JP2019162770A - Liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge device - Google Patents

Liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge device Download PDF

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Abstract

To provide a liquid discharge head reduced in variation of discharge characteristics of droplets discharged from a nozzle regardless of a dimensional variation of components forming a flow passage.SOLUTION: A liquid discharge head includes: a nozzle plate 3 in which a plurality of nozzles 3a for discharging droplets are formed; a flow passage plate 2 in which a bulkhead 2d for sectioning a plurality of pressure chambers 2a communicated with at least the plurality of nozzles 3a is formed; a diaphragm 6 which covers a surface opposed to a surface covered with the nozzle plate 3 of the flow passage plate 2 so that the pressure chambers 2a are partitioned; and driving means 5 which vibrates the diaphragm 6 so as to generate pressure for pressurizing liquid in the pressure chamber. The bulkhead 2d for sectioning the pressure chambers 2a has bulging-out of an adhesive 9 used for joining at peripheral edges of a joined section to the nozzle plate 3 and a joined section to the diaphragm 6. Application quantity of the adhesive 9 used for joining the bulkhead 2d, the nozzle plate 3, and the diaphragm 6 is different according to the width of the bulkhead 2d.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置に関する。   The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge unit, and an apparatus for discharging liquid.

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置(例えばインクジェット記録装置)が知られている。   As an image forming apparatus such as a printer, a facsimile, a copying machine, a plotter, or a complex machine of these, for example, a liquid discharge recording type image forming using a recording head composed of a liquid discharge head (droplet discharge head) that discharges ink droplets. An apparatus (for example, an ink jet recording apparatus) is known.

液体を吐出する液体吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)においては、圧力室(個別液室)の液体を加圧する効率を高めるなどの目的で、共通液室あるいは共通液室に通じる液体導入部から流体抵抗部を介して圧力室に液体を供給する構成が知られており、幅の狭い流体抵抗部と、流体抵抗部の下流側の圧力室、及び上流側の共通液室あるいは液体導入部などの流路を形成する流路板(流路部材)が用いられる。   In a liquid discharge head (droplet discharge head) that discharges a liquid, a fluid is introduced from a common liquid chamber or a liquid introducing portion that communicates with the common liquid chamber for the purpose of increasing the efficiency of pressurizing the liquid in the pressure chamber (individual liquid chamber). A configuration is known in which a liquid is supplied to a pressure chamber via a resistance portion, such as a narrow fluid resistance portion, a pressure chamber on the downstream side of the fluid resistance portion, and a common liquid chamber or a liquid introduction portion on the upstream side. A flow path plate (flow path member) that forms a flow path is used.

流路及び流体抵抗部を構成する場合、板状部材に流路となる溝部等を形成するとき、寸法ばらつきが生じることがある。そのため、流路の断面積にばらつきが生じて流体抵抗(流体抵抗値)がばらつくという課題がある。   When the flow path and the fluid resistance portion are configured, dimensional variations may occur when a groove or the like serving as the flow path is formed in the plate-like member. For this reason, there is a problem that variation occurs in the cross-sectional area of the flow path and the fluid resistance (fluid resistance value) varies.

このような問題は流路の形状が複雑化し、構成する部材の数が多くなるほど発生しやすくなる。
その結果、液体吐出ヘッドの液体吐出特性の悪化(吐出液滴速度ばらつきの増大)、液体の循環特性のばらつきによる吐出特性の悪化を招くこととなる。さらに、流路内で液体を循環させながら吐出するタイプの液体吐出ヘッドの場合は、液体の循環特性のばらつきによる放置可能時間の短縮につながるという問題がある。
Such a problem is more likely to occur as the shape of the flow path becomes complicated and the number of constituent members increases.
As a result, the liquid ejection characteristics of the liquid ejection head are deteriorated (increase in ejection droplet speed variation), and the ejection characteristics are deteriorated due to variations in the circulation characteristics of the liquid. Furthermore, in the case of a liquid discharge head of a type that discharges while circulating a liquid in the flow path, there is a problem that the neglectable time is shortened due to variations in the circulation characteristics of the liquid.

一方、高い液体吐出精度を得るためには、構成部材の寸法精度に加えて、流路板と他の部材(例えば、ノズル板や振動板)との接合強度や信頼性も要求される。接合には接着剤が使用されることが一般的であるが、接着剤のはみ出しが生じることがあり、はみ出し量の差異によって流路の断面積のばらつきをまねくおそれがある。   On the other hand, in order to obtain high liquid discharge accuracy, in addition to the dimensional accuracy of the constituent members, the bonding strength and reliability between the flow path plate and other members (for example, a nozzle plate and a vibration plate) are also required. In general, an adhesive is used for joining, but the adhesive may protrude, and there is a possibility that the cross-sectional area of the flow path may vary due to the difference in the amount of protrusion.

特許文献1では、圧力発生室の並設方向の側面を画成する隔壁と振動板とが圧力発生室の並設方向と交差する方向に沿って複数設けられた無機材料からなる柱状部材によって接合されていると共に、隔壁と振動板との間の柱状部材の周囲には、樹脂からなる接着層が形成されている液体噴射ヘッドが開示されている。かかる態様では、振動板の隔壁による拘束を低減させて、振動板の変位特性を向上することができる。また、振動板と隔壁とを接着層と柱状部材とで接合することで、振動板と隔壁との接合強度が低下して剥離等の不具合が発生するのを抑制することができる。さらに、振動板と隔壁との隙間が柱状部材によって規定されるため、樹脂のはみ出しや不足などによる変位特性のばらつきを抑制することができる。   In Patent Document 1, the partition walls and the diaphragm that define the side surfaces of the pressure generating chambers in the juxtaposed direction are joined by a columnar member made of an inorganic material provided in a direction that intersects the juxtaposed direction of the pressure generating chambers. In addition, a liquid ejecting head is disclosed in which an adhesive layer made of resin is formed around a columnar member between a partition wall and a diaphragm. In such an aspect, it is possible to improve the displacement characteristics of the diaphragm by reducing the restraint by the diaphragm of the diaphragm. In addition, by joining the diaphragm and the partition wall with the adhesive layer and the columnar member, it is possible to suppress the occurrence of problems such as peeling due to a decrease in the bonding strength between the diaphragm and the partition wall. Furthermore, since the gap between the diaphragm and the partition wall is defined by the columnar member, it is possible to suppress variation in displacement characteristics due to the protrusion or shortage of the resin.

また、特許文献2では、流路部材と振動板との接合面は接着剤により接合され、振動板は部位によって積層数が異なる積層構造であり、加圧液室へ液体を供給可能な開口部に複数のフィルタ孔が形成されたフィルタ部を有し、フィルタ部に当接または近接する流路部材の側壁と、振動板の積層数が最も多い厚肉部とが、積層方向において重ならない液滴吐出ヘッドが開示されている。このような構成により、振動板と流路部材との間に必要とされる接合強度が確保され、かつ接合に用いた接着剤の流出が抑制される。   Further, in Patent Document 2, the joint surface between the flow path member and the diaphragm is joined by an adhesive, and the diaphragm has a laminated structure in which the number of laminated layers differs depending on the portion, and an opening that can supply liquid to the pressurized liquid chamber The side wall of the flow path member that is in contact with or close to the filter part and the thick part with the largest number of laminated diaphragms do not overlap in the stacking direction. A droplet discharge head is disclosed. With such a configuration, the bonding strength required between the diaphragm and the flow path member is ensured, and the outflow of the adhesive used for bonding is suppressed.

上述のように、流路板において流路を形成する部材の寸法ばらつき(例えば、隔壁幅や隔壁間隔のばらつき)を有する場合、流路の断面積のばらつきを解消することが必要である。流路内で液体を循環させながら吐出するタイプのヘッドにおいても、液体の循環量を安定させるため、液体を供給する側の流体抵抗と液体を排出する側の流体抵抗の比を一定に保つことが有効である。   As described above, when there is a dimensional variation in the members forming the flow channel in the flow channel plate (for example, a variation in partition wall width or partition wall spacing), it is necessary to eliminate variations in the cross-sectional area of the channel. Even in a head that discharges while circulating liquid in the flow path, the ratio of fluid resistance on the liquid supply side and fluid resistance on the liquid discharge side must be kept constant in order to stabilize the amount of liquid circulation. Is effective.

