JP2019203855A - 半導体装置の試験方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態1に係る半導体装置の試験装置100を説明する図である。試験装置100は、パワーモジュールの高温高湿バイアス試験に使用される治具である。高温高湿バイアス試験は、高温高湿下でパワーモジュール内の被試験素子である半導体装置10に電圧を印加し、リーク電流の変化を観察する試験である。
Claims (5)
- 第1抵抗と半導体装置とを直列に接続する工程と、
前記第1抵抗と前記半導体装置が形成する直列回路の両端に電圧を印加した状態で、前記半導体装置のリーク電流が前記第1抵抗を流れることで前記第1抵抗の両端に発生する電圧をモニタする工程と、
試験時間の経過に伴い前記第1抵抗の両端の電圧が増加して閾値を超えると、前記第1抵抗を前記第1抵抗よりも抵抗値が小さい第2抵抗に交換する工程と、
前記第2抵抗と前記半導体装置が形成する直列回路の両端に電圧を印加した状態で、前記第2抵抗の両端に発生する電圧をモニタする工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の試験方法。 - 前記閾値は、前記第1抵抗で消費される電力が前記第1抵抗の定格電力を超えないように設定されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記閾値は、前記半導体装置に印加される電圧が予め定められた電圧よりも大きくなるように設定されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記半導体装置を試験槽に収納し、前記試験槽の温度または湿度を予め定められた値に維持した状態で、前記第1抵抗の両端の電圧と前記第2抵抗の両端の電圧をモニタすることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の半導体装置の試験方法。
- 前記第1抵抗は、前記試験槽の外側に設けられることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の試験方法。
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JP7461665B2 (ja) | 2022-03-18 | 2024-04-04 | 株式会社ケミトックス | 半導体装置の信頼性試験装置 |
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