JP2019161139A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】導電層の間に配置された強誘電体膜のリーク電流が抑制された半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】第1導電層11と、第2導電層14と、第1導電層11と第2導電層14の間に配置された強誘電体膜12と、第1導電層11と第2導電層14との間で強誘電体膜12と積層して配置されたアモルファス膜13とを備える。【選択図】図1
Description
本実施形態は、強誘電体膜を有する半導体装置及びその製造方法に関する。
強誘電体膜を導電層で挟んだ構成のキャパシタ(以下において、「強誘電体キャパシタ」という。)がディスプレイデバイスの画素や不揮発性メモリのメモリセルなどに使用されている。強誘電体キャパシタに使用される強誘電体膜には、残留分極が大きく、抗電界が小さいヒステリシスを有する材料が用いられる。例えば、強誘電体キャパシタに酸化ハフニウム(HfO2)膜を用いた強誘電体不揮発メモリ(FeRAM)が使用されている(特許文献1参照。)。
しかしながら、強誘電体膜を用いた強誘電体キャパシタには、強誘電体の結晶の粒界を電流が流れることにより、リーク電流が発生するという問題があった。上記問題点に鑑み、本実施形態は、導電層の間に配置された強誘電体膜のリーク電流が抑制された半導体装置及びその製造方法を提供する。
本実施形態の一態様によれば、第1導電層と、第2導電層と、第1導電層と第2導電層の間に配置された強誘電体膜と、第1導電層と第2導電層との間で強誘電体膜と積層して配置されたアモルファス膜とを備える半導体装置が提供される。
本実施形態の他の態様によれば、第1導電層の上面に強誘電体膜とアモルファス膜を積層した積層体を形成する工程と、積層体の上面に第2導電層を形成する工程とを含む半導体装置の製造方法が提供される。
本実施形態によれば、導電層の間に配置された強誘電体膜のリーク電流が抑制された半導体装置及びその製造方法を提供できる。
次に、図面を参照して実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。
また、以下に示す実施形態は、技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、構成部品の形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。この実施形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
実施形態に係る半導体装置は、図1に示すように、第1導電層11と、第2導電層14と、第1導電層11と第2導電層14の間に配置された強誘電体膜12と、第1導電層11と第2導電層14との間で強誘電体膜12と積層して配置されたアモルファス膜13とを備える。図1に示した半導体装置は、強誘電体膜12を有する強誘電体キャパシタである。
図1に示した実施形態では、第1導電層11の上面に接して強誘電体膜12が配置されている。そして、強誘電体膜12の上面にアモルファス膜13が積層され、アモルファス膜13の上面に第2導電層14が配置されている。
強誘電体膜12には、強誘電体膜12に強誘電性を発現させる元素(以下において「発現元素」という。)を含む酸化ハフニウム膜などが好適に使用される。酸化ハフニウム膜に含有させる発現元素は、例えば、シリコン(Si)、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、アルミニウム(Al)、イットリウム(Y)、La系(ランタノイド)、ゲルマニウム(Ge)、ガリウム(Ga)などである。以下、これらの元素をまとめて「元素グループA」という。ReRAMなどに使用するために十分な強誘電性を持たせるために、強誘電体膜12における発現元素の含有率は1原子%〜5原子%程度である。
また、酸化ハフニウム膜の強誘電体膜12に強誘電性を発現させるために、強誘電体膜12に接触する導電層が窒化チタン(TiN)膜又は窒化タンタル(TaN)膜であることが好ましい。つまり、図1に示した半導体装置では、第1導電層11にTiN膜かTaN膜を使用する。これは、TiN膜若しくはTaN膜と接触させて酸化ハフニウム膜を形成し、加熱工程を経て結晶化させることによって、強誘電体キャパシタの電圧容量特性にヒステリシスが生じるためである。
アモルファス膜13には、元素グループAに含まれる元素のうち少なくとも1種の元素を含む酸化ハフニウム膜を使用してもよい。更に、強誘電体膜12に含まれる発現元素とアモルファス膜13に含まれる元素を同一種類にしてもよい。強誘電体膜12とアモルファス膜13に同一の原料を使用することにより、強誘電体膜12とアモルファス膜13を連続的に形成することが容易である。