特許文献1及び特許文献2に記載の液体吐出ヘッドにおいては、構成部材の接合に用いられる接着剤のはみ出しが制御されるが、流路を構成する部材の寸法ばらつきに起因した流路の液体の流れの方向の断面積(流体抵抗値)のばらつきを抑制することは困難であり、吐出特性のばらつきを解消できないおそれがある。   In the liquid discharge heads described in Patent Document 1 and Patent Document 2, the protrusion of the adhesive used for joining the component members is controlled, but the liquid in the flow channel due to the dimensional variation of the members constituting the flow channel is controlled. It is difficult to suppress the variation in the cross-sectional area (fluid resistance value) in the flow direction, and the variation in the ejection characteristics may not be eliminated.

そこで、本発明は、流路を構成する部材の寸法ばらつきにかかわらず、ノズルから吐出される液滴の吐出特性のばらつきが低減された液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejection head in which variations in ejection characteristics of droplets ejected from nozzles are reduced regardless of variations in the dimensions of members constituting a flow path.

上記課題を解決するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、少なくとも複数の前記ノズルに連通する複数の圧力室を区画する隔壁が形成された流路板と、前記圧力室を画成するように前記流路板の前記ノズル板で覆われた面と対向する面を覆う振動板と、前記振動板を振動させて前記圧力室内の液体を加圧する圧力を発生するための駆動手段と、を備え、前記圧力室を区画する隔壁は、前記ノズル板との接合部及び前記振動板との接合部の周縁に、接合に用いた接着剤のはみ出しを有し、前記隔壁と前記ノズル板及び前記振動板とを接合する接着剤量が、前記隔壁の幅に応じて異なることを特徴とする液体吐出ヘッドである。   In order to solve the above problems, a liquid discharge head according to the present invention includes a nozzle plate on which a plurality of nozzles for discharging droplets are formed, and a partition that partitions at least a plurality of pressure chambers that communicate with the plurality of nozzles. A flow path plate, a vibration plate that covers a surface of the flow path plate that faces the surface covered with the nozzle plate so as to define the pressure chamber, and the vibration plate is vibrated to vibrate the pressure chamber. Drive means for generating a pressure for pressurizing the liquid, and the partition partitioning the pressure chamber is bonded to the periphery of the joint with the nozzle plate and the joint with the diaphragm. The liquid discharge head is characterized in that the amount of adhesive that has a protruding part of the agent and joins the partition wall, the nozzle plate, and the vibration plate varies depending on the width of the partition wall.

本発明によれば、流路を構成する部材の寸法ばらつきにかかわらず、ノズルから吐出される液滴の吐出特性のばらつきが低減された液体吐出ヘッドを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a liquid ejection head in which variations in ejection characteristics of droplets ejected from nozzles are reduced regardless of variations in dimensions of members constituting the flow path.

液体吐出ヘッドの一例を示す液室(圧力発生室)長手方向に沿った断面図である。It is sectional drawing along the liquid chamber (pressure generation chamber) longitudinal direction which shows an example of a liquid discharge head. 液体吐出ヘッドにおける液室短手方向に沿った断面の要部概略図である。It is a principal part schematic diagram of the cross section along the liquid chamber transversal direction in a liquid discharge head. 液体吐出ヘッドにおける液室平面方向に沿った断面の要部概略図であり、圧力室部の上面図であるIt is a principal part schematic of the cross section along the liquid chamber plane direction in a liquid discharge head, and is a top view of a pressure chamber part. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例としての画像形成装置の機構部の全体構成を説明する側面説明図である。FIG. 2 is an explanatory side view illustrating the entire configuration of a mechanism unit of an image forming apparatus as an example of an apparatus for ejecting liquid according to the present invention. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例としての画像形成装置の機構部の要部平面説明図である。FIG. 3 is a plan view illustrating a main part of a mechanism unit of an image forming apparatus as an example of an apparatus for ejecting liquid according to the present invention. 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室の断面を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the cross section of the pressure chamber of the liquid discharge head which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室の断面を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the cross section of the pressure chamber of the liquid discharge head which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室平面方向に沿った断面を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the cross section along the pressure chamber plane direction of the liquid discharge head which concerns on this embodiment. 本発明に係る液体吐出ユニットの一例示す要部平面説明図である。It is principal part top explanatory drawing which shows an example of the liquid discharge unit which concerns on this invention. 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す正面説明図である。It is front explanatory drawing which shows the other example of the liquid discharge unit which concerns on this invention.

以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。   Hereinafter, a liquid discharge head, a liquid discharge unit, and a device for discharging a liquid according to the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited to the embodiments described below, and other embodiments, additions, modifications, deletions, and the like can be changed within a range that can be conceived by those skilled in the art, and any aspect is possible. As long as the functions and effects of the present invention are exhibited, the scope of the present invention is included.

なお、「液体吐出ヘッド」とは、ノズルから液体を吐出・噴射する機能部品である。
吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
The “liquid ejection head” is a functional component that ejects and ejects liquid from a nozzle.
The liquid to be ejected is not particularly limited as long as it has a viscosity and surface tension that can be ejected from the head, and the viscosity is 30 mPa · s or less at room temperature, normal pressure, or by heating and cooling. It is preferable. More specifically, solvents such as water and organic solvents, colorants such as dyes and pigments, functional materials such as polymerizable compounds, resins, and surfactants, and biocompatible materials such as DNA, amino acids, proteins, and calcium. , Edible materials such as natural pigments, solutions, suspensions, emulsions, and the like. These include, for example, inkjet inks, surface treatment liquids, components of electronic devices and light emitting devices, and formation of electronic circuit resist patterns. It can be used in applications such as liquids for use, three-dimensional modeling material liquids, and the like.

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ(積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子)、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。本実施形態においては、積層型圧電素子を使用する例について説明するが、これに限定されない。   As energy generation sources for discharging liquid, piezoelectric actuators (laminated piezoelectric elements and thin film piezoelectric elements), thermal actuators using electrothermal transducers such as heating resistors, electrostatic actuators consisting of a diaphragm and counter electrode are used. To be included. In the present embodiment, an example in which a multilayer piezoelectric element is used will be described, but the present invention is not limited to this.

液体吐出ヘッドの一例について図1、図2及び図3を参照して説明する。
図1は本発明を適用可能な液体吐出ヘッド(インクジェットヘッド)の液室長手方向に沿った断面図である。
図2は同液体吐出ヘッドにおける液室短手方向に沿った断面の要部概略図であり、図2(A)は図1のA−A断面であり、図2(B)は図1とは異なる形状(圧力室2aや流体抵抗部2bが流路板2を貫通する形で形成されている形状)の流路板2を有する液体吐出ヘッドの液室長手方向に沿った断面図の一例である。
図3は、同液滴吐出ヘッドにおける液室平面方向に沿った断面の要部概略図であり、圧力室部の上面図である。
An example of the liquid discharge head will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a cross-sectional view along the longitudinal direction of a liquid chamber of a liquid discharge head (inkjet head) to which the present invention can be applied.
FIG. 2 is a schematic view of a main part of a cross section along the lateral direction of the liquid chamber in the liquid discharge head, FIG. 2 (A) is a cross section taken along the line AA in FIG. 1, and FIG. Is an example of a cross-sectional view along the longitudinal direction of the liquid chamber of the liquid discharge head having the flow path plate 2 having a different shape (a shape in which the pressure chamber 2a and the fluid resistance portion 2b penetrate the flow path plate 2) It is.
FIG. 3 is a schematic view of a main part of a cross section along the plane of the liquid chamber in the liquid droplet ejection head, and is a top view of the pressure chamber.

