JP2019161156A - Release film roll for manufacturing ceramic green sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、グリーンシート製造用離型フィルムロールに関する。更に詳しくは、離型フィルムが薄膜で表面が平滑な場合においてもフィルムロール保管中の巻きズレが発生しないグリーンシート製造用離型フィルムロールに関する。 The present invention relates to a release film roll for producing a green sheet. More specifically, the present invention relates to a release film roll for producing a green sheet that does not cause winding deviation during film roll storage even when the release film is a thin film and has a smooth surface.
従来、巻き密度を所定の範囲内に収めることによりグリーンシート製造用離型フィルムが巻き取られた状態の巻きズレを防止し、平面性も維持できるという技術が知られていた(例えば、特許文献1参照)。しかし、かかる従来技術はグリーンシートが薄膜化した場合に、巻き密度を一定の範囲に収めても、離型面と裏面の突起が大きいため、グリーンシートにピンホールが発生したり、平面性が悪化してしまうという問題点があった。 Conventionally, a technique has been known in which the winding density is kept within a predetermined range to prevent winding deviation in a state in which the release film for green sheet production is wound, and to maintain flatness (for example, patent document) 1). However, when the green sheet is thinned, the conventional technology has large protrusions on the release surface and the back surface even if the winding density is kept within a certain range. There was a problem of getting worse.
離型面と裏面の表面粗さを適度な範囲に収めることにより離型剤層の外表面の高平滑化が得られるとともに、優れた離型性を備えることができるという技術が知られていた(例えば、特許文献2参照)。しかし、かかる従来技術は巻取り直後の巻き状態は良好であるが、保管、輸送中にフィルムロール温度が変化した場合にコアの膨張、収縮により巻芯付近のフィルムの巻きが緩くなったり締まったりすることで、巻ズレが発生するという問題点があった。セラミックスラリー塗工で使用する巻出し部の離型フィルムロールに巻ズレがある場合、フィルムの蛇行が発生し、セラミックグリーンシートを均一に塗工、作成することが困難となる場合があった。 A technique has been known in which high smoothness of the outer surface of the release agent layer can be obtained by keeping the surface roughness of the release surface and the back surface within an appropriate range, and excellent release properties can be provided. (For example, refer to Patent Document 2). However, such a conventional technique is good in the winding state immediately after winding, but when the film roll temperature changes during storage and transportation, the winding of the film near the core becomes loose or tightened due to expansion and contraction of the core. As a result, there is a problem that winding deviation occurs. When the release film roll of the unwinding part used in the ceramic slurry coating has a winding shift, the meandering of the film occurs, and it may be difficult to uniformly coat and create the ceramic green sheet.
本発明は、かかる従来技術の課題を背景になされたものである。すなわち、本発明の目的は、離型フィルムロールの保管温度が変化した場合においても、巻きズレが発生しない優れたグリーンシート製造用剥離フィルムロールを提供することにある。 The present invention has been made against the background of such prior art problems. That is, an object of the present invention is to provide an excellent release film roll for producing a green sheet that does not cause winding deviation even when the storage temperature of the release film roll changes.
本発明者は、かかる目的を達成するために鋭意検討した結果、本発明の完成に至った。すなわち本発明は、以下の構成よりなる。
1. 25℃でのコア外径と50℃で1時間加熱後のコア外径との差の絶対値が0.1mm以下、かつ25℃でのコア外径と5℃で1時間冷却後のコア外径との差の絶対値が0.1mm以下であるコアの上に、離型フィルムが巻き取られているグリーンシート製造用離型フィルムロール。
2. コアの円周方向及び幅方向について、各々位置を変えて25℃でのコア外径を各々10点測定した時の標準偏差が、コアの円周方向及び幅方向の両者において0.05mm以下である上記第1に記載のグリーンシート製造用離型フィルムロール。
3. 離型フィルムを構成するフィルム基材がポリエステルフィルムであり、前記離型フィルムは前記ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有し、前記離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロール。
4. ポリエステルフィルムが、無機粒子を実質的に含有していない表面層A及び粒子を含有する反対側の表面層Bを有し、表面層A上に離型層が設けられており、前記表面層Bが含有する粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、粒子の合計が表面層B中に5000〜15000ppm含有されている上記第3に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロール。
5. 0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、上記第1から第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールに巻き取られている離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法。
6. 上記第5に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用することを特徴とするセラミックコンデンサの製造方法。
As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have completed the present invention. That is, this invention consists of the following structures.
1. The absolute value of the difference between the core outer diameter at 25 ° C. and the core outer diameter after heating at 50 ° C. for 1 hour is 0.1 mm or less, and the core outer diameter at 25 ° C. and the core outer after cooling at 5 ° C. for 1 hour A release film roll for producing a green sheet, in which a release film is wound on a core having an absolute value of a difference from the diameter of 0.1 mm or less.
2. For the circumferential direction and the width direction of the core, the standard deviation when the core outer diameter at 25 ° C. is measured at 10 points each at different positions is 0.05 mm or less in both the circumferential direction and the width direction of the core. A release film roll for producing a green sheet according to the first aspect.
3. The film substrate constituting the release film is a polyester film, and the release film has a release layer on at least one side of the polyester film, and the surface average roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm. The release film roll for manufacturing a ceramic green sheet according to the first or second aspect described above.
4). The polyester film has a surface layer A substantially free of inorganic particles and an opposite surface layer B containing particles, and a release layer is provided on the surface layer A, and the surface layer B The release film roll for manufacturing a ceramic green sheet according to the third aspect, wherein the particles contained in the surface layer are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total amount of the particles is contained in the surface layer B at 5000 to 15000 ppm.
5). A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm, wherein the mold is wound around the release film roll for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to fourth aspects. A method for producing a ceramic green sheet using a film.
6). A method for producing a ceramic capacitor, wherein the method for producing a ceramic green sheet according to the fifth aspect is adopted.
本発明により、グリーンシート製造用剥離フィルムロールにおいて、離型フィルムが薄膜で表面が平滑であり、フィルムロールの保管温度が変化した場合においても、巻きズレの発生を防止することが可能となった。 According to the present invention, in the release film roll for producing a green sheet, even when the release film is a thin film and the surface is smooth and the storage temperature of the film roll changes, it is possible to prevent the occurrence of winding deviation. .
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロール(以下、単に離型フィルムロールということがある)は、基材フィルムである二軸配向ポリエステルフィルムの片面に離型層を有する離型フィルムロールである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The release film roll for producing ceramic green sheets of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as a release film roll) is a release film roll having a release layer on one side of a biaxially oriented polyester film that is a base film. is there.
(ポリエステルフィルム)
本発明において基材として好ましく用いられるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成形したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
The polyester constituting the polyester film preferably used as the base material in the present invention is not particularly limited, and a polyester film generally used as a base material for a release film can be used. Is preferably a crystalline linear saturated polyester composed of an aromatic dibasic acid component and a diol component, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate, or these A copolymer having a resin component as a main component is more preferable, and a polyester film formed from polyethylene terephthalate is particularly preferable. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized in a small amount, but from the viewpoint of cost. Those produced only from terephthalic acid and ethylene glycol are preferred. Moreover, you may add a well-known additive, for example, antioxidant, a light stabilizer, a ultraviolet absorber, a crystallizing agent, etc. within the range which does not inhibit the effect of the film of this invention. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film for reasons such as high bidirectional elasticity.