図1に示した半導体装置によれば、アモルファス膜13によって第1導電層11と第2導電層14との間で電流が遮断される。したがって、強誘電体膜12の粒界を流れるリーク電流を抑制することができる。
アモルファス膜13を非晶質にするために、アモルファス膜13に含まれる上記の元素の含有率は10原子%以上、例えば10原子%〜50原子%とする。或いは、非晶質の酸化シリコン膜などをアモルファス膜13に使用してもよい。また、上記のアモルファス膜13に窒素を更に添加してもよい。アモルファス膜13を酸窒化膜とすることにより、半導体装置のリーク電流をより抑制することができる。
例えば、25原子%でAlを含み、且つ窒素が添加された酸化ハフニウム膜をアモルファス膜13に使用し、このアモルファス膜13と強誘電体膜12の積層体を第1導電層11と第2導電層14の間に配置する。これにより、半導体装置にリーク電流の経路が形成されることを抑制できる。
これに対し、図2に示した比較例の半導体装置のように、第1導電層11と第2導電層14の間に強誘電体膜12のみを配置した構成の半導体装置では、強誘電体膜12の粒界を電流が流れて、第1導電層11と第2導電層14の間にリーク電流が発生する。しかし、図1に示した実施形態に係る半導体装置では、第1導電層11と第2導電層14の間に電圧を印加したときに生じる電界の方向に沿って、強誘電体膜12にアモルファス膜13が積層されている。電流経路の形成されないアモルファス膜13を強誘電体膜12と積層することにより、半導体装置でのリーク電流の発生を抑制できる。
強誘電体膜12の膜厚は、加工精度に依存するが、均一な膜を形成するために例えば1nm以上である。一方、強誘電体膜12の膜厚が厚いほど、強誘電体膜12に強誘電性を発現させるための加熱工程(以下において「発現加熱工程」という。)によって強誘電体膜12に強誘電性を発現させることが難しくなる。このため、酸化ハフニウム膜を使用する場合、強誘電体膜12の膜厚は50nm以下であることが好ましい。
アモルファス膜13には、均一な膜を形成するために一定の厚みが必要である。一方、アモルファス膜13の膜厚が厚すぎると使用電圧を高くする必要があるため、リーク電流を抑制できる範囲でアモルファス膜13は薄いほど好ましい。このため、アモルファス膜13の膜厚は、例えば1nm〜10nmにする。
FeRAMを構成するメモリセルに図1に示す半導体装置を強誘電体キャパシタとして適用した例を、図3に示す。図3に示したメモリセル100は、電界効果トランジスタ(FET)がメモリセルトランジスタ20として半導体基板30に形成されている。
メモリセルトランジスタ20は、同一の半導体基板30に形成された他のトランジスタ(図示せず)とは素子分離領域40によって分離されている。素子分離領域40によって囲まれた活性領域に、メモリセルトランジスタ20の第1のS/D領域211と第2のS/D領域212が互いに離間して形成されている。なお、第1のS/D領域211と第2のS/D領域212はソース領域又はドレイン領域であり、例えば第1のS/D領域211がソース領域であれば、第2のS/D領域212はドレイン領域である。
例えばp型の半導体基板30の活性領域に、n+拡散領域の第1のS/D領域211と第2のS/D領域212が形成される。なお、第1のS/D領域211と第2のS/D領域212のそれぞれの端部には、リーク電流の抑制と耐圧の確保のために、n-高抵抗領域22が形成されている。
第1のS/D領域211と第2のS/D領域212の間で半導体基板30の主面にゲート絶縁膜23が配置され、ゲート絶縁膜23の上面にゲート電極24が配置されている。ゲート電極24の上面に、キャップ絶縁膜25が配置されている。更に、ゲート絶縁膜23、ゲート電極24及びキャップ絶縁膜25の側面に側面絶縁膜26が配置されている。
半導体基板30の上面には、メモリセルトランジスタ20を覆って第1の層間絶縁膜41が形成され、第1の層間絶縁膜41の上面に図1に示した構成の強誘電体キャパシタ10が配置されている。第1の層間絶縁膜41を貫通するビアホールに埋め込まれた第1プラグ51の下端が第1のS/D領域211に接続し、上端が強誘電体キャパシタ10の第1導電層11に接続する。即ち、第1プラグ51を介して、強誘電体キャパシタ10がメモリセルトランジスタ20の第1のS/D領域211と電気的に接続されている。
図3に示すように、強誘電体キャパシタ10を覆って第2の層間絶縁膜42が配置され、第2の層間絶縁膜42を貫通するビアホールに埋め込まれた第2プラグ52の下端が強誘電体キャパシタ10の第2導電層14と電気的に接続する。第2プラグ52の上端は、多層配線構造の配線層M1に配置されたM1配線61と電気的に接続する。
図3には、配線層M1の上面に配置された第3の層間絶縁膜43までを記載しているが、メモリセル100に必要な層数の配線層及び層間絶縁膜が積層された多層配線構造が使用される。図示を省略するが、メモリセルトランジスタ20の第2のS/D領域212やゲート電極24は、層間絶縁膜を貫通するプラグを介して、多層配線構造を構成する所定の配線と電気的に接続される。
図4に、図3に示したメモリセルトランジスタ20と強誘電体キャパシタ10により構成されたメモリセル100を使用したFeRAMの構成例を示す。メモリセル100は、1つのメモリセルトランジスタ20と1つの強誘電体キャパシタ10により構成される1T−1C方式である。図4に示したFeRAMは、マトリクス状に配置された複数のメモリセル100と、行方向に配列された複数のビット線BL1、BL2、・・・、列方向に配置された複数のワード線WL1、WL2、・・・、及び複数のプレート線PL1、PL2、・・・を有する。メモリセルトランジスタ20のゲート電極24がワード線に接続され、第2のS/D領域212がビット線に接続される。
メモリセル100でのデータの書き込みや読み出しは、メモリセルトランジスタ20によって制御される。メモリセルトランジスタ20の動作は、ビット線とワード線に印加される電圧によって制御される。
第1導電層11がメモリセルトランジスタ20の第1のS/D領域211に接続された強誘電体キャパシタ10の第2導電層14は、プレート線に接続される。ワード線を選択状態にしてビット線とプレート線の間に電圧を印加すると、強誘電体キャパシタ10に電圧が印加され、分極方向に応じて所定のデータが書き込まれる。データの読み出しは、強誘電体膜12の分極状態を検出して行う。
メモリセル100では、強誘電体膜12の分極現象を利用して、データが保持される。外部電界を取り去っても強誘電体膜12の分極状態は保持されるため、例えば電源の供給が停止してもメモリセル100に記録されたデータが消失することはない。このように、図4に示したメモリ装置は、不揮発性メモリとして動作する。更に、図1に示した強誘電体膜12とアモルファス膜13を積層した構成を有する強誘電体キャパシタ10を使用することにより、強誘電体キャパシタ10でのリーク電流が抑制され、メモリセル100の信頼性を向上させることができる。
以下に、図面を参照して図1に示した半導体装置の製造方法を説明する。なお、以下に述べる半導体装置の製造方法は一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により実現可能である。
先ず、図5に示すように、第1導電層11の上面に誘電体膜120を形成する。例えば、膜厚が1nm〜100nm程度のTiN膜又はTaN膜の第1導電層11を形成する。そして、第1導電層11の上面に、元素グループAに含まれる元素のうち少なくとも1種の元素を発現元素として含む酸化ハフニウム膜を誘電体膜120として形成する。
次いで、図6に示すように、誘電体膜120の上面にアモルファス膜13を形成する。例えば、元素グループAに含まれる元素のうち少なくとも1種の元素を含む酸化ハフニウム膜を、アモルファス膜13として形成する。
誘電体膜120及びアモルファス膜13の形成には、原子堆積法(ALD法)などを使用できる。例えば、ALD法によって酸化ハフニウム膜を形成する際に、元素グループAに含まれる元素のうち少なくとも1種の元素を酸化ハフニウム膜に添加する。
発現元素の含有率が1原子%〜5原子%であるように、誘電体膜120を形成する。また、添加する元素の含有率が10原子%以上であるようにアモルファス膜を形成する。
このとき、誘電体膜120及びアモルファス膜13に同一種類の元素を添加する場合には、添加する元素の含有率を調整することにより、誘電体膜120とアモルファス膜13を連続的に形成することができる。これにより、製造時間を削減できる。例えば、誘電体膜120としてAlの含有率が4.5原子%程度の酸化ハフニウム膜を形成し、アモルファス膜13としてAlの含有率が25原子%程度の酸化ハフニウム膜を形成する。或いは、誘電体膜120としてYの含有率が3.8原子%程度の酸化ハフニウム膜を形成し、アモルファス膜13としてYの含有率が11原子%程度の酸化ハフニウム膜を形成する。
