JP6950552B2 - Liquid discharge head, liquid discharge unit and device that discharges liquid - Google Patents

Liquid discharge head, liquid discharge unit and device that discharges liquid Download PDF

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Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置に関する。 The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge unit, and a device for discharging a liquid.

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置(例えばインクジェット記録装置)が知られている。 As an image forming apparatus for printers, facsimiles, copying devices, plotters, and multifunction devices thereof, for example, image forming of a liquid ejection recording method using a recording head including a liquid ejection head (droplet ejection head) for ejecting ink droplets. Devices (eg, inkjet recording devices) are known.

インクジェット記録装置は、記録ヘッドからインク滴を、搬送される用紙(紙に限定するものではなく、OHPなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。)に対して吐出して、画像形成(記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。)を行うものであり、記録ヘッドに対して用紙を相対的に移動させつつ、印字信号に応じて記録ヘッドからインクを吐出させることにより用紙上にインク液滴を付着させ、そのインクドットによって用紙上に画像を形成する。
このようなインクジェット記録装置としては、記録が必要なときにのみインクの微小液滴を吐出するオンデマンド方式のものが主流となっている。
The inkjet recording device means a paper (not limited to paper, including OHP, etc., to which ink droplets, other liquids, etc. can adhere) to which ink droplets are conveyed from a recording head, and is a recording medium or a recording medium. It is also called a recording medium, a recording paper, a recording paper, etc.) to form an image (recording, printing, printing, and printing are also used as synonyms), and is used on a recording head. On the other hand, while moving the paper relatively, ink droplets are adhered to the paper by ejecting ink from the recording head in response to the printing signal, and the ink dots form an image on the paper.
As such an inkjet recording device, an on-demand type device that ejects minute droplets of ink only when recording is required is the mainstream.

インクの吐出方法としては、インクを充填した液室の壁部の一部に振動板を設け、圧電アクチュエータ等により振動板を変位させて液室内の圧力を高めてノズルからインク液滴を吐出させる圧電式と、通電によって発熱する発熱体を液室内に設け、発熱体の発熱により生じる気泡によって液室内の圧力を高めてインク液滴を吐出させるサーマル式とが知られている。何れの方式においても、装置を駆動させるための駆動回路からの駆動信号により圧力発生源を駆動させ、ノズルからインク液滴を吐出させて被記録媒体上に付着させている。 As an ink ejection method, a vibrating plate is provided on a part of the wall of the liquid chamber filled with ink, and the vibrating plate is displaced by a piezoelectric actuator or the like to increase the pressure in the liquid chamber and eject ink droplets from the nozzle. There are known a piezoelectric type and a thermal type in which a heating element that generates heat when energized is provided in the liquid chamber, and the pressure in the liquid chamber is increased by bubbles generated by the heat generated by the heating element to eject ink droplets. In either method, the pressure generation source is driven by a drive signal from the drive circuit for driving the device, and ink droplets are ejected from the nozzles and adhered to the recording medium.

液滴を吐出させるために個別液室を加圧したとき、圧力変動が圧力波となって、複数の個別液室に液体を供給する共通液室にも伝播する。この共通液室に伝播した圧力波が個別液室に逆伝播すると、個別液室の圧力を変動させ、ノズルのメニスカスを制御できなくなり、所要の滴速度、滴量(滴体積)で液滴を吐出できなくなったり、不吐出を引き起こしたりすることになる。また、共通液室に伝播した圧力波が隣接する個別液室に伝播して液体にも影響が及ぶ相互干渉が生じると、意図しないノズルからの液滴の漏洩や吐出、吐出状態の不安定(クロストーク)を誘発することになる。 When the individual liquid chambers are pressurized to eject droplets, the pressure fluctuation becomes a pressure wave and propagates to the common liquid chamber that supplies the liquid to the plurality of individual liquid chambers. When the pressure wave propagating in this common liquid chamber propagates back to the individual liquid chambers, the pressure in the individual liquid chambers fluctuates, the meniscus of the nozzle cannot be controlled, and droplets are discharged at the required drop velocity and drop volume (drop volume). It will not be possible to discharge or it will cause non-discharge. In addition, when the pressure wave propagating in the common liquid chamber propagates to the adjacent individual liquid chambers and causes mutual interference that affects the liquid, unintended leakage of droplets from the nozzle, discharge, and unstable discharge state ( Crosstalk) will be triggered.

この問題に対し、液室や流路の一部にダンパー構造を設け、隣接ノズルに圧力を伝わりにくくすることが知られている。また、循環機能を備えた液体吐出ヘッドにおいて、クロストークを低減するために気体貯留部を設け、貯留した気体をダンパーとして使用する技術も知られている(例えば、特許文献1参照)。 To solve this problem, it is known that a damper structure is provided in a part of a liquid chamber or a flow path to make it difficult for pressure to be transmitted to an adjacent nozzle. Further, in a liquid discharge head having a circulation function, there is also known a technique of providing a gas storage unit in order to reduce crosstalk and using the stored gas as a damper (see, for example, Patent Document 1).