上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50〜0.70dl/gが好ましく、0.52〜0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料は十分に真空乾燥することが好ましい。 The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl / g, and more preferably 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, it is preferable because many breakage does not occur in the stretching process. On the other hand, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because cutting property when cutting to a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. Moreover, it is preferable that the raw material is sufficiently vacuum dried.
本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。 The manufacturing method of the polyester film in this invention is not specifically limited, The method generally used conventionally can be used. For example, the polyester can be melted with an extruder, extruded into a film, cooled with a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and the unstretched film can be obtained by biaxial stretching. A biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a uniaxially stretched film in the longitudinal direction or the transverse direction in the transverse direction or the longitudinal direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal direction and the transverse direction. I can do it.
本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。 In this invention, it is preferable that the extending | stretching temperature at the time of extending | stretching a polyester film shall be more than the secondary transition point (Tg) of polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in the longitudinal and lateral directions.
上記ポリエステルフィルムは、厚みが12〜50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15〜38μmであり、より好ましくは、19〜33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や加工工程、成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。 It is preferable that the said polyester film is 12-50 micrometers in thickness, More preferably, it is 15-38 micrometers, More preferably, it is 19-33 micrometers. If the thickness of the film is 12 μm or more, it is preferable that there is no risk of deformation due to heat during film production, processing steps, and molding. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use is not extremely increased, which is preferable in reducing the environmental load.
上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であっても構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有する積層フィルムであることが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層をA層、その反対面の層をB層、これら以外の芯層をC層とすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながらC層は複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性を付与するため、表面層B上には少なくとも粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。 The polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but is preferably a laminated film having a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one side. . In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B that can contain particles on the opposite surface of the surface layer A that does not substantially contain inorganic particles. As the laminated structure, when the layer on the side to which the release layer is applied is the A layer, the opposite layer is the B layer, and the core layer other than these is the C layer, the layer structure in the thickness direction is the release layer / A / B, or a laminated structure such as a release layer / A / C / B. Of course, the C layer may have a plurality of layers. Further, the surface layer B can contain no particles. In that case, it is preferable to provide a coating layer containing at least particles and a binder on the surface layer B in order to provide slipperiness for winding the film into a roll.
本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、無機粒子が、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。 In the polyester film substrate of the present invention, it is preferable that the surface layer A that forms the surface on which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, pinholes and the like are less likely to occur during molding of the laminated ultra-thin ceramic green sheet. Although it can be said that the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably as small as possible, it may be 0.1 nm or more. Here, when providing the below-mentioned anchor coat layer etc. on the surface layer A, it is preferable that an inorganic particle is not included substantially in a coat layer, and the area | region surface average roughness (Sa) after coat layer lamination | stacking is the said range. It is preferable to enter. In the present invention, “substantially free of inorganic particles” means that the inorganic particles are not more than 50 ppm, preferably not more than 10 ppm, most preferably not more than the detection limit when the inorganic elements are quantified by fluorescent X-ray analysis. Means content. This means that even if inorganic particles are not actively added to the film, contaminants derived from foreign substances, raw material resin, or dirt attached to the line or equipment in the film manufacturing process will be peeled off and mixed into the film. This is because there are cases.
本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される粒子含有量は、表面層B中に粒子の合計で5000〜15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。 In the polyester film substrate of the present invention, the surface layer B that forms the surface opposite to the surface on which the release layer is applied preferably contains particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease of air removal. It is preferable to use silica particles and / or calcium carbonate particles. The contained particle content is preferably 5000 to 15000 ppm in total in the surface layer B. At this time, it is preferable that the area | region surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is the range of 1-40 nm. More preferably, it is the range of 5-35 nm. When the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, when the film is rolled up, air can be released uniformly, and the winding shape is good and the flatness is good. This is suitable for the production of an ultrathin layer ceramic green sheet. In addition, when the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, the lubricant is less likely to agglomerate and coarse protrusions cannot be formed, so the quality is stable when manufacturing ultra-thin ceramic green sheets. It is preferable.
上記B層に含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子なども用いることができるが、透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましい。また、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ−シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。 As the particles contained in the layer B, inactive inorganic particles and / or heat-resistant organic particles other than silica and / or calcium carbonate can be used, but silica particles and / or from the viewpoint of transparency and cost. More preferably, calcium carbonate particles are used. Other inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Examples of the heat resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, and benzoguanamine particles. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. .
上記表面層Bに添加する粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。 The average particle size of the particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. If the average particle diameter of the particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. Moreover, if an average particle diameter is 2.0 micrometers or less, there is no possibility that a pinhole may generate | occur | produce in the ceramic green sheet by the coarse particle of a mold release layer surface, and it is preferable.
上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。 The surface layer B may contain two or more kinds of particles having different materials. Moreover, you may contain the same kind of particle | grains from which an average particle diameter differs.
表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。 When the surface layer B does not contain particles, it is preferable that the surface layer B has a slipperiness with a coat layer containing particles. Although this coating layer is not specifically limited, It is preferable to provide with the in-line coating applied during film forming of a polyester film. When the surface layer B does not contain particles, and the surface layer B has a coat layer containing particles, the surface of the coat layer is a region for the same reason as the surface average roughness (Sa) of the surface layer B described above. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is the range of 5-35 nm.
上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。 From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use a regenerated raw material or the like for the surface layer A, which is a layer on the side where the release layer is provided, from the viewpoint of reducing pinholes.
上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さく好ましい。 The thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on the side where the release layer is provided, is preferably 20% to 50% of the total thickness of the base film. If it is 20% or more, the influence of particles contained in the surface layer B or the like is not easily received from the inside of the film, and the area surface average roughness Sa is easy to satisfy the above range, which is preferable. When the thickness is 50% or less of the total thickness of the base film, the use ratio of the recycled raw material in the surface layer B can be increased, and the environmental load is small.
また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、B層に含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。 Further, from the viewpoint of economy, 50 to 90% by mass of film scraps and recycled materials for PET bottles can be used for layers other than the surface layer A (surface layer B or the aforementioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the B layer, the particle diameter, and the area surface average roughness (Sa) satisfy the above range.
また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。 In addition, the film after stretching or uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve adhesion of a release layer or the like to be applied later or to prevent charging. A coating layer may be provided, and corona treatment or the like may be performed.
離型層上に、塗布、成型されるセラミックグリーンシートは、塗布、成型後に離型フィルムと共にロール状に巻き取られる。このとき、セラミックグリーンシート表面に離型フィルムの易滑性を持たせた反離型面(易滑面と呼ぶことがある)が接触した状態で巻き取られることとなる。セラミックグリーンシート表面に欠陥を発生させないために、易滑面は、適度に平坦であることが必要であり、領域表面平均粗さ(Sa)が1nm以上25nm以下かつ最大突起高さ(P)が60nm以上500nm以下であることが好ましい。 The ceramic green sheet to be applied and molded on the release layer is wound into a roll together with the release film after application and molding. At this time, the ceramic green sheet surface is wound up in a state in which an anti-release surface (sometimes referred to as an easy-slip surface) having the slipperiness of the release film is in contact. In order not to generate defects on the surface of the ceramic green sheet, the smooth surface needs to be reasonably flat, the area surface average roughness (Sa) is 1 nm to 25 nm, and the maximum protrusion height (P) is It is preferable that it is 60 nm or more and 500 nm or less.
