JP2019145839A - Multilayer ceramic electronic component - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 132
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 25
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 9
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 29
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 19
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 17
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 17
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 11
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 3
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101100513612 Microdochium nivale MnCO gene Proteins 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IRIAEXORFWYRCZ-UHFFFAOYSA-N Butylbenzyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC1=CC=CC=C1 IRIAEXORFWYRCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 2
- -1 etc. Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 2
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000807 Ga alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical class OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
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Abstract
Description
本発明は、誘電体層がきわめて薄い積層セラミック電子部品に関する。 The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component having a very thin dielectric layer.
電子機器の小型化および薄型化と共に、その内部に収容される積層セラミック電子部品の小型化および薄型化が求められている。そこで、積層セラミック電子部品における誘電体層を薄くすることが求められている。 Along with miniaturization and thinning of electronic devices, there is a demand for miniaturization and thinning of multilayer ceramic electronic components housed therein. Therefore, it is required to make the dielectric layer in the multilayer ceramic electronic component thin.
たとえば特許文献1にも示すように、積層セラミック電子部品における誘電体層を薄くすると、その製造時にクラックが生じることが知られており、そのクラックを防止するための方法が開発されている。 For example, as shown in Patent Document 1, it is known that when a dielectric layer in a multilayer ceramic electronic component is thinned, a crack is generated during its manufacture, and a method for preventing the crack has been developed.
しかしながら、従来では、誘電体層の厚みが1μm程度が限界であったが、最近の技術革新により、誘電体層の厚みを0.5μm以下にする技術が開発されている。従来では、誘電体層の厚みを0.5μm以下、さらには0.4μm以下に薄くした場合において、どのような手段によりクラックの発生を防止し、しかも静電容量を確保するかに関する技術が確立されていなかった。 Conventionally, however, the thickness of the dielectric layer is limited to about 1 μm. However, due to recent technological innovation, a technique for reducing the thickness of the dielectric layer to 0.5 μm or less has been developed. Conventionally, a technology has been established regarding how to prevent the occurrence of cracks and ensure the capacitance when the thickness of the dielectric layer is reduced to 0.5 μm or less, and further to 0.4 μm or less. Was not.
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、誘電体層の厚みを薄くした場合においても、クラック発生を抑制することができ、しかも静電容量の低下が少ない積層セラミック電子部品を提供することである。 The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide a multilayer ceramic electronic component that can suppress the generation of cracks even when the thickness of the dielectric layer is reduced, and has a small decrease in capacitance. Is to provide.
本発明者等は、上記目的について鋭意検討した結果、特定の寸法関係を満足させるのみで、誘電体層の厚みを0.5μm以下、さらには0.4μm以下に薄くした場合においても、クラック発生を抑制することができ、しかも静電容量の低下が少ない積層セラミック電子部品を提供することができることを見出し、本発明を完成させるに至った。 As a result of intensive studies on the above-mentioned object, the present inventors have only satisfied a specific dimensional relationship, and even when the thickness of the dielectric layer is reduced to 0.5 μm or less, and further to 0.4 μm or less, cracks are generated. It has been found that a multilayer ceramic electronic component can be provided that can suppress the decrease in electrostatic capacity and has a small decrease in capacitance, and the present invention has been completed.
すなわち、本発明に係る積層セラミック電子部品は、
複数の誘電体層と、複数の内部電極層とが交互に積層されて形成されたセラミック素体と、
セラミック素体の表面に前記内部電極層と接続される少なくとも一対の外部電極とを有する積層セラミック電子部品であって、
前記誘電体層の厚みは0.4μm以下であり、
前記セラミック素体の幅方向に沿った幅寸法(W0)は0.59mm以下であり、
前記セラミック素体の幅方向に沿って、前記セラミック素体の外面から前記内部電極層の端部までの隙間寸法(Wgap)は0.010〜0.025mmであり、
前記隙間寸法と前記幅寸法との比率(Wgap/W0寸法)は0.025以上であることを特徴とする。
That is, the multilayer ceramic electronic component according to the present invention is
A ceramic body formed by alternately laminating a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers;
A multilayer ceramic electronic component having at least a pair of external electrodes connected to the internal electrode layer on the surface of the ceramic body,
The dielectric layer has a thickness of 0.4 μm or less,
The width dimension (W0) along the width direction of the ceramic body is 0.59 mm or less,
A gap dimension (Wgap) from the outer surface of the ceramic body to the end of the internal electrode layer along the width direction of the ceramic body is 0.010 to 0.025 mm.