ALD法で誘電体膜120やアモルファス膜13を形成する場合には、ハフニウム(Hf)前駆体ガスの一部を、添加する元素の前駆体ガス(以下において「添加元素前駆体ガス」という。)にする。このとき、Hf前駆体ガスと添加元素前駆体ガスの比率を調整することにより、形成された膜の組成が調整される。したがって、添加元素前駆体ガスのHf前駆体ガスに対する比率を、誘電体膜120を形成する場合よりも、アモルファス膜13を形成する場合に増加させる。例えば、添加元素前駆体ガスの比率を所定の値に設定して、誘電体膜が形成される成膜条件で誘電体膜120を形成する。その後、添加元素前駆体ガスの比率を増加させ、アモルファス膜が形成される成膜条件でアモルファス膜13を形成する。
また、アモルファス膜13を形成する際に酸化ハフニウム膜に窒素も添加してもよい。これにより、リーク電流を更に抑制することができる。窒素は、アモルファス膜13の成膜工程の最初から添加してもよいし、成膜工程の終盤だけ添加してもよい。或いは、強誘電体膜12を形成する最後の段階で窒素のみを添加してもよい。
誘電体膜120とアモルファス膜13を積層した積層体を第1導電層11の上面に形成した後、誘電体膜120に強誘電性を発現させる発現温度で誘電体膜120を加熱する発現加熱工程を行う。誘電体膜120が発現元素を含む酸化ハフニウム膜の場合、発現温度は500℃以上である。この発現加熱工程により、強誘電体膜12が形成される。
その後、アモルファス膜13の上面に第2導電層14を形成する。第2導電層14には、例えば膜厚が1nm〜100nm程度のTiN膜やTaN膜などが使用される。或いは、タングステン(W)膜やAl膜、銅(Cu)膜などを第2導電層14に使用してもよい。これにより、図1に示す半導体装置が形成される。
上記の製造方法では、発現加熱工程の後に第2導電層14を形成する。このため、発現温度の500℃よりも耐熱温度が低い導電材料を第2導電層14に使用してもよい。
例えば、第2導電層14にAl膜やCu膜を使用できる。Al膜やCu膜は加工しやすいが、上記の発現温度に加熱されると形状や物性が損なわれるなど、耐熱性が低い。例えば、Al膜を上記の発現温度まで加熱すると溶けてしまう。また、絶縁膜に形成したビアホールを埋め込むプラグとしてCu膜をメッキ法などにより形成した場合、上記の発現温度までCu膜を加熱すると、ビアホールの内部に空洞が形成されてしまい、プラグの導電性が劣化する。このため、発現加熱工程の前に形成される金属膜には、Al膜やCu膜などの相対的に耐熱性の低い材料が使用できない。しかし、発現加熱工程の後であれば、Al膜やCu膜などの耐熱性の低い材料を金属膜に使用できる。
一方、TiN膜やTaN膜は、上記の発現温度に加熱されても形状不良や導通不良などの問題が生じない相対的に耐熱性が高い材料である。このため、TiN膜やTaN膜を第1導電層11として発現加熱工程の前に形成しても問題ない。
上記では、誘電体膜120とアモルファス膜13の積層体を形成した後に発現加熱工程を行う例を説明したが、誘電体膜120を形成した後、アモルファス膜13を形成する前に発現加熱工程を行ってもよい。或いは、第2導電層14を形成した後に発現加熱工程を行ってもよい。その場合には、第2導電層14に、発現温度に対して耐熱性を有する材料、例えばTiN膜、TaN膜、W膜などを使用する。
上記のように、発現加熱工程による強誘電体膜12の形成よりも後では、発現温度に加熱されると形状や物性が損なわれる材料を用いた成膜を行うことができる。このため、例えば図3に示した半導体装置の第2プラグ52やM1配線61にAl膜やCu膜を使用することができる。なお、発現加熱工程の前に形成される第1プラグ51には、相対的に耐熱性の高いW膜などが好適に使用される。
以上に説明したように、実施形態に係る半導体装置の製造方法によれば、発現加熱工程の後に、加工がしやすいが相対的に耐熱性の低い材料を用いて半導体装置を製造することができる。
ところで、図3に示したメモリセル100を、図7に示すように、第1プラグ51と強誘電体キャパシタ10の第1導電層11との間に接続配線60を配置した構成にしてもよい。そして、第2のS/D領域212及びゲート電極24にそれぞれ接続する第1プラグ51の上端に接する配線構造を、接続配線60と第1導電層11とを積層した構成と同様にしてもよい。これにより、それぞれの領域での配線構造を同一の設計ルールで同時に形成できる。このため、半導体装置の製造がしやすい。
図7に示すように、第2のS/D領域212及びゲート電極24にそれぞれ電気的に接続する接続配線60と第1導電層11の積層体は、第2の層間絶縁膜42を貫通する第2プラグ52を介して配線層M1(図示せず)の配線に接続する。接続配線60やそれぞれのプラグには、W膜などが使用される。
或いは、図7に示す接続配線60を形成せずに、図8に示すように、第2のS/D領域212及びゲート電極24に接続する第1プラグ51の上端に第2プラグ52の下端を接続させてもよい。これにより、設計ルールが上層よりも厳しい下層での配線の形成を少なくできる。例えば、それぞれのプラグをW膜、配線層M1の配線をAl膜で形成する場合に、第2のS/D領域212やゲート電極24に接続する配線を、加工が容易なAl膜で形成することができる。
