JP2019145934A - Memsトランスデューサ装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
Description
しかしながら、上記のように広い音響孔を有するマイクロフォン装置を、例えば工場内の機器の予兆保全のために用いるような場合は、防水・防塵といった耐環境性を維持することができないという問題がある。
しかし、上記の保護カバーでは、機器から発出している電磁波を遮蔽することはできず、誘導雑音が生じるという問題がある。
請求項2の発明は、上記導電性は、上記MEMSトランスデューサの真上の領域をその他の領域よりも細かい網目としたことを特徴とする。
請求項3の発明は、上記導電性メッシュを、超音波領域の音響信号が通過可能な網目としたことを特徴とする。
請求項5の発明は、上記導電性メッシュを形成した外装膜は、上記MEMSトランスデューサの真上の領域がその他の領域よりも細かい網目となるように上記薄膜に印刷して形成したことを特徴とする。
請求項6の発明は、上記導電性メッシュを形成した外装膜は、超音波領域の音響信号を通過可能な網目となるように上記薄膜に印刷して形成したことを特徴とする。
また、基板のキャビティにMEMSトランスデューサ及び信号処理回路を実装し、そのキャビティを塞ぐように、通音防水特性を持つ薄膜に金属ペーストメッシュを印刷した外装膜を備えた蓋体を接着することにより、装置を容易に製作することができる。
本発明のMEMSトランスデューサを用いると、超音波領域の音響信号を検出することで、例えば工場内の各種機器の予兆保全に使用することが可能となる。
上記MEMSトランスデューサ14は、音響信号を電気信号に変換し、機器等から発せられる異常音等を検出し、上記集積回路15は、MEMSトランスデューサ14で得られた信号を増幅する増幅素子を含み、増幅後の必要な信号処理を行うためのIC回路である。
そして、図2(B)のように、それぞれのキャビティ12において、基板10a上に、MEMSトランスデューサ14と信号処理回路である集積回路15を実装し、これらを金属ワイヤ16で接続する。
金属(ワイヤ)メッシュにおいて、その網目の細かさを場所によって変えることは製造上容易ではないが、実施例では、Agペースト等の導電性ペーストを用い、通音防水膜上に印刷技術で導電性メッシュ20を形成することにより、安価なコストで量産できるようにしている。
また、MEMSトランスデューサ14と集積回路15は一体として形成してもよい。この場合、集積回路と一体となったMEMSトランスデューサの真上の網目を他の領域の網目に比べて細かくなるようにすると、網目の細かい領域で電磁波を遮断し、網目の粗い領域で音響信号を通過させることができる。
10b…側壁、 12…キャビティ、
14…MEMSトランスデューサ、
15…集積回路、 16…ワイヤ、
18…蓋体、 19…通音防水膜、
20…導電性メッシュ、
20a,20b…メッシュ部。
Claims (6)
- 基板上に実装されたMEMSトランスデューサを有し、
上記MEMSトランスデューサが設けられた領域を蓋体で覆うMEMSトランスデューサ装置であって、
上記蓋体の一部又は全部が入力する信号の通過特性及び防水特性を有する薄膜に電磁波を遮蔽する導電性メッシュを付加した外装膜で形成されていることを特徴とするMEMSトランスデューサ装置。 - 上記導電性メッシュは、上記MEMSトランスデューサの真上の領域をその他の領域よりも細かい網目としたことを特徴とする請求項1記載のMEMSトランスデューサ装置。
- 上記導電性メッシュは、超音波領域の音響信号が通過可能な網目としたことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のMEMSトランスデューサ装置。
- 集合基板上に設けられた複数のキャビティのそれぞれにMEMSトランスデューサを実装し、
上記集合基板のMEMSトランスデューサが実装されたキャビティの上面を塞ぐように、入力する信号の通過特性及び防水特性を有する薄膜に電磁波を遮蔽する導電性メッシュを形成した外装膜を上記キャビティの上面の一部又は全部に形成した蓋体を接着し、
上記蓋体が接着された上記集合基板を切断して個々の装置を製作することを特徴とするMEMSトランスデューサ装置の製造方法。 - 上記導電性メッシュを形成した外装膜は、上記MEMSトランスデューサの真上の領域がその他の領域よりも細かい網目となるように上記薄膜に印刷して形成したことを特徴とする請求項4記載のMEMSトランスデューサ装置の製造方法。
- 上記導電性メッシュを形成した外装膜は、超音波領域の音響信号を通過可能な網目となるように上記薄膜に印刷して形成したことを特徴とする請求項4又は5のいずれかに記載のMEMSトランスデューサ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018026718A JP2019145934A (ja) | 2018-02-19 | 2018-02-19 | Memsトランスデューサ装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018026718A JP2019145934A (ja) | 2018-02-19 | 2018-02-19 | Memsトランスデューサ装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019145934A true JP2019145934A (ja) | 2019-08-29 |
Family
ID=67773988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018026718A Pending JP2019145934A (ja) | 2018-02-19 | 2018-02-19 | Memsトランスデューサ装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019145934A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004087953A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電子機器用筐体 |
JP2008271425A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサおよびその製造方法 |
JP2009044600A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Panasonic Corp | マイクロホン装置およびその製造方法 |
JP2010521861A (ja) * | 2007-03-14 | 2010-06-24 | エポス ディベロップメント リミテッド | Memsマイクロホン |
JP2015530030A (ja) * | 2012-08-10 | 2015-10-08 | ノールズ エレクトロニクス,リミテッド ライアビリティ カンパニー | 汚染物質の浸入を防ぐためのバリアを備えたマイクアセンブリ |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004087953A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Tokai Rubber Ind Ltd | 電子機器用筐体 |
JP2010521861A (ja) * | 2007-03-14 | 2010-06-24 | エポス ディベロップメント リミテッド | Memsマイクロホン |
JP2008271425A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサおよびその製造方法 |
JP2009044600A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Panasonic Corp | マイクロホン装置およびその製造方法 |
JP2015530030A (ja) * | 2012-08-10 | 2015-10-08 | ノールズ エレクトロニクス,リミテッド ライアビリティ カンパニー | 汚染物質の浸入を防ぐためのバリアを備えたマイクアセンブリ |
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