The ratio between the gap dimension and the width dimension (Wgap / W0 dimension) is 0.025 or more.
本発明によれば、誘電体層の厚みを0.5μm以下、さらには0.4μm以下に薄くした場合においても、クラック発生を抑制することができ、しかも静電容量の低下が少ない積層セラミック電子部品を提供することができる。 According to the present invention, even when the thickness of the dielectric layer is reduced to 0.5 μm or less, and further to 0.4 μm or less, the occurrence of cracks can be suppressed, and the multilayer ceramic electronic with a small decrease in capacitance is obtained. Parts can be provided.
好ましくは、前記内部電極層の厚み(te)と前記誘電体層の厚み(td)との比率(te/td)が、1.05以下である。 Preferably, a ratio (te / td) between the thickness (te) of the internal electrode layer and the thickness (td) of the dielectric layer is 1.05 or less.
好ましくは、積層方向に沿って前記内部電極層の間に位置する前記誘電体層を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、
前記積層方向に沿って前記内部電極層が前記誘電体層を挟んで積層する内装領域の積層方向外側に位置する外装領域に位置する第2誘電体粒子の平均粒径をDgとした場合に、
Dg/Di≧1である。
Preferably, the average particle diameter of the first dielectric particles constituting the dielectric layer positioned between the internal electrode layers along the stacking direction is Di,
When the average particle diameter of the second dielectric particles located in the exterior region located outside the interior direction of the interior region in which the internal electrode layer is laminated with the dielectric layer sandwiched along the lamination direction is Dg,
Dg / Di ≧ 1.
あるいは、好ましくは、積層方向に沿って前記内部電極層の間に位置する前記誘電体層を構成する粒子の平均粒径をDiとし、
いずれか一方の前記外部電極に接続する前記内部電極層の引出部の間に位置する引出領域を構成する第3誘電体粒子の平均粒径をDhとした場合に、
Dh/Di≧1である。
Alternatively, preferably, the average particle diameter of the particles constituting the dielectric layer positioned between the internal electrode layers along the stacking direction is Di,
When the average particle diameter of the third dielectric particles constituting the extraction region located between the extraction portions of the internal electrode layer connected to any one of the external electrodes is Dh,
Dh / Di ≧ 1.
このような関係にある時に、誘電体層が薄層化しても、静電容量がさらに向上する。一般的には、誘電体層が薄くなるにつれて、比誘電率が低下することが報告されている。しかしながら、本発明者等は、特定領域の誘電体粒子の粒径をコントロールすることで、誘電体層を薄くしても比誘電率の低下を抑制することができることを見出した。 In such a relationship, even if the dielectric layer is thinned, the capacitance is further improved. In general, it has been reported that the dielectric constant decreases as the dielectric layer becomes thinner. However, the present inventors have found that by controlling the particle size of the dielectric particles in a specific region, it is possible to suppress a decrease in relative dielectric constant even if the dielectric layer is thinned.
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。 Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
積層セラミックコンデンサの全体構成
まず、本発明に係る積層セラミック電子部品の一実施形態として、積層セラミックコンデンサの全体構成について説明する。
First, the overall configuration of a multilayer ceramic capacitor will be described as an embodiment of the multilayer ceramic electronic component according to the present invention.