この液体吐出ヘッドは、インク供給口1bと共通液室1aとなる彫り込みを形成したフレーム1と、流体抵抗部2b、圧力室(圧力発生室)2aとなる彫り込みとノズル3aに連通する連通口2cを形成した流路板2と、ノズル3aを形成するノズル板3と、島状凸部6a、ダイアフラム部6bおよびインク流入口6cを有する振動板6と、振動板に接着層7を介して接合された駆動手段としての積層圧電素子5と、積層圧電素子5を固定しているベース4を備えている。   The liquid discharge head includes a frame 1 formed with an engraving serving as an ink supply port 1b and a common liquid chamber 1a, a fluid resistance portion 2b, a engraving serving as a pressure chamber (pressure generating chamber) 2a, and a communication port 2c communicating with the nozzle 3a. The flow path plate 2 formed with the nozzle, the nozzle plate 3 forming the nozzle 3a, the diaphragm 6 having the island-shaped convex portion 6a, the diaphragm portion 6b, and the ink inlet 6c, and the vibration plate joined via the adhesive layer 7 A laminated piezoelectric element 5 serving as the driving means and a base 4 to which the laminated piezoelectric element 5 is fixed are provided.

ベース4はチタン酸バリウム系セラミックからなり、積層圧電素子5を2列配置して接合している。   The base 4 is made of a barium titanate ceramic, and the laminated piezoelectric elements 5 are arranged in two rows and joined.

積層圧電素子5は、厚さ10〜50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電層と、厚さ数μm/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電極層とを交互に積層している。内部電極層は両端で外部電極に接続する。   The laminated piezoelectric element 5 is composed of a lead zirconate titanate (PZT) piezoelectric layer having a thickness of 10 to 50 μm / layer and an internal electrode layer made of silver and palladium (AgPd) having a thickness of several μm / layer alternately. Are stacked. The internal electrode layer is connected to the external electrode at both ends.

積層圧電素子5はハーフカットのダイシング加工により櫛歯上に分割され、1つ毎に駆動部5cと支持部(非駆動部)5dとして使用する。外部電極の外側はハーフカットのダイシング加工で分割されるように、切り欠き等の加工により長さを制限しており、これらは複数の個別電極5bとなる。他方はダイシングでは分割されずに導通しており共通電極5aとなる。   The laminated piezoelectric element 5 is divided on comb teeth by half-cut dicing, and is used as a drive unit 5c and a support unit (non-drive unit) 5d one by one. The length of the outside of the external electrode is limited by machining such as notches so that it is divided by half-cut dicing, and these become a plurality of individual electrodes 5b. The other is not divided by dicing but is conductive and becomes the common electrode 5a.

駆動部の個別電極5bにはFPC8が半田接合されている。また、共通電極5aは積層圧電素子の端部に電極層を設けて回し込んでFPC8のGnd電極に接合している。
FPC8には図示しないドライバICが実装されており、これにより駆動部5cへの駆動電圧印加を制御している。
The FPC 8 is soldered to the individual electrode 5b of the driving unit. Further, the common electrode 5a is provided with an electrode layer at the end of the laminated piezoelectric element, and is wound around and joined to the Gnd electrode of the FPC 8.
A driver IC (not shown) is mounted on the FPC 8 to control application of drive voltage to the drive unit 5c.

振動板6は、薄膜のダイアフラム部6bと、このダイアフラム部6bの中央部に形成した駆動部5cとなる積層圧電素子5と接合する島状凸部(アイランド部)6aと、フレーム1に接合する梁を含む厚膜部と、インク流入口6cとなる開口を電鋳工法によるNiメッキ膜を2層重ねて形成している。
ダイアフラム部6bの厚さは3μm、幅は35mm(片側)である。
The diaphragm 6 is joined to the frame 1 and a thin film diaphragm portion 6b, an island-shaped convex portion (island portion) 6a to be joined to the laminated piezoelectric element 5 to be the driving portion 5c formed at the center portion of the diaphragm portion 6b. A thick film portion including a beam and an opening serving as an ink inflow port 6c are formed by stacking two Ni plating films by an electroforming method.
The diaphragm portion 6b has a thickness of 3 μm and a width of 35 mm (one side).

また、共通液室1aに面する個所には振動板が1層からなる薄膜部6dを設け、共通液室1aの圧力を吸収する機能を設けている。   A thin film portion 6d having a single diaphragm is provided at a location facing the common liquid chamber 1a to provide a function of absorbing the pressure of the common liquid chamber 1a.

この振動板6の島状凸部6aと積層圧電素子5の駆動部5c、振動板6とフレーム1の結合は、ギャップ材を含んだ接着層7をパターニングして接着している。   The island-shaped convex part 6a of the diaphragm 6 and the driving part 5c of the laminated piezoelectric element 5, and the coupling of the diaphragm 6 and the frame 1 are bonded by patterning the adhesive layer 7 including a gap material.

流路板2はシリコン単結晶基板を用いて、流体抵抗部2b、圧力室2aとなる彫り込み、およびノズル3aに対する位置に連通口2cとなる貫通口をエッチング工法でパターニングして形成している。
エッチングで残された部分が圧力室2aの隔壁2dとなる。また、このヘッドではエッチング幅を狭くする部分を設けて、これを流体抵抗部2bとした。
The flow path plate 2 is formed by using a silicon single crystal substrate and patterning the engraving that becomes the fluid resistance portion 2b and the pressure chamber 2a, and the through-hole that becomes the communication port 2c at a position relative to the nozzle 3a by an etching method.
The portion left by etching becomes the partition 2d of the pressure chamber 2a. Further, in this head, a portion for narrowing the etching width is provided, and this is used as the fluid resistance portion 2b.

ノズル板3は金属材料、例えば電鋳工法によるNiメッキ膜等で形成したもので、インク滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル3aを多数形成している。このノズル3aの内部形状(内側形状)は、ホーン形状(略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。)に形成している。また、このノズル3aの径はインク滴出口側の直径で約20〜35μmである。また各列のノズルピッチは150dpiとした。   The nozzle plate 3 is formed of a metal material, for example, an Ni plating film by an electroforming method, and has a large number of nozzles 3a that are fine discharge ports for causing ink droplets to fly. The inner shape (inner shape) of the nozzle 3a is formed in a horn shape (may be a substantially cylindrical shape or a substantially frustum shape). The diameter of the nozzle 3a is approximately 20 to 35 μm as the diameter on the ink droplet outlet side. The nozzle pitch of each row was 150 dpi.

このノズル板3のインク吐出面(ノズル表面側)は、図示しない撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けている。PTFE−Ni共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂(例えばフッ化ピッチなど)を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。   The ink ejection surface (nozzle surface side) of the nozzle plate 3 is provided with a water repellent treatment layer that has been subjected to a water repellent surface treatment (not shown). Ink physical properties such as PTFE-Ni eutectoid plating, electrodeposition coating of fluororesin, vapor-deposited fluororesin (for example, fluorinated pitch), baking after solvent application of silicon resin / fluorine resin, etc. A water-repellent treatment film selected according to the above is provided to stabilize the ink droplet shape and flight characteristics so that high-quality image quality can be obtained.

インク供給口1bと共通液室1aとなる彫り込みを形成するフレーム1は樹脂成形で作製している。   The frame 1 that forms the engraving that becomes the ink supply port 1b and the common liquid chamber 1a is made by resin molding.

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、記録信号に応じて駆動部5cに駆動波形(10〜50Vのパルス電圧)を印加することによって、駆動部5cに積層方向の変位が生起し、振動板6を介して圧力室2aが加圧されて圧力が上昇し、ノズル3aからインク滴が吐出される。   In the liquid ejection head configured as described above, a drive waveform (pulse voltage of 10 to 50 V) is applied to the drive unit 5c according to the recording signal, thereby causing a displacement in the stacking direction in the drive unit 5c and the diaphragm. The pressure chamber 2a is pressurized through 6 to increase the pressure, and ink droplets are ejected from the nozzle 3a.

