JP2019195152A - バルク音響共振器を含むフィルター - Google Patents
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Abstract
Description
)に該当する遅延した2次高調波歪みS1dとして出力される。即ち、出力端Outから出力される第1バルク音響共振器510の2次高調波歪みS1dは、第2バルク音響共振器520を通過する前の理想的な2次高調波歪みS1より
の角度だけ遅延(delay)する。即ち、第1バルク音響共振器510の実際の2次高調波歪みS1dは、理想的な2次高調波歪みS1より
/4πf0の時間だけ遅延する。
)0.5の2次高調波歪み2HDが発生する。一例として、
が23度である場合、2次高調波歪みは約50%だけ除去される。
/4πf0に該当する時間遅延が発生すると、第1バルク音響共振器1100で発生する2次高調波歪みS1は、出力端Outから、下記式1の遅延した2次高調波歪みS1dとして出力され、第2バルク音響共振器1200で発生する2次高調波歪みS2は、出力端Outから、下記式2の遅延した2次高調波歪みS2dの信号として出力される。
≦90または270<
≦360度である場合、第1バルク音響共振器1100と第3バルク音響共振器1300の極性は同一であり、第2バルク音響共振器1200の極性は、第1バルク音響共振器1100及び第3バルク音響共振器1300の極性と反対にならなければならない。また、90<
≦270度である場合、第2バルク音響共振器1200の極性は、第1バルク音響共振器1100及び第3バルク音響共振器1300の極性と同一でなければならない。
が0<
≦90または270<
≦360である場合、図7に示されたように、第2バルク音響共振器1200の極性は、第1バルク音響共振器1100及び第3バルク音響共振器1300の極性と反対になるように連結される。これと異なって、各バルク音響共振器を通過するたびに、遅延する角度
が90<
≦270度である場合、図7とは異なり、第1バルク音響共振器1100、第2バルク音響共振器1200、及び第3バルク音響共振器1300の極性はすべて同一であり得る。
であるため、式7は、式8のように表現されることができる。式8において、L1は第1バルク音響共振器1100の長さ、L2は第2バルク音響共振器1200の長さを示す。
が23度である場合、第2バルク音響共振器1200の長さL2は62.3μm、第3バルク音響共振器1300の長さL3は80μmである。
が変化する。具体的に、バルク音響共振器の長さLが長くなると、遅延角度
が小さくなり、バルク音響共振器の長さLが短くなると、遅延角度
が大きくなる。
2、及び第3バルク音響共振器1300における遅延角度
3のそれぞれは、第2バルク音響共振器1200の長さL2及び第3バルク音響共振器1300の長さL3に対する関数として、それぞれ
2(L2)及び
3(L3)で表現されることができる。このとき、第2バルク音響共振器1200の長さL2及び第3バルク音響共振器1300の長さL3は、下記式8及び式12によって誘導された式13により表現されることができる。
2は36度、及び第3バルク音響共振器1300における遅延角度
3は27度である。
112 エアキャビティ
113 ビアホール
114 接続パターン
115 基板用接続パッド
125 エッチング阻止層
130 メンブレン
135 共振部
140 第1電極
150 圧電層
160 第2電極
170 保護層
200 キャップ
250 接合剤
1100 第1バルク音響共振器
1200 第2バルク音響共振器
1300 第3バルク音響共振器
Claims (21)
- 少なくとも1つのバルク音響共振器をそれぞれ含む複数のシリーズ部と、
少なくとも1つのバルク音響共振器をそれぞれ含み、複数のシリーズ部のいずれかと接地との間に配置される複数のシャント部と、を含み、
前記複数のシリーズ部及び複数のシャント部の少なくとも1つは、順次直列に連結される第1バルク音響共振器、第2バルク音響共振器、及び第3バルク音響共振器を含み、
前記第2バルク音響共振器の極性は、前記第1バルク音響共振器及び前記第3バルク音響共振器の極性と異なる、フィルター。 - 前記第1バルク音響共振器で発生する2次高調波歪みは、前記第2バルク音響共振器及び前記第3バルク音響共振器のいずれかを通過する場合に角度
だけ遅延し、前記角度
は下記式
[式]
0<
≦90又は270<
≦360