図1に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ2は、コンデンサ素体4と、第1端子電極6と第2端子電極8とを有する。コンデンサ素体4は、内側誘電体層10と、内部電極層12とを有し、内側誘電体層10の間に、内部電極層12が交互に積層してある。内側誘電体層10と、内部電極層12とが交互に積層される部分が内装領域13である。
As shown in FIG. 1, the multilayer ceramic capacitor 2 according to this embodiment includes a capacitor body 4, a first terminal electrode 6, and a second
コンデンサ素体4は、その積層方向Z(Z軸)の両端面に、外装領域11を有する。外装領域11は、内装領域13を構成する内側誘電体層10よりも厚い誘電体層を複数積層して形成してある。
The capacitor body 4 has an
交互に積層される一方の内部電極層12は、コンデンサ素体4のY軸方向第1端部の外側に形成してある第1端子電極6の内側に対して電気的に接続してある引出部12Aを有する。また、交互に積層される他方の内部電極層12は、コンデンサ素体4のY軸方向第2端部の外側に形成してある第2端子電極8の内側に対して電気的に接続してある引出部12Bを有する。
One of the internal electrode layers 12 that are alternately stacked is electrically connected to the inside of the first terminal electrode 6 that is formed outside the first end of the capacitor body 4 in the Y-axis direction.
内装領域13は、容量領域14と引出領域15A,15Bとを有する。容量領域14は、積層方向に沿って内部電極層12が内側誘電体層10を挟んで積層する領域である。引出領域15Aは、外部電極6に接続する内部電極層12の引出部12Aの間に位置する領域である。引出領域15Bは、外部電極8に接続する内部電極層12の引出部12Bの間に位置する領域である。
The
図2に示すように、コンデンサ素体4のX軸方向の両端部には、側面保護領域16が形成してある。側面保護領域16は、内側誘電体層10および/または外装領域11の誘電体層を構成する誘電体材質と同じ、または異なる誘電体材質で構成してある。また、引出領域15Aおよび15Bは、内側誘電体層10を構成する誘電体材質と同じ、または異なる誘電体材質で構成してある。
As shown in FIG. 2,
内側誘電体層10および外装領域11を構成する誘電体層の材質は、同じでも異なっていても良く、特に限定されず、たとえばABO3 などのペロブスカイト構造の誘電体材料で構成される。ABO3 において、Aは、たとえばCa、Ba、Srなどの少なくとも一種、Bは、Ti,Zrなどの少なくとも一種である。A/Bのモル比は、特に限定されず、0.980〜1.020である。
The materials of the dielectric layers constituting the
内部電極層12の材質は、特に限定されないが、たとえばNi、Cu、Ag、Pd、Alなどの金属、またはそれらの合金を用いることができる。
Although the material of the
端子電極6および8の材質も特に限定されないが、通常、Ni,Pd,Ag,Au,Cu,Pt,Rh,Ru,Ir等の少なくとも1種、またはそれらの合金を用いることができる。通常は、Cu,Cu合金、NiまたはNi合金等や、Ag,Ag−Pd合金、In−Ga合金等が使用される。
The material of the
積層セラミックコンデンサ2の形状やサイズは、目的や用途に応じて適宜決定すればよい。積層セラミックコンデンサ2が直方体形状の場合は、通常、縦寸法L0(図1参照)は、0.2〜5.7mmであるが、本実施形態では、好ましくは0.3〜3.2mm、さらに好ましくは0.38〜2.1mm、特に好ましくは0.38〜1.60mmである。 The shape and size of the multilayer ceramic capacitor 2 may be appropriately determined according to the purpose and application. When the multilayer ceramic capacitor 2 has a rectangular parallelepiped shape, the longitudinal dimension L0 (see FIG. 1) is usually 0.2 to 5.7 mm, but in the present embodiment, preferably 0.3 to 3.2 mm. The thickness is preferably 0.38 to 2.1 mm, particularly preferably 0.38 to 1.60 mm.