その後、インク滴吐出の終了に伴い、圧力室2a内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって圧力室2a内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタンクから供給されたインクは共通液室1aに流入し、共通液室1aからインク流入口6cを経て流体抵抗部2bを通り、圧力室2a内に充填される。   Thereafter, with the completion of ink droplet ejection, the ink pressure in the pressure chamber 2a is reduced, and a negative pressure is generated in the pressure chamber 2a due to the inertia of the ink flow and the discharge process of the drive pulse, and the process proceeds to the ink filling process. . At this time, the ink supplied from the ink tank flows into the common liquid chamber 1a, passes from the common liquid chamber 1a through the ink inlet 6c, passes through the fluid resistance portion 2b, and is filled into the pressure chamber 2a.

流体抵抗部2bは、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果が有る反面、表面張力による最充填(リフィル)に対して抵抗になる。流体抵抗部を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次のインク滴吐出動作に移行するまでの時間(駆動周期)を短くできる。   The fluid resistance portion 2b has an effect on the attenuation of the residual pressure vibration after discharge, but becomes resistant to the refilling due to the surface tension. By appropriately selecting the fluid resistance portion, it is possible to balance the attenuation of the residual pressure and the refill time, and to shorten the time (drive cycle) until the transition to the next ink droplet ejection operation.

本実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図6、図7及び図8に基づき説明する。
図6及び図7は、圧力室2aの液体の流れ方向に垂直な断面を示したもので、図8は圧力室2aの液体の流れ方向に水平な方向の断面図を示したものである。
また、図8(A)における液体の流れ方向に垂直な断面は図6、図8(B)における液体の流れ方向に垂直な断面は図7に対応している。
The liquid discharge head according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
6 and 7 show a cross section perpendicular to the liquid flow direction in the pressure chamber 2a, and FIG. 8 shows a cross section in a direction horizontal to the liquid flow direction in the pressure chamber 2a.
The cross section perpendicular to the liquid flow direction in FIG. 8A corresponds to FIG. 6, and the cross section perpendicular to the liquid flow direction in FIG. 8B corresponds to FIG.

本実施形態に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル3aが形成されたノズル板3と、少なくとも複数のノズル3aに連通する複数の圧力室2aを区画する隔壁2dが形成された流路板2と、圧力室2aを画成するように流路板2のノズル板3で覆われた面と対向する面を覆う振動板6と、振動板6を振動させて圧力室内の液体を加圧する圧力を発生するための駆動手段(積層圧電素子)5と、を備え、圧力室2aを区画する隔壁2dは、ノズル板3との接合部及び振動板6との接合部の周縁に、接合に用いた接着剤9のはみ出しを有し、隔壁2dとノズル板3及び振動板6とを接合する接着剤9の量(以下、塗布量)が、隔壁2dの幅に応じて異なる液体吐出ヘッドである。   In the liquid discharge head according to the present embodiment, a nozzle plate 3 on which a plurality of nozzles 3a for discharging droplets are formed, and a partition wall 2d that partitions at least a plurality of pressure chambers 2a communicating with the plurality of nozzles 3a are formed. The flow path plate 2, the vibration plate 6 that covers the surface of the flow path plate 2 that faces the surface covered with the nozzle plate 3 so as to define the pressure chamber 2 a, and the vibration plate 6 are vibrated to vibrate the liquid in the pressure chamber. Drive means (multilayer piezoelectric element) 5 for generating pressure to pressurize the partition wall 2d partitioning the pressure chamber 2a is provided at the periphery of the joint with the nozzle plate 3 and the joint with the diaphragm 6 The amount of the adhesive 9 that joins the partition wall 2d with the nozzle plate 3 and the vibration plate 6 (hereinafter referred to as the coating amount) has a protrusion that protrudes from the adhesive 9 used for joining, and varies depending on the width of the partition wall 2d. It is a discharge head.

また、接着剤9の塗布量は、隔壁2dによって区画される圧力室2aの液体の流れ方向に垂直な断面における幅Wcに応じても異なる。幅Wcは、隔壁2dの幅、または隔壁2dの間隔(ピッチ)により規定される。
隔壁2dとノズル板3及び振動板6とを接合するのに使用される接着剤9の塗布量は、隔壁の幅の値が所定の値よりも大きい場合、所定の値よりも小さい場合と比べて多くなっている。
Further, the amount of the adhesive 9 applied varies depending on the width Wc in the cross section perpendicular to the liquid flow direction of the pressure chamber 2a defined by the partition 2d. The width Wc is defined by the width of the partition wall 2d or the interval (pitch) between the partition walls 2d.
The application amount of the adhesive 9 used to join the partition wall 2d to the nozzle plate 3 and the diaphragm 6 is larger when the partition width value is larger than the predetermined value and smaller than the predetermined value. Is increasing.

そして、隔壁の幅の値が所定の値よりも大きい場合は、所定の値よりも小さい場合と比べて、圧力室空間への接着剤9のはみ出し量が少なくなる態様で接着剤9が塗布されている。
接着剤9のはみ出し量は、図6及び図7中に示すはみ出した領域の幅Wbで表される。
When the partition width value is larger than the predetermined value, the adhesive 9 is applied in such a manner that the amount of the adhesive 9 protruding into the pressure chamber space is smaller than when the partition wall width is smaller than the predetermined value. ing.
The protruding amount of the adhesive 9 is represented by the width Wb of the protruding region shown in FIGS.

なお、所定の値は、複数の圧力室2aの値から求めた平均値であることが好ましい。   The predetermined value is preferably an average value obtained from the values of the plurality of pressure chambers 2a.

すなわち、図6〜図8に示すように、圧力室2aの幅Wcが、複数の圧力室2aの幅Wcの平均値と比較して大きい場合(隔壁2dの間隔が大きい、または隔壁2dの幅の値が小さい場合)には、接着剤9の圧力室2aの空間へのはみ出し量Wbが多く、小さい場合(隔壁2dの間隔が小さい、または隔壁2dの幅の値が大きい場合)に、接着剤9の圧力室2aへはみ出し量Wbが少ない。   That is, as shown in FIGS. 6 to 8, when the width Wc of the pressure chamber 2a is larger than the average value of the widths Wc of the plurality of pressure chambers 2a (the interval between the partition walls 2d is large, or the width of the partition walls 2d). Is small), the amount of protrusion Wb of the adhesive 9 into the space of the pressure chamber 2a is large, and when it is small (when the interval between the partition walls 2d is small or the width value of the partition walls 2d is large) The amount Wb of the agent 9 protruding into the pressure chamber 2a is small.

上記の構成を実現するためには、圧力室2aの幅Wc(隔壁2dの間隔、または隔壁2dの幅)の大小に応じて接着剤9の塗布量またははみ出し量Wbを制御する必要がある。
制御方法としては、例えば、インクジェット法やマイクロディスペンサ法などを用いて塗布位置と塗布量を制御可能であるデジタル印刷による方法が挙げられる。
圧力室2aの幅Wc(隔壁2dの間隔、または隔壁2dの幅)の大小を測定する方法としては、例えば、CCDによる光学観察や、レーザーによる測長などの方法が挙げられる。
In order to realize the above configuration, it is necessary to control the coating amount or the protruding amount Wb of the adhesive 9 according to the width Wc of the pressure chamber 2a (the interval between the partition walls 2d or the width of the partition walls 2d).
As a control method, for example, a digital printing method capable of controlling the application position and the application amount using an inkjet method, a micro dispenser method, or the like can be given.
Examples of the method for measuring the width Wc of the pressure chamber 2a (the interval between the partition walls 2d or the width of the partition walls 2d) include optical observation using a CCD and length measurement using a laser.

