JP2019187169A - アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】支持体および可動体の一方側部材に粘弾性部材を効率よく接着することのできるアクチュエータの製造方法を提供すること。【解決手段】アクチュエータの製造工程において、可動体の第１ヨーク８１に粘弾性部材９１を第１接着剤層９６によって接着する工程では、搬送ヘッド１０１０によって、第１冶具２００の一方面２０１側に粘弾性部材９１を配置した後、搬送ヘッド１０１０を粘弾性部材９１から離脱させる。一方、第２冶具３００の一方面３０１に第１ヨーク８１を配置しておく。次に、第２冶具３００の一方面３０１を上向きにする一方、第１冶具２００の一方面２０１を下向きにし、粘弾性部材９１と第１ヨーク８１とを接着剤９６０を介して重ねる。次に、接着剤９６０を硬化させて第１ヨーク８１と粘弾性部材９１とを第１接着剤層９６により接着した後、粘弾性部材９１から第１冶具２００を外す。【選択図】図７

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータの製造方法に関するものである。

情報を振動によって報知するデバイスとして、永久磁石を備えた可動体と、永久磁石と対向するコイルを有する支持体とを備えたアクチュエータが提案されている。かかるアクチュエータでは、支持体と可動体とが対向する部分にシリコーンゲル等の粘弾性部材が配置されており、支持体に対して可動体が変位する際の共振周波数を粘弾性部材によって制御することによって、可動体の共振を抑制する技術が提案されている（特許文献１参照）。また、特許文献１には、粘弾性部材を支持体および可動体に対して接着剤によって固定しておくことが提案されている。

特開２０１７−１３５９４８号公報

特許文献１等に記載のアクチュエータのように、シリコーンゲル等の粘弾性部材を支持体および可動体に対して接着剤によって固定する場合、例えば、図１１に示すように、搬送ヘッド１０１０ｘで搬送してきた粘弾性部材９１ｘを、接着剤９６０ｘを介して可動体６ｘのヨーク８１ｘに重ねた後、搬送ヘッド１０１０ｘを粘弾性部材９１ｘから離脱させ、その後、接着剤９６０ｘを硬化させる。

しかしながら、粘弾性部材９１ｘは強い吸着力を有しているため、搬送ヘッド１０１０ｘと粘弾性部材９１ｘとが吸着している。このため、接着剤９６０ｘを硬化させる前に搬送ヘッド１０１０ｘを粘弾性部材９１ｘから離脱させようとしても、粘弾性部材９１ｘが搬送ヘッド１０１０ｘに吸着したまま移動するという事態が発生することがあり、生産効率が低下する。かといって、接着剤９６０ｘを硬化させた後、搬送ヘッド１０１０ｘを粘弾性部材９１ｘから離脱させる方法では生産性が極めて低下してしまう。かかる問題点は、搬送ヘッド１０１０ｘを利用した場合に限らず、他の方法で粘弾性部材９１ｘを搬送した場合に同様に発生する。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、支持体および可動体の一方側部材に粘弾性部材を効率よく接着することのできるアクチュエータの製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は、支持体と、前記支持体に対して移動可能な可動体と、前記支持体を構成する部材、および前記可動体を構成する部材のうちの一方側部材に第１接着剤層により接着された粘弾性部材と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有するアクチュエータの製造方法において、前記一方側部材に前記粘弾性部材を前記第１接着剤層によって接着する工程では、第１冶具の一方面側に前記粘弾性部材を配置する第１工程と、前記粘弾性部材と前記一方側部材とを接着剤を介して重ねる第２工程と、前記接着剤を硬化させて前記一方側部材と前記粘弾性部材とを前記第１接着剤層により接着する第３工程と、前記粘弾性部材から前記第１冶具を外す第４工程と、を有することを特徴とする。

本発明では、第１工程において第１冶具の一方面側に粘弾性部材を配置すると、粘弾性部材は、それ自身の吸着力によって第１冶具に吸着する。従って、粘弾性部材を搬送するのに用いた搬送ヘッドやピンセット等を粘弾性部材から容易に離脱させることができる。また、第２工程において粘弾性部材と一方側部材とを接着剤を介して重ねた後、第３工程において接着剤を硬化させて粘弾性部材を一方側部材に接着すると、第４工程において粘弾性部材から第１冶具を外す際、粘弾性部材が第１冶具に吸着したまま移動するという事態が発生しない。それ故、支持体および可動体の一方側部材に粘弾性部材を効率よく接着することができる。

