JP2019148503A - 圧電磁歪複合型の磁界センサー及び磁気発電デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーの断面構造を示す模式図である。図1に示すように、本実施形態に係る磁界センサー1Aは、下部磁歪層3と、圧電部としての圧電層5と、上部磁歪層7と、電圧検出部11とを備える。下部磁歪層3、圧電層5、及び上部磁歪層7は、この順に積層されている。
次に、本発明の第2実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーについて説明する。第2実施形態以降の各実施形態の説明においては、他の実施形態と同様の要素については、同様の符号を付すことにより、その詳細な説明を省略する場合がある。
次に、本発明の第3実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーについて説明する。図3は、第3実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーの断面構造を示す模式図である。本実施形態に係る磁界センサー1Cは、圧電部の構成と電圧検出部11の電気的接続において、第2実施形態の磁界センサー1Bと異なる。具体的には、本実施形態の圧電部20Xは、第1電極層22と第2電極層24をさらに有する点において、第2実施形態の磁界センサー1Bの圧電部20と異なる。
次に、本発明の第4実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーについて説明する。図4は、第4実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーの断面構造を示す模式図である。本実施形態に係る磁界センサー1Dは、圧電層の構成と電圧検出部11の電気的接続において、第1実施形態の磁界センサー1Aと異なる。具体的には、本実施形態の磁界センサー1Dの圧電層30は、第1実施形態の圧電層5と同様にマルチフェロイック材料で構成されているが、誘電分極の方向が互いに異なる2つの部分を有する点において、第1実施形態の圧電層5と異なる。
次に、本発明の第5実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーについて説明する。図5は、第5実施形態に係る圧電磁歪複合型の磁界センサーの断面構造を示す模式図である。本実施形態に係る磁界センサー1Eは、第4実施形態の磁界センサー1Dと圧電部の構成において異なり、第2実施形態の磁界センサー1Bの特徴部分を、第4実施形態の磁界センサー1Dに適用した構成に対応する。
次に、本発明の実施形態に係る磁気発電デバイスについて説明する。図6は、実施形態に係る磁気発電デバイスの構成を示すブロック図である。図6に示すように、実施形態に係る磁気発電デバイス50は、上述のいずれかの実施形態の磁界センサー1A(1B、1C、1D、1E)と、整流部51と、蓄電部53を備える。磁気発電デバイス50は、磁界センサー1A(1B、1C、1D、1E)に印加された磁界から電力を発生し、当該電力を蓄電することができる。具体的には、上述のように外部磁界の印加によって磁界センサー1A(1B、1C、1D、1E)の圧電層に電圧が発生する。その電圧に伴う電力は、磁界センサー1A(1B、1C、1D、1E)に接続された整流部51に送られて整流され、その後、二次電池等を有する蓄電部において蓄電される。機能部55は、例えばセンサーモジュール及び無線通信モジュールを有し、上述の蓄電部において蓄電された電力により、所望の物理量のセンシングと、その取得データを無線で通信すること等を行う。
Claims (15)
- マルチフェロイック材料で構成される第1圧電層と、
前記第1圧電層上に設けられた上部磁歪層と、
圧電効果によって前記第1圧電層に生じた電圧を検出する電圧検出部と、
を備え、
前記第1圧電層から発生する静磁界又は交換結合磁界が、バイアス磁界として前記上部磁歪層に印加される、圧電磁歪複合型の磁界センサー。 - 前記第1圧電層の下に設けられた下部磁歪層をさらに備え、
前記第1圧電層から発生する静磁界又は交換結合磁界が、バイアス磁界として前記上部磁歪層及び前記下部磁歪層に印加される、請求項1に記載の磁界センサー。 - 前記第1圧電層は、前記バイアス磁界として交換結合磁界を発生する、請求項1又は2に記載の磁界センサー。
- 前記第1圧電層の前記マルチフェロイック材料は、強磁性又はフェリ磁性を示す、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁界センサー。
- 前記第1圧電層の前記マルチフェロイック材料は、反強磁性を示す、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁界センサー。
- 前記第1圧電層の厚さは、50nm以上である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁界センサー。
- 前記第1圧電層の自発的な誘電分極の方向は、積層方向に沿っている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁界センサー。
- 前記第1圧電層と積層された第2圧電層をさらに備え、
前記第2圧電層は、マルチフェロイック材料以外の材料で構成され、
前記第2圧電層の圧電定数は、前記第1圧電層の圧電定数よりも大きく、
前記電圧検出部は、圧電効果によって前記第1圧電層及び/又は前記第2圧電層に生じた電圧を検出する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁界センサー。 - 前記第2圧電層に接するように、かつ、前記第2圧電層を積層方向に挟むように設けられた第1電極層及び第2電極層をさらに備え、
前記電圧検出部は、前記第1電極層及び前記第2電極層を介して、圧電効果によって前記第2圧電層に生じた電圧を検出する、請求項8に記載の磁界センサー。 - 前記第1圧電層は、
前記上部磁歪層の積層方向下方に位置する第1部分と、
前記第1部分と積層面内方向に隣接する第2部分と、
を有し、
前記第1部分の自発的な誘電分極の方向は、積層方向に沿っており、前記第2部分の自発的な誘電分極の方向は、積層面内方向に沿っており、
前記電圧検出部は、圧電効果によって前記第1圧電層の前記第2部分に生じた電圧を検出する、請求項1〜9のいずれか一項に記載の磁界センサー。 - 前記第1圧電層の前記第2部分の側面及び膜面に設けられた圧電部電極層をさらに備え、前記電圧検出部は、前記圧電部電極層を介して前記第2部分に生じた電圧を検出する、請求項10に記載の磁界センサー。
- 前記圧電部電極層を構成する材料は、前記第1圧電層の前記第2部分を構成する材料に、引張り歪を与える、請求項11に記載の磁界センサー。
- 前記第1圧電層を構成する前記マルチフェロイック材料は、BiFeO3、BiMnO3、GaFeO3、AlFeO3、(Ga,Al)FeO3、YMnO3、CuFeO2、Cr2O3、Ni3B7O13I、LiMnPO4、Y3Fe5O12、TbPO4、LiCoPO4からなる群から選択される少なくとも一つである、請求項1〜12のいずれか一項に記載の磁界センサー。
- 前記上部磁歪層を構成する材料は、Co、Ni、Fe、CoNi、NiFe、CoFe、FeAl、CoPt、NiCoCr、FeB、CoFeB、CoFeSiB、FeBSiP、FeBSiC、Ni2MnGa、FeCoNiBSi、TbFeCo、Coフェライト、Niフェライト、Cuフェライト、Liフェライト、Mnフェライト、NiCoフェライト、NiCuCoフェライト、Fe3О4、TbFe2、DyFe2、ErFe2、TmFe2、SmFe2、GaFe、Tb(0.27〜0.3)Dy(0.7〜0.73)Fe(1.9〜2.0)からなる群から選択される少なくとも一つである、請求項1〜13のいずれか一項に記載の磁界センサー。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載された磁界センサーと、
圧電効果によって前記第1圧電層及び/又は前記第2圧電層に生じた電力を蓄電する蓄電部と、
を備える磁気発電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2019148503A true JP2019148503A (ja) | 2019-09-05 |
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JP2018033497A Active JP7095309B2 (ja) | 2018-02-27 | 2018-02-27 | 圧電磁歪複合型の磁界センサー及び磁気発電デバイス |
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