(離型層)
本発明における離型層を構成する樹脂には特に限定はなく、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アルキド樹脂、各種ワックス、脂肪族オレフィンなどを用いることができ、各樹脂を単独もしくは、2種類以上併用することもできる。
(Release layer)
The resin constituting the release layer in the present invention is not particularly limited, and silicone resins, fluororesins, alkyd resins, various waxes, aliphatic olefins and the like can be used, and each resin is used alone or in combination of two or more. You can also.
本発明における離型層として、例えばシリコーン樹脂とは、分子内にシリコーン構造を有する樹脂のことであり、硬化型シリコーン、シリコーングラフト樹脂、アルキル変性などの変性シリコーン樹脂などが挙げられるが、移行性などの観点から反応性の硬化シリコーン樹脂を用いることが好ましい。反応性の硬化シリコーン樹脂としては、付加反応系のもの、縮合反応系のもの、紫外線もしくは電子線硬化系のものなどを用いることができる。より好ましくは、低温で加工できる低温硬化性の付加反応系のもの、および紫外線もしくは、電子線硬化系のものがよい。これらのものを用いることで、ポリエステルフィルムへの塗工加工時に、低温で加工できる。そのため、加工時におけるポリエステルフィルムへの熱ダメージが少なく、平面性の高いポリエステルフィルムが得られ、0.2〜1.0μm厚みの超薄膜セラミックグリーンシート製造時にもピンホールなどの欠点を少なくすることができる。 As the release layer in the present invention, for example, a silicone resin is a resin having a silicone structure in the molecule, and examples thereof include curable silicone, silicone graft resin, and modified silicone resins such as alkyl-modified. From the standpoint of the above, it is preferable to use a reactive cured silicone resin. As the reactive cured silicone resin, an addition reaction type, a condensation reaction type, an ultraviolet ray or electron beam curing type, or the like can be used. More preferably, a low-temperature curable addition reaction system that can be processed at a low temperature, and an ultraviolet ray or electron beam curing system are preferable. By using these materials, the polyester film can be processed at a low temperature. Therefore, there is little thermal damage to the polyester film during processing, a polyester film with high flatness can be obtained, and pinholes and other defects can be reduced even when manufacturing ultra-thin ceramic green sheets with a thickness of 0.2 to 1.0 μm. Can do.
付加反応系のシリコーン樹脂としては、例えば末端もしくは側鎖にビニル基を導入したポリジメチルシロキサンとハイドロジエンシロキサンとを、白金触媒を用いて反応させて硬化させるものが挙げられる。このとき、120℃で30秒以内に硬化できる樹脂を用いる方が、低温での加工ができ、より好ましい。例としては、東レ・ダウコーニング社製の低温付加硬化型(LTC1006L、LTC1056L、LTC300B、LTC303E、LTC310、LTC314、LTC350G、LTC450A、LTC371G、LTC750A、LTC755、LTC760Aなど)および熱UV硬化型(LTC851、BY24−510、BY24−561、BY24−562など)、信越化学社製の溶剤付加+UV硬化型(X62−5040、X62−5065、X62−5072T、KS5508など)、デュアルキュア硬化型(X62−2835、X62−2834、X62−1980など)などが挙げられる。 Examples of the addition reaction type silicone resin include those obtained by reacting and curing polydimethylsiloxane having a vinyl group introduced into the terminal or side chain thereof with hydrodienesiloxane using a platinum catalyst. At this time, it is more preferable to use a resin that can be cured at 120 ° C. within 30 seconds because processing at a low temperature is possible. As an example, low temperature addition curing type (LTC1006L, LTC1056L, LTC300B, LTC303E, LTC310, LTC314, LTC350G, LTC450A, LTC371G, LTC750A, LTC755A, LTC85A, L85 type, UV85B, LTC760A, etc. -510, BY24-561, BY24-562, etc.), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. solvent addition + UV curing type (X62-5040, X62-5065, X62-5072T, KS5508 etc.), dual cure curing type (X62-2835, X62) -2834, X62-1980, etc.).
縮合反応系のシリコーン樹脂としては、例えば、末端にOH基をもつポリジメチルシロキサンと末端にH基をもつポリジメチルシロキサンを、有機錫触媒を用いて縮合反応させ、3次元架橋構造をつくるものが挙げられる。 As a silicone resin of the condensation reaction system, for example, a polydimethylsiloxane having an OH group at the end and a polydimethylsiloxane having an H group at the end are subjected to a condensation reaction using an organotin catalyst to form a three-dimensional crosslinked structure. Can be mentioned.
紫外線硬化系のシリコーン樹脂としては、例えば最も基本的なタイプとして通常のシリコーンゴム架橋と同じラジカル反応を利用するもの、不飽和基を導入して光硬化させるもの、紫外線でオニウム塩を分解して強酸を発生させ、これでエポキシ基を開裂させて架橋させるもの、ビニルシロキサンへのチオールの付加反応で架橋するもの等が挙げられる。また、前記紫外線の代わりに電子線を用いることもできる。電子線は紫外線よりもエネルギーが強く、紫外線硬化の場合のように開始剤を用いなくても、ラジカルによる架橋反応を行うことが可能である。使用する樹脂の例としては、信越化学社製のUV硬化系シリコーン(X62−7028A/B、X62−7052、X62−7205、X62−7622、X62−7629、X62−7660など)、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製のUV硬化系シリコーン(TPR6502、TPR6501、TPR6500、UV9300、UV9315、XS56−A2982、UV9430など)、荒川化学社製のUV硬化系シリコーン(シリコリースUV POLY200、POLY215、POLY201、KF−UV265AMなど)が挙げられる。 Examples of UV curable silicone resins include those that use the same radical reaction as ordinary silicone rubber crosslinks as the most basic types, those that introduce photopolymerization by introducing unsaturated groups, and those that decompose onium salts with UV light. Examples include those that generate a strong acid and then cleave the epoxy group to crosslink, and those that crosslink by the addition reaction of thiol to vinylsiloxane. Further, an electron beam can be used instead of the ultraviolet rays. Electron beams have stronger energy than ultraviolet rays, and can use a radical crosslinking reaction without using an initiator as in the case of ultraviolet curing. Examples of the resin to be used include UV-curable silicones (X62-7028A / B, X62-7052, X62-7205, X62-7622, X62-7629, X62-7660, etc.) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Momentive Performance UV curable silicones manufactured by Materials (TPR6502, TPR6501, TPR6500, UV9300, UV9315, XS56-A2982, UV9430, etc.), UV curable silicones manufactured by Arakawa Chemical (Silicolys UV POLY200, POLY215, POLY201, KF-UV265AM, etc.) ).
上記、紫外線硬化系のシリコーン樹脂としては、アクリレート変性や、グリシドキシ変性されたポリジメチルシロキサンなどを用いることもできる。これら変性されたポリジメチルシロキサンを、多官能のアクリレート樹脂やエポキシ樹脂などと混合し、開始剤存在下で使用することでも良好な離型性能を出すことができる。 As the ultraviolet curable silicone resin, polydimethylsiloxane modified with acrylate or glycidoxy may be used. Mixing these modified polydimethylsiloxanes with polyfunctional acrylate resins or epoxy resins and using them in the presence of an initiator can also provide good release performance.
その他用いられる樹脂の例としては、ステアリル変性、ラウリル変性などをしたアルキド樹脂やアクリル樹脂、またはメチル化メラミンの反応などで得られるアルキド系樹脂、アクリル系樹脂なども好適である。 As other examples of resins used, alkyd resins and acrylic resins modified with stearyl and lauryl, alkyd resins obtained by reaction of methylated melamine, acrylic resins, and the like are also suitable.
