JP2019161088A - 不良解析装置および不良解析方法 - Google Patents
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Abstract
Description
マッチング率M=組み合わせ未知コードラベルと既知コードラベルが重なるウェハ領域/既知コードラベルのウェハ領域×k×組み合わせ未知コードラベルと既知コードラベルが重なるチップ領域/既知コードラベルのチップ領域 ・・・(1)
Claims (7)
- メモリセルが3次元的に配置された半導体メモリを含むチップが複数配置されたウェハの前記チップ内の前記チップよりも小さい領域の単位ごとに、複数種類の異なる電気テストを実施して得られるテストコードと、既知の不良モードに対応付けられる前記電気テストの合否状況を示す既知コードと、を比較し、前記テストコードに対応する不良モードを特定する測定結果処理部と、
前記不良モードが特定されなかった未知のテストコード(以下、未知コードという)について、ウェハ内およびチップ内3次元分布を含む未知コード分布情報を生成し、前記未知コード分布情報にラベル付けできるか判定するテストコードパターンラベル生成部と、
前記未知コード分布情報にラベル付けできる場合に、前記未知コード分布情報が、前記既知コードについてのウェハ内およびチップ内3次元分布を含む既知コード分布情報と一致するかを判定するマッチング・集計部と、
前記未知コードが一致する前記既知コードの分類最低条件を満たすかを判定する最低条件マッチ処理部と、
前記未知コード分布情報が前記既知コード分布情報と一致し、かつ前記未知コードが前記既知コードの前記分類最低条件を満たす場合に、前記既知コードに対応する前記不良モードを想定したEFA測定の内容を提示するEFA提示部と、
を備える不良解析装置。 - 前記未知コード分布情報にラベル付けできない場合に、前記未知のテストコードが満たす分類最低条件のテストコードを抽出し、抽出したすべての前記テストコード(以下、組み合わせ未知コードという)の未知コード分布情報の組み合わせを時間方向でスタックした組み合わせ未知コード分布情報を生成し、前記組み合わせ未知コード分布情報にラベル付けできるか判定する組み合わせテストコードパターンラベル生成部をさらに備え、
前記マッチング・集計部は、前記組み合わせ未知コード分布情報にラベル付けできる場合に、前記組み合わせ未知コード分布情報が、前記既知コード分布情報と一致するかをさらに判定し、
前記EFA提示部は、前記組み合わせ未知コード分布情報が前記既知コード分布情報と一致する場合に、前記既知コードに対応する前記不良モードを想定したEFA測定の内容を提示する請求項1に記載の不良解析装置。 - 前記マッチング・集計部は、前記組み合わせ未知コード分布情報が前記既知コード分布情報と一致する場合に、前記組み合わせ未知コードと前記既知コードとのマッチング率が所定の値よりも大きいかをさらに判定し、
前記EFA提示部は、前記組み合わせ未知コードと前記既知コードとのマッチング率が所定の値よりも大きい場合に、前記EFA測定の内容を提示する請求項2に記載の不良解析装置。 - 生産工程でのウェハの状態をロット単位で管理する生産管理情報を記憶する生産管理情報記憶部と、
前記マッチング・集計部で前記未知コード分布情報が前記既知コード分布情報と一致し、かつ前記最低条件マッチ処理部で前記未知コードが前記既知コードの前記分類最低条件を満たすと判定された場合に、前記未知コードに対応する前記ウェハの属するロットがテスト工程にあると、前記生産管理情報の前記ロットに対応するレコードにEFA測定実施フラグを付与するロットフラグ処理部と、
をさらに備え、
前記EFA提示部は、前記EFA測定の内容に加えて、前記生産管理情報中の前記EFA測定実施フラグが付されたウェハを、使用するサンプルとして提示する請求項1に記載の不良解析装置。 - 生産工程でのウェハの状態をロット単位で管理する生産管理情報を記憶する生産管理情報記憶部と、
前記マッチング・集計部で前記組み合わせ未知コード分布情報が前記既知コード分布情報と一致すると判定された場合に、前記組み合わせ未知コードに対応する前記ウェハの属するロットがテスト工程にあると、前記生産管理情報の前記ロットに対応するレコードにEFA測定実施フラグを付与するロットフラグ処理部と、
をさらに備え、
前記EFA提示部は、前記EFA測定の内容に加えて、前記生産管理情報中の前記EFA測定実施フラグが付されたウェハを、使用するサンプルとして提示する請求項2に記載の不良解析装置。 - 前記ロットフラグ処理部は、EFAすべきロットがテスト工程にない場合に、EFA対象のラベルとその発生頻度を監視する請求項4または5に記載の不良解析装置。
- メモリセルが3次元的に配置された半導体メモリを含むチップが複数配置されたウェハの前記チップ内の前記チップよりも小さい領域の単位ごとに、複数種類の異なる電気テストを実施して得られるテストコードと、既知の不良モードに対応付けられる前記電気テストの合否状況を示す既知コードと、を比較し、前記テストコードに対応する不良モードを特定する測定結果処理工程と、
前記不良モードが特定されなかった未知のテストコード(以下、未知コードという)について、ウェハ内およびチップ内3次元分布を含む未知コード分布情報を生成し、前記未知コード分布情報にラベル付けできるか判定するテストコードパターンラベル生成工程と、
前記未知コード分布情報にラベル付けできる場合に、前記未知コード分布情報が、前記既知コードについてのウェハ内およびチップ内3次元分布を含む既知コード分布情報と一致するかを判定するマッチング・集計工程と、
前記未知コードが一致する前記既知コードの分類最低条件を満たすかを判定する最低条件マッチ処理工程と、
前記未知コード分布情報が前記既知コード分布情報と一致し、かつ前記未知コードが前記既知コードの前記分類最低条件を満たす場合に、前記既知コードに対応する前記不良モードを想定したEFA測定の内容を提示するEFA提示工程と、
を含む不良解析方法。
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