なお、図1では、積層セラミックコンデンサ2の縦寸法L0を、コンデンサ素体4のY軸方向長さとして描いてあるが、端子電極6および8を含めた積層セラミックコンデンサ2のY軸方向長さと略同一である。図面では、図示の容易化のために、端子電極6および8の厚みを、実際よりも厚めに描いてあるが、実際には、それぞれ10〜50μm程度であり、縦寸法L0に比較してきわめて薄い。また、図面において、X軸、Y軸およびZ軸は、相互に垂直であり、Z軸が、内側誘電体層10および内部電極層12の積層方向に一致し、Y軸が、引出領域15Aおよび15B(引出部12Aおよび12B)が形成される方向に一致する。
In FIG. 1, the vertical dimension L0 of the multilayer ceramic capacitor 2 is drawn as the length in the Y-axis direction of the capacitor element body 4, but the length of the multilayer ceramic capacitor 2 including the
図2に示すように、積層セラミックコンデンサ2の高さ寸法H0は、内側誘電体層10および内部電極層12の積層数などにより変化するが、一般的には、0.2〜3.2mmであるが、本実施形態では、好ましくは0.2〜1.6mmである。なお、積層セラミックコンデンサ2の高さ寸法H0は、図2では、コンデンサ素体4のZ軸方向の厚みとして描いてあるが、図1に示す端子電極6および8の厚みが十分に薄いため、これらを含んだ厚みと略同一である。
As shown in FIG. 2, the height dimension H0 of the multilayer ceramic capacitor 2 varies depending on the number of laminated inner dielectric layers 10 and internal electrode layers 12, but is generally 0.2 to 3.2 mm. In this embodiment, it is preferably 0.2 to 1.6 mm. In FIG. 2, the height dimension H0 of the multilayer ceramic capacitor 2 is depicted as the thickness of the capacitor element body 4 in the Z-axis direction, but the
積層セラミックコンデンサ2の幅寸法W0は、一般的には、0.2〜5.0mmであるが、本実施形態では、0.59mm以下、好ましくは0.10〜0.59mm、さらに好ましくは0.15〜0.59mm、特に好ましくは0.185〜0.47mmである。誘電体層の厚みが0.4μm以下の場合には、幅寸法W0が大きくなりすぎると、製造後のコンデンサ素体にクラックが生じやすくなる。その原因としては、次のことが考えられる。 The width dimension W0 of the multilayer ceramic capacitor 2 is generally 0.2 to 5.0 mm, but in this embodiment, it is 0.59 mm or less, preferably 0.10 to 0.59 mm, and more preferably 0. .15 to 0.59 mm, particularly preferably 0.185 to 0.47 mm. In the case where the thickness of the dielectric layer is 0.4 μm or less, if the width dimension W0 is too large, cracks are likely to occur in the manufactured capacitor body. The following can be considered as the cause.