上記、メチル化メラミンの反応などで得られるアミノアルキド樹脂としては、日立化成社製のテスファイン303、テスファイン305、テスファイン314などが挙げられる。メチル化メラミンの反応などで得られるアミノアクリル樹脂としては、日立化成社製のテスファイン322などが挙げられる。 Examples of the aminoalkyd resin obtained by the reaction of methylated melamine include Tesfine 303, Tesfine 305, and Tesfine 314 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Examples of the aminoacrylic resin obtained by the reaction of methylated melamine include Tesfine 322 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
本発明における離型層に上記樹脂を用いる場合は、1種類で使用してもよいし、2種類以上を混合して用いてもよい。また、剥離力を調整するために、軽剥離添加剤や、重剥離添加剤といった添加剤を混合することも可能である。 When using the said resin for the release layer in this invention, you may use by 1 type and may mix and use 2 or more types. Moreover, in order to adjust peeling force, it is also possible to mix additives, such as a light peeling additive and a heavy peeling additive.
本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子などの突起を形成するものは、実質的に含有しないほうが好ましい。 The release layer in the present invention can contain particles having a particle size of 1 μm or less. However, it is preferable not to substantially contain those that form protrusions such as particles from the viewpoint of pinhole generation.
本発明における離型層には、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。 In the release layer in the present invention, an additive such as an adhesion improver or an antistatic agent may be added. In order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable to pretreat the polyester film surface with an anchor coat, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment or the like before providing the release layer.
本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型層の厚みが0.005〜2.0μmとなる範囲がよい。離型層の厚みが0.005μm以上であると、剥離性能が保たれて好ましい。また、離型層の厚みが2.0μm以下であると、硬化時間が長くなり過ぎず、離型フィルムの平面性の低下によるセラミックグリーンシートの厚みムラを生じおそれがなく好ましい。また、硬化時間が長くなり過ぎないので、離型層を構成する樹脂が凝集するおそれがなく、突起を形成するおそれがないため、セラミックグリーンシートのピンホール欠点が生じにくく好ましい。 In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use, and is not particularly limited. Preferably, however, the thickness of the release layer after curing is within a range of 0.005 to 2.0 μm. Good. When the thickness of the release layer is 0.005 μm or more, the peeling performance is maintained, which is preferable. Moreover, it is preferable that the thickness of the release layer is 2.0 μm or less because the curing time does not become too long, and there is no possibility of uneven thickness of the ceramic green sheet due to a decrease in planarity of the release film. In addition, since the curing time does not become too long, the resin constituting the release layer does not have a possibility of agglomeration and there is no possibility of forming protrusions.
離型層を形成させたフィルム外表面(ポリエステルフィルムと接していない塗布フィルム全体の離型層表面)は、その上で塗布、成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が5nm以下かつ最大突起高さ(P)が30nm以下であることが好ましい。さらには領域表面平均粗さ5nm以下かつ最大突起高さ20nm以下がより好ましい。領域表面粗さが5nm以下、且つ、最大突起高さが30nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。 The outer surface of the film on which the release layer is formed (the release layer surface of the entire coated film that is not in contact with the polyester film) is flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet to be coated and molded thereon. Preferably, the area surface average roughness (Sa) is 5 nm or less and the maximum protrusion height (P) is 30 nm or less. Furthermore, it is more preferable that the area surface average roughness is 5 nm or less and the maximum protrusion height is 20 nm or less. If the surface roughness of the region is 5 nm or less and the maximum protrusion height is 30 nm or less, there is no occurrence of defects such as pinholes when forming the ceramic green sheet, and the yield is favorable. It can be said that the smaller the surface average surface roughness (Sa), the better, but it may be 0.1 nm or more, or 0.3 nm or more. It can be said that the smaller the maximum protrusion height (P) is, the better, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.
本発明において、離型層を形成させたフィルム表面を所定の粗さ範囲に調節するためには、PETフィルムには実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。なお、本発明でいう「実質的に無機粒子を含有しない」とは、基材フィルム及び離型層の両者について、例えば、蛍光X線分析で粒子に由来する元素を定量分析した際に、50ppm以下であることで定義され、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下である。これは積極的に粒子を基材フィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。 In the present invention, in order to adjust the film surface on which the release layer is formed to a predetermined roughness range, it is preferable that the PET film does not substantially contain inorganic particles. In the present invention, “substantially free of inorganic particles” means that, for both the base film and the release layer, for example, when the element derived from the particles is quantitatively analyzed by fluorescent X-ray analysis, 50 ppm Is defined as below, preferably 10 ppm or less, and most preferably below the detection limit. This means that even if particles are not actively added to the base film, contaminants derived from foreign substances and raw material resin or dirt adhering to the line or equipment in the film manufacturing process will be peeled off and mixed into the film. It is because there is a case to do.
本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず、離型性の樹脂を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去後、加熱乾燥、熱硬化または紫外線硬化させる方法が用いられる。このとき、溶媒乾燥、熱硬化時の乾燥温度は、180℃以下であることが好ましく、150℃以下であることがより好ましく、120℃以下であることがもっとも好ましい。その加熱時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。180℃以下の場合、フィルムの平面性が保たれ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが小さく好ましい。120℃以下であるとフィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが更に低下するので特に好ましい。 In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating solution in which a release resin is dissolved or dispersed is spread on one surface of the polyester film of the substrate by coating or the like, and a solvent or the like. After removing by drying, a method of heat drying, heat curing or ultraviolet curing is used. At this time, the drying temperature at the time of solvent drying and thermosetting is preferably 180 ° C. or less, more preferably 150 ° C. or less, and most preferably 120 ° C. or less. The heating time is preferably 30 seconds or less, and more preferably 20 seconds or less. When the temperature is 180 ° C. or lower, the flatness of the film is maintained, and there is little possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet. When the temperature is 120 ° C. or less, the film can be processed without impairing the flatness of the film, and the possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferable.
本発明において、離型層形成用塗液を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。 In the present invention, the surface tension of the coating liquid when the release layer forming coating liquid is applied is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By making the surface tension as described above, the paintability after coating can be improved, and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced.
本発明において、離型層形成用塗液を塗布するときの塗液には、特に限定されないが、沸点が90℃以上の溶剤を添加することが好ましい。沸点が90℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜をレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10〜80質量%程度添加することが好ましい。 In the present invention, the coating liquid for applying the release layer forming coating liquid is not particularly limited, but it is preferable to add a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher. By adding a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher, bumping at the time of drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the coating film surface after drying can be improved. As the addition amount, it is preferable to add about 10-80 mass% with respect to the whole coating liquid.
上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。 As the coating method of the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, a spray coating method, an air knife. Conventionally known methods such as a coating method can be used.
