JP2019152687A - 可動回折格子、外部共振器型レーザモジュール、可動回折格子の製造方法 - Google Patents
可動回折格子、外部共振器型レーザモジュール、可動回折格子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019152687A JP2019152687A JP2018035441A JP2018035441A JP2019152687A JP 2019152687 A JP2019152687 A JP 2019152687A JP 2018035441 A JP2018035441 A JP 2018035441A JP 2018035441 A JP2018035441 A JP 2018035441A JP 2019152687 A JP2019152687 A JP 2019152687A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- diffraction grating
- layer
- stress
- movable diffraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1861—Reflection gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0808—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more diffracting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1857—Manufacturing methods using exposure or etching means, e.g. holography, photolithography, exposure to electron or ion beams
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
Description
[外部共振器型レーザモジュールの構成]
[可動回折格子の構成]
sinθ=mλ/2d …(1)
[可動部等の形状]
[作用及び効果]
[可動回折格子の製造方法]
[作用及び効果]
Claims (16)
- 支持部と、
第1表面を有し、前記支持部に揺動可能に連結された可動部と、
前記第1表面に沿うように前記第1表面上に設けられ、回折格子パターンが形成された樹脂層と、
前記回折格子パターンに沿うように前記樹脂層上に設けられ、金属により形成された反射層と、
前記可動部に応力を生じさせる応力調整部と、を備え、
前記第1表面は、前記応力によって凹状に湾曲させられている、可動回折格子。 - 前記応力調整部は、前記第1表面と対向する第2表面上に層状に設けられている、請求項1に記載の可動回折格子。
- 前記応力調整部は、前記第1表面と対向する第2表面上に設けられた第1層と、前記第1層上に設けられた第2層と、を有している、請求項1又は2に記載の可動回折格子。
- 前記第1層及び前記第2層のそれぞれは、酸化膜である、請求項3に記載の可動回折格子。
- 前記第1層が前記可動部に生じさせる単位厚さ当たりの応力は、前記第2層が前記可動部に生じさせる単位厚さ当たりの応力よりも大きい、請求項3又は4に記載の可動回折格子。
- 前記回折格子パターンは、前記可動部が揺動する中心線に平行な方向に沿って延在する複数の溝を有するブレーズドグレーティングパターンである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の可動回折格子。
- 前記中心線に沿って延在し、前記支持部と前記可動部とを互いに連結するトーションバーを更に備える、請求項6に記載の可動回折格子。
- 前記第1表面は、前記可動部が揺動する中心線と直交する第1断面において、凹状に湾曲させられている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の可動回折格子。
- 前記第1表面は、前記第1断面と直交する第2断面において、凹状に湾曲させられている、請求項8に記載の可動回折格子。
- 前記可動部は、前記第1表面と直交する方向から見た場合に、円形状を呈している、請求項1〜9のいずれか一項に記載の可動回折格子。
- 前記第1表面と対向する第2表面は、前記応力調整部が生じさせる前記応力によって凸状に湾曲させられている、請求項1〜10のいずれか一項に記載の可動回折格子。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の可動回折格子と、
レーザ素子と、を備え、
前記可動回折格子は、前記レーザ素子により発振された光を回折及び反射させることにより、前記光のうち特定波長の光を前記レーザ素子に帰還させる、外部共振器型レーザモジュール。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の可動回折格子の製造方法であって、
前記支持部及び前記可動部に対応する部分を含む基板を用意し、前記樹脂層及び前記反射層を形成する第1ステップと、
前記第1ステップの後に、前記応力調整部を形成して前記可動部に前記応力を生じさせることにより、前記第1表面を凹状に湾曲させる第2ステップと、を備える、可動回折格子の製造方法。 - 前記第2ステップでは、スパッタリングにより、前記応力調整部の少なくとも一部を形成する、請求項13に記載の可動回折格子の製造方法。
- 前記基板は、半導体層及び絶縁層を有し、
前記第2ステップでは、前記絶縁層の一部が残るように前記絶縁層の残部をエッチングによって除去することにより、前記応力調整部の少なくとも一部を形成する、請求項13又は14に記載の可動回折格子の製造方法。 - 前記第2ステップでは、前記絶縁層をエッチングストップ層として前記半導体層をエッチングする、請求項15に記載の可動回折格子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018035441A JP7137321B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 可動回折格子、外部共振器型レーザモジュール、可動回折格子の製造方法 |
US16/285,426 US11067728B2 (en) | 2018-02-28 | 2019-02-26 | Movable diffraction grating, external-resonator laser module, and manufacturing method for movable diffraction grating |
DE102019202611.7A DE102019202611A1 (de) | 2018-02-28 | 2019-02-27 | Bewegliches beugungsgitter, externes resonatorlasermodul und herstellungsverfahren für ein bewegliches beugungsgitter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018035441A JP7137321B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 可動回折格子、外部共振器型レーザモジュール、可動回折格子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019152687A true JP2019152687A (ja) | 2019-09-12 |
JP7137321B2 JP7137321B2 (ja) | 2022-09-14 |
Family
ID=67550648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018035441A Active JP7137321B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 可動回折格子、外部共振器型レーザモジュール、可動回折格子の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11067728B2 (ja) |
JP (1) | JP7137321B2 (ja) |
DE (1) | DE102019202611A1 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4913525A (en) * | 1986-03-31 | 1990-04-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Frequency stabilized light source |
JPH0829610A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-02-02 | Canon Inc | 曲面回折格子およびその製造方法 |