特許文献1では、止水域が形成され回収路から液体を回収する共通回収路を有し、止水域に気泡を溜める貯留部を有し、回収路の流路抵抗が供給路の流路抵抗より小さく、インク吐出時に圧力室内で発生した圧力変動が、共通供給路より共通回収路に伝播しやすい液滴吐出ヘッドが提案されている。 In Patent Document 1, a water stop area is formed, a common recovery path for collecting liquid from the recovery path is provided, a storage portion for collecting air bubbles is provided in the water stop area, and the flow path resistance of the recovery path is higher than the flow path resistance of the supply path. A droplet ejection head that is small and easily propagates pressure fluctuations generated in a pressure chamber during ink ejection to a common recovery path rather than a common supply path has been proposed.

貯留した気体をダンパーとして使用する従来の技術においては、気体を収容するための貯留部を設けることによりインク容積が大きくなるという問題や、気体の量を一定に保つためにセンサ等の制御機構が必要となることがあり、装置の大型化やコストアップを招くという問題がある。
特許文献1の液滴吐出ヘッドにおいても、共通回収路内の気泡を検知する手段を備えることが好ましいとされており、そのような制御機構を設けることにより小型化やコスト低減の実現が難しくなるおそれがある。
In the conventional technology of using the stored gas as a damper, there is a problem that the ink volume is increased by providing a storage portion for accommodating the gas, and a control mechanism such as a sensor is used to keep the amount of gas constant. It may be necessary, and there is a problem that the size of the device is increased and the cost is increased.
It is said that the droplet ejection head of Patent Document 1 is also preferably provided with a means for detecting air bubbles in the common collection path, and it is difficult to realize miniaturization and cost reduction by providing such a control mechanism. There is a risk.

そこで、本発明は、制御機構を設けることなく一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られるとともに、小型化とコスト低減を実現可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides a liquid discharge head capable of storing a certain amount of gas without providing a control mechanism, obtaining discharge stability due to the damper effect, and realizing miniaturization and cost reduction. With the goal.

上記課題を解決するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、複数の前記ノズルに連通する複数の個別液室、前記個別液室に液体を供給する供給流路、及び前記個別液室に連通し、該個別液室内の液体の一部を回収する循環流路を形成する流路板部材と、前記供給流路に液体を供給する共通供給液室、前記循環流路からの液体を収容する共通循環液室、及び気体を貯留可能な空間を有するバッファ室が形成されたフレーム部材と、を少なくとも備え、前記バッファ室は、前記流路板部材および/またはフレーム部材に形成されたバッファ流路を介して前記循環流路と連通し、内部に気体のみを透過する気体透過膜を備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the liquid discharge head of the present invention is provided in a nozzle plate in which a plurality of nozzles for discharging droplets are formed, a plurality of individual liquid chambers communicating with the plurality of nozzles, and the individual liquid chambers. A flow path plate member that forms a supply flow path for supplying a liquid and a circulation flow path that communicates with the individual liquid chamber and collects a part of the liquid in the individual liquid chamber, and supplies the liquid to the supply flow path. The buffer chamber includes at least a common supply liquid chamber, a common circulating liquid chamber for accommodating a liquid from the circulation flow path, and a frame member having a buffer chamber having a space capable of storing a gas, and the buffer chamber is the flow. It is characterized by having a gas permeable film that communicates with the circulation flow path via a buffer flow path formed in a road plate member and / or a frame member and allows only a gas to permeate inside.

本発明によれば、制御機構を設けることなく一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られるとともに、小型化とコスト低減を実現可能な液体吐出ヘッドを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a liquid discharge head capable of storing a certain amount of gas without providing a control mechanism, obtaining discharge stability due to a damper effect, and realizing miniaturization and cost reduction. Can be done.

本発明を適用可能な従来の液体吐出ヘッドの一例を示す断面説明図である。It is sectional drawing which shows an example of the conventional liquid discharge head to which this invention is applied. 本発明の第1の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面説明図である。It is sectional drawing of the liquid discharge head which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面説明図である。It is sectional drawing of the liquid discharge head which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面説明図である。It is sectional drawing of the liquid discharge head which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例を示す要部側面説明図である。It is a side explanatory view of the main part which shows an example of the apparatus which discharges a liquid which concerns on this invention. 本発明に係る液体吐出ユニットの一例示す要部平面説明図である。It is a plane explanatory view of the main part which shows an example of the liquid discharge unit which concerns on this invention. 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例を示す正面説明図である。It is a front explanatory view which shows another example of the liquid discharge unit which concerns on this invention.

以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。 Hereinafter, the liquid discharge head, the liquid discharge unit, and the device for discharging the liquid according to the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited to the embodiments shown below, and can be modified within the range conceivable by those skilled in the art, such as other embodiments, additions, modifications, and deletions. However, as long as the action and effect of the present invention are exhibited, it is included in the scope of the present invention.

図1は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッドとして、従来のインクジェットヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
この液体吐出ヘッドは、インク供給口1a、共通供給液室1b、インク排出口1c、共通循環液室1dが形成されたフレーム部材と、流体抵抗部2a、個別液室(圧力発生室)2b、供給流路2dが形成された供給流路板2Cとを有している。
FIG. 1 shows a cross-sectional view in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of a conventional inkjet head as a liquid discharge head to which the present invention can be applied.
This liquid discharge head includes a frame member in which an ink supply port 1a, a common supply liquid chamber 1b, an ink discharge port 1c, and a common circulation liquid chamber 1d are formed, a fluid resistance portion 2a, and an individual liquid chamber (pressure generation chamber) 2b. It has a supply flow path plate 2C in which the supply flow path 2d is formed.