本発明において、第２冶具の一方面に前記一方側部材を配置しておき、前記第２工程では、前記粘弾性部材と前記一方側部材とが前記接着剤を介して重なるように前記第１冶具と前記第２冶具とを重ねる態様を採用することができる。

この場合、前記第１冶具の一方面に複数の前記粘弾性部材を配置し、前記第２冶具の一方面に複数の前記一方側部材を配置しておき、前記第２工程では、複数の前記粘弾性部材と複数の前記一方側部材とが各々、前記接着剤を介して重なるように前記第１冶具と前記第２冶具とを重ねる態様を採用することができる。このような態様によれば、一方側部材に粘弾性部材を効率よく接着することができる。

本発明において、前記第２工程では、前記第２冶具の一方面を上向きにする一方、前記第１冶具の一方面を下向きにして前記第１冶具と前記第２冶具とを重ねる態様を採用することができる。かかる態様によれば、第２冶具の一方面を上向きにするため、第２冶具が一方側部材を保持する構造とする必要がない。また、第１冶具では、粘弾性部材が、それ自身の吸着力によって第１冶具に吸着しているので、第１冶具の一方面を下向きにしても、粘弾性部材が第１冶具から落下しにくい。

本発明において、前記第１工程では、搬送ヘッドが前記粘弾性部材を前記第１冶具の一方面に配置した後、前記第２工程の前に、前記粘弾性部材から前記搬送ヘッドを離脱させる態様を採用することができる。

本発明において、前記搬送ヘッドは、前記粘弾性部材を真空吸着する吸着部と、前記吸着部より上方に引っ込んだ上方位置と前記吸着部より下方に突出した下方位置との間で移動可能な棒状部材と、を有し、前記搬送ヘッドが前記粘弾性部材から離脱する際、前記棒状部材が前記吸着部から下方に突出する態様を採用することができる。かかる態様によれば、粘弾性部材が、それ自身の吸着力によって搬送ヘッドに吸着している場合でも、搬送ヘッドが粘弾性部材から離脱する際、棒状部材が粘弾性部材と接する状態となる。従って、搬送ヘッドと粘弾性部材との吸着力が低下しているので、搬送ヘッドは、粘弾性部材から容易に離脱することができる。

本発明において、前記粘弾性部材はゲル状部材である態様を採用することができる。ゲル状部材の場合には特に、吸着力が強いが、その場合でも、一方側部材に粘弾性部材を効率よく接着することができる。

本発明において、前記第４工程の後、前記支持体を構成する部材、および前記可動体を構成する部材のうちの他方側部材と前記弾性部材とを第２接着剤層により接着する態様を採用することができる。かかる態様によれば、粘弾性部材は、可動体の移動に確実に追従するので、可動体の共振を効果的に防止することができる。この場合でも、他方側部材と粘弾性部材とを第２接着剤により接着する際には、粘弾性部材に搬送ヘッド等が触れる必要がないので、他方側部材に粘弾性部材を効率よく接着することができる。

本発明では、第１工程において第１冶具の一方面側に粘弾性部材を配置すると、粘弾性部材は、それ自身の吸着力によって第１冶具に吸着する。従って、粘弾性部材を搬送するのに用いた搬送ヘッドやピンセット等を粘弾性部材から離脱させることができる。また、第２工程において粘弾性部材と一方側部材とを接着剤を介して重ねた後、第３工程において接着剤を硬化させて粘弾性部材を一方側部材に接着すると、第４工程において粘弾性部材から第１冶具を外す際、粘弾性部材が第１冶具に吸着したまま移動するという事態が発生しない。それ故、支持体および可動体の一方側部材に粘弾性部材を効率よく接着することができる。

本発明が適用されるアクチュエータの一態様を示す斜視図である。 図１に示すアクチュエータのＹＺ断面図である。 図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。 図１に示すアクチュエータを支持体と可動体とに分解した分解斜視図である。 図４に示す支持体を第１方向の他方側からみた分解斜視図である。 図２に示す粘弾性部材の固定構造を模式的に示す説明図である。 図１に示すアクチュエータの製造方法を示す工程断面図である。 図７に示す搬送ヘッドを備えた搬送装置の説明図である。 図８に示す搬送ヘッドの説明図である。 図８に示す搬送装置での粘弾性部材の搬送動作を示す説明図である。 比較例に係るアクチュエータの製造方法を示す説明図である。

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、可動体６の直動方向（第２方向、振動方向）にＸを付し、第２方向Ｘと交差する第１方向にＺを付し、第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに対して交差する第３方向にＹを付して説明する。なお、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付して説明する。また、以下の説明では、コイルを保持する側が支持体２であって、永久磁石を保持する側が可動体６である場合を中心に説明する。