なお、図3に示した強誘電体キャパシタ10のサイズは、所望の容量値に応じて、設計ルールなどに従って設定される。例えば、平面視で一辺の長さが0.09μm〜0.18μm程度の矩形状の強誘電体キャパシタ10を形成する。
(その他の実施形態)
上記のように、本実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本実施形態を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
上記のように、本実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本実施形態を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
例えば、既に述べた実施形態の説明においては、第1導電層11の上面に強誘電体膜12とアモルファス膜13をこの順に積層した構成を示したが、強誘電体膜12とアモルファス膜13を積層する順を逆にしてもよい。即ち、図9に示すように、第1導電層11の上面にアモルファス膜13を配置し、アモルファス膜13の上面に強誘電体膜12を配置してもよい。
なお、強誘電体膜12に酸化ハフニウム膜を使用する場合は、強誘電体膜12に強誘電性を発現させるために、強誘電体膜12の上面に配置される第2導電層14にTiN膜やTaN膜を使用する。
図9に示した半導体装置においても、強誘電体膜12にアモルファス膜13が積層されている。このため、リーク電流の発生を抑制することができる。
ところで、図9に示した半導体装置では、強誘電体膜12が破損しないように第2導電層14を形成することが好ましい。このため、例えばスパッタ法によって第2導電層14を形成する場合には、スパッタ電力を低くするなどして、強誘電体膜12が破損しないよう注意する。或いは蒸着法によって第2導電層14を形成してもよい。
また、上記の実施形態ではメモリセル100が1つのメモリセルトランジスタと1つの強誘電体キャパシタにより構成される1T−1C方式である例を示したが、他の方式のメモリセルにも図1に示した半導体装置は適用可能である。例えば、2つのメモリセルトランジスタと2つの強誘電体キャパシタにより構成される2T−2C方式のメモリセルの強誘電体キャパシタに、図1に示す半導体装置を使用してもよい。また、メモリセルトランジスタのゲートキャパシタとして強誘電体キャパシタを有する1T方式の強誘電体キャパシタに図1に示す半導体装置を使用してもよい。
このように、本実施形態はここでは記載していない様々な実施形態などを含む。
10…強誘電体キャパシタ
11…第1導電層
12…強誘電体膜
13…アモルファス膜
14…第2導電層
20…メモリセルトランジスタ
100…メモリセル
120…誘電体膜
11…第1導電層
12…強誘電体膜
13…アモルファス膜
14…第2導電層
20…メモリセルトランジスタ
100…メモリセル
120…誘電体膜
Claims (18)
- 第1導電層と、
第2導電層と、
前記第1導電層と前記第2導電層の間に配置された強誘電体膜と、
前記第1導電層と前記第2導電層との間で前記強誘電体膜と積層して配置されたアモルファス膜と
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記強誘電体膜が、Si、Ti、Zr、Al、Y、La系、Ge、Gaのうち少なくとも1種の元素を前記強誘電体膜に強誘電性を発現させる発現元素として含む酸化ハフニウム膜であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体膜における前記発現元素の含有率が1原子%〜5原子%であることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第1導電層と前記第2導電層のいずれかが前記強誘電体膜に接触する導電層であり、該導電層がTiN膜又はTaN膜のいずれかであることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体装置。
- 前記アモルファス膜が、Si、Ti、Zr、Al、Y、La系、Ge、Gaのうち少なくとも1種の元素を含む酸化ハフニウム膜であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記アモルファス膜に含まれる前記元素の含有率が10原子%以上であることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記アモルファス膜に窒素が添加されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体装置。