また、液体吐出ヘッドは、個別液室2bを介して供給流路2dと循環流路2eとを連通する連通口2cが形成された連通流路板2Bと、循環流路2eが形成された循環流路板2Aと、複数のノズル3aが形成されたノズル板3とを有している。 Further, the liquid discharge head includes a communication flow path plate 2B in which a communication port 2c for communicating the supply flow path 2d and the circulation flow path 2e via the individual liquid chamber 2b and a circulation flow path plate 2B in which the circulation flow path 2e is formed. It has a flow path plate 2A and a nozzle plate 3 in which a plurality of nozzles 3a are formed.

さらに、液体吐出ヘッドは、凸部6a、ダイヤフラム部6bを有する振動板6と、振動板6に接合されたエネルギー発生素子としての積層圧電素子5と、積層圧電素子5を固定しているベース4とを備えている。 Further, the liquid discharge head includes a diaphragm 6 having a convex portion 6a and a diaphragm portion 6b, a laminated piezoelectric element 5 as an energy generating element bonded to the diaphragm 6, and a base 4 fixing the laminated piezoelectric element 5. And have.

ベース4は、例えば、ステンレス材からなり、積層圧電素子5を2列に配置して接合している。 The base 4 is made of, for example, a stainless steel material, and the laminated piezoelectric elements 5 are arranged in two rows and joined.

積層圧電素子5はハーフカットのダイシング加工により櫛歯状に分割され、一つ毎に駆動部と非駆動部である支持部として使用する。駆動部には、図示しないドライバが実装されたFPC8が半田接合されており、これにより駆動部への駆動電圧印加を制御している。 The laminated piezoelectric element 5 is divided into a comb-teeth shape by a half-cut dicing process, and each of them is used as a drive unit and a non-drive support unit. An FPC 8 on which a driver (not shown) is mounted is solder-bonded to the drive unit, thereby controlling the application of a drive voltage to the drive unit.

振動板6は、薄膜のダイヤフラム部6bと、ダイヤフラム部6bの中央部に形成した積層圧電素子5の駆動部と接合する島状凸部(アイランド部)である凸部6aと、梁を含む厚膜部と、電鋳工法により開口を形成されたニッケル合金メッキ膜とを2層重ねることにより形成されている。凸部6aと駆動部との接合及び振動板6とフレーム部材との接合は、ギャップ材を含んだ接着層をパターニングして接着している。 The diaphragm 6 has a thickness including a thin film diaphragm portion 6b, a convex portion 6a which is an island-shaped convex portion (island portion) joined to a driving portion of the laminated piezoelectric element 5 formed in the central portion of the diaphragm portion 6b, and a beam. It is formed by stacking two layers of a film portion and a nickel alloy-plated film having an opening formed by an electroforming method. The joint between the convex portion 6a and the drive portion and the joint between the diaphragm 6 and the frame member are formed by patterning and adhering an adhesive layer containing a gap material.

循環流路板2A及び連通流路板2B及び供給流路板2Cを含む流路板部材2の材質としては、例えば、ステンレスが挙げられる。ステンレス材に対してプレス工法により流体抵抗部2a、圧力発生室2b、連通口2c、共通供給流路2d、共通循環流路2eをそれぞれ作製することができる。また、打ち抜き幅を狭くする部分を設けてこれを流体抵抗部2aとすることができる。 Examples of the material of the flow path plate member 2 including the circulation flow path plate 2A, the communication flow path plate 2B, and the supply flow path plate 2C include stainless steel. A fluid resistance portion 2a, a pressure generating chamber 2b, a communication port 2c, a common supply flow path 2d, and a common circulation flow path 2e can be manufactured from a stainless steel material by a pressing method. Further, a portion for narrowing the punching width can be provided and this can be used as the fluid resistance portion 2a.

ノズル板3は、金属材料(例えば、ステンレス材)からなり、プレス加工によりインク液滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル3aが多数形成されている。
ノズル3aは、その内部(内側)形状がテーパ状を呈していることが好ましく、例えば、直径が吐出側で約20〜35μm、ピッチが150dpiとなるようにそれぞれ形成される。
フレーム部材は、例えば、ステンレス材からなり、切削加工によって共通供給液室1b及び共通循環液室1dなどが形成される。
The nozzle plate 3 is made of a metal material (for example, a stainless steel material), and a large number of nozzles 3a, which are fine ejection ports for flying ink droplets by press working, are formed.
The nozzle 3a is preferably formed so that its internal (inside) shape is tapered. For example, the nozzle 3a is formed so that the diameter is about 20 to 35 μm on the discharge side and the pitch is 150 dpi.
The frame member is made of, for example, a stainless steel material, and a common supply liquid chamber 1b, a common circulating liquid chamber 1d, and the like are formed by cutting.