（全体構成）
図１は、本発明が適用されるアクチュエータ１の一態様を示す斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を支持体２と可動体６とに分解した分解斜視図である。図５は、図４に示す支持体２を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた分解斜視図である。

図１に示すアクチュエータ１は、アクチュエータ１を手にした利用者に対して第２方向Ｘの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。

図２、図３、図４および図５に示すように、アクチュエータ１は、アクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む支持体２と、ケース３の内部で支持体２に対して第２方向Ｘに移動可能に支持された可動体６とを有しており、可動体６が第２方向Ｘに振動することによって情報を出力する。

支持体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、給電基板１０を有しており、可動
体６は、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）、およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を有している。コイル５および永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）は、可動体６を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路１ａを構成している。可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた粘弾性部材９１、９２を介して支持体２に支持されている。

（可動体６の構成）
図２、図３および図４に示すように、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された第１ヨーク８１と、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向するように第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持された平板状の第１永久磁石７１とを有している。また、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された第２ヨーク８２と、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向するように第２ヨーク８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持された平板状の第２永久磁石７２とを有している。本形態において、可動体６は、第１ヨーク８１、第１永久磁石７１、第２ヨーク８２、および第２永久磁石７２によって構成されている。

第１ヨーク８１は、第１永久磁石７１が固定された平板部８１１と、平板部８１１の第２方向Ｘの両側の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった一対の連結部８１２とを有している。第２ヨーク８２は、第２永久磁石７２が固定された平板部８２１を有しており、平板部８２１の第３方向Ｙの中間部分には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に張り出した一対の張り出し部８２２を有している。本形態において、一対の張り出し部８２２には、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２の先端部が溶接等の方法で連結されている。第１永久磁石７１および第２永久磁石７２は各々、第１方向Ｚの一方側Ｚ１と第１方向Ｚの他方側Ｚ２とが異なる極に着磁されている。

（支持体２の構成）
図１および図２に示すように、支持体２において、ケース３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ケース部材３１と、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有しており、第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が各々、連結されてケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、図２および図５に示すコイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。

図５に示すように、コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、コイルホルダ４に保持されている。コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。このように構成したコイル５に対して、長辺部５１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で第１永久磁石７１が対向し、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第２永久磁石７２が対向している。コイルホルダ４は、コイル５が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴４１０が第１方向Ｚで開口する板部４１を有している。

板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１において、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて側板部４１３が突出し、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１４、４１５が突出している。側板部４１４、４１５の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１４ｂ、４１５ｂが形成されている。また、側板部４１４、４１５の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１にも同様な溝状の凹部（図示せず）が形成されている。

板部４１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部４１２において、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１７、４１８、４１９が突出している。側板部４１８、４１９の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部４１８ｂ、４１９ｂが形成されている。また、側板部４１８、４１９の内面のうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１にも同様な溝状の凹部（図示せず）が形成されている。

側板部４１４、４１５にはスリット４１４ｔ、４１５ｔが形成されている。スリット４１４ｔ、４１５ｔには、給電基板１０の両側の端部１０ａ、１０ｂが保持されている。給電基板１０には、コイル５を構成するコイル線の端部５６、５７がハンダ等により接続されている。

（第１プレート４７および第２プレート４８の構成）
図２、図４、および図５に示すように、支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１プレート４７を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤９０からなる接着剤層９によって、コイル５は、第１プレート４７および板部４１に固定されている。従って、コイル５は、第１プレート４７を介して第１永久磁石７１と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤層９によって、第１プレート４７は板部４１に固定されている。

また、支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２プレート４８を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤９０からなる接着剤層９によって、コイル５は、第２プレート４８に固定されている。従って、コイル５は、第２プレート４８を介して第２永久磁石７２と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤層９によって、第２プレート４８は板部４１に固定されている。

第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。本形態において、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなる。より具体的には、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。

第１プレート４７は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に斜めに突出した爪状の凸部４７２を有しており、凸部４７２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部（図示せず）の内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。第２プレート４８は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に斜めに突出した爪状の凸部４８２を有しており、凸部４８２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。