誘電体層の厚みが小さくなると、容量形成部である内装領域13において、内部電極層の密度が相対的に大きくなり、焼成時に側面保護領域16や外装領域11を構成するセラミック層との間に作用する応力が大きくなることなどが考えられる。特に、誘電体層の厚みが0.4μm以下であり、幅寸法W0が0.80mm以上になると容量形成部である内装領域13における内部電極の密度が大きく、さらにセラミックコンデンサ内に占める面積(体積)も大きいため、応力の影響が大きくクラックが生じやすい。
When the thickness of the dielectric layer is reduced, the density of the internal electrode layer is relatively increased in the
各内側誘電体層10の厚みtd(図2参照)は、数μm〜数十μmのものが一般的であるが、本実施形態では、0.4μm以下、好ましくは0.4〜0.1μm、さらに好ましくは0.4〜0.3μmである。内部電極層12の厚みte(図2参照)は、内側誘電体層10の厚みと同程度であることが好ましいが、さらに好ましくはte/tdが1.25未満となるように決定され、特に好ましくは、te/tdが0.95〜1.05となるように決定される。このように構成することで、クラック抑制効果が向上する。
The thickness td (see FIG. 2) of each
また、本実施形態では、図2に示す各側面保護領域16のX軸方向の幅Wgapは、セラミック素体4の幅方向(X軸方向)に沿って、セラミック素体4の外面(X軸方向の端面)から内部電極層12の端部までの隙間寸法に一致する。この幅Wgapは、0.010〜0.025mm、好ましくは0.015〜0.025mmである。この幅Wgapが小さすぎるとクラックが発生しやすくなり、この幅Wgapが大きすぎると、静電容量の低下が大きくなる傾向にある。
In the present embodiment, the width Wgap in the X-axis direction of each side
この幅Wgapは、コンデンサ2の幅寸法W0との関係で決定され、本実施形態では、それらの比率Wgap/W0は、0.025以上であり、この比率が小さすぎると、クラックが発生しやすくなる傾向にある。なお、コンデンサ素体4のX軸方向の両側に形成される各側面保護領域16のX軸方向の幅Wgapのそれぞれは、上記の条件を満足することを条件に、相互に同じでも異なっていても良い。
The width Wgap is determined in relation to the width dimension W0 of the capacitor 2. In this embodiment, the ratio Wgap / W0 is 0.025 or more. If this ratio is too small, cracks are likely to occur. Tend to be. Note that the width Wgap in the X-axis direction of each side
また、外装領域11の厚みt0(図1参照)は、特に限定されないが、好ましくは、15〜200μm、さらに好ましくは15〜80μmの範囲である。このような厚みt0に設定することで、クラックを抑制しつつ、内部電極層12や内側誘電体層10の保護を図り、しかもサイズの小型化に寄与する。コンデンサ素体4のZ軸方向の両側に形成される外装領域11の厚みt0のそれぞれは、上記の条件を満足することを条件に、相互に同じでも異なっていても良い。
Further, the thickness t0 (see FIG. 1) of the
特に、本実施形態では、内側誘電体層10を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、外装領域11に位置する第2誘電体粒子の平均粒径をDgとした場合に、好ましくはDg/Di≧1、さらに好ましくはDg/Di≧1.05、特に好ましくはDg/Di≧1.15の関係にある。このように構成することで、誘電体層が薄層化しても、静電容量がさらに向上する。一般的には、誘電体層が薄くなるにつれて、比誘電率が低下することが報告されている。しかしながら、本発明者等は、特定領域の誘電体粒子の粒径をコントロールすることで、誘電体層を薄くしても比誘電率の低下を抑制することができることを見出した。
In particular, in the present embodiment, when the average particle diameter of the first dielectric particles constituting the
また本実施形態では、内側誘電体層10を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、引出領域15Aおよび15Bを構成する第3誘電体粒子の平均粒径をDhとした場合に、好ましくはDh/Di≧1、さらに好ましくはDh/Di≧1.1、特に好ましくはDh/Di≧1.2の関係にある。このように構成することで、誘電体層が薄層化しても、静電容量がさらに向上する。一般的には、誘電体層が薄くなるにつれて、比誘電率が低下することが報告されている。しかしながら、本発明者等は、特定領域の誘電体粒子の粒径をコントロールすることで、誘電体層を薄くしても比誘電率の低下を抑制することができることを見出した。
In the present embodiment, when the average particle diameter of the first dielectric particles constituting the
誘電体層を薄くしても比誘電率の低下を抑制することができる理由としては、たとえば次のように考えられる。 The reason why the decrease in the dielectric constant can be suppressed even if the dielectric layer is made thin is considered as follows, for example.