事前に圧力室2aの幅Wc(隔壁2dの間隔、または隔壁2dの幅)を測定することで得られる情報に基づき、基準となる値(例えば、同一流路板上のすべての圧力室2aの幅Wcの平均値)を算出しておき、当該基準となる値に応じて、それぞれの隔壁2dに対する接着剤9の塗布量とはみ出し量Wbを制御する事によって、上述の構成を実現することができる。   Based on the information obtained by measuring the width Wc of the pressure chamber 2a (the interval between the partition walls 2d or the width of the partition walls 2d) in advance, a reference value (for example, all the pressure chambers 2a on the same flow path plate) It is possible to realize the above-described configuration by calculating the average value of the width Wc) and controlling the amount of adhesive 9 applied to each partition wall 2d and the amount of protrusion Wb in accordance with the reference value. it can.

接着剤9の塗布量及びはみ出し量Wbの基準となるのは、圧力室2aの液体の流れ方向の垂直断面積であり、隔壁2dの幅にかかわらず、当該断面積が一定となるように接着剤9の量を制御することが好ましい。
断面積については、例えば、CCDによる光学観察等により得られた画像から算出する方法などが挙げられる。
The reference for the coating amount and the protruding amount Wb of the adhesive 9 is the vertical sectional area of the pressure chamber 2a in the liquid flow direction, and the bonding is performed so that the sectional area is constant regardless of the width of the partition wall 2d. It is preferable to control the amount of the agent 9.
As for the cross-sectional area, for example, a method of calculating from an image obtained by optical observation with a CCD or the like can be used.

すなわち、本実施形態の液体吐出ヘッドは、圧力室2aの接着剤9のはみ出した部分を除いた空間部分の断面積が、液体の流れ方向に垂直な方向の一の断面において、複数の圧力室間で略同一となっている。   That is, the liquid discharge head of the present embodiment has a plurality of pressure chambers in a cross section in which the cross-sectional area of the space portion excluding the portion where the adhesive 9 protrudes from the pressure chamber 2a is perpendicular to the liquid flow direction. It is almost the same between them.

また、本実施形態の液体吐出ヘッドを構成する流路板2は、さらに圧力室2aに連通して圧力室内の液体の一部を回収する循環流路を区画する隔壁が形成されてなるものであってもよい。
この場合、流路板2としては、流体抵抗部2b、圧力室2a、及び供給流路が形成された部材と、圧力室2aを介して供給流路と循環流路とを連通する連通口が形成された部材と、循環流路が形成された部材とを積層した構成が挙げられる。
循環流路が形成された液体吐出ヘッドとしては、例えば、特許文献3(特開2015−71289号公報)に記載の構成を採用することができる。
The flow path plate 2 constituting the liquid discharge head of the present embodiment is further formed with a partition that divides a circulation flow path that communicates with the pressure chamber 2a and collects part of the liquid in the pressure chamber. There may be.
In this case, the flow path plate 2 includes a fluid resistance portion 2b, a pressure chamber 2a, a member in which the supply flow path is formed, and a communication port that communicates the supply flow path and the circulation flow path via the pressure chamber 2a. The structure which laminated | stacked the formed member and the member in which the circulation flow path was formed is mentioned.
As the liquid discharge head in which the circulation channel is formed, for example, the configuration described in Patent Document 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 2015-71289) can be employed.

上述の本実施形態の液体吐出ヘッドによれば、流路の隔壁幅のばらつきに対する流路の断面積のばらつきを低減することが可能となるため、流路を構成する部品がばらつきを有する場合であっても、構成される流路の流体抵抗値のばらつきを低減することが出来る。
これにより、ノズルから吐出される液滴の吐出特性のばらつきを低減することができ、液滴吐出特性を向上させ、高性能,高信頼性である液滴吐出ヘッドを実現することが可能となる。
According to the liquid discharge head of the above-described embodiment, it is possible to reduce the variation in the cross-sectional area of the flow channel with respect to the variation in the partition wall width of the flow channel. Even if it exists, the dispersion | variation in the fluid resistance value of the flow path comprised can be reduced.
As a result, variations in the discharge characteristics of the liquid droplets discharged from the nozzles can be reduced, the liquid droplet discharge characteristics can be improved, and a high-performance and high-reliability liquid droplet discharge head can be realized. .

上述の本発明に係る液体吐出ヘッドを備えた液体を吐出する装置の一例について図4及び図5を参照して説明する。
なお、図4は液体を吐出する装置の全体構成を説明する側面説明図、図5は同装置の要部平面説明図である。
An example of a device for ejecting liquid having the above-described liquid ejection head according to the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 4 is an explanatory side view for explaining the overall configuration of the apparatus for ejecting liquid, and FIG. 5 is an explanatory plan view of the main part of the apparatus.

この液体を吐出する装置はシリアル型インクジェット記録装置であり、装置本体11の左右の側板21A、21Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド31、32でキャリッジ33を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図5中矢印D1で示す方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。   The apparatus for discharging the liquid is a serial type ink jet recording apparatus, and the carriage 33 is slid in the main scanning direction by main and sub guide rods 31 and 32 which are guide members horizontally mounted on the left and right side plates 21A and 21B of the apparatus main body 11. It is held freely and moved and scanned in the direction indicated by arrow D1 in FIG. 5 (carriage main scanning direction) via a timing belt by a main scanning motor (not shown).

このキャリッジ33には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出するための液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド34a、34b(区別しないときは「記録ヘッド34」という)を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。   The carriage 33 is provided with recording heads 34a and 34b composed of liquid ejection heads for ejecting ink droplets of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K). A nozzle row composed of a plurality of nozzles is arranged in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and is mounted with the ink droplet ejection direction facing downward.

記録ヘッド34は、それぞれ2つのノズル列を有し、記録ヘッド34aの一方のノズル列はブラック(K)の液滴を、他方のノズル列はシアン(C)の液滴を、記録ヘッド34bの一方のノズル列はマゼンタ(M)の液滴を、他方のノズル列はイエロー(Y)の液滴を、それぞれ吐出する。
なお、記録ヘッド34としては、1つのノズル面に複数のノズルを並べた各色のノズル列を備えるものなどを用いることもできる。
Each of the recording heads 34 has two nozzle rows. One nozzle row of the recording head 34a has black (K) droplets, the other nozzle row has cyan (C) droplets, and the recording head 34b has one nozzle row. One nozzle row ejects magenta (M) droplets, and the other nozzle row ejects yellow (Y) droplets.
As the recording head 34, a recording head having a nozzle row of each color in which a plurality of nozzles are arranged on one nozzle surface can be used.

また、キャリッジ33には、記録ヘッド34のノズル列に対応して各色のインクを供給するための第2インク供給部としてのサブタンクであるサブタンク35a、35b(区別しないときは「サブタンク35」という)を搭載している。
このサブタンク35には、カートリッジ装填部14に着脱自在に装着される各色のインクカートリッジ(メインタンク)10y、10m、10c、10kから、供給ポンプユニット24によって各色の供給チューブ36を介して、各色の記録液が補充供給される。
Further, the carriage 33 has sub tanks 35a and 35b as sub tanks as second ink supply units for supplying ink of each color corresponding to the nozzle row of the recording head 34 (referred to as "sub tank 35" when not distinguished). It is equipped with.
In the sub tank 35, ink cartridges (main tanks) 10 y, 10 m, 10 c, and 10 k of various colors that are detachably attached to the cartridge loading unit 14 are supplied to the sub tanks 35 through the supply tubes 36 of the respective colors by the supply pump unit 24. The recording liquid is replenished and supplied.

一方、給紙トレイ12の用紙積載部(圧板)41上に積載した用紙42を給紙するための給紙部として、用紙積載部41から用紙42を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)43及び給紙コロ43に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド44を備え、この分離パッド44は給紙コロ43側に付勢されている。   On the other hand, as a paper feeding unit for feeding the papers 42 stacked on the paper stacking unit (pressure plate) 41 of the paper feeding tray 12, a half-moon roller (feeding) that separates and feeds the papers 42 from the paper stacking unit 41 one by one. A separation pad 44 made of a material having a large friction coefficient is provided facing the paper roller 43) and the paper feed roller 43, and the separation pad 44 is urged toward the paper feed roller 43 side.