このように、本形態のアクチュエータ１は、コイルホルダ４の板部４１を第１方向Ｚで貫通するコイル配置穴４１０の内側にコイル５が配置されているとともに、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なるように第１プレート４７が配置されている。このため、コイル５の空芯部５０に接着剤９０を充填すると、接着剤９０は、コイル５とコイルホルダ４との間、コイル５と第１プレート４７との間、および第１プレート４７とコイルホルダ４との間に流れ込む。従って、接着剤９０を硬化させると、コイル５、第１プレート４７、およびコイルホルダ４が接着剤層９によって固定される。このため、コイル５の外周面とコイル配置穴４１０の内周面との隙間に接着剤を流し込む場合と違って、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０に配置したコイル５をコイルホルダ４と適正に接着することができる。また、第１永久磁石７１とコイル５との間には第１プ
レート４７が介在する。このため、可動体６が第１方向Ｚの一方側Ｚ１に移動した場合でも、第１永久磁石７１とコイル５とが直接、接触することがないので、コイル５が損傷しにくい。また、第２永久磁石７２とコイル５との間に第２プレート４８が介在する。このため、可動体６が第１方向Ｚの他方側Ｚ２に移動した場合でも、第２永久磁石７２とコイル５とが直接、接触することがないので、コイル５が損傷しにくい。また、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなるため、コイル５で発生した熱を第１プレート４７および第２プレート４８を介して効率よく逃がすことができる。

（粘弾性部材９１、９２の構成）
図２、図３、図４および図５に示すように、可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた粘弾性部材９１、９２のみによって第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持されている。従って、本形態では、可動体６と支持体２との間は、可動体６を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持する板バネ等が配置されていない。それ故、支持体２に対する可動体６の共振周波数は、粘弾性部材９１、９２によって制御されている。

粘弾性部材９１は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。粘弾性部材９２は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。より具体的には、粘弾性部材９１は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所（コイル５の短辺部５２側）の各々において第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。粘弾性部材９２は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所（コイル５の短辺部５２側）の各々において第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。従って、板状バネ等を用いずに、可動体６を第２方向Ｘに移動可能に支持することができる。

本形態において、粘弾性部材９１、９２は、シリコーンゲル等のゲル状部材からなる。本形態において、粘弾性部材９１、９２は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されているように、２５℃で９．３８ｇの総荷重をかけた１／４コーンの針が５秒間に入り込む深さを１／１０ｍｍ単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。

このように本形態のアクチュエータ１においては、可動体６と支持体２との間に粘弾性部材９１、９２が設けられているため、可動体６が共振することを抑制することができる。ここで、粘弾性部材９１は、第１プレート４７と第１ヨーク８１との間に設けられており、粘弾性部材９２は、第２プレート４８と第２ヨーク８２との間に設けられている。従って、粘弾性部材９１、９２を設けるのにケース３が用いられていない。このため、ケース３を用いなくても、支持体２と可動体６との間に粘弾性部材９１、９２を設けることができる。それ故、ケース３を設けていない組み立て途中の段階で粘弾性部材９１、９２を設けることができるので、製造途中にダンパ特性を含む振動特性を測定することができる。また、粘弾性部材９１、９２を設けるのにケース３が用いられていないので、ケース３を有しないアクチュエータに粘弾性部材９１、９２を設けることができる。

また、粘弾性部材９１、９２は、支持体２と可動体６とにおいて第２方向Ｘ（振動方向）に対して交差する第１方向Ｚで対向する位置に設けられているため、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、そのせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体６が第２方向Ｘに振動しても、粘弾性部材９１、９２の弾性率の変化が小さいので、可動体６の共振を効果的に抑制することができる。すなわち、粘弾性部材９１、９２は、粘弾性部材であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材９１、９２は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数
）が大きい伸縮特性を備える。また、粘弾性部材９１、９２は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、粘弾性部材９１、９２は、せん断方向に変形するように構成されている。従って、粘弾性部材９１、９２では、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、粘弾性部材９１、９２のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

また、粘弾性部材９１、９２は、図６を参照して後述するように、第１方向Ｚの両面が各々、可動体６および支持体２に接着剤層によって固定されている。従って、粘弾性部材９１、９２は、可動体６の移動に確実に追従するので、可動体６の共振を効果的に防止することができる。

また、粘弾性部材９１、９２は、支持体２と可動体６との間で第１方向Ｚに圧縮された状態にある。従って、粘弾性部材９１、９２は、可動体６の移動に確実に追従するので、可動体６の共振を効果的に防止することができる。

（動作）
本形態のアクチュエータ１において、給電基板１０を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１永久磁石７１および第２永久磁石７２を備えた磁気駆動回路１ａによって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。従って、アクチュエータ１を手に持っていた利用者は、アクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、例えば、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような感覚を得ることができる。

（粘弾性部材９１、９２の固定構造）
図６は、図２に示す粘弾性部材９１、９２の固定構造を模式的に示す説明図である。図６に示すように、本形態のアクチュエータ１において、粘弾性部材９１は、支持体２を構成する部材、および可動体６を構成する部材のうちの一方側部材に第１接着剤層９６により接着されている。また、粘弾性部材９１は、支持体２を構成する部材、および可動体６を構成する部材のうちの他方側部材に第２接着剤層９７により接着されている。