(巻取りコア)
上記離型層を塗工した後、巻取りコアに巻き取られ、後述するセラミックグリーンシート形成用離型フィルムロールとして使用される。離型層を塗工後にフィルムを巻き取るために使用する巻芯部の巻取りコアとしては、紙、プラスチック、金属など各種コアが用いられる。本発明にて使用するコアとしては、25℃でのコア外径と50℃で1時間加熱後のコア外径との差の絶対値が0.1mm以下、かつ25℃でのコア外径と5℃で1時間冷却後のコア外径との差の絶対値が0.1mm以下であるコアが好ましい。室温から加熱、及び、冷却後のコア外径の変化が0.1mm以下であれば、フィルム巻き取り後のフィルムロール保管温度が変わった時のコア外径変化による巻芯部でのフィルムの巻き緩み、巻締りによる巻芯部の巻ズレの発生を防止できるため好ましい。加熱前後、及び冷却前後のコア外径の差の絶対値が0.06mm以下であれば更に好ましい。加熱前後、及び冷却前後のコア外径の差の絶対値は0mmであることが最も好ましいが、0.005mm以上であっても構わず、0.01mm以上であっても構わない。
(Winding core)
After coating the release layer, it is wound around a winding core and used as a release film roll for forming a ceramic green sheet, which will be described later. Various cores such as paper, plastic and metal are used as the winding core of the winding core portion used for winding the film after coating the release layer. As the core used in the present invention, the absolute value of the difference between the core outer diameter at 25 ° C. and the core outer diameter after heating for 1 hour at 50 ° C. is 0.1 mm or less, and the core outer diameter at 25 ° C. The core whose absolute value of the difference from the core outer diameter after cooling for 1 hour at 5 ° C. is 0.1 mm or less is preferable. If the change in the outer diameter of the core after heating and cooling from room temperature is 0.1 mm or less, the film is wound around the core due to the change in the outer diameter of the core when the film roll storage temperature after winding the film is changed. This is preferable because it is possible to prevent the winding core portion from being loosened due to loosening and tightening. More preferably, the absolute value of the difference between the core outer diameters before and after heating and before and after cooling is 0.06 mm or less. The absolute value of the difference between the core outer diameters before and after heating and before and after cooling is most preferably 0 mm, but may be 0.005 mm or more, or 0.01 mm or more.
巻取りコアの円周方向及び幅方向の双方向において、各々位置を変えて25℃でのコア外径を10点測定した時の標準偏差が、双方向共に0.05mm以下であることが好ましい。標準偏差は0.03mm以下であることが更に好ましい。標準偏差が0.05mm以下であれば、巻取り直後の巻き芯部付近のフィルムへかかる応力がフィルムの幅方向で均一になり、巻ズレが発生しにくくなることから好ましい。標準偏差は0mmに近いほど好ましいが、0.001mm以上であっても構わない。 It is preferable that the standard deviation when the core outer diameter is measured at 10 points at 25 ° C. in both directions in the circumferential direction and the width direction of the winding core is 0.05 mm or less in both directions. . The standard deviation is more preferably 0.03 mm or less. If the standard deviation is 0.05 mm or less, the stress applied to the film in the vicinity of the core immediately after winding becomes uniform in the width direction of the film and winding deviation is less likely to occur. The standard deviation is preferably closer to 0 mm, but may be 0.001 mm or more.
巻取りコアの直径サイズとしては、3インチ、6インチ、8インチ、11インチなどが一般的に使用されるが、特にこれらサイズに限定されるわけではなく、各種サイズの直径サイズのコアを使用することができる。 As for the diameter size of the winding core, 3 inch, 6 inch, 8 inch, 11 inch, etc. are generally used, but it is not particularly limited to these sizes, and cores of various sizes are used. can do.
巻取りコアの加熱、冷却前後のサイズ変化、及び円周方向、幅方向の標準偏差が所定の範囲内とするためにはプラスチックコアを使用することが好ましい。中でもベークライト、FRPを使用することが特に好ましい。FRP(Fiber Reinforced Plastics)は強度向上のため、メインの樹脂に加えて、繊維を使用したコアであり、メインの樹脂としては、特定の種類に限定されず、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、ジアリルフタレート樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化性樹脂を例示することができる。使用する繊維としてはガラス、エポキシ、ポリエステル、カーボン、アラミド等の繊維が挙げられる。また、FRPはFWP(Fiber Winding Plastics)と呼ばれる場合もある。 It is preferable to use a plastic core so that the winding core can be heated and changed in size before and after cooling, and the standard deviation in the circumferential direction and the width direction is within a predetermined range. Of these, bakelite and FRP are particularly preferred. FRP (Fiber Reinforced Plastics) is a core that uses fibers in addition to the main resin to improve strength. The main resin is not limited to a specific type, and is not limited to epoxy resin, unsaturated polyester resin, vinyl Examples thereof include thermosetting resins such as ester resins, phenol resins, diallyl phthalate resins, and melamine resins. Examples of the fiber used include fibers such as glass, epoxy, polyester, carbon, and aramid. In addition, FRP may be called FWP (Fiber Winding Plastics).
(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(Ceramic green sheet and ceramic capacitor)
In general, a multilayer ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic body. In the ceramic body, first internal electrodes and second internal electrodes are alternately provided along the thickness direction. The first internal electrode is exposed at the first end face of the ceramic body. A first external electrode is provided on the first end face. The first internal electrode is electrically connected to the first external electrode at the first end face. The second internal electrode is exposed at the second end face of the ceramic body. A second external electrode is provided on the second end face. The second internal electrode is electrically connected to the second external electrode at the second end face.
本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明における離型フィルムロールに巻き取られている離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。 The release film roll for producing a ceramic green sheet of the present invention is used for producing such a multilayer ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, the release film wound up by the release film roll in this invention is used as a carrier film, and the ceramic slurry for comprising a ceramic body is apply | coated and dried. A conductive layer for forming the first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. A ceramic green sheet, a ceramic green sheet printed with a conductive layer for constituting the first internal electrode, and a ceramic green sheet printed with a conductive layer for constituting the second internal electrode are appropriately laminated and pressed. Thus, a mother laminate is obtained. The mother laminated body is divided into a plurality of parts to produce a raw ceramic body. A ceramic body is obtained by firing a raw ceramic body. Thereafter, the multilayer ceramic capacitor can be completed by forming the first and second external electrodes.
次に、実施例、比較例を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明は当然以下の実施例に限定されるものではない。また、本発明で用いた評価方法は以下の通りである。 Next, the present invention will be described in detail using examples and comparative examples, but the present invention is naturally not limited to the following examples. The evaluation method used in the present invention is as follows.
(1)塗布フィルムの表面特性
非接触表面形状計測システム(VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)、粗さ曲線要素の平均長さ(RSm)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は5回測定の最大値を採用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:50倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 187×139μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(1) Surface characteristics of coated film It is a value measured under the following conditions using a non-contact surface shape measurement system (VertScan R550H-M100). The average surface roughness (Sa) and the average length (RSm) of the roughness curve elements were measured using an average of 5 measurements, and the maximum protrusion height (P) was the maximum of 5 measurements.
(Measurement condition)
・ Measurement mode: WAVE mode ・ Objective lens: 50 × ・ 0.5 × Tube lens ・ Measurement area 187 × 139 μm
(Analysis conditions)
・ Surface correction: 4th order correction ・ Interpolation processing: Complete interpolation
(2)離型層厚み測定
離型フィルムを任意の大きさに切り取った時のフィルム断面を、透過電子顕微鏡で観察し算出した値を離型層厚みとした。
(2) Release layer thickness measurement A value obtained by observing and calculating a cross section of the film when the release film was cut into an arbitrary size with a transmission electron microscope was defined as a release layer thickness.
(3)巻取りコアの幅方向、円周方向位置による外径ばらつき測定
使用するコアの幅方向、円周方向の位置を変えて10点にてノギスを用い、外径測定を行い、10点測定の結果からばらつき(標準偏差σ)を算出した(単位mm)。
(3) Measurement of variation in outer diameter depending on the position of the winding core in the width direction and circumferential direction Measure the outer diameter using calipers at 10 points by changing the position in the width direction and circumferential direction of the core to be used. Variation (standard deviation σ) was calculated from the measurement result (unit: mm).