すなわち、外装領域11または引出領域15Aおよび15Bを構成する誘電体粒子の平均粒径を、容量領域14における誘電体粒子の平均粒径よりも大きくすることで、容量領域14の誘電体に圧縮応力を与えることになると考えられる。そのために、比誘電率が向上するのではないかと考えられる。積層セラミックコンデンサ2の容量領域14の誘電体は多結晶体であるため、圧縮方向は限定されないが、特に外装領域11または引出領域15Aおよび15Bの誘電体の結晶粒径を大きくすることが、比誘電率の向上に寄与すると考えられる。
That is, by making the average particle size of the dielectric particles constituting the
特に、誘電体層10の厚みが0.5μm以下で特に効果があることが確認された。0.5μmより厚い誘電体層を有する場合においては、積層セラミックコンデンサの容量領域の誘電体に圧縮応力を与えなくても(粒子比率を制御しなくても)比誘電率は高いが、0.5μm以下の誘電体層においては、比誘電率の低下を抑制して、逆に比誘電率を向上させることができる。
In particular, it was confirmed that the
このような観点からは、引出領域15Aおよび15Bと同様な誘電体粒子で構成されることが可能な側面保護領域16における誘電体粒子に関しても、同様なことが言える。すなわち、内側誘電体層10を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、側面保護領域16を構成する第4誘電体粒子の平均粒径をDh’とした場合に、好ましくはDh’/Di≧1、さらに好ましくはDh’/Di≧1.1、特に好ましくはDh’/Di≧1.2の関係にある。
From this point of view, the same can be said for the dielectric particles in the side
積層セラミックコンデンサの製造方法
次に、本発明の一実施形態としての積層セラミックコンデンサ2の製造方法について説明する。
Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor Next, a manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor 2 as one embodiment of the present invention will be described.
まず、焼成後に図1に示す内側誘電体層10を構成することになる内側グリーンシート10aおよび外装領域11の外側誘電体層を構成することとなる外側グリーンシート11aを製造するために、内側グリーンシート用ペーストおよび外側グリーンシート用ペーストを準備する。
First, in order to manufacture the inner
内側グリーンシート用ペーストおよび外側グリーンシート用ペーストは、通常、セラミック粉末と有機ビヒクルとを混練して得られた有機溶剤系ペースト、または水系ペーストで構成される。 The inner green sheet paste and the outer green sheet paste are usually composed of an organic solvent-based paste or an aqueous paste obtained by kneading ceramic powder and an organic vehicle.
セラミック粉末の原料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、混合して用いることができる。セラミック粉体の原料は、本実施形態では、平均粒子径が0.45μm以下、好ましくは0.1〜0.3μm程度の粉体として用いられる。なお、内側グリーンシートをきわめて薄いものとするためには、グリーンシート厚みよりも細かい粉体を使用することが望ましい。 The raw material for the ceramic powder is appropriately selected from various compounds to be composite oxides and oxides, such as carbonates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like, and can be used as a mixture. In this embodiment, the raw material of the ceramic powder is used as a powder having an average particle size of 0.45 μm or less, preferably about 0.1 to 0.3 μm. In order to make the inner green sheet extremely thin, it is desirable to use a powder finer than the thickness of the green sheet.
有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。 An organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from usual various binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral.
また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方法に応じて、ターピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。 Further, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, toluene and the like according to a method to be used such as a printing method or a sheet method.
グリーンシート用ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、誘電体、副成分化合物、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されていてもよい。 The green sheet paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, subcomponent compounds, glass frit, insulators and the like, if necessary.
可塑剤としては、フタル酸ジオクチルやフタル酸ベンジルブチルなどのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが例示される。 Examples of the plasticizer include phthalate esters such as dioctyl phthalate and benzylbutyl phthalate, adipic acid, phosphate esters, glycols, and the like.