本形態において、粘弾性部材９１は、可動体６のうち、第１ヨーク８１（一方側部材）に第１接着剤層９６により接着され、支持体２のうち、第１プレート４７（他方側部材）に第２接着剤層９７により固定されている。なお、符号をかっこ内に示すように、粘弾性部材９２は、可動体６のうち、第２ヨーク８２に第１接着剤層９６により接着され、支持体２のうち、第２プレート４８に第２接着剤層９７により固定されている。

（アクチュエータ１の製造方法）
図７は、図１に示すアクチュエータ１の製造方法を示す工程断面図である。なお、図７では、各部材を認識しやすいように、各部材毎の縮尺を変えてある。本形態のアクチュエータ１の製造工程のうち、可動体６の第１ヨーク８１（一方側部材）に粘弾性部材９１を第１接着剤層９６により接着する工程では、図７に示す工程を行う。

まず、図７に示す工程ＳＴ１（第１工程）では、第１冶具２００の一方面２０１側に粘弾性部材９１を配置する。本形態では、第１冶具２００の所定位置に複数の粘弾性部材９１を配置する。本形態では、搬送ヘッド１０１０によって粘弾性部材９１を第１冶具２００の一方面２０１に配置した後、搬送ヘッド１０１０を粘弾性部材９１から離脱させる。

次に、工程ＳＴ２では、粘弾性部材９１の第１冶具２００とは反対側の面に接着剤９６０を塗布する。

一方、工程ＳＴ３では、第２冶具３００の一方面３０１に第１ヨーク８１（一方側部材）を配置しておく。ここで、第２冶具３００は、第１ヨーク８１が載置される板部３１０と、板部３１０から突出して第１ヨーク８１を位置決めする凸部３２０とを有している。本形態では、第２冶具３００の所定位置に複数の第１ヨーク８１を配置する。

次に、工程ＳＴ４（第２工程）では、粘弾性部材９１と第１ヨーク８１とが接着剤９６０を介して重なるように第１冶具２００と第２冶具３００とを重ねる。本形態では、複数の粘弾性部材９１と複数の第１ヨーク８１とが各々、接着剤９６０を介して重なるように第１冶具２００と第２冶具３００とを重ねる。

その際、第２冶具３００の一方面３０１を上向きにする一方、第１冶具２００の一方面２０１を下向きにして第１冶具２００と第２冶具３００とを重ねる。従って、第２冶具３００では、第１ヨーク８１を位置決めできれば、第１ヨーク８１を保持する構造とする必要がない。また、第１冶具２００では、粘弾性部材９１が、それ自身の吸着力によって第１冶具２００に吸着しているので、第１冶具２００の一方面２０１を下向きにしても、粘弾性部材９１が第１冶具２００から落下しにくい。

本形態では、第１冶具２００と第２冶具３００とを重ねる際、位置決め用の第３冶具４００を用いる。第３冶具４００は、第１冶具２００を支持する板部４５０と、複数の位置決め用の凸部４２０とを有しており、凸部４２０は、第２冶具３００の貫通穴３５０を貫通し、第１冶具２００の位置決め穴２５０に嵌って、第１冶具２００と第２冶具３００とを位置決めする。

次に、工程ＳＴ５（第３工程）では、接着剤９６０を硬化させて第１ヨーク８１と粘弾性部材９１とを第１接着剤層９６により接着する。本形態において、接着剤９６０は常温硬化型であるが、接着剤９６０を加熱して硬化を促進させる。

しかる後に、工程ＳＴ６（第４工程）では、粘弾性部材９１から第１冶具２００を外す。また、図示を省略するが、第２冶具３００から、粘弾性部材９１が接着された第１ヨーク８１を回収する。

なお、粘弾性部材９２を第２ヨーク８２に第１接着剤層９６により接着する場合も、図７を参照して説明した工程を行う。

（本形態の主な効果）
このように本形態の製造方法では、第１工程（工程ＳＴ１）において第１冶具２００の一方面２０１に粘弾性部材９１を配置すると、粘弾性部材９１は、それ自身の吸着力によって第１冶具２００に吸着する。従って、粘弾性部材９１を搬送するのに用いた搬送ヘッド１０１０を粘弾性部材９１から容易に離脱させることができる。