(4)巻取りコアの加熱前後の外径変化量Δa測定
各コアの特定の位置をあらかじめマーキングしておき、25℃室温下にて外径測定を実施した。測定済のコアを50℃に設定したギアオーブンに1時間投入、取り出した直後にマーキング部の外径を測定し、50℃加熱前後の外径変化を算出した。同様の測定を5回実施、平均値を算出し、外径変化量Δaとした(単位mm)。
(4) Measurement of outer diameter change Δa before and after heating of winding core A specific position of each core was marked in advance, and the outer diameter was measured at room temperature of 25 ° C. Immediately after putting the measured core into a gear oven set at 50 ° C. for 1 hour and taking it out, the outer diameter of the marking part was measured, and the change in outer diameter before and after heating at 50 ° C. was calculated. The same measurement was performed 5 times, the average value was calculated, and the outer diameter change amount Δa was set (unit: mm).
(5)巻取りコアの冷却前後の外径変化量Δb測定
各コアの特定の位置をあらかじめマーキングしておき、25℃室温下にて外径測定を実施した。測定済のコアを5℃に設定した恒温室に1時間投入、取り出した直後にマーキング部の外径を測定し、5℃冷却前後の外径変化を算出した。同様の測定を5回実施、平均値を算出し、外径変化量Δbとした(単位mm)。
(5) Measurement of change in outer diameter Δb before and after cooling of take-up core A specific position of each core was marked in advance, and the outer diameter was measured at room temperature of 25 ° C. Immediately after putting the measured core into a temperature-controlled room set at 5 ° C. for 1 hour and taking it out, the outer diameter of the marking part was measured, and the change in outer diameter before and after cooling at 5 ° C. was calculated. The same measurement was performed 5 times, the average value was calculated, and the outer diameter change amount Δb was set (unit: mm).
(6)フィルムロールの巻きズレ測定(巻取り直後)
離型加工後のフィルムを巻取り、フィルムロールを得た。巻き取ったフィルムロール端面のズレをノギスを用い測定した。
巻姿○: 端面の巻ズレ量が3mm未満である。
巻姿×: 端面の巻ズレ量が3mm〜5mmの範囲である。
巻姿××: 端面の巻ズレ量が5mmを超える。
(6) Measurement of film roll winding deviation (immediately after winding)
The film after mold release processing was wound up to obtain a film roll. The deviation of the end face of the wound film roll was measured using a caliper.
Winding shape ○: The amount of winding deviation of the end face is less than 3 mm.
Winding form x: The amount of winding deviation of the end face is in the range of 3 mm to 5 mm.
Winding form xx: The amount of winding deviation of the end face exceeds 5 mm.
(7)フィルムロールの巻ズレ測定(巻取り後14日後)
離型加工後のフィルムを巻取り、フィルムロールを得た。巻き取ったフィルムロールを5℃設定の恒温室に1日保管、50℃設定の恒温室に1日保管、を交互に繰り返し、合計14日間フィルムロールを保管した。14日保管後のフィルムロール端面のずれをノギスを用い測定した。
巻姿○: 端面の巻ズレ量が3mm未満である。
巻姿×: 端面の巻ズレ量が3mm〜5mmの範囲である。
巻姿××: 端面の巻ズレ量が5mmを超える。
(7) Film roll measurement (14 days after winding)
The film after mold release processing was wound up to obtain a film roll. The wound film roll was stored alternately in a temperature-controlled room set at 5 ° C. for 1 day and stored in a temperature-controlled room set at 50 ° C. for 1 day alternately, and the film roll was stored for a total of 14 days. The shift of the film roll end face after storage for 14 days was measured using calipers.
Winding shape ○: The amount of winding deviation of the end face is less than 3 mm.
Winding form x: The amount of winding deviation of the end face is in the range of 3 mm to 5 mm.
Winding form xx: The amount of winding deviation of the end face exceeds 5 mm.
(8)セラミックグリーンシートのピンホール、厚みばらつき評価
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、2.0mmのガラスビーズを分散媒とするペイントシェーカーを用いて2時間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 22.5質量%
エタノール 22.5質量%
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 50.0質量%
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBH−3) 5.0質量%
次いで離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.5μmの厚みになるように塗布し90℃で1分乾燥後、スラリー面と平滑化塗布層面を重ね合わせ、10分間、1kg/cm2の加重を掛けたあと、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。
得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cm2の範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。
○:ピンホールの発生なし、厚みばらつき特に問題なし
×:ピンホールの発生があり、及び/又は、厚みばらつきが目立つ
(8) Evaluation of pinhole and thickness variation of ceramic green sheet The following composition of materials is stirred and mixed, and dispersed for 2 hours using a paint shaker using 2.0 mm glass beads as a dispersion medium to obtain a ceramic slurry. It was.
Toluene 22.5% by mass
Ethanol 22.5% by mass
Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium) 50.0 mass%
Polyvinyl butyral (Sekisui Chemical Co., Ltd. ESREC BH-3) 5.0 mass%
Next, the slurry after drying is applied to the release surface of the release film sample using an applicator so that the dried slurry has a thickness of 0.5 μm, dried at 90 ° C. for 1 minute, and then the slurry surface and the smoothing coating layer surface are overlapped. After applying a load of 1 kg / cm 2 for 1 minute, the release film was peeled off to obtain a ceramic green sheet.
In the central region in the film width direction of the obtained ceramic green sheet, light was applied from the opposite side of the ceramic slurry coating surface within a range of 25 cm 2 , and the occurrence of pinholes through which light was transmitted was observed. Visual judgment was made.
○: No occurrence of pinholes, variation in thickness No particular problem ×: Generation of pinholes and / or thickness variation is conspicuous
(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm2)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As the esterification reaction apparatus, a continuous esterification reaction apparatus comprising a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material charging port and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) is 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) is 2 moles per mole of TPA, antimony trioxide is made into an amount that makes Sb atoms 160 ppm with respect to the produced PET, and these slurries are ester Was continuously supplied to the first esterification reactor of the chemical reaction apparatus, and allowed to react at 255 ° C. at an average residence time of 4 hours at normal pressure. Next, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and is distilled off from the first esterification reaction can in the second esterification reaction can. EG solution containing 8 mass% of EG with respect to the generated PET, and further containing EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms relative to the generated PET, and 40 ppm of P atoms relative to the generated PET An EG solution containing a quantity of TMPA (trimethyl phosphate) was added and reacted at 260 ° C. at normal pressure for an average residence time of 1 hour. Next, the reaction product of the second esterification reaction can was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction can, and 39 MPa (400 kg / cm 2 ) using a high pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). An average particle of 0.2 mass% of porous colloidal silica having an average particle diameter of 0.9 μm and an ammonium salt of polyacrylic acid adhered to 1 mass% of calcium carbonate, which was dispersed at an average number of treatments of 5 passes under the pressure of While adding 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm as an EG slurry of 10%, the reaction was carried out at 260 ° C. at an average residence time of 0.5 hours at normal pressure. The esterification reaction product produced in the third esterification reaction can was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to perform polycondensation, and sintered with a stainless steel fiber having a 95% cut diameter of 20 μm. After filtering with a filter, ultrafiltration was performed and extruded into water, and after cooling, it was cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter referred to as PET (I)). . The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.
(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the production of the above PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g containing no particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter abbreviated as PET (II)).