上述のように構成された液体吐出ヘッドでは、記録信号に応じて積層圧電素子5の駆動部に10〜50Vのパルス電圧からなる駆動波形が印加されることにより、積層圧電素子5の駆動部に積層方向の変位が生じて振動板6を介して個別液室2bが加圧され、圧力が上昇してノズル3aからインク液滴が吐出される。その後、インク液滴吐出の終了に伴い個別液室2b内のインク圧力が減少し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程とによって個別液室2b内に負圧が発生し、インク充填工程へと移行する。
このとき、インクタンクから供給されたインクは共通供給液室1bに流入し、共通供給液室1bから図示しないインク流入口及び流体抵抗部2aを介して個別液室2b内に充填される。
In the liquid discharge head configured as described above, a drive waveform composed of a pulse voltage of 10 to 50 V is applied to the drive unit of the laminated piezoelectric element 5 according to the recording signal, so that the drive unit of the laminated piezoelectric element 5 is subjected to a drive waveform. A displacement in the stacking direction occurs, the individual liquid chamber 2b is pressurized via the vibrating plate 6, the pressure rises, and ink droplets are ejected from the nozzle 3a. After that, the ink pressure in the individual liquid chamber 2b decreases with the end of ink droplet ejection, and a negative pressure is generated in the individual liquid chamber 2b due to the inertia of the ink flow and the discharge process of the drive pulse, and the ink filling step. Move to.
At this time, the ink supplied from the ink tank flows into the common supply liquid chamber 1b, and is filled into the individual liquid chamber 2b from the common supply liquid chamber 1b via an ink inlet and a fluid resistance portion 2a (not shown).

流体抵抗部2aは、インク液滴吐出後の残留圧力振動の減衰に効果がある反面、表面張力による最充填(リフィル)に対して抵抗となる。流体抵抗部2aを適宜に選択することにより、残留圧力の減衰とリフィル時間とのバランスが取れ、次のインク液滴吐出動作に移行するまでの時間(駆動周期)を短くすることができる。 The fluid resistance portion 2a is effective in damping the residual pressure vibration after ejecting ink droplets, but is resistant to refilling due to surface tension. By appropriately selecting the fluid resistance portion 2a, the damping of the residual pressure and the refill time can be balanced, and the time (driving cycle) until the next ink droplet ejection operation is started can be shortened.

しかし上述した構成の従来の液体吐出ヘッドでは、供給流路2dと循環流路2eとの間にダンパー構造が構成できず、液滴吐出に悪影響を及ぼすという問題点があった。
そこで、この問題点を解決する本発明の液体吐出ヘッドの構成を以下に説明する。
However, in the conventional liquid discharge head having the above-described configuration, there is a problem that a damper structure cannot be formed between the supply flow path 2d and the circulation flow path 2e, which adversely affects the droplet discharge.
Therefore, the configuration of the liquid discharge head of the present invention that solves this problem will be described below.

〔第1の実施形態〕
図2は、本発明の第1の実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
本実施形態の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル3aが形成されたノズル板3と、複数のノズル3aに連通する複数の個別液室(圧力発生室)2b、個別液室2bに液体を供給する供給流路2d、及び個別液室2bに連通し、該個別液室内の液体の一部を回収する循環流路2eを形成する流路板部材2と、供給流路2dに液体を供給する共通供給液室1b、循環流路2eからの液体を収容する共通循環液室1d、及び気体を貯留可能な空間を有するバッファ室7aが形成されたフレーム部材1と、を少なくとも備えている。
[First Embodiment]
FIG. 2 shows a cross-sectional view in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention.
The liquid discharge head of the present embodiment includes a nozzle plate 3 in which a plurality of nozzles 3a for discharging droplets are formed, a plurality of individual liquid chambers (pressure generating chambers) 2b communicating with the plurality of nozzles 3a, and individual liquid chambers 2b. The flow path plate member 2 that communicates with the supply flow path 2d that supplies the liquid to the individual liquid chamber and the individual liquid chamber 2b to form the circulation flow path 2e that collects a part of the liquid in the individual liquid chamber, and the supply flow path 2d. At least a common supply liquid chamber 1b for supplying a liquid, a common circulating liquid chamber 1d for accommodating a liquid from a circulation flow path 2e, and a frame member 1 in which a buffer chamber 7a having a space capable of storing a gas is formed are provided. ing.

バッファ室7aは、流路板部材2および/またはフレーム部材1に形成されたバッファ流路7cを介して循環流路2eと連通し、内部に気体のみを透過する気体透過膜7bを備えている。
また、バッファ室7aは、大気と連通する構造であることが好ましい。
The buffer chamber 7a includes a gas permeable membrane 7b that communicates with the circulation flow path 2e via the buffer flow path 7c formed in the flow path plate member 2 and / or the frame member 1 and allows only gas to permeate inside. ..
Further, the buffer chamber 7a preferably has a structure that communicates with the atmosphere.

本実施形態において、フレーム部材1は、循環流路2eの長手方向のノズル3a側から共通供給液室1b、共通循環液室1d、及びバッファ室7aがこの順に形成され、バッファ流路7cは、流路板部材2(連通流路板2B、供給流路板2C)およびフレーム部材1に形成されている。バッファ流路7cの一方の端部は循環流路2eの側端面に開口している。 In the present embodiment, in the frame member 1, the common supply liquid chamber 1b, the common circulating liquid chamber 1d, and the buffer chamber 7a are formed in this order from the nozzle 3a side in the longitudinal direction of the circulation flow path 2e, and the buffer flow path 7c is formed in this order. It is formed on the flow path plate member 2 (communication flow path plate 2B, supply flow path plate 2C) and the frame member 1. One end of the buffer flow path 7c is open to the side end surface of the circulation flow path 2e.