また、第２工程（工程ＳＴ４）において粘弾性部材９１と第１ヨーク８１とを接着剤９
６０を介して重ねた後、第３工程（工程ＳＴ５）において接着剤９６０を硬化させて粘弾性部材９１を第１ヨーク８１に接着すると、第４工程（工程ＳＴ６）において粘弾性部材９１から第１冶具２００を外す際、粘弾性部材９１が第１冶具２００に吸着したまま移動するという事態が発生しない。それ故、第１ヨーク８１に粘弾性部材９１を効率よく接着することができる。

このようにして第１ヨーク８１と粘弾性部材９１とを第１接着剤層９６により接着した後、図６に示すように、支持体２の第１プレート４７（他方側部材）と粘弾性部材９１とを第２接着剤層９７により固定する。その際は、粘弾性部材９１に搬送ヘッド等が触れる必要がないので、第１プレート４７と粘弾性部材９１とを効率よく接着することができる。

なお、本形態では、接着剤９６０を粘弾性部材９１に塗布したが、第１ヨーク８１に接着剤９６０を塗布してもよい。

（搬送ヘッド１０１０の構成例）
図８は、図７に示す搬送ヘッド１０１０を備えた搬送装置１０００の説明図である。図９は、図８に示す搬送ヘッド１０１０の説明図である。図１０は、図８に示す搬送装置１０００での粘弾性部材の搬送動作を示す説明図である。なお、図８および図１０では、図２等に示す粘弾性部材９１、９２を区別せず、粘弾性部材９５として示してある。

図８に示す搬送装置１０００は、粘弾性部材９５の搬送装置であり、複数の粘弾性部材９５が載置される載置台１０２９と、載置台１０２９に対して上下方向に相対移動可能に構成された搬送ヘッド１０１０とを有している。複数の粘弾性部材９５は、シート状の粘弾性部材を左右方向および前後方向に切断したものであり、左右方向および前後方向で側面９５ａ同士が接するように載置台１０２９に配列されている。本形態において、載置台１０２９の上面には剥離紙１２９１が配置され、複数の粘弾性部材９５は、剥離紙１２９１の上に配置されている。搬送ヘッド１０１０は、左右方向に移動可能であり、載置台１０２９はベース１０２８上で前後方向に移動可能である。従って、搬送ヘッド１０１０および載置台１０２９を移動させれば、複数の粘弾性部材９５を順次、持ち上げ、第１冶具２００まで搬送することができる。

図９に示すように、搬送ヘッド１０１０は、概ね、支持プレート１０２５の下面に固定されたブロック１０２６と、ブロック１０２６の下面から突出するように設けられた吸着部１０２１と、ブロック１０２６に対して上下方向に移動可能に構成された当接部材１０２２とを有している。

当接部材１０２２は、ブロック１０２６の下面に重なる底板部１２２５と、底板部１２２５からブロック１０２６の２つの側面１２６１の各々に沿うように上方に延在した側板部１２２７とを有しており、当接部材１０２２は、ブロック１０２６の側面１２６１にガイドされて上下方向に移動可能である。支持プレート１０２５の側方では、支持プレート１０２５に固定された受け板１０２７と、当接部材１０２２の側板部１２２９との間に２つのコイルバネからなる付勢部材１２２０が配置されており、付勢部材１２２０は、当接部材１０２２を下方に付勢している。ブロック１０２６の側面１２６１には板状のストッパ１２６５が固定されており、側板部１２２７の先端部１２２７ａがストッパ１２６５に当接することによって、搬送ヘッド１０１０上における当接部材１０２２の下方への移動範囲が規定されている。

当接部材１０２２の底板部１２２５の吸着部１０２１と重なる位置には開口部１２２６が形成されており、開口部１２２６の周りからは、枠状の当接部１２２１が下方に突出し
ている。従って、吸着部１０２１は開口部１２２６で下方に向けて開放状態にあり、吸着部１０２１の周りを囲むように当接部１２２１が形成されている。

図１０（ａ）に示すように、吸着部１０２１には、真空吸着を行うための複数の通気穴１２１０が形成されている。また、吸着部１０２１には、２つの穴１２１１が開口しており、２つ穴１２１１の各々の内側に棒状部材１０２３が上下方向に移動可能に配置されている。ここで、棒状部材１０２３は、図８に示すシャフト１２７７の下端部に形成されており、シャフト１２７７の上端側は、ボルト１２７３によって上方への移動が制限されたストッパ１２７４と連結されている。また、ストッパ１２７４と搬送ヘッド１０１０との間には、ストッパ１２７４から下方に延在するシャフト１２７６の周りにコイルバネ１２７５が配置されている。従って、棒状部材１０２３は、搬送ヘッド１０１０の上下方向の移動に伴って、当接部１２２１より上方に引っ込んだ上方位置と、当接部１２２１より下方に突出した下方位置との間で当接部１２２１に対して相対移動可能である。