(積層フィルムZの製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流させ、PET(I)を反離型面側層、PET(II)を離型面側層となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャステイング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/(II)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムZを得た。得られたフィルムZの離型面側層のSaは2nm、反離型面側層のSaは28nmであった。
(Manufacture of laminated film Z)
These PET chips were dried, melted at 285 ° C., melted at 290 ° C. with a separate melt extruder extruder, sintered with stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm, and a 95% cut diameter Two-stage filtration of a filter obtained by sintering 15 μm stainless steel particles is performed and merged in a feed block, so that PET (I) becomes an anti-release surface side layer and PET (II) becomes a release surface side layer. And then extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m / min, electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by an electrostatic adhesion method, and unstretched with an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g A polyethylene terephthalate sheet was obtained. The layer ratio was adjusted so that PET (I) / (II) = 60% / 40% in the discharge amount calculation of each extruder. Next, this unstretched sheet was heated with an infrared heater, and then stretched 3.5 times in the longitudinal direction at a roll temperature of 80 ° C. due to the speed difference between the rolls. Thereafter, the film was guided to a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140 ° C. Subsequently, it heat-processed at 210 degreeC in the heat setting zone. Thereafter, a relaxation treatment of 2.3% was performed in the transverse direction at 170 ° C. to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film Z having a thickness of 31 μm. Sa of the release surface side layer of the obtained film Z was 2 nm, and Sa of the anti-release surface side layer was 28 nm.
(離型剤溶液X−1)
熱硬化型アミノアルキド樹脂(日立化成社製 テスファイン314、固形分60質量%)100質量部と硬化触媒としてp−トルエンスルホン酸(日立化成社製、ドライヤー900、固形分50質量%)1.2質量部を、トルエン/メチルエチルケトン/ヘプタン(=3:5:2)溶液で希釈し、固形分2質量%の離型剤溶液を調製した。
(Releasing agent solution X-1)
Thermosetting amino alkyd resin (Tesfine 314, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., 100% by mass) and p-toluenesulfonic acid (Hitachi Chemical Co., Ltd., dryer 900, solid content 50% by mass) as a curing catalyst 2 parts by mass was diluted with a toluene / methyl ethyl ketone / heptane (= 3: 5: 2) solution to prepare a release agent solution having a solid content of 2% by mass.
(離型剤溶液X−2)
光カチオン硬化型シリコーン樹脂(モメンティブ社製 UV9300、固形分濃度100質量%)100質量部と硬化触媒ビス(アルキルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート1質量部を、トルエン/メチルエチルケトン/ヘプタン(=3:5:2)溶液で希釈し、固形分2質量%の離型剤溶液を調製した。
(Releasing agent solution X-2)
100 parts by weight of a photocationically curable silicone resin (Momentive UV9300, solid concentration 100% by weight) and 1 part by weight of a curing catalyst bis (alkylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, toluene / methyl ethyl ketone / heptane (= 3: 5) : 2) Diluted with a solution to prepare a release agent solution having a solid content of 2% by mass.
(離型剤溶液X−3)
光ラジカル硬化性物質からなるバインダーであるジペンタエリスリトールヘキサアクリレート100質量部(製品名:A−DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)と離型剤であるアクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン1.0質量部(製品名:BYK−UV3500、ビッグケミー・ジャパン社製、固形分100質量%)、
光ラジカル重合開始剤であるメチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン 5.0質量部 (製品名:IRGACURE(登録商標)907、BASF社製、有効成分100質量%)を、トルエン/メチルエチルケトン(=1:1)溶液で希釈し、固形分20質量%の離型剤溶液を調製した。
(Releasing agent solution X-3)
100 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (product name: A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content: 100% by mass), which is a binder made of a photo-radical curable substance, and an acryloyl group-containing polyether, which is a mold release agent 1.0 part by mass of modified polydimethylsiloxane (product name: BYK-UV3500, manufactured by Big Chemy Japan, solid content 100% by mass),
Photoradical polymerization initiator methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one 5.0 parts by mass (Product name: IRGACURE (registered trademark) 907, manufactured by BASF, active ingredient 100 % By weight) was diluted with a toluene / methyl ethyl ketone (= 1: 1) solution to prepare a release agent solution having a solid content of 20% by weight.
(実施例1)
(離型層の形成、コアへの巻取り)
上記で得た積層フィルムZのPET(II)により形成された層の表面に、離型剤溶液X−1を乾燥後の厚みで0.05μmとなるようにリバースグラビアコーターにて塗布し、次いで、130℃の熱風で30秒間乾燥を行い、離型層を形成し、巻取張力140N/m、巻取面圧300N/m、巻取速度150m/分、の条件で、幅1,500mm、長さ6,000mのフィルムロールに巻き上げセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。巻取りコアとして3インチのベークライトコア(千代田興業株式会社)を使用した。巻き取り直後、及び14日後の巻姿は巻ズレの発生もなく優秀であった。
Example 1
(Formation of release layer, winding around core)
On the surface of the layer formed of PET (II) of the laminated film Z obtained above, the release agent solution X-1 was applied with a reverse gravure coater so that the thickness after drying was 0.05 μm, and then , Dried with hot air at 130 ° C. for 30 seconds to form a release layer, and under conditions of a winding tension of 140 N / m, a winding surface pressure of 300 N / m, and a winding speed of 150 m / min, a width of 1,500 mm, A release film roll for producing a ceramic green sheet was obtained by winding it on a film roll having a length of 6,000 m. A 3-inch bakelite core (Chiyoda Kogyo Co., Ltd.) was used as the winding core. Immediately after winding and after 14 days, the winding shape was excellent with no winding deviation.
(実施例2)
(離型層の形成、コアへの巻取り)
巻取りで使用するコアをFRP(Fiber reinforced plastics)コア(株式会社栗本鐵工所)に変更した以外は実施例1と同様の方法でセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。巻き取り直後、及び14日後の巻姿は巻ズレの発生もなく優秀であった。
(Example 2)
(Formation of release layer, winding around core)
A release film roll for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the core used in the winding was changed to an FRP (Fiber reinforced plastics) core (Kurimoto Corporation). Immediately after winding and after 14 days, the winding shape was excellent with no winding deviation.
(実施例3)
(離型層の形成、コアへの巻取り)
上記で得た積層フィルムZのPET(II)により形成された層の表面に、離型剤溶液X−2を乾燥後の厚みで0.05μmとなるようにリバースグラビアコーターにて塗布し、次いで、90℃の熱風で30秒間乾燥した後、直ちに無電極ランプ(フュージョン株式会社製Hバルブ)にて紫外線照射(300mJ/cm2)を行い、離型層を形成しセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。巻取りコアとしてベークライトコア(千代田興業株式会社)を使用した。巻き取り直後、及び14日後の巻姿は巻ズレの発生もなく優秀であった。
(Example 3)
(Formation of release layer, winding around core)
On the surface of the layer formed of PET (II) of the laminated film Z obtained above, the release agent solution X-2 was applied with a reverse gravure coater so that the thickness after drying was 0.05 μm, and then After drying with hot air at 90 ° C. for 30 seconds, immediately irradiated with ultraviolet rays (300 mJ / cm 2 ) with an electrodeless lamp (H bulb manufactured by Fusion Co., Ltd.) to form a release layer and release the ceramic green sheet A film roll was obtained. A bakelite core (Chiyoda Kogyo Co., Ltd.) was used as the winding core. Immediately after winding and after 14 days, the winding shape was excellent with no winding deviation.