そして、この給紙部から給紙された用紙42を記録ヘッド34の下方側に送り込むために、用紙42を案内するガイド部材45と、カウンタローラ46と、搬送ガイド部材47と、先端加圧コロ49を有する押さえ部材48とを備えるとともに、給送された用紙42を静電吸着して記録ヘッド34に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト51を備えている。   In order to feed the paper 42 fed from the paper feeding unit to the lower side of the recording head 34, a guide member 45 for guiding the paper 42, a counter roller 46, a transport guide member 47, and a tip pressure roller. And a holding belt 48 which is a conveying means for electrostatically attracting the fed paper 42 and conveying it at a position facing the recording head 34.

この搬送ベルト51は、無端状ベルトであり、搬送ローラ52とテンションローラ53との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。
また、この搬送ベルト51の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ56を備えている。
The transport belt 51 is an endless belt, and is configured to wrap around the transport roller 52 and the tension roller 53 and circulate in the belt transport direction (sub-scanning direction).
Further, a charging roller 56 that is a charging unit for charging the surface of the transport belt 51 is provided.

この帯電ローラ56は、搬送ベルト51の表層に接触し、搬送ベルト51の回動に従動して回転するように配置されている。
この搬送ベルト51は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ52が回転駆動されることによって、図5中矢印D2で示すベルト搬送方向に周回移動する。
The charging roller 56 is disposed so as to come into contact with the surface layer of the transport belt 51 and to rotate following the rotation of the transport belt 51.
The conveyance belt 51 rotates in a belt conveyance direction indicated by an arrow D2 in FIG. 5 when the conveyance roller 52 is rotationally driven through a timing by a sub-scanning motor (not shown).

さらに、記録ヘッド34で記録された用紙42を排紙するための排紙部として、搬送ベルト51から用紙42を分離するための分離爪61と、排紙ローラ62及び排紙コロである拍車63とを備え、排紙ローラ62の下方に排紙トレイ13を備えている。   Further, as a paper discharge unit for discharging the paper 42 recorded by the recording head 34, a separation claw 61 for separating the paper 42 from the conveying belt 51, a paper discharge roller 62, and a spur 63 that is a paper discharge roller. And a paper discharge tray 13 below the paper discharge roller 62.

また、装置本体11の背面部には両面ユニット71が着脱自在に装着されている。
この両面ユニット71は搬送ベルト51の逆方向回転で戻される用紙42を取り込んで反転させて再度カウンタローラ46と搬送ベルト51との間に給紙する。
また、この両面ユニット71の上面は手差しトレイ72としている。
さらに、キャリッジ33の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド34のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構81を配置している。
A duplex unit 71 is detachably mounted on the back surface of the apparatus body 11.
The duplex unit 71 takes in the paper 42 returned by the reverse rotation of the conveyance belt 51, reverses it, and feeds it again between the counter roller 46 and the conveyance belt 51.
The upper surface of the duplex unit 71 is a manual feed tray 72.
Further, a maintenance / recovery mechanism 81 for maintaining and recovering the nozzle state of the recording head 34 is disposed in the non-printing area on one side of the carriage 33 in the scanning direction.

この維持回復機構81には、記録ヘッド34の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材(以下「キャップ」という)82a、82b(区別しないときは「キャップ82」という)と、ノズル面をワイピングするためのワイパ部材(ワイパブレード)83と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け84と、キャリッジ33をロックするキャリッジロック87などとを備えている。   The maintenance and recovery mechanism 81 includes a cap member (hereinafter referred to as “cap”) 82a and 82b (hereinafter referred to as “cap 82” when not distinguished) and a nozzle surface for capping each nozzle surface of the recording head 34. A wiper member (wiper blade) 83 for discharging, a blank discharge receiver 84 for receiving droplets when performing blank discharge for discharging droplets that do not contribute to recording in order to discharge the thickened recording liquid, and a carriage 33. And a carriage lock 87 for locking.

また、このヘッドの維持回復機構81の下方側には維持回復動作によって生じる廃液を収容するための廃液タンク100が装置本体に対して交換可能に装着される。   A waste liquid tank 100 for storing waste liquid generated by the maintenance recovery operation is mounted on the lower side of the head recovery mechanism 81 in a replaceable manner with respect to the apparatus main body.

また、キャリッジ33の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け88を配置し、この空吐出受け88には記録ヘッド34のノズル列方向に沿った開口部89などを備えている。   Further, in the non-printing area on the other side of the carriage 33 in the scanning direction, there is an empty space for receiving liquid droplets when performing empty discharge for discharging liquid droplets that do not contribute to recording in order to discharge the recording liquid thickened during recording or the like. A discharge receiver 88 is disposed, and the idle discharge receiver 88 includes an opening 89 along the nozzle row direction of the recording head 34.

このように構成したこの液滴を吐出する装置においては、給紙トレイ12から用紙42が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙42はガイド45で案内され、搬送ベルト51とカウンタローラ46との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド37で案内されて先端加圧コロ49で搬送ベルト51に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。   In the apparatus for discharging droplets configured as described above, the paper 42 is separated and fed one by one from the paper feed tray 12, and the paper 42 fed substantially vertically upward is guided by the guide 45, and is conveyed by the conveyor belt. 51 and the counter roller 46 are sandwiched and conveyed, and the leading end is guided by the conveying guide 37 and pressed against the conveying belt 51 by the leading end pressing roller 49, and the conveying direction is changed by approximately 90 °.

このとき、帯電ローラ56に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト51が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。   At this time, a positive output and a negative output are alternately repeated with respect to the charging roller 56, that is, an alternating voltage is applied, and a charging voltage pattern in which the conveying belt 51 alternates, that is, in a sub-scanning direction that is a circumferential direction. , Plus and minus are alternately charged in a band shape with a predetermined width.

このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト51上に用紙42が給送されると、用紙42が搬送ベルト51に吸着され、搬送ベルト51の周回移動によって用紙42が副走査方向に搬送される。   When the paper 42 is fed onto the conveyance belt 51 charged alternately with plus and minus, the paper 42 is attracted to the conveyance belt 51, and the paper 42 is conveyed in the sub-scanning direction by the circular movement of the conveyance belt 51.

そこで、キャリッジ33を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド34を駆動することにより、停止している用紙42にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙42を所定量搬送後、次の行の記録を行う。
記録終了信号又は用紙42の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙42を排紙トレイ13に排紙する。
Therefore, by driving the recording head 34 according to the image signal while moving the carriage 33, ink droplets are ejected onto the stopped paper 42 to record one line, and after the paper 42 is conveyed by a predetermined amount, Record the next line.
Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the paper 42 has reached the recording area, the recording operation is finished and the paper 42 is discharged onto the paper discharge tray 13.

そして、記録ヘッド34のノズルの維持回復を行うときには、キャリッジ33をホーム位置である維持回復機構81に対向する位置に移動して、キャップ部材82によるキャッピングを行ってノズルからの吸引を行うノズル吸引、画像形成に寄与しない液滴を吐出する空吐出動作などの維持回復動作を行うことにより、安定した液滴吐出による画像形成を行うことができる。   When performing the maintenance and recovery of the nozzles of the recording head 34, the nozzle 33 performs the suction from the nozzles by moving the carriage 33 to a position facing the maintenance and recovery mechanism 81 which is the home position and performing capping by the cap member 82. By performing a maintenance and recovery operation such as an empty discharge operation for discharging droplets that do not contribute to image formation, it is possible to perform image formation by stable droplet discharge.