バッファ室7aは、重力と反対方向の面が大気開放されていて、バッファ室7aから大気開放面の間に気体透過膜7bが設置されている。
気体透過膜7bとしては、気体(例えば、空気)のみを透過可能な膜であれば特に限定されないが、例えば、樹脂成の膜等が挙げられる。気体透過膜7bを設けることにより、ポンプなどによる加圧または大気圧のみでも容易にバッファ室7aに気体を貯留することができる。
The surface of the buffer chamber 7a in the direction opposite to gravity is open to the atmosphere, and a gas permeable membrane 7b is installed between the buffer chamber 7a and the open surface to the atmosphere.
The gas permeable membrane 7b is not particularly limited as long as it can permeate only gas (for example, air), and examples thereof include resin-made membranes. By providing the gas permeable membrane 7b, the gas can be easily stored in the buffer chamber 7a only by pressurization by a pump or the like or atmospheric pressure alone.

バッファ室7aから溢れた気体は、バッファ流路7cを介して循環流路2eへ排出されるため、バッファ室7a内の気体の量は略一定に保たれる。 Since the gas overflowing from the buffer chamber 7a is discharged to the circulation flow path 2e via the buffer flow path 7c, the amount of gas in the buffer chamber 7a is kept substantially constant.

上述の構成により、制御機構を設けることなくバッファ室7aに一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られる。また、気体量を一定にするためのセンサ等の手段が不要であるため、小型化とコスト低減を実現可能である。 With the above configuration, a certain amount of gas can be stored in the buffer chamber 7a without providing a control mechanism, and discharge stability due to the damper effect can be obtained. Further, since a means such as a sensor for keeping the amount of gas constant is not required, it is possible to realize miniaturization and cost reduction.

〔第2の実施形態〕
図3は、本発明の第2の実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
本実施形態は、上述の第1の実施形態に対し、バッファ室7a及びバッファ流路7cの配設位置が相違するが、その他の構成は同様である。
[Second Embodiment]
FIG. 3 shows a cross-sectional view in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the liquid discharge head according to the second embodiment of the present invention.
In this embodiment, the arrangement positions of the buffer chamber 7a and the buffer flow path 7c are different from those in the first embodiment described above, but other configurations are the same.

本実施形態において、フレーム部材1は、循環流路2eの長手方向のノズル3a側から共通供給液室1b、バッファ室7a、及び共通循環液室1dがこの順に形成され、バッファ流路7cは、流路板部材2(連通流路板2B、供給流路板2C)およびフレーム部材1に形成されている。
バッファ流路7cの一方の端部は循環流路上(循環流路2eの流れ方向に沿った面)に開口している。
In the present embodiment, in the frame member 1, the common supply liquid chamber 1b, the buffer chamber 7a, and the common circulating liquid chamber 1d are formed in this order from the nozzle 3a side in the longitudinal direction of the circulation flow path 2e, and the buffer flow path 7c is formed in this order. It is formed on the flow path plate member 2 (communication flow path plate 2B, supply flow path plate 2C) and the frame member 1.
One end of the buffer flow path 7c is open on the circulation flow path (the surface of the circulation flow path 2e along the flow direction).

本実施形態におけるバッファ室7aは、上述の第1の実施形態よりもノズル3aに近い位置に配設されているため、より迅速に圧力変動を抑制することが可能である。
また、第1の実施形態と同様、バッファ室7aから溢れた気体は、バッファ流路7cを介して循環流路2eへ排出されるため、バッファ室7a内の気体の量は略一定に保たれる。
Since the buffer chamber 7a in the present embodiment is arranged at a position closer to the nozzle 3a than in the first embodiment described above, it is possible to suppress the pressure fluctuation more quickly.
Further, as in the first embodiment, the gas overflowing from the buffer chamber 7a is discharged to the circulation flow path 2e via the buffer flow path 7c, so that the amount of gas in the buffer chamber 7a is kept substantially constant. Is done.

上述の構成により、制御機構を設けることなくバッファ室7aに一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られる。また、気体量を一定にするためのセンサ等の手段が不要であるため、小型化とコスト低減を実現可能である。 With the above configuration, a certain amount of gas can be stored in the buffer chamber 7a without providing a control mechanism, and discharge stability due to the damper effect can be obtained. Further, since a means such as a sensor for keeping the amount of gas constant is not required, it is possible to realize miniaturization and cost reduction.

〔第3の実施形態〕
図4は、本発明の第3の実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面図を示している。
本実施形態は、上述の第1の実施形態に対し、バッファ室7a及びバッファ流路7cの配設位置が相違するが、その他の構成は同様である。
[Third Embodiment]
FIG. 4 shows a cross-sectional view in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the liquid discharge head according to the third embodiment of the present invention.
In this embodiment, the arrangement positions of the buffer chamber 7a and the buffer flow path 7c are different from those in the first embodiment described above, but other configurations are the same.

本実施形態において、フレーム部材1は、循環流路2eの長手方向のノズル3a側から共通供給液室1b、共通循環液室1d、及びバッファ室7aがこの順に形成され、バッファ流路7cは、フレーム部材1に形成されている。
バッファ流路7cの一方端は、共通循環液室1dの側端面に開口している。
In the present embodiment, in the frame member 1, the common supply liquid chamber 1b, the common circulating liquid chamber 1d, and the buffer chamber 7a are formed in this order from the nozzle 3a side in the longitudinal direction of the circulation flow path 2e, and the buffer flow path 7c is formed in this order. It is formed on the frame member 1.
One end of the buffer flow path 7c is open to the side end surface of the common circulating liquid chamber 1d.