を満たす、請求項1に記載のフィルター。 - 前記第2バルク音響共振器の長さは、前記第1バルク音響共振器の長さ及び前記第3バルク音響共振器の長さと異なる、請求項2に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器及び前記第3バルク音響共振器の長さは同一である、請求項3に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第2バルク音響共振器の長さの比率は、0.5〜1である、請求項2から4のいずれか一項に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第2バルク音響共振器の長さの比率は、0.7〜0.9である、請求項5に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第3バルク音響共振器の長さの比率は、0.5〜1である、請求項2から6のいずれか一項に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第3バルク音響共振器の長さの比率は、0.8〜1である、請求項7に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器、前記第2バルク音響共振器、及び前記第3バルク音響共振器は、前記フィルターを構成する回路の1つの分岐上に設けられる、請求項1から8のいずれか一項に記載のフィルター。
- 少なくとも1つのバルク音響共振器をそれぞれ含む複数のシリーズ部と、
少なくとも1つのバルク音響共振器をそれぞれ含み、複数のシリーズ部のいずれかと接地との間に配置される複数のシャント部と、を含み、
前記複数のシリーズ部及び複数のシャント部の少なくとも1つは、順次直列に連結される第1バルク音響共振器、第2バルク音響共振器、及び第3バルク音響共振器を含み、
前記第1バルク音響共振器で発生する2次高調波歪みは、前記第2バルク音響共振器及び前記第3バルク音響共振器のいずれかを通過する場合に角度
だけ遅延し、前記角度
は下記式
[式]
90<
≦270
を満たす、フィルター。 - 前記第2バルク音響共振器の長さは、前記第1バルク音響共振器の長さ及び前記第3バルク音響共振器の長さと異なる、請求項10に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器及び前記第3バルク音響共振器の長さは同一である、請求項11に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第2バルク音響共振器の長さの比率は、0.5〜1である、請求項10から12のいずれか一項に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第2バルク音響共振器の長さの比率は、0.7〜0.9である、請求項13に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第3バルク音響共振器の長さの比率は、0.5〜1である、請求項10から14のいずれか一項に記載のフィルター。
- 前記第1バルク音響共振器に対する前記第3バルク音響共振器の長さの比率は、0.8〜1である、請求項15に記載のフィルター。
- 入力端と、
出力端と、
前記入力端及び前記出力端の間に配置される第1バルク音響共振器、第2バルク音響共振器、及び第3バルク音響共振器と、を含み、
前記第1バルク音響共振器は、第1極性を有し、前記第2バルク音響共振器は、前記第1極性と反対の第2極性を有し、前記第3バルク音響共振器は、前記第1極性及び前記第2極性のいずれかと同一の第3極性を有し、
前記第1バルク音響共振器、前記第2バルク音響共振器、及び前記第3バルク音響共振器は、直列に連結される、バルク音響共振器セット。 - 前記第1バルク音響共振器は、第1長さを有し、前記第2バルク音響共振器は、前記第1長さより短い第2長さを有し、前記第3バルク音響共振器は、前記第1長さ以下の第3長さを有する、請求項17に記載のバルク音響共振器セット。
- 前記第3長さは、前記第2長さより長い、請求項18に記載のバルク音響共振器セット。
- 第1長さを有する第1バルク音響共振器と、
前記第1長さより短い第2長さを有する第2バルク音響共振器と、
前記第2長さより長く、前記第1長さ以下の第3長さを有する第3バルク音響共振器と、を含む、バルク音響共振器セット。 - 前記第1バルク音響共振器、前記第2バルク音響共振器、及び前記第3バルク音響共振器は、入力端と出力端との間で直列に連結され、
前記第1バルク音響共振器、前記第2バルク音響共振器、及び前記第3バルク音響共振器のうち2つのバルク音響共振器は、同一の極性を有する、請求項20に記載のバルク音響共振器セット。
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