状に形成されていても良い。たとえば、錘２１、２３は、四角板状等の多角板状に形成されていても良い。また、上述した形態において、ピン２２の先端の形状は、半球状以外の形状であっても良い。さらに、上述した形態において、錘２１に対するピン２２の取付位置は調整可能となっていなくても良い。 In the form mentioned above, the weights 21 and 23 may be formed in shapes other than disk shape. For example, the weights 21 and 23 may be formed in a polygonal plate shape such as a rectangular plate shape. Moreover, in the above-described embodiment, the tip of the pin 22 may have a shape other than a hemispherical shape. Furthermore, in the embodiment described above, the mounting position of the pin 22 with respect to the weight 21 may not be adjustable.

上述した形態において、ピン２２が取り付けられた錘２１をハンド５に載置し、錘２３をハンド４に載置しても良い。この場合には、ピン２２の先端が上側を向くように錘２１をハンド５に載置する。また、この場合には、ハンド５側を向く錘２３の下面とピン２２の先端との隙間を隙間ゲージ２４で測定する。この場合には、ハンド５が第１ハンドとなり、ハンド４が第２ハンドとなる。 In the embodiment described above, the weight 21 with the pin 22 attached may be placed on the hand 5 and the weight 23 may be placed on the hand 4 . In this case, the weight 21 is placed on the hand 5 so that the tip of the pin 22 faces upward. In this case, the gap between the lower surface of the weight 23 facing the hand 5 and the tip of the pin 22 is measured by the gap gauge 24 . In this case, hand 5 becomes the first hand and hand 4 becomes the second hand.

上述した形態では、ハンド４とハンド５とが個別に回動可能となっているが、ハンド４、５の回動方向においてハンド４とハンド５とが互いに固定されていてハンド４とハンド５とが一緒に回動しても良い。また、上述した形態では、共通のアーム６にハンド４、５が連結されているが、ハンド４が連結されるアームとハンド５が連結されるアームとが個別に設けられていても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１は、上下方向で隙間を介して重なる３個以上のハンドを備えていても良い。 In the embodiment described above, the hands 4 and 5 are individually rotatable. may rotate together. Further, in the above embodiment, the hands 4 and 5 are connected to the common arm 6, but an arm to which the hand 4 is connected and an arm to which the hand 5 is connected may be separately provided. Furthermore, in the embodiment described above, the robot 1 may include three or more hands that overlap vertically with gaps interposed therebetween.

上述した形態において、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。 In the embodiment described above, the arm 6 may be composed of two arm portions, or may be composed of four or more arm portions. Further, in the above embodiment, the robot 1 is a robot for transporting the wafer 2, but the robot 1 may be a robot for transporting other transport objects such as glass substrates for liquid crystals.

１ロボット（産業用ロボット）
２ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４ハンド（第１ハンド）
５ハンド（第２ハンド）
１２ピッチ調整機構
１３、１４支持部材
２０測定用器具
２１錘（第１の錘）
２１ａ貫通穴
２２ピン
２３錘（第２の錘）
２４隙間ゲージ 1 Robot (industrial robot)
2 Wafer (semiconductor wafer, object to be transported)
4 hands (1st hand)
5 hands (second hand)
REFERENCE SIGNS LIST 12 pitch adjustment mechanism 13, 14 support member 20 measuring instrument 21 weight (first weight)
21a through hole 22 pin 23 weight (second weight)
24 clearance gauge

Claims

A method for adjusting an industrial robot comprising: a plurality of hands on which an object to be conveyed is placed and which are vertically overlapped with a gap therebetween; and a pitch adjustment mechanism for adjusting the vertical pitch of the plurality of hands. hand,
Assuming that one of the two hands that are vertically adjacent to each other is the first hand and the other hand is the second hand,
A first weight attached with a pin protruding toward the second hand is placed on the first hand so that the pin is arranged outside the first hand relative to the end face of the first hand. In addition, a second weight formed with a flat surface facing the first hand is arranged so that a part of the second weight is positioned outside the second hand relative to the end face of the second hand, and a weight placing step of placing the weight on the second hand so that a portion of the second weight arranged outside the second hand and the pin vertically overlap with the pin. ,
a gap measuring step of measuring a gap between a plane of the second weight facing the first hand and a tip of the pin with a gap gauge;
a pitch adjusting step of adjusting a vertical pitch between the first hand and the second hand by the pitch adjusting mechanism based on the measurement result of the gap measuring step. adjustment method.

2. The method for adjusting an industrial robot according to claim 1, wherein in said weight placing step, said first weight and said second weight are placed at a plurality of positions.

3. The method for adjusting an industrial robot according to claim 2, wherein in said weight placing step, said first weight and said second weight are placed on at least three locations.

The sum of the weights of the plurality of first weights and the pins placed on the first hand and the sum of the weights of the plurality of second weights placed on the second hand are 4. The method for adjusting an industrial robot according to claim 2, wherein the weight is equal to the weight of the object to be conveyed.

The industrial robot comprises two hands,
the hand includes a plurality of support members that support a plurality of locations of the object to be conveyed from below;
5. The method for adjusting an industrial robot according to claim 4, wherein in said weight placement step, said first weight and said second weight are placed in the vicinity of each of said plurality of support members.

A measuring instrument used when adjusting the vertical pitch of a plurality of hands on which an object to be conveyed is placed and which overlaps vertically with a gap therebetween,
Assuming that one of the two hands that are vertically adjacent to each other is the first hand and the other hand is the second hand,
a first weight placed on the first hand; and a first weight attached to the first weight, protruding toward the second hand, and disposed outside the first hand relative to an end surface of the first hand. and a flat surface facing the first hand side are formed so that a part thereof is arranged outside the second hand rather than the end face of the second hand, and the pin is positioned further than the end face of the second hand. a second weight placed on the second hand so that a portion arranged outside the second hand overlaps the pin in the vertical direction; and a plane of the second weight facing the first hand. A measuring instrument comprising a gap gauge for measuring a gap between the tip of the pin and the pin.

7. The measuring instrument according to claim 6, wherein the tip of said pin is formed in a hemispherical shape.

8. The measuring instrument according to claim 6, wherein the mounting position of the pin with respect to the first weight is adjustable in the projecting direction of the pin.

A through hole through which the pin is inserted is formed in the first weight,
The measuring instrument according to any one of claims 6 to 8, wherein the through hole is formed at a position off the center of the first weight.