本実施形態では、バッファ流路7cをフレーム部材1のみで形成しているため、流路板部材2に加工を行う必要がない。すなわち、バッファ室7a及びバッファ流路7cを一つの部品のみで形成することができる。
また、第1の実施形態と同様、バッファ室7aから溢れた気体は、バッファ流路7cを介して循環流路2eに連通する共通循環液室1dへ排出されるため、バッファ室7a内の気体の量は略一定に保たれる。
In the present embodiment, since the buffer flow path 7c is formed only by the frame member 1, it is not necessary to process the flow path plate member 2. That is, the buffer chamber 7a and the buffer flow path 7c can be formed by only one component.
Further, as in the first embodiment, the gas overflowing from the buffer chamber 7a is discharged to the common circulating liquid chamber 1d communicating with the circulation flow path 2e via the buffer flow path 7c, so that the gas in the buffer chamber 7a is discharged. The amount of gas is kept almost constant.

上述の構成により、制御機構を設けることなくバッファ室7aに一定量の気体を貯留することができ、ダンパー効果による吐出安定性が得られる。また、気体量を一定にするためのセンサ等の手段が不要であるため、小型化とコスト低減を実現可能である。 With the above configuration, a certain amount of gas can be stored in the buffer chamber 7a without providing a control mechanism, and discharge stability due to the damper effect can be obtained. Further, since a means such as a sensor for keeping the amount of gas constant is not required, it is possible to realize miniaturization and cost reduction.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の例について図5を参照して説明する。図5は同装置の要部側面説明図である。
本実施形態の液体を吐出する装置は、上述の本発明に係る液体吐出ヘッドを備えている。
Next, an example of the device for discharging the liquid according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an explanatory side view of a main part of the device.
The device for discharging the liquid of the present embodiment includes the above-mentioned liquid discharge head according to the present invention.

図5に示す液体を吐出する装置はシリアル型装置の例であり、主走査移動機構によって、キャリッジ403は主走査方向に往復移動する。
このキャリッジ403には、本発明に係る液体吐出ヘッド404及びヘッドタンク441を一体にした液体吐出ユニット440を搭載している。液体吐出ユニット440の液体吐出ヘッド404は、例えば、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド404は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
The device that discharges the liquid shown in FIG. 5 is an example of a serial type device, and the carriage 403 reciprocates in the main scanning direction by the main scanning moving mechanism.
The carriage 403 is equipped with a liquid discharge unit 440 in which the liquid discharge head 404 and the head tank 441 according to the present invention are integrated. The liquid discharge head 404 of the liquid discharge unit 440 discharges liquids of, for example, yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K). Further, the liquid discharge head 404 is mounted by arranging a nozzle array composed of a plurality of nozzles in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction and directing the discharge direction downward.

搬送ベルト412は用紙を吸着して液体吐出ヘッド404に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト412は、無端状ベルトであり、搬送ローラ413と、テンションローラ414との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
搬送ベルト412は、副走査モータによってタイミングベルト及びタイミングプーリを介して搬送ローラ413が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
用紙が搬送ベルト412上に給紙されて吸着され、搬送ベルト412の周回移動によって用紙が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ403を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド404を駆動することにより、停止している用紙に液体を吐出して画像を形成する。
The transport belt 412 attracts the paper and transports the paper at a position facing the liquid discharge head 404. The transport belt 412 is an endless belt, and is hung between the transport roller 413 and the tension roller 414. Adsorption can be performed by electrostatic adsorption, air suction, or the like.
The transfer belt 412 orbits in the sub-scanning direction by rotationally driving the transfer roller 413 via the timing belt and the timing pulley by the sub-scanning motor.
The paper is fed onto the transport belt 412 and sucked, and the paper is transported in the sub-scanning direction by the orbital movement of the transport belt 412.
Therefore, by driving the liquid ejection head 404 in response to the image signal while moving the carriage 403 in the main scanning direction, the liquid is ejected onto the stopped paper to form an image.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの例について図6を参照して説明する。図6は同ユニットの要部平面説明図である。
本実施形態の液体吐出ユニットは、上述の本発明に係る液体吐出ヘッドを備えている。
Next, an example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory plan view of a main part of the unit.
The liquid discharge unit of the present embodiment includes the above-mentioned liquid discharge head according to the present invention.

この液体吐出ユニットは、液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板491A、491B及び背板491Cで構成される筐体部分と、主走査移動機構493と、キャリッジ403と、液体吐出ヘッド404で構成されている。 This liquid discharge unit includes a housing portion composed of side plates 491A, 491B and a back plate 491C, a main scanning moving mechanism 493, a carriage 403, and a liquid discharge among the members constituting the device for discharging the liquid. It is composed of a head 404.

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板491Bに、維持回復機構及び供給機構の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。 A liquid discharge unit may be configured in which at least one of a maintenance / recovery mechanism and a supply mechanism is further attached to, for example, the side plate 491B of the liquid discharge unit.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図7を参照して説明する。図7は同ユニットの正面説明図である。 Next, another example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. 7. FIG. 7 is a front explanatory view of the unit.

この液体吐出ユニットは、流路部品444が取付けられた液体吐出ヘッド404と、流路部品444に接続されたチューブ456で構成されている。
なお、流路部品444はカバー442の内部に配置されている。流路部品444に代えてヘッドタンク441を含むこともできる。また、流路部品444の上部には液体吐出ヘッド404と電気的接続を行うコネクタ443が設けられている。
This liquid discharge unit includes a liquid discharge head 404 to which the flow path component 444 is attached, and a tube 456 connected to the flow path component 444.
The flow path component 444 is arranged inside the cover 442. A head tank 441 may be included instead of the flow path component 444. Further, a connector 443 that electrically connects to the liquid discharge head 404 is provided on the upper part of the flow path component 444.