本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備
え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置に
は、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を
気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
In the present application, the “apparatus for discharging liquid” is an apparatus that includes a liquid discharge head or a liquid discharge unit and drives the liquid discharge head to discharge liquid. The apparatus for ejecting liquid includes not only an apparatus capable of ejecting liquid to an object to which liquid can adhere, but also an apparatus for ejecting liquid toward the air or liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手
段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
This “apparatus for discharging liquid” may include means for feeding, transporting, and discharging a liquid to which liquid can adhere, as well as a pre-processing apparatus and a post-processing apparatus.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装
置である画像形成装置、立体造形物(三次元造形物)を造形するために、粉体を層状に形
成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置(三次元造形装置)がある。
For example, as a “liquid ejecting device”, an image forming device that forms an image on paper by ejecting ink, a powder is formed in layers to form a three-dimensional model (three-dimensional model) There is a three-dimensional modeling apparatus (three-dimensional modeling apparatus) that discharges a modeling liquid onto the powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像
が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパター
ン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
Further, the “apparatus for ejecting liquid” is not limited to an apparatus in which significant images such as characters and figures are visualized by the ejected liquid. For example, what forms a pattern etc. which does not have a meaning in itself, and what forms a three-dimensional image are also included.

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層(粉末層)、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
The above-mentioned “applicable liquid” means that the liquid can be attached at least temporarily and adheres and adheres, or adheres and penetrates. Specific examples include recording media such as paper, recording paper, recording paper, film, and cloth, electronic parts such as electronic substrates and piezoelectric elements, powder layers (powder layers), organ models, and test cells. Yes, unless specifically limited, includes everything that the liquid adheres to.
The material of the above-mentioned “material to which liquid can adhere” is not limited as long as liquid such as paper, thread, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics can be adhered even temporarily.

また、「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。   The “liquid” is not particularly limited as long as it has a viscosity and surface tension that can be ejected from the head, and the viscosity is 30 mPa · s or less at room temperature, normal pressure, or by heating and cooling. Preferably there is. More specifically, solvents such as water and organic solvents, colorants such as dyes and pigments, functional materials such as polymerizable compounds, resins, and surfactants, and biocompatible materials such as DNA, amino acids, proteins, and calcium. , Edible materials such as natural pigments, solutions, suspensions, emulsions, and the like. These include, for example, inkjet inks, surface treatment liquids, components of electronic devices and light emitting devices, and formation of electronic circuit resist patterns. It can be used in applications such as liquids for use, three-dimensional modeling material liquids, and the like.

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。   In addition, the “device for ejecting liquid” includes a device in which the liquid ejection head and the device to which the liquid can adhere move relatively, but is not limited thereto. Specific examples include a serial type apparatus that moves the liquid discharge head, a line type apparatus that does not move the liquid discharge head, and the like.

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用
紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶
液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装
置などがある。
In addition to the “device for discharging liquid”, a processing liquid coating apparatus for discharging a processing liquid onto a sheet for applying a processing liquid to the surface of the sheet for the purpose of modifying the surface of the sheet, or a raw material There is an injection granulator for granulating raw material fine particles by spraying a composition liquid dispersed in a solution through a nozzle.

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。   Note that the terms “image formation”, “recording”, “printing”, “printing”, “printing”, “modeling” and the like in the terms of the present application are all synonymous.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットについて説明する。
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
Next, the liquid discharge unit according to the present invention will be described.
A “liquid ejection unit” is a unit in which functional parts and mechanisms are integrated with a liquid ejection head, and is an assembly of parts related to liquid ejection. For example, the “liquid discharge unit” includes a combination of at least one of a head tank, a carriage, a supply mechanism, a maintenance / recovery mechanism, and a main scanning movement mechanism with a liquid discharge head.

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。   Here, the term “integrated” refers to, for example, a liquid discharge head, a functional component, and a mechanism that are fixed to each other by fastening, adhesion, engagement, etc., and one that is held movably with respect to the other. Including. Further, the liquid discharge head, the functional component, and the mechanism may be configured to be detachable from each other.

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。   For example, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a head tank are integrated. Also, there are some in which the liquid discharge head and the head tank are integrated by being connected to each other by a tube or the like. Here, a unit including a filter may be added between the head tank and the liquid discharge head of these liquid discharge units.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。   In addition, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a carriage are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、図9に示すように液体吐出ヘッド404を、走査移動機構493の一部を構成するガイド部材401に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッド404と走査移動機構493が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッド404とキャリッジ403と主走査移動機構493が一体化されているものがある。   Further, as shown in FIG. 9, the liquid ejection head 404 and the scanning movement mechanism 493 are held as a liquid ejection unit by holding the liquid ejection head 404 movably on a guide member 401 that constitutes a part of the scanning movement mechanism 493. Some are integrated. In some cases, the liquid discharge head 404, the carriage 403, and the main scanning movement mechanism 493 are integrated.

図9に示す液体吐出ユニットは、上述の液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板491A、491B及び背板491Cで構成される筐体部分と、主走査移動機構493と、キャリッジ403と、液体吐出ヘッド404で構成されている。   The liquid discharge unit shown in FIG. 9 includes a casing portion composed of side plates 491A and 491B and a back plate 491C, a main scanning movement mechanism 493, a carriage among the members constituting the liquid discharge device described above. 403 and a liquid discharge head 404.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。   Also, there is a liquid discharge unit in which a cap member that is a part of the maintenance / recovery mechanism is fixed to a carriage to which the liquid discharge head is attached, and the liquid discharge head, the carriage, and the maintenance / recovery mechanism are integrated. .

また、液体吐出ユニットとして、図10に示すように、ヘッドタンク若しくは流路部品444が取付けられた液体吐出ヘッド404にチューブ456が接続されて、液体吐出ヘッド404と供給機構が一体化されているものがある。このチューブ456を介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
なお、流路部品444はカバー442の内部に配置されている。流路部品444に代えてヘッドタンクを含むこともできる。また、流路部品444の上部には液体吐出ヘッド404と電気的接続を行うコネクタ443が設けられている。
As a liquid discharge unit, as shown in FIG. 10, a tube 456 is connected to a liquid discharge head 404 to which a head tank or flow path component 444 is attached, and the liquid discharge head 404 and the supply mechanism are integrated. There is something. The liquid stored in the liquid storage source is supplied to the liquid discharge head via the tube 456.
The flow path component 444 is disposed inside the cover 442. A head tank may be included instead of the flow path component 444. In addition, a connector 443 that is electrically connected to the liquid ejection head 404 is provided above the flow path component 444.

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。   The main scanning movement mechanism includes a guide member alone. The supply mechanism includes a single tube and a single loading unit.

1 フレーム1
1a 共通液室1a
1b インク供給口1b
2 流路板2
2a 圧力室(圧力発生室)2a
2b 流体抵抗部2b
3 ノズル板3
3a ノズル3a
4 ベース4
5 積層圧電素子5
5a 共通電極5a
5b 個別電極5b
5c 駆動部5c
5d 支持部(非駆動部)5d
6 振動板6
6a 凸部6a
6b ダイアフラム部6b
6c インク流入口6c
7 接着層
8 FPC
9 接着剤
11 画像形成装置
1 frame 1
1a Common liquid chamber 1a
1b Ink supply port 1b
2 Channel plate 2
2a Pressure chamber (pressure generation chamber) 2a
2b Fluid resistance part 2b
3 Nozzle plate 3
3a Nozzle 3a
4 Base 4
5 Multilayer piezoelectric element 5
5a Common electrode 5a
5b Individual electrode 5b
5c Drive unit 5c
5d Support part (non-drive part) 5d
6 Diaphragm 6
6a Convex part 6a
6b Diaphragm part 6b
6c Ink inlet 6c
7 Adhesive layer 8 FPC
9 Adhesive 11 Image forming apparatus

特開2010−221434号公報JP 2010-221434 A 特開2013−224007号公報JP 2013-224007 A 特開2015−71289号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-71289

Claims (8)