(実施例4)
(離型層の形成、コアへの巻取り)
上記で得た積層フィルムZのPET(II)により形成された層の表面に、離型剤溶液X−3を乾燥後の厚みで1.0μmとなるようにリバースグラビアコーターにて塗布し、次いで、90℃の熱風で30秒間乾燥した後、直ちに無電極ランプ(フュージョン株式会社製Hバルブ)にて紫外線照射(300mJ/cm2)を行い、離型層を形成しセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。巻取りコアとしてベークライトコア(千代田興業株式会社)を使用した。巻き取り直後、及び14日後の巻姿は巻ズレの発生もなく優秀であった。
Example 4
(Formation of release layer, winding around core)
On the surface of the layer formed of PET (II) of the laminated film Z obtained above, the release agent solution X-3 was applied with a reverse gravure coater so that the thickness after drying was 1.0 μm, and then After drying with hot air at 90 ° C. for 30 seconds, immediately irradiated with ultraviolet rays (300 mJ / cm 2 ) with an electrodeless lamp (H bulb manufactured by Fusion Co., Ltd.) to form a release layer and release the ceramic green sheet A film roll was obtained. A bakelite core (Chiyoda Kogyo Co., Ltd.) was used as the winding core. Immediately after winding and after 14 days, the winding shape was excellent with no winding deviation.
(比較例1)
離型層を形成するフィルムとして、積層フィルムZの代わりに、E5000−25μm(東洋紡製)に変更、コアをベークライトコアの代わりにABSコアを使用した以外は、実施例1と同様の方法でセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。E5000はフィルム内部に粒子を含有しており、E5000の離型層を形成する側の表面のSaが0.027μm、離型層を積層しない反離型面のSaが0.031μmであった。離型加工後の巻姿は良好であったが、14日保管後の巻芯部で巻ズレが発生していた。また、フィルムの離型面の表面粗さが大きいため、セラミック塗工時にピンホールが発生した。
(Comparative Example 1)
A ceramic is formed in the same manner as in Example 1 except that the film for forming the release layer is changed to E5000-25 μm (manufactured by Toyobo) instead of the laminated film Z, and the core is an ABS core instead of the bakelite core. A release film roll for producing a green sheet was obtained. E5000 contained particles inside the film, and Sa on the surface of the E5000 on the side where the release layer was formed was 0.027 μm, and Sa on the reverse release surface where the release layer was not laminated was 0.031 μm. Although the winding shape after release processing was good, winding deviation occurred in the core part after 14 days storage. Moreover, since the surface roughness of the release surface of the film was large, pinholes were generated during ceramic coating.
(比較例2)
離型層を形成するフィルムとして、積層フィルムZの代わりに、E5000−25μm(東洋紡製)に変更、巻取りコアをベークライトコアからABSコアに変更した以外は、実施例4と同様の方法でセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。離型加工前の原反の表面粗さが粗いが、離型層の厚みを厚くすることで原反突起を埋めることができ、離型層表面粗さを低くできた。その結果、比較例1で見られたピンホール、厚みばらつきを改善できた。しかし、コアとして加熱前後の外径サイズ変化の大きいABSコアを使用しているため、巻取り後14日後の巻姿を確認したところ巻ズレが発生した。
(Comparative Example 2)
In the same manner as in Example 4, except that instead of the laminated film Z, the film for forming the release layer was changed to E5000-25 μm (manufactured by Toyobo), and the winding core was changed from the bakelite core to the ABS core. A release film roll for producing a green sheet was obtained. Although the surface roughness of the original fabric before the mold release processing is rough, by increasing the thickness of the mold release layer, the original fabric protrusions can be filled, and the surface roughness of the mold release layer can be lowered. As a result, the pinhole and thickness variation seen in Comparative Example 1 could be improved. However, since an ABS core having a large outside diameter size change before and after heating was used as the core, a winding deviation occurred when the winding shape 14 days after winding was confirmed.
(比較例3)
巻取りコアをベークライトコアからABSコアに変更した以外は、実施例1と同様の方法でセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。離型加工後の巻姿は良好であったが、14日保管後の巻芯部で巻ズレが発生していた。
(Comparative Example 3)
A release film roll for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the winding core was changed from the bakelite core to the ABS core. Although the winding shape after release processing was good, winding deviation occurred in the core part after 14 days storage.
(比較例4)
巻取りコアをベークライトコアから紙コア(HC−E,日本紙管工業株式会社)に変更した以外は、実施例1と同様の方法でセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。離型加工後の巻姿は良好であったが、14日保管後の巻芯部で巻ズレが発生していた。
(Comparative Example 4)
A release film roll for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the winding core was changed from a bakelite core to a paper core (HC-E, Nippon Paper Tube Industry Co., Ltd.). Although the winding shape after release processing was good, winding deviation occurred in the core part after 14 days storage.
(比較例5)
巻取りコアをベークライトコアからPPコア(ダイカポリマー株式会社)に変更した以外は、実施例1と同様の方法でセラミックグリーンシート製造用離型フィルムロールを得た。離型加工後の巻姿として巻ズレが発生した。幅方向、円周方向の外径サイズばらつきが大きいため、幅方向でのフィルムへかかる応力のばらつきが発生し、巻ズレが発生したと考えられる。また、14日保管後では、巻芯部での巻ズレが更に悪化していた。
(Comparative Example 5)
A release film roll for producing a ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the winding core was changed from the bakelite core to the PP core (Daika Polymer Co., Ltd.). Winding deviation occurred as the winding shape after mold release processing. Since the outer diameter size variation in the width direction and the circumferential direction is large, it is considered that the variation in stress applied to the film in the width direction is generated, and the winding deviation is generated. Further, after 14 days of storage, the winding deviation at the core portion was further deteriorated.
各実施例及び比較例の評価結果を表1に示す。 The evaluation results of each example and comparative example are shown in Table 1.
実施例1〜4においては、加熱、及び冷却前後のコア外径の変化が所定範囲内であるため、離型フィルムロール巻取り経時後の巻ズレの発生なく良好な巻姿を維持できた。
比較例1〜5においては、加熱、及び冷却前後のコア外径の変化が所定範囲を逸脱しているため、巻取り後経時保管後に巻芯付近で巻ズレの発生がみられた。比較例1においては、巻ズレの発生に加え、離型面の表面粗さが大きいため、セラミックシートのピンホールの発生もみられた。比較例5においては、巻取り直後においても巻ズレの発生がみられた。巻取り経時後の巻ズレは更に悪化がみられた。
In Examples 1 to 4, since the change in the core outer diameter before and after heating and cooling was within a predetermined range, a good winding shape could be maintained without occurrence of winding deviation after the release film roll winding.
In Comparative Examples 1 to 5, since the change in the outer diameter of the core before and after heating and cooling deviated from the predetermined range, the occurrence of winding misalignment in the vicinity of the core was observed after storage over time after winding. In Comparative Example 1, in addition to the occurrence of winding deviation, since the surface roughness of the release surface was large, generation of pinholes in the ceramic sheet was also observed. In Comparative Example 5, generation of winding deviation was observed even immediately after winding. The winding deviation after winding was further deteriorated.
本発明によれば、離型フィルムが薄膜で表面が平滑な場合においてもフィルムロール保管中の巻ズレが発生しないグリーンシート製造用離型フィルムロールの提供を可能とした。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even when the release film was a thin film and the surface was smooth, the provision of the release film roll for green sheet manufacture which does not generate | occur | produce the winding shift | offset | difference during film roll storage was enabled.
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