JP2019190633A - 流体制御器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 温度に応じた開閉動作が可能な流体制御器であって、大きな膨張力が得られるとともに、対応できる温度範囲が広い流体制御器を提供すること。【解決手段】 弁体5は、複数の金属製ダイヤフラム層5a,5b,5c,5dが重ね合わされたものである。複数のダイヤフラム層5a,5b,5c,5dのうちの少なくとも1対のダイヤフラム層5c,5d間に、液体からなる膨張体Lが封入されている。弁体5が開位置にある状態でボディ2の温度が上昇した際、膨張体Lが気体となることで膨張し、その膨張によって複数のダイヤフラム層5a,5b,5c,5d間が広がることで流体通路が閉止される。【選択図】 図2
Description
この発明は、流体制御器に関し、特に、温度に応じた開閉動作が可能な流体制御器に関する。
流体制御器として、特許文献1には、流体通路が設けられたボディと、流体通路の周縁に設けられた環状のシートと、シートに押圧または離間されて流体通路を開閉する球面状の金属製ダイヤフラムと、下端に球面状の押圧面を有しダイヤフラムを押圧するダイヤフラム押さえと、ダイヤフラムを上下移動させるアクチュエータとを備えているダイヤフラム弁が開示されている。
また、温度に応じた開閉動作が可能な流体制御器として、特許文献2には、膨張体と可撓性薄膜との連動によって流体通路の開閉動作を行うものが開示されている。
上記特許文献1のダイヤフラム弁は、アクチュエータのエア駆動による開閉動作を行うものであり、温度に応じた開閉動作を行うことはできない。
上記特許文献2の流体制御器は、固体から液体への状態変化を利用しているので、膨張体の体積変化率が小さく、大きな膨張力が得られにくいという問題があり、また、対応できる温度範囲が狭いという問題もあった。
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的は、温度に応じた開閉動作が可能な流体制御器であって、大きな膨張力が得られるとともに、対応できる温度範囲が広い流体制御器を提供することにある。
上記課題を解決するためになされた本発明による流体制御器は、流体通路が設けられたボディと、前記流体通路を開閉する弁体とを備えている流体制御器において、前記弁体は、複数の金属製ダイヤフラム層が重ね合わされたものであり、前記複数のダイヤフラム層のうちの少なくとも1対の重なり合うダイヤフラム層間に、液体からなる膨張体が封入されており、前記弁体が開位置にある状態で前記ボディの温度が上昇した際、前記膨張体が気体となって膨張することで前記1対の重なり合うダイヤフラム層間が広がり、前記流体通路が閉止されることを特徴とするものである。
膨張体が液体からなるものとすることで、これをダイヤフラム層間のような狭い隙間に入れることができる。液体から気体への状態変化時の体積変化率は、固体から液体への状態変化時の体積変化率よりも大きく、少量で高い効果(ダイアフラム層を変形させる応力を生じさせる効果)が得られる。そのため、通常動作(例えばエア駆動による開閉動作)に影響を与えることがなく、しかも、大きな膨張力が得られるとともに、対応できる温度範囲が広いものとできる。ダイアフラムへの膨張体の封入は最低1対(2層)のダイヤフラム層間とすればよく、3層以上のダイアフラム層を有している場合には、複数個所に膨張体を封入することもできる。
なお、本明細書において、「膨張力」とは、物体が熱膨張、状態変化によって体積が増加することで、外部に与える力を指す。
膨張体として封入される液体の種類、膨張体の量、どのダイヤフラム層間に膨張体を封入するかは任意に選択することができ、これらを変更することで、所要の温度で閉止状態を得ることができる。
この発明の流体制御器は、例えば、流体通路が設けられたボディと、流体通路の周縁に設けられたシートと、シートに押圧または離間されて流体通路を開閉する複数層のダイヤフラム層からなる金属製ダイヤフラムと、下端に押圧面を有しダイヤフラムを押圧するダイヤフラム押さえと、ダイヤフラムを上下移動させるアクチュエータとを備えている公知のダイヤフラム弁を使用して、これを従来のアクチュエータによる開閉動作に加えて、温度に応じた開閉動作が可能な流体制御器とすることができる。
各ダイヤフラム層は、上に凸の円弧状が自然状態の球殻状とされる。弁体は、ステンレス鋼薄板のダイヤフラム層の積層体とされることがあり、ニッケル合金薄板のダイヤフラム層の積層体とされることがあり、ニッケル・コバルト合金薄板のダイヤフラム層の積層体とされることがあり、ステンレス鋼薄板とニッケル・コバルト合金薄板のダイヤフラム層の積層体とされることがある。
この発明の流体制御器によると、温度に応じた開閉動作が可能であり、しかも、膨張体が液体からなるものとされているので、大きな膨張力が得られるとともに、対応できる温度範囲が広いものとできる。
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下は、図1の上下をいうものとする。