（搬送動作）
本形態では、搬送ヘッド１０１０によって、複数の粘弾性部材９５を１つずつ搬送する。従って、図１０（ａ）に示すように、当接部１２２１で囲まれた開口部１２２６は、粘弾性部材９５の１つ分の大きさになっている。図１０（ａ）に示す待機状態において、搬送ヘッド１０１０は、粘弾性部材９５から上方で離間する待機位置にある。この状態で、開口部１２２６は、複数の粘弾性部材９５のうち、これから搬送しようとする１つの粘弾性部材９５の真上位置にある。また、吸着部１０２１では、通気穴１２１０から空気が吸引されている。

この状態から、図８に示すレバー１０２４を時計周りＣＷの中立位置から、反時計周りＣＣＷに回転させると、図１０（ｂ）に示すように、搬送ヘッド１０１０が下降し、まず、当接部材１０２２の当接部１２２１が、目的の１つの粘弾性部材９５の周りに位置する隣りの粘弾性部材９５に上方Ｚ２から当接する。さらに、図８に示すレバー１０２４を反時計周りＣＣＷに回転させると、搬送ヘッド１０１０がさらに下降し、目的の粘弾性部材９５は、当接部１２２１の内側に嵌って、粘弾性部材９５自身の吸着力によって当接部１２２１の内側に保持される。また、当接部１２２１の内側に嵌った粘弾性部材９５は、吸着部１０２１によって真空吸着されて、搬送ヘッド１０１０に保持された状態となる。

次に、図８に示すレバー１０２４を時計周りＣＷに回転させると、図１０（ｃ）に示すように、搬送ヘッド１０１０が上昇し、目的の粘弾性部材９５は、搬送ヘッド１０１０に保持された状態で上昇する。これに対して、目的の粘弾性部材９５の周りに位置する隣りの粘弾性部材９５は、載置台１０２９に残った状態となる。

この状態で、搬送ヘッド１０１０を、図８に示す第１治具２００の真上位置まで移動させた後、図８に示すレバー１０２４をさらに時計周りＣＷに移動させると、支持プレート１０２５や当接部材１０２２が上昇する一方、棒状部材１０２３を備えたシャフト１２７７は、ボルト１２７３とストッパ１２７４との当接により、上昇が阻止される。その結果、図１０（ｄ）に示すように、棒状部材１０２３の下端部１２３０が当接部１２２１から下方に突出し、粘弾性部材９５を第１治具２００に押し付ける。しかる後に、図８に示すレバー１０２４を反時計周りＣＣＷに回転させて、棒状部材１０２３を上昇させた後、上記の動作を繰り返せば、複数の粘弾性部材９５を順次搬送することができる。

このように構成した搬送装置１０００では、搬送ヘッド１０１０が下降して粘弾性部材９５を保持する際、当接部材１０２２の当接部１２２１が、複数の粘弾性部材９５のうち、目的の粘弾性部材９５の隣りの粘弾性部材９５に上方から当接する。従って、当接部１２２１は、目的の粘弾性部材９５と隣りの粘弾性部材９５との吸着力に抗する力を発揮す
る。このため、搬送ヘッド１０１０が上昇して目的の粘弾性部材９５を搬送する際、隣りの粘弾性部材９５から容易に離れるので、粘弾性部材９５の搬送が容易である。また、当接部１２２１が吸着部１０２１を囲むように設けられているため、搬送ヘッド１０１０は、吸着部１０２１による粘弾性部材９５の真空吸着と、当接部１２２１の内側での粘弾性部材９５の保持とによって粘弾性部材９５を確実に保持することができる。

この場合でも、搬送ヘッド１０１０から粘弾性部材９５を離脱させる際、棒状部材１０２３が吸着部１０２１より下方に突出し、粘弾性部材９５と搬送ヘッド１０１０との吸着力に抗する力を発揮する。このため、粘弾性部材９５が搬送ヘッド１０１０から容易に離れるので、粘弾性部材９５の取扱いが容易である。

（別の実施形態）
上記実施形態では、粘弾性部材９１を可動体６の第１ヨーク８１と支持体２の第１プレート４７とに接着し、粘弾性部材９２を可動体６の第２ヨーク８２と支持体２の第２プレート４８とに接着する場合を例示したが、粘弾性部材を可動体６の他の部材と支持体２の他の部材に接着すう場合に本発明を適用してもよい。