- 前記強誘電体膜に含まれる前記発現元素と前記アモルファス膜に含まれる前記元素が同一種類であることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 第1導電層の上面に、強誘電体膜とアモルファス膜を積層した積層体を形成する工程と、
前記積層体の上面に第2導電層を形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 誘電体膜に強誘電性を発現させる発現温度で該誘電体膜を加熱して前記強誘電体膜を形成し、
前記強誘電体膜の形成よりも後に、前記発現温度に加熱されると形状や物性が損なわれる材料を用いた成膜を行うことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記発現温度が500℃以上であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 強誘電性を発現させる発現元素としてSi、Ti、Zr、Al、Y、La系、Ge、Gaのうち少なくとも1種の元素を含む酸化ハフニウム膜を、前記強誘電体膜として形成することを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記発現元素の含有率が1原子%〜5原子%であるように前記強誘電体膜を形成することを特徴とする請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1導電層と前記第2導電層のいずれかを前記強誘電体膜に接触する導電層として形成し、該導電層がTiN膜又はTaN膜のいずれかであることを特徴とする請求項12又は13に記載の半導体装置の製造方法。
- Si、Ti、Zr、Al、Y、La系、Ge、Gaのうち少なくとも1種の元素を含む酸化ハフニウム膜を、前記アモルファス膜として形成することを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記元素の含有率が10原子%以上であるように前記アモルファス膜を形成することを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アモルファス膜に窒素を添加することを特徴とする請求項15又は16に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記強誘電体膜に含まれる前記発現元素と前記アモルファス膜に含まれる前記元素が同一種類であることを特徴とする請求項15乃至17のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2018048857A JP2019161139A (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 半導体装置及びその製造方法 |
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JP2018048857A JP2019161139A (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 半導体装置及びその製造方法 |
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JP (1) | JP2019161139A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022064314A1 (ja) * | 2020-09-25 | 2022-03-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示システム |
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2018
- 2018-03-16 JP JP2018048857A patent/JP2019161139A/ja active Pending
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WO2022064314A1 (ja) * | 2020-09-25 | 2022-03-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示システム |
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