液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
少なくとも複数の前記ノズルに連通する複数の圧力室を区画する隔壁が形成された流路板と、
前記圧力室を画成するように前記流路板の前記ノズル板で覆われた面と対向する面を覆う振動板と、
前記振動板を振動させて前記圧力室内の液体を加圧する圧力を発生するための駆動手段と、を備え、
前記圧力室を区画する隔壁は、前記ノズル板との接合部及び前記振動板との接合部の周縁に、接合に用いた接着剤のはみ出しを有し、
前記隔壁と前記ノズル板及び前記振動板とを接合する接着剤量が、前記隔壁の幅に応じて異なることを特徴とする液体吐出ヘッド。
A nozzle plate formed with a plurality of nozzles for discharging droplets;
A flow path plate in which a partition wall defining a plurality of pressure chambers communicating with at least the plurality of nozzles is formed;
A diaphragm that covers a surface of the flow path plate that faces the surface covered with the nozzle plate so as to define the pressure chamber;
Drive means for generating a pressure to pressurize the liquid in the pressure chamber by vibrating the diaphragm,
The partition wall defining the pressure chamber has a protrusion of the adhesive used for bonding at the periphery of the bonded portion with the nozzle plate and the bonded portion with the vibration plate,
The liquid discharge head according to claim 1, wherein an amount of an adhesive for joining the partition, the nozzle plate, and the vibration plate is different depending on a width of the partition.
前記隔壁の幅の値が所定の値よりも大きい場合、前記所定の値よりも小さい場合と比べて、前記圧力室空間への前記接着剤のはみ出し量が少なくなる態様で前記接着剤が塗布されたことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。   When the width value of the partition wall is larger than a predetermined value, the adhesive is applied in such a manner that the amount of the adhesive protruding into the pressure chamber space is smaller than when the width is smaller than the predetermined value. The liquid discharge head according to claim 1. 前記所定の値が、複数の前記圧力室の平均値であることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid ejection head according to claim 2, wherein the predetermined value is an average value of the plurality of pressure chambers. 前記圧力室の前記接着剤のはみ出した部分を除いた空間部分の断面積が、液体の流れ方向に垂直な方向の一の断面において、複数の前記圧力室間で略同一であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   The cross-sectional area of the space portion excluding the protruding portion of the adhesive in the pressure chamber is substantially the same among the plurality of pressure chambers in one cross section in a direction perpendicular to the liquid flow direction. The liquid discharge head according to claim 1. 前記流路板は、さらに前記圧力室に連通して前記圧力室内の液体の一部を回収する循環流路を区画する隔壁が形成されてなることを特徴とする請求項1から4に記載の液体吐出ヘッド。   5. The partition plate according to claim 1, further comprising a partition wall that defines a circulation channel that communicates with the pressure chamber and collects part of the liquid in the pressure chamber. Liquid discharge head. 前記流路板が、シリコンから形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein the flow path plate is made of silicon. 請求項1から6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出ユニット。   A liquid discharge unit comprising the liquid discharge head according to claim 1. 請求項1から6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。   An apparatus for ejecting liquid, comprising the liquid ejection head according to claim 1.
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Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1029303A (en) * 1996-04-18 1998-02-03 Minolta Co Ltd Ink jet recording head
JP2000033699A (en) * 1998-07-17 2000-02-02 Hitachi Koki Co Ltd On-demand multinozzle ink jet head and manufacture thereof
JP2000103059A (en) * 1998-09-30 2000-04-11 Seiko Epson Corp Ink jet recording head, its manufacture and ink jet recording device
JP3056195B1 (en) * 1999-02-02 2000-06-26 新潟日本電気株式会社 INK JET PRINT HEAD AND ITS MANUFACTURING METHOD
JP2001047620A (en) * 1999-08-09 2001-02-20 Ricoh Co Ltd Ink jet head
JP2003112425A (en) * 2001-10-05 2003-04-15 Seiko Epson Corp Inkjet recording head and inkjet recorder
JP2003205611A (en) * 2002-01-16 2003-07-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ink-jet head, production method therefor, and ink-jet recording apparatus
JP2003276190A (en) * 2002-03-20 2003-09-30 Kyocera Corp Ink jet recording head
JP2006027122A (en) * 2004-07-16 2006-02-02 Fuji Photo Film Co Ltd Liquid droplet discharge head, its manufacturing method and imaging device
US20070279453A1 (en) * 2004-11-19 2007-12-06 Martin De Kegelaer Method Of Bonding A Nozzle Plate To An Inkjet Printhead
JP2010214764A (en) * 2009-03-17 2010-09-30 Ricoh Co Ltd Liquid discharge head, manufacturing method of the same, and image forming apparatus
JP2012143981A (en) * 2011-01-13 2012-08-02 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2013006404A (en) * 2011-05-20 2013-01-10 Ricoh Co Ltd Inkjet head and method of manufacturing the same, and image forming apparatus
JP2013173284A (en) * 2012-02-27 2013-09-05 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2013176894A (en) * 2012-02-28 2013-09-09 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2013180411A (en) * 2012-02-29 2013-09-12 Fujifilm Corp Liquid discharge device and liquid supply device
JP2016060101A (en) * 2014-09-18 2016-04-25 株式会社リコー Liquid discharge head and image forming apparatus
JP2016107495A (en) * 2014-12-05 2016-06-20 キヤノン株式会社 Liquid discharge head and liquid discharge device
JP2017217820A (en) * 2016-06-07 2017-12-14 株式会社リコー Liquid discharge head, liquid discharge unit, and device discharging liquid

Patent Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1029303A (en) * 1996-04-18 1998-02-03 Minolta Co Ltd Ink jet recording head
JP2000033699A (en) * 1998-07-17 2000-02-02 Hitachi Koki Co Ltd On-demand multinozzle ink jet head and manufacture thereof
JP2000103059A (en) * 1998-09-30 2000-04-11 Seiko Epson Corp Ink jet recording head, its manufacture and ink jet recording device
JP3056195B1 (en) * 1999-02-02 2000-06-26 新潟日本電気株式会社 INK JET PRINT HEAD AND ITS MANUFACTURING METHOD
JP2000218790A (en) * 1999-02-02 2000-08-08 Nec Niigata Ltd Ink jet print head and its manufacture
JP2001047620A (en) * 1999-08-09 2001-02-20 Ricoh Co Ltd Ink jet head
JP2003112425A (en) * 2001-10-05 2003-04-15 Seiko Epson Corp Inkjet recording head and inkjet recorder
JP2003205611A (en) * 2002-01-16 2003-07-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ink-jet head, production method therefor, and ink-jet recording apparatus
JP2003276190A (en) * 2002-03-20 2003-09-30 Kyocera Corp Ink jet recording head
JP2006027122A (en) * 2004-07-16 2006-02-02 Fuji Photo Film Co Ltd Liquid droplet discharge head, its manufacturing method and imaging device
US20070279453A1 (en) * 2004-11-19 2007-12-06 Martin De Kegelaer Method Of Bonding A Nozzle Plate To An Inkjet Printhead
JP2010214764A (en) * 2009-03-17 2010-09-30 Ricoh Co Ltd Liquid discharge head, manufacturing method of the same, and image forming apparatus
JP2012143981A (en) * 2011-01-13 2012-08-02 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2013006404A (en) * 2011-05-20 2013-01-10 Ricoh Co Ltd Inkjet head and method of manufacturing the same, and image forming apparatus
JP2013173284A (en) * 2012-02-27 2013-09-05 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2013176894A (en) * 2012-02-28 2013-09-09 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2013180411A (en) * 2012-02-29 2013-09-12 Fujifilm Corp Liquid discharge device and liquid supply device
JP2016060101A (en) * 2014-09-18 2016-04-25 株式会社リコー Liquid discharge head and image forming apparatus
JP2016107495A (en) * 2014-12-05 2016-06-20 キヤノン株式会社 Liquid discharge head and liquid discharge device
JP2017217820A (en) * 2016-06-07 2017-12-14 株式会社リコー Liquid discharge head, liquid discharge unit, and device discharging liquid

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