JP2005019485A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Nikon Corp | 光学素子の形状修正方法、光学素子及び露光装置 |
US20050286570A1 (en) * | 2004-06-29 | 2005-12-29 | Lian-Qin Xiang | Tunable laser with a concave diffraction grating |
JP2008152016A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Toshiba Corp | 可変形状ミラー装置および眼底観察装置 |
JP2011118179A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Mems光スキャナ |
WO2017018142A1 (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | コニカミノルタ株式会社 | 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 |
JP2017187603A (ja) * | 2016-04-05 | 2017-10-12 | ミツミ電機株式会社 | 1軸回転アクチュエーター |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014109170A1 (ja) * | 2013-01-11 | 2014-07-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー駆動装置 |
-
2018
- 2018-02-28 JP JP2018035441A patent/JP7137321B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-26 US US16/285,426 patent/US11067728B2/en active Active
- 2019-02-27 DE DE102019202611.7A patent/DE102019202611A1/de active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4913525A (en) * | 1986-03-31 | 1990-04-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Frequency stabilized light source |
JPH0829610A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-02-02 | Canon Inc | 曲面回折格子およびその製造方法 |
JP2005019485A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Nikon Corp | 光学素子の形状修正方法、光学素子及び露光装置 |
US20050286570A1 (en) * | 2004-06-29 | 2005-12-29 | Lian-Qin Xiang | Tunable laser with a concave diffraction grating |
JP2008152016A (ja) * | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Toshiba Corp | 可変形状ミラー装置および眼底観察装置 |
JP2011118179A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Mems光スキャナ |
WO2017018142A1 (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | コニカミノルタ株式会社 | 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 |
JP2017187603A (ja) * | 2016-04-05 | 2017-10-12 | ミツミ電機株式会社 | 1軸回転アクチュエーター |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190265396A1 (en) | 2019-08-29 |
US11067728B2 (en) | 2021-07-20 |
JP7137321B2 (ja) | 2022-09-14 |
DE102019202611A1 (de) | 2019-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8559127B2 (en) | Integrated heat assisted magnetic recording head with extended cavity vertical cavity surface emitting laser diode | |
US7492804B2 (en) | Near-field light emitting device and data recording/reproduction apparatus | |
EP2626731B1 (en) | An optical coupling arrangement | |
JP4117499B2 (ja) | 面発光型半導体レーザ | |
KR100866059B1 (ko) | 대구경 표면 발광형 반도체 레이저 소자를 이용한 광정보처리 장치 | |
WO2002078143A1 (en) | Laser-to-fiber coupling | |
JP2013008440A (ja) | 垂直共振器面発光レーザ、導波路、および結合器を備える装置、垂直共振器面発光レーザ、導波路、結合器、および反射器を備える装置、ならびに記憶媒体、記録ヘッド、およびアームを備える装置 | |
JP2006091285A (ja) | 発光装置 | |
KR20140082855A (ko) | 빛 파면의 제어 | |
WO2006022162A1 (ja) | 面発光レーザ光源の製造方法及び面発光レーザ光源 | |
US20050169343A1 (en) | Polarization control of vertical diode lasers by monolithically integrated surface grating | |
JPWO2018100868A1 (ja) | 光学素子及びその製造方法 | |
JP2015038798A (ja) | 磁気記録装置およびその製造方法 | |
US5238531A (en) | Apparatus and method for fabricating a chirped grating in a surface emitting distributed feedback semiconductor laser diode device | |
JP7137321B2 (ja) | 可動回折格子、外部共振器型レーザモジュール、可動回折格子の製造方法 | |
JP6694355B2 (ja) | 可動回折格子及びその製造方法、並びに外部共振器型レーザモジュール | |
JP4837521B2 (ja) | 表面プラズモンポラリトン集束器、情報記録ヘッドおよび記録装置 | |
JP2008160130A (ja) | 横構造を備えた回折格子を含む光電子素子 | |
US20230246422A1 (en) | Quantum cascade laser element, quantum cascade laser device, and method for manufacturing quantum cascade laser element | |
JP2020530666A (ja) | ハイパワーのレーザグリッド構造 | |
JP3403832B2 (ja) | 発光素子 | |
JP7489814B2 (ja) | 量子カスケードレーザ素子及び量子カスケードレーザ装置 | |
WO2021200552A1 (ja) | 量子カスケードレーザ素子及び量子カスケードレーザ装置 | |
WO2023135649A1 (ja) | グレーティングカプラ | |
US20010021204A1 (en) | Thin film laser emitting device and method for the manufacture thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220302 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220531 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7137321 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |