JP2019149231A

JP2019149231A - Excimer lamp

Info

Publication number: JP2019149231A
Application number: JP2018031665A
Authority: JP
Inventors: 一浩後藤; Kazuhiro Goto; 今村　篤史; Atsushi Imamura; 篤史今村
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 2018-02-26
Filing date: 2018-02-26
Publication date: 2019-09-05
Also published as: CN209434146U

Abstract

To provide an excimer lamp capable of suppressing the occurrence of a short circuit between electrodes even if it is used under an environment containing moisture.SOLUTION: An excimer lamp comprises: a light-emitting pipe having a light-emitting space where an electric discharge gas containing xenon is included in an inner part; a first electrode provided on an outer surface of the light-emitting pipe; a second electrode provided at a position separated from the first electrode with the light-emitting space to a radial direction of the light-emitting pipe; a base having a bottomed cylindrical shape, which is formed in an end part directed to a pipe axial direction of the light-emitting pipe so as to surround the outer surface of the light-emitting pipe; and an adhesion layer made of an organic material as a main component, which is fixedly connected to the outer surface of the light-emitting pipe and an inner surface of the base.SELECTED DRAWING: Figure 1A

Description

本発明は、エキシマランプに関する。 The present invention relates to an excimer lamp.

従来、低圧水銀ランプを用いて被処理気体を浄化する技術が提案されている。例えば、下記特許文献１には、波長１８５ｎｍや波長２５４ｎｍの紫外線を放射する低圧水銀ランプを使用し、被処理ガス中の不純物や細菌類を分解除去することが記載されている。より具体的には、波長１８５ｎｍの紫外線によりオゾン（Ｏ₃）ガスを生成し、このオゾンガスにより不純物や悪臭物質を分解することが記載されている。 Conventionally, a technique for purifying a gas to be processed using a low-pressure mercury lamp has been proposed. For example, the following Patent Document 1 describes that a low-pressure mercury lamp that emits ultraviolet rays having a wavelength of 185 nm or 254 nm is used to decompose and remove impurities and bacteria in the gas to be treated. More specifically, it is described that ozone (O ₃ ) gas is generated by ultraviolet rays having a wavelength of 185 nm and impurities and malodorous substances are decomposed by the ozone gas.

ところで、下記特許文献２には、上記低圧水銀ランプよりも短波長である１７２ｎｍの光を放射する、キセノンエキシマランプが開示されている。 Incidentally, Patent Document 2 below discloses a xenon excimer lamp that emits light having a wavelength of 172 nm, which is shorter than that of the low-pressure mercury lamp.

特開２００６−２０４６８３号公報JP 2006-204683 A 特開２００７−３３５３５０号公報JP 2007-335350 A

特許文献２に開示されているようなエキシマランプは、従来、半導体や液晶パネルの製造工程において、有機物の除去目的で用いられていた。すなわち、これまでエキシマランプは、厳密に管理されたクリーンな環境下で利用されることが通常であった。 An excimer lamp as disclosed in Patent Document 2 has been conventionally used for the purpose of removing organic substances in the manufacturing process of semiconductors and liquid crystal panels. In other words, excimer lamps have conventionally been used in a clean environment that is strictly controlled.

本発明者らは、特許文献１に記載されているような低圧水銀ランプに代えて、このエキシマランプを用いることで、より短波長の光を被処理気体に照射してＶＯＣ（Volatile Organic Compounds：揮発性有機化合物）の分解効率を高めることを検討している。特に、被処理気体に酸素及び水分が含まれる場合には、エキシマランプから放射される短波長の光が照射されることで、反応性の高いＯ（¹Ｄ）やヒドロキシラジカル（・ＯＨ）が生成されるため、被処理気体に含まれるＶＯＣの高い分解性能が期待される。 The present inventors use this excimer lamp in place of the low-pressure mercury lamp as described in Patent Document 1 to irradiate the gas to be processed with light having a shorter wavelength, thereby VOC (Volatile Organic Compounds: We are considering increasing the decomposition efficiency of volatile organic compounds. In particular, when oxygen and moisture are contained in the gas to be treated, highly reactive O ( ¹ D) and hydroxy radicals (.OH) are generated by irradiating light with a short wavelength emitted from an excimer lamp. Therefore, high decomposition performance of VOC contained in the gas to be treated is expected.

しかし、水分が含まれるような環境下でエキシマランプが用いられると、この水分がエキシマランプの発光管に付着し、外部電極と内部電極との間で短絡が発生するおそれがある。特に、エキシマランプの発光管の端部近傍においては、外部電極と内部電極との離間距離が短いことから、上記の問題が生じやすいと考えられる。 However, when an excimer lamp is used in an environment containing moisture, the moisture may adhere to the arc tube of the excimer lamp and a short circuit may occur between the external electrode and the internal electrode. In particular, in the vicinity of the end portion of the arc tube of the excimer lamp, the above-described problem is likely to occur because the distance between the external electrode and the internal electrode is short.

この課題に対する第一の対策として、外部電極と内部電極との間の距離（電極間距離）を大きくする方法が考えられる。しかし、エキシマランプは、原理的に、発光のために誘電体バリア放電（「エキシマ放電」と称されることもある。）を生じさせる必要がある。電極間距離を大きくすると、放電開始電圧が高くなる結果、そもそも放電が難しくなってしまう。すなわち、電極間距離を大きくすることには限界がある。 As a first countermeasure against this problem, a method of increasing the distance between the external electrode and the internal electrode (interelectrode distance) is conceivable. However, the excimer lamp, in principle, needs to generate a dielectric barrier discharge (sometimes referred to as “excimer discharge”) for light emission. When the distance between the electrodes is increased, the discharge start voltage increases, and as a result, discharge becomes difficult in the first place. That is, there is a limit to increasing the distance between the electrodes.

上記の課題に対する別の対策として、エキシマランプ自体を透光性部材で覆うという方法が考えられる。しかし、１７２ｎｍという短い波長の光を透過する材料には限りがあり（例えば合成石英）、かかる材料でエキシマランプを覆う管体を構成した場合、製造コストが高騰してしまう。また、このような材料で管体を構成したとしても、発光管から放射された光の３０％〜５０％は吸収されてしまい、光の利用効率が低下する結果、高い分解効率の実現が難しい。 As another countermeasure against the above problem, a method of covering the excimer lamp itself with a translucent member is conceivable. However, there is a limit to the material that transmits light having a short wavelength of 172 nm (for example, synthetic quartz), and when a tube covering the excimer lamp is configured with such a material, the manufacturing cost increases. Further, even if the tube is made of such a material, 30% to 50% of the light emitted from the arc tube is absorbed, and as a result, the utilization efficiency of light is lowered, so that it is difficult to realize high decomposition efficiency. .

本発明は、上記の課題に鑑み、特に水分を含む環境下で利用された場合であっても、電極間での短絡の発生を抑制できるエキシマランプを提供することを目的とする。 In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide an excimer lamp that can suppress the occurrence of a short circuit between electrodes even when used in an environment containing moisture.

本発明に係るエキシマランプは、
放電用ガスが封入された発光空間を内部に有する発光管と、
前記発光管の外側面上に設けられた第一電極と、
前記第一電極に対して、前記発光管の径方向に前記発光空間を隔てて離間した位置に設けられた第二電極と、
前記発光管の管軸方向に係る端部において、前記発光管の外側面を取り囲むように形成された、有底筒形状を呈したベースと、
前記発光管の外側面と前記ベースの内側面とを固定的に連結する、無機材料を主成分とする接着層とを備えたことを特徴とする。 The excimer lamp according to the present invention is
An arc tube having a light emitting space filled with a discharge gas;
A first electrode provided on the outer surface of the arc tube;
A second electrode provided at a position spaced apart from the light emitting space in the radial direction of the arc tube with respect to the first electrode;
At the end portion in the tube axis direction of the arc tube, a base having a bottomed cylindrical shape formed so as to surround the outer surface of the arc tube,
An adhesive layer mainly composed of an inorganic material, which fixes and connects the outer surface of the arc tube and the inner surface of the base.

上記構成によれば、発光管の外側面とベースの内側面とが接着層によって固定されている。これにより、水分を含む環境下でエキシマランプを発光させた場合であっても、この水分がベースの内側に流入するのを抑制できる。この結果、第一電極と第二電極との短絡が防止できる。 According to the above configuration, the outer surface of the arc tube and the inner surface of the base are fixed by the adhesive layer. Thereby, even if it is a case where an excimer lamp is light-emitted in the environment containing a water | moisture content, it can suppress that this water | moisture content flows into the inside of a base. As a result, a short circuit between the first electrode and the second electrode can be prevented.

また、前記接着層は、無機材料を主成分とするため、例えばキセノンを含む放電用ガスが発光空間内に封入されたエキシマランプから放射される短波長（例えば波長１７２ｎｍ）が接着層に照射されても、接着層が劣化することが抑制される。なお、このような接着剤の材料としては、例えば、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）やシリカ（ＳｉＯ₂）等が利用可能である。接着層は、全体を１００質量部としたときに、８５質量部以上の成分が無機材料からなるのが好ましく、９０質量部以上の成分が無機材料からなるのがより好ましく、実質的に１００質量部の成分、すなわち全ての成分が無機材料からなるのが特により好ましい。 In addition, since the adhesive layer is mainly composed of an inorganic material, the adhesive layer is irradiated with a short wavelength (for example, a wavelength of 172 nm) emitted from an excimer lamp in which a discharge gas containing, for example, xenon is sealed in a light emitting space. However, the deterioration of the adhesive layer is suppressed. For example, alumina (Al ₂ O ₃ ) or silica (SiO ₂ ) can be used as such an adhesive material. When the total amount of the adhesive layer is 100 parts by mass, the component of 85 parts by mass or more is preferably made of an inorganic material, the component of 90 parts by mass or more is more preferably made of an inorganic material, and substantially 100 parts by mass. It is particularly preferable that the components of the part, that is, all the components are made of inorganic materials.

放電用ガスは、発光波長に応じて適宜材料が選択される。上述したように１７２ｎｍ近傍の波長の光を生成したい場合には、キセノン（Ｘｅ）を含むガスが用いられる。その他、得たい波長に応じて、ＫｒＢｒ、ＫｒＣｌなどが採用され得る。 The material for the discharge gas is appropriately selected according to the emission wavelength. As described above, when it is desired to generate light having a wavelength near 172 nm, a gas containing xenon (Xe) is used. In addition, KrBr, KrCl, or the like can be employed depending on the wavelength to be obtained.

前記発光管は、前記ベースの内底面に対して前記管軸方向に間隙を有した状態で、前記ベースに固定されているものとすることができる。 The arc tube may be fixed to the base with a gap in the tube axis direction with respect to the inner bottom surface of the base.

上述したように、エキシマランプが備えるベースは、有底筒形状を呈している。言い換えれば、一方の側が開口され、開口されている領域とは反対側の領域に底面を有する、筒形状体である。ここで、本明細書において、「ベースの内底面」とはベースの内側に係る底面を指し、「ベースの外底面」とはベースの外側に係る底面を指す。すなわち、ベースの内底面は、ベースの内側面と連絡されている面であり、ベースの外底面は、ベースの外側面と連絡されている面である。 As described above, the base included in the excimer lamp has a bottomed cylindrical shape. In other words, it is a cylindrical body that is open on one side and has a bottom surface in a region opposite to the open region. Here, in this specification, the “inner bottom surface of the base” refers to the bottom surface on the inside of the base, and the “outer bottom surface of the base” refers to the bottom surface on the outside of the base. That is, the inner bottom surface of the base is a surface that communicates with the inner surface of the base, and the outer bottom surface of the base is a surface that communicates with the outer surface of the base.

接着層は、主成分が無機材料であり、且つ多孔質体で形成されているのが好ましい。この場合、接着層によって発光管の外側面とベースの内側面とを固定している場合であっても、接着層自体が多孔質体であるため、この多孔質の孔部を通じて、水を含む気体が流入する可能性がある。仮に、この気体が凝集（結露）すると、液状の水（水滴）がベースの面に付着する可能性がある。 The adhesive layer is preferably made of an inorganic material as a main component and a porous body. In this case, even when the outer side surface of the arc tube and the inner side surface of the base are fixed by the adhesive layer, the adhesive layer itself is a porous body, so water is contained through the porous hole. Gas may enter. If this gas is condensed (condensation), liquid water (water droplets) may adhere to the surface of the base.

しかし、上記の構成によれば、ベースの内底面と発光管との間に間隙が存在するため、内底面上において水分を留める作用が奏され、内側に係る第二電極側への流入が防止される。仮に、ベースの内底面と発光管とが接触している場合には、内底面に付着した水滴が発光管の管体側に流入するおそれがある。よって、上記のように、ベースの内底面と発光管との間には間隙を設けるのが好ましい。 However, according to the above configuration, since there is a gap between the inner bottom surface of the base and the arc tube, the water is retained on the inner bottom surface, and the inflow to the inner side of the second electrode is prevented. Is done. If the inner bottom surface of the base is in contact with the arc tube, water droplets adhering to the inner bottom surface may flow into the tube side of the arc tube. Therefore, as described above, it is preferable to provide a gap between the inner bottom surface of the base and the arc tube.

更に、エキシマランプは、特に高出力で発光している場合には温度が上昇するため、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、この水が蒸発して水蒸気となる。このとき、ベースの内底面と発光管との間に間隙が存在することで、当該空間の気圧が高まり、接着層の多孔質の孔部を通じて水蒸気をエキシマランプの外部へと排出できる。 Furthermore, since the temperature of the excimer lamp increases particularly when emitting light at a high output, even if water flows into the inside of the base, the water evaporates to become water vapor. At this time, since there is a gap between the inner bottom surface of the base and the arc tube, the pressure in the space is increased, and water vapor can be discharged to the outside of the excimer lamp through the porous hole portion of the adhesive layer.

前記ベースは、当該ベースの内側面上に凹凸加工が施されているものとすることができる。 The base may be subjected to uneven processing on the inner side surface of the base.

かかる構成によれば、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、ベースの内側面上において表面張力が発生し、ベースの内側面を伝って内底面へと流れやすくなる。この結果、第二電極側へと水が流れ込んで第一電極と第二電極との間で短絡が発生するのを抑制できる。 According to such a configuration, even if moisture flows into the inside of the base, surface tension is generated on the inner side surface of the base, and it is easy to flow along the inner side surface of the base to the inner bottom surface. As a result, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit between the first electrode and the second electrode due to water flowing into the second electrode side.

前記ベースは、当該ベースの内側面上に、前記管軸方向に平行な方向に延伸する複数の溝を有するものとすることができる。 The base may have a plurality of grooves extending in a direction parallel to the tube axis direction on the inner side surface of the base.

かかる構成によれば、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、溝を伝って水分が内底面へと流れやすくなる。この結果、第二電極側へと水が流れ込んで第一電極と第二電極との間で短絡が発生するのを抑制できる。 According to such a configuration, even if moisture flows into the inside of the base, the moisture easily flows along the groove to the inner bottom surface. As a result, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit between the first electrode and the second electrode due to water flowing into the second electrode side.

前記エキシマランプは、前記ベースを加熱するヒータを設けるものとしても構わない。これにより、仮に水分がベースの内側に流入した場合であっても、ヒータによってベースを加熱することで、水分を蒸発させることができる。この水蒸気は、接着層の多孔質の孔部を通じてエキシマランプの外部へと排出できる。 The excimer lamp may be provided with a heater for heating the base. Thereby, even if it is a case where a water | moisture content flows into the inner side of a base, a water | moisture content can be evaporated by heating a base with a heater. The water vapor can be discharged to the outside of the excimer lamp through the porous hole of the adhesive layer.

前記ヒータは、前記ベースの外側面上又は外底面上に載置されているものとしても構わない。これにより、ベースを効率よく加熱することができる。 The heater may be placed on the outer surface or the outer bottom surface of the base. Thereby, a base can be heated efficiently.

前記エキシマランプは、
前記ベースの温度を測定する温度測定器と、
前記温度測定器によって測定された前記ベースの温度に基づいて、自動的に前記ヒータの出力調整を行う温度調整部とを備えるものとしても構わない。 The excimer lamp is
A temperature measuring device for measuring the temperature of the base;
A temperature adjustment unit that automatically adjusts the output of the heater based on the temperature of the base measured by the temperature measuring device may be provided.

例えばエキシマランプの不点灯時など、ベースの温度が低下してきた場合などであっても、自動的にベースが加熱されるため、仮にベースの内側に水分が流入していても蒸発させることができる。 For example, even when the temperature of the base is lowered, such as when the excimer lamp is not lit, the base is automatically heated, so that it can be evaporated even if moisture flows inside the base. .

前記エキシマランプは、前記ベースの外側から前記ベースの底部を貫通し、前記第一電極及び前記第二電極に接続された電源線を備えるものとしても構わない。 The excimer lamp may include a power supply line that penetrates the bottom of the base from the outside of the base and is connected to the first electrode and the second electrode.

また、前記エキシマランプは、二重管構造でも構わないし、一重管構造でも構わない。 The excimer lamp may have a double tube structure or a single tube structure.

より詳細には、
前記発光管は、外側管と、前記外側管の内側に配置された内側管とを有し、前記外側管と前記内側管とが前記管軸方向に係る両端において封止されてなる、二重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記外側管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記内側管の内側面上に形成されているものとすることができる。 More specifically,
The arc tube has an outer tube and an inner tube disposed inside the outer tube, and the outer tube and the inner tube are sealed at both ends in the tube axis direction. Presents a tube structure,
The first electrode is formed on an outer surface of the outer tube;
The second electrode may be formed on the inner surface of the inner tube.

また、前記発光管は、一重管構造を呈し、
前記第一電極は、前記発光管の外側面上に形成され、
前記第二電極は、前記発光管の管内に形成されているものとすることができる。 The arc tube has a single tube structure,
The first electrode is formed on an outer surface of the arc tube,
The second electrode may be formed in a tube of the arc tube.

本発明のエキシマランプによれば、水分を含む環境下で利用された場合であっても、光取り出し効率を低下させることなく、簡易な構成で、電極間での短絡の発生を抑制できる。 According to the excimer lamp of the present invention, even when used in an environment containing moisture, the occurrence of a short circuit between the electrodes can be suppressed with a simple configuration without reducing the light extraction efficiency.

第一実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the excimer lamp which concerns on 1st embodiment. 図１Ａに示すエキシマランプを別の方向から切断したときの模式的な断面図である。It is typical sectional drawing when the excimer lamp shown to FIG. 1A is cut | disconnected from another direction. 第一実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの拡大図である。It is an enlarged view of the base with which the excimer lamp concerning a first embodiment is provided. 第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the excimer lamp which concerns on 1st embodiment. 図２Ａに示すエキシマランプを別の方向から切断したときの模式的な断面図である。It is typical sectional drawing when the excimer lamp shown to FIG. 2A is cut | disconnected from another direction. 第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the excimer lamp which concerns on 1st embodiment. 第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the excimer lamp which concerns on 1st embodiment. 第二実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの一形状を模式的に示す図面である。It is drawing which shows typically one shape of the base with which the excimer lamp which concerns on 2nd embodiment is provided. 第二実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの別の一形状を模式的に示す図面である。It is drawing which shows typically another one shape of the base with which the excimer lamp which concerns on 2nd embodiment is provided. 第二実施形態に係るエキシマランプが備えるベースの別の一形状を模式的に示す図面である。It is drawing which shows typically another one shape of the base with which the excimer lamp which concerns on 2nd embodiment is provided. 第三実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the excimer lamp which concerns on 3rd embodiment. 第三実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the excimer lamp which concerns on 3rd embodiment.

本発明に係るエキシマランプの各実施形態について、適宜図面を参照して説明する。なお、以下の図面において、図面上の寸法比と実際の寸法比は必ずしも一致していない。第二実施形態以後においても同様である。 Embodiments of an excimer lamp according to the present invention will be described with reference to the drawings as appropriate. In the following drawings, the dimensional ratio on the drawing does not necessarily match the actual dimensional ratio. The same applies to the second and subsequent embodiments.

［第一実施形態］
図１Ａ及び図１Ｂは、第一実施形態に係るエキシマランプの一例を模式的に示す構造図である。図１Ａは管軸方向に沿った断面図であり、図１Ｂは、図１ＡにおけるＡ１−Ａ１線断面図である。以下では、図１Ａ及び図１Ｂに図示された座標系を適宜参照して説明すされる。 [First embodiment]
1A and 1B are structural diagrams schematically showing an example of an excimer lamp according to the first embodiment. 1A is a cross-sectional view along the tube axis direction, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line A1-A1 in FIG. 1A. Hereinafter, description will be made with reference to the coordinate system shown in FIGS. 1A and 1B as appropriate.

エキシマランプ１は、紫外線に対して透過性を有する材料（例えば合成石英ガラス）からなる、発光管１０を備える。発光管１０は、円筒状の外側管１１と、外側管１１の内側において外側管１１と同軸上に配置され、外側管１１の内径より小さい外径を有する円筒状の内側管１２とを有する。外側管１１と内側管１２とは、それぞれ管軸方向（Ｘ方向）に係る両端が封止壁１４によって接合されている。これにより、外側管１１と内側管１２との間には、円環状の発光空間Ｓ１が形成されている。寸法の一例として、発光管１０は、管軸方向（Ｘ方向）に係る長さが１５００ｍｍ、内側管１２の内径がφ１４ｍｍ、外径がφ１６ｍｍ、外側管１１の内径がφ２４ｍｍ、外径がφ２６ｍｍである。 The excimer lamp 1 includes an arc tube 10 made of a material that is transparent to ultraviolet rays (for example, synthetic quartz glass). The arc tube 10 includes a cylindrical outer tube 11 and a cylindrical inner tube 12 that is disposed coaxially with the outer tube 11 inside the outer tube 11 and has an outer diameter smaller than the inner diameter of the outer tube 11. Both ends of the outer tube 11 and the inner tube 12 in the tube axis direction (X direction) are joined by a sealing wall 14. Thereby, an annular light emitting space S <b> 1 is formed between the outer tube 11 and the inner tube 12. As an example of the dimensions, the arc tube 10 has a length in the tube axis direction (X direction) of 1500 mm, the inner tube 12 has an inner diameter of 14 mm, an outer diameter of 16 mm, the outer tube 11 has an inner diameter of 24 mm, and an outer diameter of 26 mm. is there.

発光空間Ｓ１内には、放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されている。本実施形態において、放電用ガスはキセノン（Ｘｅ）を含んでなる。放電用ガスのより詳細な一例としては、キセノン（Ｘｅ）とネオン（Ｎｅ）を所定の比率（例えば３：７）で混在させたガスからなり、更に酸素や水素を微量に含むものとしても構わない。 A discharge gas that forms excimer molecules by discharge is enclosed in the light emitting space S1. In the present embodiment, the discharge gas includes xenon (Xe). As a more detailed example of the discharge gas, it may be made of a gas in which xenon (Xe) and neon (Ne) are mixed in a predetermined ratio (for example, 3: 7), and further contains a trace amount of oxygen and hydrogen. Absent.

エキシマランプ１は、外側管１１の外側面に密接し、例えばステンレス鋼などの導電性材料からなる網状の第一電極２１と、内側管１２の内側面上に密接し、例えばアルミニウムなどの導電性材料からなる膜状の第二電極２２とを有する。すなわち、第一電極２１と第二電極２２とは、互いに発光空間Ｓ１を隔てて対向している。第一電極２１は外側電極に対応し、第二電極２２は内側電極に対応する。 The excimer lamp 1 is in close contact with the outer surface of the outer tube 11 and is in close contact with the net-like first electrode 21 made of a conductive material such as stainless steel and the inner surface of the inner tube 12, and is electrically conductive such as aluminum. And a film-like second electrode 22 made of a material. That is, the first electrode 21 and the second electrode 22 are opposed to each other with the light emitting space S1 therebetween. The first electrode 21 corresponds to the outer electrode, and the second electrode 22 corresponds to the inner electrode.

エキシマランプ１は、発光管１０の管軸方向（Ｘ方向）に係る端部（１０ａ，１０ｂ）において、発光管１０の外側面を取り囲むように形成されたベース３０を備える。図１Ｃは、図１Ａ内のベース３０近傍の拡大図である。図１Ｃに示すように、ベース３０は、内側面３１、外側面３２、内底面３３、及び外底面３４を含み、底面（３３，３４）とは反対側が開口された、有底筒形状を呈する。そして、ベース３０の内側面３１と、外側管１１の外側面１１ａとが、接着層３を介して接触することで、ベース３０と発光管１０とが固定されている。ベース３０は、例えばセラミックスからなる。なお、図示の都合上、図１Ｂでは接着層３の図示を省略している。 The excimer lamp 1 includes a base 30 formed so as to surround the outer surface of the arc tube 10 at end portions (10a, 10b) in the tube axis direction (X direction) of the arc tube 10. FIG. 1C is an enlarged view of the vicinity of the base 30 in FIG. 1A. As shown in FIG. 1C, the base 30 has an inner surface 31, an outer surface 32, an inner bottom surface 33, and an outer bottom surface 34, and has a bottomed cylindrical shape that is open on the side opposite to the bottom surfaces (33, 34). . And the base 30 and the arc_tube | light_emitting_tube 10 are being fixed because the inner surface 31 of the base 30 and the outer surface 11a of the outer tube | pipe 11 contact via the contact bonding layer 3. FIG. The base 30 is made of ceramics, for example. For convenience of illustration, the adhesive layer 3 is not shown in FIG. 1B.

接着層３を形成する方法としては、無機材料を主成分とする接着剤が用いられる。このような無機材料としては、例えば、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）やシリカ（ＳｉＯ₂）等が利用可能である。 As a method of forming the adhesive layer 3, an adhesive mainly composed of an inorganic material is used. As such an inorganic material, for example, alumina (Al ₂ O ₃ ), silica (SiO ₂ ), or the like can be used.

エキシマランプ１は、例えばｋＨｚオーダーの交流電圧を生成可能な電源４０と、電源４０に接続された電源線（４１，４２）とを備える。電源線４１は第一電極２１に接続され、電源線４２は第二電極２２に接続されている。電源４０は、ベース３０の外側に配置され、例えばベース３０の底面（３３，３４）を貫通する孔部を通じて電源線（４１，４２）が電源４０と各電極（２１，２２）とを連絡している。この孔部は、電源線（４１，４２）が通る程度の極めて細い径で構成されているものとして構わない。また、電源線（４１，４２）の一部分（図１Ｃの例では、特に電源線４１の一部分）が、接着層３内に位置しているものとしても構わない。 The excimer lamp 1 includes a power source 40 capable of generating an alternating voltage in the order of kHz, for example, and power lines (41, 42) connected to the power source 40. The power line 41 is connected to the first electrode 21, and the power line 42 is connected to the second electrode 22. The power source 40 is disposed outside the base 30. For example, the power source line (41, 42) connects the power source 40 and each electrode (21, 22) through a hole passing through the bottom surface (33, 34) of the base 30. ing. This hole portion may be configured to have a very thin diameter through which the power lines (41, 42) can pass. Further, a part of the power supply lines (41, 42) (particularly a part of the power supply line 41 in the example of FIG. 1C) may be located in the adhesive layer 3.

なお、図１Ａ及び図１Ｃでは、電源線４１と第一電極２１とが連絡されていないようにも見えるが、これはあくまで接着層３の図示の都合上であり、電源線４１は第一電極２１と連絡されているものとする。例えば、上述した例のように、電源線４１の一部分が接着層３内に位置するように形成されることで、電源線４１と第一電極２１とが連絡されているものとすることができる。 In FIG. 1A and FIG. 1C, although it seems that the power line 41 and the first electrode 21 are not connected, this is only for the convenience of illustration of the adhesive layer 3, and the power line 41 is the first electrode. 21 is contacted. For example, as in the example described above, the power supply line 41 and the first electrode 21 can be in communication with each other by being formed so that a part of the power supply line 41 is located in the adhesive layer 3. .

漏電防止の観点から、外側電極に対応する第一電極２１を接地電極とし、内側電極に対応する第二電極２２を高電圧供給電極とするのが好ましい。 From the viewpoint of preventing leakage, it is preferable that the first electrode 21 corresponding to the outer electrode is a ground electrode and the second electrode 22 corresponding to the inner electrode is a high voltage supply electrode.

本実施形態において、発光管１０は、ベース３０の内底面３３に対して管軸方向（Ｘ方向）に間隙５０を有した状態で、ベース３０に対して固定されている。一例として、間隙５０の管軸方向（Ｘ方向）に係る長さは３〜８ｍｍ程度である。 In the present embodiment, the arc tube 10 is fixed to the base 30 with a gap 50 in the tube axis direction (X direction) with respect to the inner bottom surface 33 of the base 30. As an example, the length of the gap 50 in the tube axis direction (X direction) is about 3 to 8 mm.

このような構成を有したエキシマランプ１において、電源４０から電源線（４１，４２）を通じて、第一電極２１と第二電極２２との間に高周波の交流電圧が印加されると、発光空間Ｓ１において放電が発生し、放電用ガスの種類に応じたエキシマ光が生成される。上述したように、放電用ガスとしてキセノン（Ｘｅ）を用いる場合には、主たる波長が１７２ｎｍを示すエキシマ光が生成される。この光は、直接、又は第二電極２２によって反射された後、外側管１１の外側面１１ａから放射される。 In the excimer lamp 1 having such a configuration, when a high-frequency AC voltage is applied between the first electrode 21 and the second electrode 22 from the power supply 40 through the power supply lines (41, 42), the light emission space S1. A discharge is generated at, and excimer light corresponding to the type of discharge gas is generated. As described above, when xenon (Xe) is used as the discharge gas, excimer light having a main wavelength of 172 nm is generated. This light is emitted from the outer surface 11 a of the outer tube 11 directly or after being reflected by the second electrode 22.

上記構成によれば、発光管１０の端部（１０ａ，１０ｂ）において、発光管１０の外周、すなわち外側管１１の外側面１１ａを覆うようにベース３０が形成されると共に、このベース３０と、外側管１１の外側面１１ａとが、接着層３を介して固定的に接触している。このため、エキシマランプ１を、水分を含む気体が存在する環境下に配置した場合において、この水分が外側管１１の外側面１１ａに付着したとしても、ベース３０と外側管１１の外側面１１ａとの接触箇所において、水分の流入が抑制される。この結果、水分が内側管１２に配置された第二電極２２側へと流入するのを防ぐことができ、第一電極２１と第二電極２２との間における短絡の発生が抑制される。 According to the above configuration, the base 30 is formed so as to cover the outer periphery of the arc tube 10, that is, the outer surface 11a of the outer tube 11, at the end portions (10a, 10b) of the arc tube 10. The outer surface 11 a of the outer tube 11 is in fixed contact with the adhesive layer 3. For this reason, even when the excimer lamp 1 is disposed in an environment where moisture-containing gas exists, even if the moisture adheres to the outer surface 11a of the outer tube 11, the base 30 and the outer surface 11a of the outer tube 11 The inflow of moisture is suppressed at the contact point. As a result, it is possible to prevent moisture from flowing into the second electrode 22 disposed on the inner tube 12, and the occurrence of a short circuit between the first electrode 21 and the second electrode 22 is suppressed.

また、上述したように、接着層３は主成分が無機材料からなるため、有機系の接着剤とは異なり、発光空間Ｓ１から放射された紫外線（例えば波長１７２ｎｍの光）が照射されても、材料の劣化がほとんど進行しない。この結果、ベース３０の内側への水分の流入を、長期にわたって防ぐことができる。 Further, as described above, since the main component of the adhesive layer 3 is made of an inorganic material, unlike an organic adhesive, even when irradiated with ultraviolet rays (for example, light having a wavelength of 172 nm) emitted from the light emitting space S1, Material deterioration hardly progresses. As a result, the inflow of moisture into the base 30 can be prevented over a long period of time.

なお、本実施形態のエキシマランプ１の場合、発光管１０と、ベース３０の内底面３３との間において、間隙５０が形成されている。接着層３を構成する無機材料が多孔質体である場合、長時間の経過により、この孔部を通じて、水を含む気体が少しずつベース３０の内側に流入する可能性がある。仮に、このような状態の下で、エキシマランプ１が低温環境下で不点灯の状態で一定期間放置されると、ベース３０の内側に流入した気体が凝集（結露）して液状の水（水滴）がベース３０の内側の面（３１，３３）に付着する可能性がある。 In the case of the excimer lamp 1 according to the present embodiment, a gap 50 is formed between the arc tube 10 and the inner bottom surface 33 of the base 30. When the inorganic material constituting the adhesive layer 3 is a porous body, a gas containing water may flow into the inside of the base 30 little by little through this hole over a long period of time. If the excimer lamp 1 is left unlit in a low temperature environment for a certain period under such a state, the gas flowing into the base 30 is condensed (condensed) to form liquid water (water droplets). ) May adhere to the inner surfaces (31, 33) of the base 30.

かかる状態の下で、エキシマランプ１が高出力下で点灯されると、ベース３０近傍が加熱され、この水分が蒸発して水蒸気が生成される。このとき、間隙５０を構成する空間の気圧が高まり、接着層３を構成する多孔質体の孔部を通じて、エキシマランプ１の外側へと水蒸気を排出できる。 Under such a state, when the excimer lamp 1 is lit at a high output, the vicinity of the base 30 is heated, and the water is evaporated to generate water vapor. At this time, the air pressure in the space constituting the gap 50 is increased, and the water vapor can be discharged to the outside of the excimer lamp 1 through the pores of the porous body constituting the adhesive layer 3.

＜別構成＞
以下、本実施形態のエキシマランプ１の別構成を説明する。 <Other configuration>
Hereinafter, another configuration of the excimer lamp 1 of the present embodiment will be described.

（１）図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、エキシマランプ１が備える発光管１０を一重管構造とすることも可能である。以下の実施形態においても同様である。 (1) As shown in FIGS. 2A and 2B, the arc tube 10 included in the excimer lamp 1 may have a single tube structure. The same applies to the following embodiments.

図２Ａ及び図２Ｂは、第一実施形態に係るエキシマランプの別の一例を模式的に示す構造図である。図２Ａは管軸方向に沿った断面図であり、図２Ｂは、図２ＡにおけるＡ２−Ａ２線断面図である。 2A and 2B are structural views schematically showing another example of the excimer lamp according to the first embodiment. 2A is a cross-sectional view along the tube axis direction, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line A2-A2 in FIG. 2A.

図２Ａ及び図２Ｂに示すエキシマランプ１において、発光管１０は、単一の管で構成され、発光管１０の内部には、放電用ガスが封入されると共に、管軸方向（Ｘ方向）に延伸する第二電極２２が配置されている。また、図１Ａ及び図１Ｂで参照した二重管構造の場合と同様、第一電極２１が発光管１０の外側面（図２Ａ及び図２Ｂ内における外側面１７）に密接した配置されている。第一電極２１は電源線４１に接続され、第二電極２２は電源線４２に接続される。 In the excimer lamp 1 shown in FIG. 2A and FIG. 2B, the arc tube 10 is constituted by a single tube, and the arc tube 10 is filled with a discharge gas, and in the tube axis direction (X direction). The extending second electrode 22 is disposed. Further, as in the case of the double tube structure referred to in FIGS. 1A and 1B, the first electrode 21 is disposed in close contact with the outer surface of the arc tube 10 (the outer surface 17 in FIGS. 2A and 2B). The first electrode 21 is connected to the power line 41 and the second electrode 22 is connected to the power line 42.

かかる一重管構造を示すエキシマランプ１においても、ベース３０と発光管１０の外側面１７とが接着層３を介して固定的に接触しているため、ベース３０の内側への水分の流入が抑制される。なお、図２Ｂにおいても、図１Ｂと同様に、接着層３の図示が省略されている。 Also in the excimer lamp 1 having such a single tube structure, since the base 30 and the outer surface 17 of the arc tube 10 are fixedly in contact with each other through the adhesive layer 3, the inflow of moisture to the inside of the base 30 is suppressed. Is done. Also in FIG. 2B, the illustration of the adhesive layer 3 is omitted as in FIG. 1B.

（２）図３Ａ及び図３Ｂに示すように、発光管１０のうちの、一方の端部１０ａ側にのみベース３０を備えるものとしても構わない。図３Ａは、図１Ａの構成において一方の端部１０ａ側にのみベース３０を備えた場合に対応し、図３Ｂは、図２Ａの構成において一方の端部１０ａ側にのみベース３０を備えた場合に対応する。 (2) As shown in FIGS. 3A and 3B, the base 30 may be provided only on one end 10 a side of the arc tube 10. 3A corresponds to the case where the base 30 is provided only on one end 10a side in the configuration of FIG. 1A, and FIG. 3B is the case where the base 30 is provided only on one end 10a side in the configuration of FIG. 2A. Corresponding to

［第二実施形態］
エキシマランプの第二実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。本実施形態のエキシマランプ１は、第一実施形態と比較してベース３０の内側面３１に凹凸加工が施されている点のみが異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。図４Ａ〜図４Ｃにベース３０の構造例を模式的に示す。図４Ａ〜図４Ｃにおいて、（ａ）がベース３０の模式的な斜視図であり、（ｂ）がベース３０の内側面３１の一部拡大図である。 [Second Embodiment]
The second embodiment of the excimer lamp will be described with a focus on differences from the first embodiment. The excimer lamp 1 of the present embodiment is different from the first embodiment only in that the inner surface 31 of the base 30 is subjected to uneven processing, and the other parts are common to the first embodiment. 4A to 4C schematically show structural examples of the base 30. FIG. 4A to 4C, (a) is a schematic perspective view of the base 30, and (b) is a partially enlarged view of the inner side surface 31 of the base 30.

図４Ａに示される例では、ベース３０の内側面３１上に、アイランド状の突起３７ａが複数形成されることで、表面に凹凸加工されている。図４Ｂ及び図４Ｃに示される例では、ベース３０の内側面３１上に、発光管１０の管軸方向（Ｘ方向）に延伸する溝３７ｂが複数形成されることで、表面に凹凸加工が施されている。なお、図４Ｂと図４Ｃとでは、溝３７ｂの形状が異なっている。図４Ｂの例ではＸ方向に見て溝３７ｂが矩形状を示し、図４Ｃの例ではＸ方向に見て溝３７ｂが三角形状を示す。なお、突起３７ａの配置態様や形状、並びに溝３７ｂの形状については、種々の変形が可能である。 In the example shown in FIG. 4A, a plurality of island-shaped protrusions 37a are formed on the inner side surface 31 of the base 30, so that the surface is processed to be uneven. In the example shown in FIG. 4B and FIG. 4C, a plurality of grooves 37 b extending in the tube axis direction (X direction) of the arc tube 10 are formed on the inner surface 31 of the base 30, so that the surface is roughened. Has been. 4B and 4C, the shape of the groove 37b is different. In the example of FIG. 4B, the groove 37b has a rectangular shape when viewed in the X direction, and in the example of FIG. 4C, the groove 37b has a triangular shape when viewed in the X direction. In addition, various deformation | transformation are possible about the arrangement | positioning aspect and shape of the protrusion 37a, and the shape of the groove | channel 37b.

本実施形態の構成によれば、仮に水分がベース３０の内側に流入した場合であっても、ベース３０の内側面３１上において表面張力が発生し、ベース３０の内側面３１を伝って内底面３３（図１Ｃ参照）側へと流れやすくなる。この結果、第二電極２２側へと水が流れ込んで第一電極２１と第二電極２２との間で短絡が発生するのを抑制できる。特に、図４Ｂ及び図４Ｃに示すような溝部３７ｂを形成することで、この溝部３７ｂの延伸方向に沿って水を導きやすくなり、第二電極２２側に水が流れるのを抑制できる。なお、図４Ｂと図４Ｃとを対比した場合には、図４Ｂに示すように溝部３７ｂの形状を矩形にすることで、表面張力の効果が高まり、水を導きやすくなる。 According to the configuration of this embodiment, even if moisture flows into the inside of the base 30, surface tension is generated on the inner side surface 31 of the base 30, and the inner bottom surface is transmitted along the inner side surface 31 of the base 30. It becomes easy to flow to the 33 (refer FIG. 1C) side. As a result, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit between the first electrode 21 and the second electrode 22 due to water flowing into the second electrode 22 side. In particular, by forming the groove portion 37b as shown in FIGS. 4B and 4C, water can be easily guided along the extending direction of the groove portion 37b, and water can be prevented from flowing to the second electrode 22 side. In addition, when FIG. 4B and FIG. 4C are contrasted, as shown to FIG. 4B, the effect of surface tension increases and it becomes easy to guide water by making the shape of the groove part 37b rectangular.

［第三実施形態］
エキシマランプの第三実施形態につき、第一実施形態と異なる箇所を中心に説明する。図５に示す本実施形態のエキシマランプ１は、第一実施形態と比較してヒータ６０を備える点が異なり、他の部分は第一実施形態と共通である。なお、図５に示すエキシマランプ１は、図１Ａにならって、ベース３０が発光管１０の管軸方向（Ｘ方向）に係る両端に設けられている場合が図示されているが、図３Ａに示したように、発光管１０の一方の端部にのみベース３０が設けられている構成であっても構わない。 [Third embodiment]
The third embodiment of the excimer lamp will be described with a focus on differences from the first embodiment. The excimer lamp 1 of this embodiment shown in FIG. 5 is different from the first embodiment in that it includes a heater 60, and the other parts are common to the first embodiment. The excimer lamp 1 shown in FIG. 5 is illustrated in the case where the bases 30 are provided at both ends in the tube axis direction (X direction) of the arc tube 10 as in FIG. 1A. As shown, the base 30 may be provided only at one end of the arc tube 10.

ヒータ６０は、ベース３０の外側面３２上に設置され、ベース３０を加熱する。なお、ヒータ６０は、ベース３０の外底面３４に設置されていても構わないし、内側の面（３１，３３）に設置されていても構わない。更には、ベース３０に対する加熱が可能な態様であれば、必ずしもベース３０に接触して設置されなくても構わない。 The heater 60 is installed on the outer surface 32 of the base 30 and heats the base 30. The heater 60 may be installed on the outer bottom surface 34 of the base 30 or may be installed on the inner surfaces (31, 33). Furthermore, as long as the base 30 can be heated, the base 30 may not necessarily be installed.

また、図５では、ヒータ６０がベース３０の外側面３２を周方向に取り囲むように配置されている場合について図示されているが、ベース３０の面の一部分に一箇所設けられているものとしても構わないし、離散的に複数箇所設けられていても構わない。 5 shows the case where the heater 60 is arranged so as to surround the outer surface 32 of the base 30 in the circumferential direction, it may be provided at one part of the surface of the base 30. Of course, a plurality of locations may be provided discretely.

ヒータ６０は、種々の手段で構成できる。一例として、ヒータ６０は、抵抗体で構成され、通電により生じるジュール熱を用いてベース３０を加熱することができる。他の例として、ヒータ６０はエキシマランプ１とは別の光源体で構成され、当該光源体からの放射熱を用いてベース３０を加熱することができる。これにより、仮に水分がベース３０の内側に流入した場合であっても、ヒータ６０によってベース３０が加熱されるため、ベース３０の内側の温度が上昇し、水分を蒸発させることができる。 The heater 60 can be configured by various means. As an example, the heater 60 is composed of a resistor, and can heat the base 30 using Joule heat generated by energization. As another example, the heater 60 is formed of a light source body different from the excimer lamp 1 and can heat the base 30 using radiant heat from the light source body. Thereby, even if moisture flows into the inside of the base 30, since the base 30 is heated by the heater 60, the temperature inside the base 30 rises and the moisture can be evaporated.

この場合、特に、発光管１０とベース３０の内底面３３との間に間隙５０を形成しておくことで、接着層３の主成分を構成する無機材料の多孔質の孔部を通じて水蒸気をエキシマランプ１の外部に効率的に排出できる。 In this case, in particular, by forming a gap 50 between the arc tube 10 and the inner bottom surface 33 of the base 30, water vapor is excimer through the porous holes of the inorganic material constituting the main component of the adhesive layer 3. It can be efficiently discharged outside the lamp 1.

更に、本実施形態のエキシマランプ１は、図６に示されるように、ベース３０の温度を測定する温度測定器６１、及びヒータ６０の出力調整を行う制御部６２を備えるものとしても構わない。 Furthermore, as shown in FIG. 6, the excimer lamp 1 according to the present embodiment may include a temperature measuring device 61 that measures the temperature of the base 30 and a control unit 62 that adjusts the output of the heater 60.

温度測定器６１は、例えばサーミスタなどで構成される。制御部６２は、温度測定器６１で測定されたベース３０の温度に関する情報に基づき、ベース３０の温度を所定の目標温度になるように、ヒータ６０の出力を自動的に調整する。これにより、例えばエキシマランプ１が低出力又は不点灯である場合においても、ベース３０が自動的に加熱されるため、仮に、水分がベース３０の内側に流入した場合であっても水分を蒸発させることができる。 The temperature measuring device 61 is composed of, for example, a thermistor. The control unit 62 automatically adjusts the output of the heater 60 based on the information about the temperature of the base 30 measured by the temperature measuring device 61 so that the temperature of the base 30 becomes a predetermined target temperature. Thereby, for example, even when the excimer lamp 1 is low in power or not lit, the base 30 is automatically heated. Therefore, even if the water flows into the base 30, the water is evaporated. be able to.

温度測定器６１は、ベース３０の面のうち、ヒータ６０が設置されている面とは異なる面上に配置されるのが好ましい。例えば、図６に示すように、ヒータ６０がベース３０の外側面３２に設置されている場合には、温度測定器６１を外底面３４に設置することができる。 The temperature measuring device 61 is preferably arranged on a surface of the base 30 that is different from the surface on which the heater 60 is installed. For example, as shown in FIG. 6, when the heater 60 is installed on the outer surface 32 of the base 30, the temperature measuring device 61 can be installed on the outer bottom surface 34.

なお、本実施形態においても、図２Ａに示すような、いわゆる一重管構造の発光管１０を有するエキシマランプ１としても構わない。また、第二実施形態で上述したように、ベース３０の内側面３１に凹凸加工が施されているものとしても構わない。 Also in this embodiment, an excimer lamp 1 having a so-called single-tube arc tube 10 as shown in FIG. 2A may be used. Further, as described above in the second embodiment, the inner surface 31 of the base 30 may be subjected to uneven processing.

［別実施形態］
上記各実施形態では、発光管１０と、ベース３０の内底面３３との間において、間隙５０が形成されているものとした。しかし、エキシマランプ１において、間隙５０が存在しない構成も採用可能である。 [Another embodiment]
In each of the above embodiments, the gap 50 is formed between the arc tube 10 and the inner bottom surface 33 of the base 30. However, the excimer lamp 1 may be configured such that the gap 50 does not exist.

１：エキシマランプ
３：接着層
１０：発光管
１０ａ，１０ｂ：発光管の端部
１１：外側管
１１ａ：外側管の外側面
１２：内側管
１４：封止壁
１７：一重管構造の発光管の外側面
２１：第一電極
２２：第二電極
３０：ベース
３１：ベースの内側面
３２：ベースの外側面
３３：ベースの内底面
３４：ベースの外底面
３７ａ：突起
３７ｂ：溝
４０：電源
４１：電源線
４２：電源線
５０：間隙
６０：ヒータ
６１：温度測定器
６２：制御部
Ｓ１：発光空間 1: Excimer lamp 3: Adhesive layer 10: Arc tube 10a, 10b: End of arc tube 11: Outer tube 11a: Outer surface of outer tube 12: Inner tube 14: Sealing wall 17: Single tube structure arc tube Outer side surface 21: First electrode 22: Second electrode 30: Base 31: Inner side surface of base 32: Outer side surface of base 33: Inner bottom surface of base 34: Outer bottom surface of base 37a: Protrusion 37b: Groove 40: Power supply 41: Power line 42: Power line 50: Gap 60: Heater 61: Temperature measuring device 62: Control unit S1: Light emitting space

Claims

An arc tube having a light emitting space filled with a discharge gas;
A first electrode provided on the outer surface of the arc tube;
A second electrode provided at a position spaced apart from the light emitting space in the radial direction of the arc tube with respect to the first electrode;
At the end portion in the tube axis direction of the arc tube, a base having a bottomed cylindrical shape formed so as to surround the outer surface of the arc tube,
An excimer lamp comprising: an adhesive layer mainly composed of an inorganic material, which fixedly connects an outer surface of the arc tube and an inner surface of the base.

2. The excimer lamp according to claim 1, wherein the arc tube is fixed to the base with a gap in the tube axis direction with respect to an inner bottom surface of the base.

3. The excimer lamp according to claim 1, wherein the base has an uneven surface formed on an inner side surface of the base.

The excimer lamp according to claim 3, wherein the base has a plurality of grooves extending in a direction parallel to the tube axis direction on an inner surface of the base.

The excimer lamp according to claim 1, further comprising a heater for heating the base.

The excimer lamp according to claim 5, wherein the heater is placed on an outer surface or an outer bottom surface of the base.

A temperature measuring device for measuring the temperature of the base;
The excimer lamp according to claim 5, further comprising: a control unit that automatically adjusts the output of the heater based on the temperature of the base measured by the temperature measuring device.

The power supply line which penetrated the bottom part of the base from the outside of the base, and was connected to the first electrode and the second electrode was provided. Excimer lamp.

The arc tube has an outer tube and an inner tube disposed inside the outer tube, and the outer tube and the inner tube are sealed at both ends in the tube axis direction. Presents a tube structure,
The first electrode is formed on an outer surface of the outer tube;
The excimer lamp according to claim 1, wherein the second electrode is formed on an inner surface of the inner tube.

The arc tube has a single tube structure,
The first electrode is formed on an outer surface of the arc tube,
The excimer lamp according to claim 1, wherein the second electrode is formed in a tube of the arc tube.