図1は、この発明による流体制御器1を示しており、流体制御器1は、流体流入通路2a、流体流出通路2bおよび上方に向かって開口した凹所2cを有しているブロック状のボディ2と、ボディ2の凹所2c上部に下端部がねじ合わされて上方にのびる円筒状ボンネット3と、流体流入通路2aの周縁に設けられた環状のシート4と、シート4に押圧または離間されて流体流入通路2aを開閉する弁体5と、弁体5の中央部を押さえる弁体押さえ6と、ボンネット3内に上下移動自在に挿入されて弁体押さえ6を介して弁体5をシート4に押圧・離間させるステム7と、ボンネット3下端面とボディ2の凹所2c底面との間に配置されて弁体5の外周縁部をボディ2の凹所2c底面との間で保持する押さえアダプタ8と、頂壁9aを有しボンネット3にねじ合わされたケーシング9と、ステム7を上下移動させるアクチュエータ10とを備えている。
弁体5は、球殻状のダイヤフラムとされており、上に凸の円弧状が自然状態となっている。
押さえアダプタ8は、その下面全体が所定の傾斜角度とされたテーパ状とされており、ボンネット3がボディ2にねじ合わされることで、弁体5の外周縁部に上面から当接した状態で固定されている。この際、押さえアダプタ8の下面全体がテーパ状とされていることにより、弁体5は、球殻状(上に凸の円弧状)からほとんど変形することなく、その外周縁部の上面が押さえアダプタ8のテーパ状下面と面接触(広い範囲で接触)した状態で、押さえアダプタ8とボディ2の凹所2cの底面との間に保持される。
アクチュエータ10は、ステム7に一体化されたピストン11と、ピストン11を上方に付勢する圧縮コイルばね(付勢部材)12と、ピストン11上面に設けられた操作エア導入室13と、ケーシング9の頂壁9aを貫通するように設けられて操作エア導入室13内に操作エアを導入する操作エア導入通路9bとを備えている。
上記の流体制御器1の構成は、常時開型のダイヤフラム弁と同じであり、アクチュエータ10のエア駆動により、流体流入通路2aから流体流出通路2bに至る流体通路が開閉される。そして、図1に示す通路開の状態においては、流体流入通路2aから流入した流体は、ボディ2の凹所2cの底面と弁体5とによって囲まれた空間内に流入し、流体流出通路2bを経て外部へと流出する。
この流体制御器1は、弁体5が膨張体封入ダイヤフラムとされている点で従来のダイヤフラム弁と相違している。
図2に拡大して示すように、この流体制御器1の弁体5は、複数層(図示は4層)の金属製ダイヤフラム層5a,5b,5c,5dからなるとともに、矢印で示す1対のダイヤフラム層(図示は下側の2層)5c、5d間に液体からなる膨張体Lが封入されている。弁体5は、ステンレス鋼薄板5dとニッケル・コバルト合金薄板5a,5b,5cとの積層体よりなるものとされている。
ダイヤフラム層5a,5b,5c,5d同士は、互いに分離可能であり、各ダイヤフラム層5a,5b,5c,5dの周縁部が押さえアダプタ8とボディ2の凹所2c底面との間で挟持されることにより、ダイヤフラム層5a,5b,5c,5d間が密閉される。
液体からなる膨張体Lは、所要量をダイヤフラム層5c、5d間に滴下した後、各ダイヤフラム層5a,5b,5c,5dの周縁部が押さえアダプタ8とボディ2との間で挟持されることにより、ダイヤフラム層5c、5d間に封入される。
ボディ2が高温になると、液体からなる膨張体Lは気体Gとなって蒸発し、図3に示すように、弁体5の膨張体封入部分が徐々に膨張して、最下層のダイヤフラム層5dが他のダイヤフラム層5a,5b,5cから離れていく。気化する量が増加することで、最下層のダイヤフラム層5dは、最終的に、シート4に当接し、これにより、流体制御器1は、開状態から閉止状態に移行する。
膨張体Lとして封入される液体は、例えば、水、IPA(イソプロピルアルコール)などとされる。例えば水の場合、1気圧100℃の状態であれば、体積は気体になった際、1700倍となり、固体と液体との間の状態変化に比べ、体積変化率が非常に大きく、ダイアフラム層5a,5b,5c,5dを変形させる応力が大きいものとなる。したがって、わずかな量の膨張体Lであっても閉止状態を得ることができる。
流体制御器1は、図1に示す状態では、わずかな量の膨張体Lが封入されてはいるものの、従来のダイヤフラム弁との差異はほとんどなく、したがって、アクチュエータ10をオンにして、操作エア導入室13に操作エアを導入することで、ピストン11およびこれと一体のステム12が下方に移動し、これにより、弁体押さえ6が押し下げられ、弁体5がシート4に当接して閉止状態が得られる。そして、アクチュエータ10をオフにすると、圧縮コイルばね12によってピストン11およびこれと一体のステム12が上方に押し上げられ、これにより、弁体5を下方に押す力が無くなり、球殻状のダイヤフラムとされている弁体5が上に凸の円弧状である自然状態となり、シート4から離れた開状態が得られる。こうして、膨張体Lは通常動作としてのエア駆動による開閉動作に影響を与えることがなく、流体制御器1は、開閉弁としての機能を奏することができる。
そして、ボディ2が高温になると、上記のように、開状態から閉止状態に移行し、こうして、この流体制御器1は、開閉弁としての機能に加えて、安全弁としての機能を奏することができる。しかも、液体からなる膨張体Lが気体になることにより、閉止状態を得るに際して大きな膨張力が得られるとともに、対応できる温度範囲が広いものとできる。
図4は、液体を純水として、その量を0.1μl(マイクロリットル)から1.0μlまで変更した際のボディ温度とCv値との関係を示している。これによると、純水の量が0.2μlから0.5μlであると、140℃でCv値=0に到達し、純水の量が0.3μlから1.0μlであると、150℃でCv値=0に到達することが分かる。すなわち、液体を純水として、その量を0.2μlから1.0μlまでの適宜な量とすることにより、ボディ温度が140℃または150℃となった際に閉止される流体制御器が得られる。
図5は、液体をIPAとして、その量を0.5μlから30μlまで変更した際のボディ温度とCv値との関係を示している。これによると、IPAの量が30μlの場合には、120℃でCv値=0に到達し、IPAの量が1μlの場合には、130℃でCv値=0に到達し、IPAの量が0.7μlの場合には、140℃でCv値=0に到達し、IPAの量が0.5μlの場合には、180℃でCv値=0に到達することが分かる。すなわち、液体をIPAとして、その量を30μl程度と多くすることにより、ボディ温度が120℃程度の比較的低温で閉止される流体制御器が得られ、また、液体をIPAとして、その量を0.5μl程度と少なくすることにより、ボディ温度が180℃程度の比較的高温で閉止される流体制御器が得られる。
上記2つの実施例から、膨張体Lとして封入される液体の種類、膨張体Lの量、どのダイヤフラム層5a,5b,5c,5d間に膨張体Lを封入するか等を適宜設定することで、所要の温度で閉止状態を得ることができることが分かる。
なお、上記の流体制御器において、ピストン11、圧縮コイルばね(付勢部材)12、操作エア導入室13、操作エア導入通路9bなどは、弁体押さえ6を上下移動させるステム7を上下移動させるアクチュエータ10を構成しているが、アクチュエータの構成は、図1に示したものに限定されるものではない。例えば、図1では、圧縮コイルばね12がピストン11を上方に付勢していて、常時開型の流体制御器とされているが、圧縮コイルばねがピストンを下方に付勢している常時閉型とすることもできる。
以上説明したように、本発明は、従来のダイヤフラム弁をベースにして、温度に応じた開閉動作が可能な流体制御器を得ることができ、しかも、大きな膨張力が得られるとともに、対応できる温度範囲が広いものとできるので、流体通路の制御の向上に寄与することができる。
1:流体制御器
2:ボディ
2a:流体流入通路
2b:流体流出通路
5:弁体
5a:第1ダイヤフラム層
5b:第2ダイヤフラム層
5c:第3ダイヤフラム層
5d:第4ダイヤフラム層
L:膨張体
G:気体
2:ボディ
2a:流体流入通路
2b:流体流出通路
5:弁体
5a:第1ダイヤフラム層
5b:第2ダイヤフラム層
5c:第3ダイヤフラム層
5d:第4ダイヤフラム層
L:膨張体
G:気体
Claims (1)
- 流体通路が設けられたボディと、前記流体通路を開閉する弁体とを備えている流体制御器において、
前記弁体は、複数の金属製ダイヤフラム層が重ね合わされたものであり、前記複数のダイヤフラム層のうちの少なくとも1対の重なり合うダイヤフラム層間に、液体からなる膨張体が封入されており、
前記弁体が開位置にある状態で前記ボディの温度が上昇した際、前記膨張体が気体となって膨張することで前記1対の重なり合うダイヤフラム層間が広がり、前記流体通路が閉止されることを特徴とする流体制御器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018087318A JP2019190633A (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 流体制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018087318A JP2019190633A (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 流体制御器 |
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JP2019190633A true JP2019190633A (ja) | 2019-10-31 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018087318A Pending JP2019190633A (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 流体制御器 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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