上記実施形態では、支持体２を構成する部材に粘弾性部材を接着する前に、可動体６を構成する部材に粘弾性部材を接着する際に図７を参照して説明した方法を例示したが、可動体６を構成する部材に粘弾性部材を接着する前に、可動体６を構成する部材に粘弾性部材を接着する際に図７を参照して説明した方法を適用してもよい。

上記実施の形態では、粘弾性部材９１、９２を各々、支持体２および可動体６の双方に接着剤層により固定したが、支持体２および可動体６の一方のみに接着剤層（第１接着剤層）によって固定してもよい。

上記実施の形態では、粘弾性部材９１、９２を各々、支持体２および可動体６に接着剤層により固定したが、粘弾性部材９１、９２の一方のみを支持体２および可動体６に接着剤層により固定した態様を採用してもよい。

上記実施の形態では、粘弾性部材９１、９２にシリコーンゲル等からなるゲル状部材を用いたが、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。したがって、粘弾性部材９１、９２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いた場合に本発明を適用してもよい。但し、ゲル状部材は、他の粘弾性部材より吸着力が大きいので、本発明を適用した効果が顕著である。

上記実施の形態では、コイルを支持体２に設け、永久磁石を可動体６に設けたが、コイルを可動体６に設け、永久磁石を支持体に設けたアクチュエータに本発明を適用してもよい。上記実施の形態では、可動体６を第２方向Ｘに振動させるアクチュエータを例示したが、可動体６を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに振動させるアクチュエータに本発明を適用してもよい。

１…アクチュエータ、１ａ…磁気駆動回路、２…支持体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、４７…第１プレート、４８…第２プレート、７１…第１永久
磁石、７２…第２永久磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、９１、９２…粘弾性部材、９６…第１接着剤層、９７…第２接着剤層、２００…第１冶具、３００…第２冶具、９６０…第１接着剤、１０１０…搬送ヘッド、１０２１…吸着部、１０２３…棒状部材

Claims (8)

1. 支持体と、前記支持体に対して移動可能な可動体と、前記支持体を構成する部材、および前記可動体を構成する部材のうちの一方側部材に第１接着剤層により接着された粘弾性部材と、前記可動体を前記支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路と、を有するアクチュエータの製造方法において、
   前記一方側部材に前記粘弾性部材を前記第１接着剤層によって接着する工程では、
   第１冶具の一方面側に前記粘弾性部材を配置する第１工程と、
   前記粘弾性部材と前記一方側部材とを接着剤を介して重ねる第２工程と、
   前記接着剤を硬化させて前記一方側部材と前記粘弾性部材とを前記第１接着剤層により接着する第３工程と、
   前記粘弾性部材から前記第１冶具を外す第４工程と、
   を有することを特徴とするアクチュエータの製造方法。
2. 第２冶具の一方面に前記一方側部材を配置しておき、
   前記第２工程では、前記粘弾性部材と前記一方側部材とが前記接着剤を介して重なるように前記第１冶具と前記第２冶具とを重ねることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータの製造方法。
3. 前記第１冶具の一方面に複数の前記粘弾性部材を配置し、前記第２冶具の一方面に複数の前記一方側部材を配置しておき、
   前記第２工程では、複数の前記粘弾性部材と複数の前記一方側部材とが各々、前記接着剤を介して重なるように前記第１冶具と前記第２冶具とを重ねることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータの製造方法。
4. 前記第２工程では、前記第２冶具の一方面を上向きにする一方、前記第１冶具の一方面を下向きにして前記第１冶具と前記第２冶具とを重ねることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータの製造方法。
5. 前記第１工程では、搬送ヘッドが前記粘弾性部材を前記第１冶具の一方面に配置した後、前記第２工程の前に、前記粘弾性部材から前記搬送ヘッドを離脱させることを特徴とする請求項１から４までの何れか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
6. 前記搬送ヘッドは、前記粘弾性部材を真空吸着する吸着部と、前記吸着部より上方に引っ込んだ上方位置と前記吸着部より下方に突出した下方位置との間で移動可能な棒状部材と、を有し、
   前記搬送ヘッドが前記粘弾性部材から離脱する際、前記棒状部材が前記吸着部から下方に突出することを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータの製造方法。
7. 前記粘弾性部材はゲル状部材であることを特徴とする請求項１から６までの何れか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
8. 前記第４工程の後、前記支持体を構成する部材、および前記可動体を構成する部材のうちの他方側部材と前記弾性部材とを第２接着剤層により接着することを特徴とする請求項１から７までの何れか一項に記載のアクチュエータの製造方法。