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。 In the present application, the liquid to be discharged may have a viscosity and surface tension that can be discharged from the head, and is not particularly limited, but the viscosity becomes 30 mPa · s or less at room temperature, under normal pressure, or by heating or cooling. It is preferable that it is a thing. More specifically, solvents such as water and organic solvents, colorants such as dyes and pigments, polymerizable compounds, resins, functionalizing materials such as surfactants, biocompatible materials such as DNA, amino acids and proteins, and calcium. , Solvents, suspensions, emulsions, etc. containing edible materials such as natural pigments, etc., for example, inks for inkjets, surface treatment liquids, components of electronic elements and light emitting elements, and formation of electronic circuit resist patterns. It can be used for applications such as a liquid for use and a material liquid for three-dimensional modeling.

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ(積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子)、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。 Piezoelectric actuators (laminated piezoelectric elements and thin-film piezoelectric elements), thermal actuators that use electrothermal conversion elements such as heat-generating resistors, and electrostatic actuators that consist of a vibrating plate and counter electrodes are used as energy sources for discharging liquid. Includes what to do.

「液体吐出ユニット」には、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。 The "liquid discharge unit" includes a head tank, a carriage, a supply mechanism, a maintenance / recovery mechanism, a main scanning movement mechanism in which at least one of the configurations is combined with a liquid discharge head, and the like.

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。 Here, "integration" means, for example, a liquid discharge head and a functional component, a mechanism in which the mechanism is fixed to each other by fastening, adhesion, engagement, etc., or one in which one is movably held with respect to the other. include. Further, the liquid discharge head, the functional parts, and the mechanism may be detachably attached to each other.

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。 For example, as a liquid discharge unit, there is one in which a liquid discharge head and a head tank are integrated. Further, there is a case in which the liquid discharge head and the head tank are integrated by being connected to each other by a tube or the like. Here, a unit including a filter can be added between the head tank of these liquid discharge units and the liquid discharge head.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。 Further, as a liquid discharge unit, there is a liquid discharge head and a carriage integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。 Further, as a liquid discharge unit, there is a liquid discharge head in which the liquid discharge head and the scanning movement mechanism are integrated by holding the liquid discharge head movably by a guide member forming a part of the scanning movement mechanism. In some cases, the liquid discharge head, the carriage, and the main scanning movement mechanism are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。 Further, as a liquid discharge unit, there is a carriage to which a liquid discharge head is attached, in which a cap member which is a part of the maintenance / recovery mechanism is fixed, and the liquid discharge head, the carriage, and the maintenance / recovery mechanism are integrated. ..

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。 Further, as a liquid discharge unit, there is a liquid discharge unit in which a tube is connected to a head tank or a liquid discharge head to which a flow path component is attached, and the liquid discharge head and a supply mechanism are integrated. Through this tube, the liquid of the liquid storage source is supplied to the liquid discharge head.

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものとする。 The main scanning movement mechanism shall also include a single guide member. In addition, the supply mechanism shall include a single tube and a single loading unit.

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。 The "device for discharging a liquid" includes a device provided with a liquid discharge head or a liquid discharge unit and driving the liquid discharge head to discharge the liquid. The device for discharging the liquid includes not only a device capable of discharging the liquid to a device to which the liquid can adhere, but also a device for discharging the liquid toward the air or the liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。 The "device for discharging the liquid" can also include means for feeding, transporting, and discharging paper to which the liquid can adhere, as well as a pretreatment device, a posttreatment device, and the like.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物(三次元造形物)を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置(三次元造形装置)がある。 For example, as a "device that ejects a liquid", an image forming apparatus that ejects ink to form an image on paper, and a three-dimensional object (three-dimensional object) are formed in layers in order to form a three-dimensional object. There is a three-dimensional modeling device (three-dimensional modeling device) that discharges the modeling liquid into the powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。 Further, the "device for discharging a liquid" is not limited to a device in which a significant image such as characters and figures is visualized by the discharged liquid. For example, those that form patterns that have no meaning in themselves and those that form a three-dimensional image are also included.

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層(粉末層)、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。 The above-mentioned "material to which a liquid can adhere" means a material to which a liquid can adhere at least temporarily, such as one that adheres and adheres, and one that adheres and permeates. Specific examples include paper, recording paper, recording paper, film, recording media such as cloth, electronic substrates, electronic components such as piezoelectric elements, powder layers (powder layers), organ models, and media such as inspection cells. Yes, including anything to which the liquid adheres, unless otherwise specified.

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。 The material of the above-mentioned "material to which liquid can be attached" may be paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics or the like as long as the liquid can be attached even temporarily.

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。 Further, the "device for discharging the liquid" includes, but is not limited to, a device in which the liquid discharge head and the device to which the liquid can adhere move relatively. Specific examples include a serial type device that moves the liquid discharge head, a line type device that does not move the liquid discharge head, and the like.

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。 In addition, as a "device for ejecting a liquid", a treatment liquid coating device for ejecting a treatment liquid to a paper in order to apply the treatment liquid to the surface of the paper for the purpose of modifying the surface of the paper, etc. There is an injection granulation device that granulates fine particles of the raw material by injecting a composition liquid in which the raw material is dispersed in a solution through a nozzle.

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。 In addition, image formation, recording, printing, printing, printing, modeling, etc. in the terms of the present application are all synonymous.

1 フレーム部材
1a インク供給口
1b 共通供給液室
1c インク排出口
1d 共通循環液室
2 流路板部材
2A 循環流路板
2B 連通流路板
2C 供給流路板
2a 流体抵抗部
2b 個別液室(圧力発生室)
2c 連通口
2d 供給流路
2e 循環流路
3 ノズル板
4 ベース
5 積層圧電素子
6 振動板
6a 凸部
6b ダイヤフラム部
6c 内部フィルタ
7a バッファ室
7b 気体透過膜
7c バッファ流路
8 FPC
1 Frame member 1a Ink supply port 1b Common supply liquid chamber 1c Ink discharge port 1d Common circulation liquid chamber 2 Flow path plate member 2A Circulation flow path plate 2B Communication flow path plate 2C Supply flow path plate 2a Fluid resistance part 2b Individual liquid chamber ( Pressure generation chamber)
2c Communication port 2d Supply flow path 2e Circulation flow path 3 Nozzle plate 4 Base 5 Laminated piezoelectric element 6 Diaphragm 6a Convex part 6b Diaphragm part 6c Internal filter 7a Buffer chamber 7b Gas permeable membrane 7c Buffer flow path 8 FPC

特許第5475389号公報Japanese Patent No. 5475389

Claims (7)

液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
複数の前記ノズルに連通する複数の個別液室、前記個別液室に液体を供給する供給流路、及び前記個別液室に連通し、該個別液室内の液体の一部を回収する循環流路を形成する流路板部材と、
前記供給流路に液体を供給する共通供給液室、前記循環流路からの液体を収容する共通循環液室、及び気体を貯留可能な空間を有するバッファ室が形成されたフレーム部材と、を少なくとも備え、
前記バッファ室は、前記流路板部材および/またはフレーム部材に形成されたバッファ流路を介して前記循環流路と連通し、内部に気体のみを透過する気体透過膜を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
A nozzle plate on which multiple nozzles for ejecting droplets are formed,
A plurality of individual liquid chambers communicating with the plurality of nozzles, a supply flow path for supplying liquid to the individual liquid chambers, and a circulation flow path communicating with the individual liquid chambers and collecting a part of the liquid in the individual liquid chambers. And the flow path plate member that forms
At least a common supply liquid chamber for supplying liquid to the supply flow path, a common circulating liquid chamber for accommodating liquid from the circulation flow path, and a frame member having a buffer chamber having a space capable of storing gas. Prepare
The buffer chamber is characterized by including a gas permeable membrane that communicates with the circulation flow path via a buffer flow path formed in the flow path plate member and / or the frame member and allows only gas to permeate inside. Liquid discharge head.
前記バッファ室が、大気と連通することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid discharge head according to claim 1, wherein the buffer chamber communicates with the atmosphere. 前記フレーム部材は、前記循環流路の長手方向のノズル側から共通供給液室、共通循環液室、及びバッファ室がこの順に形成され、
前記バッファ流路は、前記流路板部材および前記フレーム部材に形成され、
前記バッファ流路の一方の端部が前記循環流路の側端面に開口することを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
In the frame member, a common supply liquid chamber, a common circulating liquid chamber, and a buffer chamber are formed in this order from the nozzle side in the longitudinal direction of the circulation flow path.
The buffer flow path is formed in the flow path plate member and the frame member, and is formed on the flow path plate member and the frame member.
The liquid discharge head according to claim 1 or 2, wherein one end of the buffer flow path opens to a side end surface of the circulation flow path.
前記フレーム部材は、前記循環流路の長手方向のノズル側から共通供給液室、バッファ室、及び共通循環液室がこの順に形成され、
前記バッファ流路は、前記流路板部材および前記フレーム部材に形成され、
前記バッファ流路の一方の端部が前記循環流路上に開口することを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
In the frame member, a common supply liquid chamber, a buffer chamber, and a common circulating liquid chamber are formed in this order from the nozzle side in the longitudinal direction of the circulation flow path.
The buffer flow path is formed in the flow path plate member and the frame member, and is formed on the flow path plate member and the frame member.
The liquid discharge head according to claim 1 or 2, wherein one end of the buffer flow path opens on the circulation flow path.
前記フレーム部材は、前記循環流路の長手方向のノズル側から共通供給液室、共通循環液室、及びバッファ室がこの順に形成され、
前記バッファ流路は、前記フレーム部材に形成され、
前記バッファ流路の一方端が前記共通循環液室の側端面に開口することを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
In the frame member, a common supply liquid chamber, a common circulating liquid chamber, and a buffer chamber are formed in this order from the nozzle side in the longitudinal direction of the circulation flow path.
The buffer flow path is formed in the frame member and is formed.
The liquid discharge head according to claim 1 or 2, wherein one end of the buffer flow path opens to a side end surface of the common circulating liquid chamber.
請求項1から5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出ユニット。 A liquid discharge unit comprising the liquid discharge head according to any one of claims 1 to 5. 請求項1から5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。 A device for discharging a liquid, which comprises the liquid discharge head according to any one of claims 1 to 5.
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