次いで、図1に示す内部電極層12を形成するための内部電極パターン層用ペーストを準備する。内部電極パターン層用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。なお、内部電極パターン層用ペーストには、必要に応じて、共材としてセラミック粉末が含まれていても良い。共材は、焼成過程において導電性粉末の焼結を抑制する作用を奏する。
Next, an internal electrode pattern layer paste for forming the
上記にて調製した内側グリーンシート用ペーストおよび内部電極パターン層用ペーストを使用して、図3に示すように、焼成後に内側誘電体層10となる内側グリーンシート10aと、焼成後に内部電極層12となる内部電極パターン層12aと、を交互に積層し、焼成後に内装領域13となる内部積層体13aを製造する。そして、内部積層体13aを製造した後に、または、その前に、外側グリーンシート用ペーストを使用して、焼成後に外装領域11の外側誘電体層となる外側グリーンシート11aを形成する。
Using the inner green sheet paste and the internal electrode pattern layer paste prepared above, as shown in FIG. 3, an inner
具体的には、まず、ドクターブレード法などにより、支持体としてのキャリアシート(たとえばPETフィルム)上に、内側グリーンシート10aを形成する。内側グリーンシート10aは、キャリアシート上に形成された後に乾燥される。
Specifically, first, the inner
次いで、上記にて形成した内側グリーンシート10aの表面に、内部電極パターン層用ペーストを用いて、内部電極パターン層12aを形成し、内部電極パターン層12aを有する内側グリーンシート10aを得る。そして、得られた内部電極パターン層12aを有する内側グリーンシート10aを交互に積層し、内部積層体13aを得る。なお、内部電極パターン層12aの形成方法としては、特に限定されないが、印刷法、転写法などが例示される。なお、接着層を介して内部電極パターン層12aを有する内側グリーンシート10aを積層してもよい。
Next, the internal
外側グリーンシート11aは、内側グリーンシート10aと同様に、支持体としてのキャリアシート上に形成される。外側グリーンシート11aは、キャリアシート上に形成された後に乾燥される。なお、外側グリーンシート11aの厚みは、内側グリーンシート10aよりも十分に厚い。
The outer
図4に示すように、内側グリーンシート10aの表面には、内部電極パターン層12aが形成され、それらの相互間には、内部電極パターン層12aの長手方向Yに沿う隙間30と、内部電極パターン層12aの短手方向Xに沿う隙間32とが形成され、これらは、平面から見て格子状のパターンとなる。これらの格子状のパターンの隙間30および32には、図3に示す段差吸収層20を形成しても良い。なお、図3では、隙間32のみが図示してある。
As shown in FIG. 4, an internal
これらの隙間30および32に段差吸収層20を形成することで、グリーンシート10aの表面で内部電極パターン層12aによる段差がなくなり、最終的に得られるコンデンサ素体4の変形防止にも寄与する。段差吸収層20は、たとえば内部電極パターン層12aと同様にして、印刷法などで形成される。段差吸収層20は、グリーンシート10aと同様なセラミック粉末と有機ビヒクルとを含むが、グリーンシート11aと異なり、印刷により形成されるために、印刷しやすいように調整してある。印刷法としては、スクリーン印刷、グラビア印刷などが例示され、特に限定されないが、好ましくはスクリーン印刷である。
By forming the
段差吸収層20を形成するための印刷ペーストにおける有機結合材成分(高分子樹脂+可塑剤)と、各種添加物は、グリーンシート用スラリーに用いられるものと同様なものが用いられる。ただし、これらは、必ずしも、グリーンシート用スラリーに用いられるものと全く同じものである必要はなく、異なっていても良い。段差吸収層20の厚みは、特に限定されないが、内部電極パターン層12aの厚みに対して、好ましくは50〜100%の厚みである。
The organic binder component (polymer resin + plasticizer) and various additives in the printing paste for forming the
なお、外側グリーンシート11aに内部積層体13aを積層するかわりに、外側グリーンシート11aに直接内側グリーンシート10aと内部電極パターン層12aとを交互に所定数積層してもよい。また、複数枚の内側グリーンシート10aと複数枚の内部電極パターン層12aとを交互に積層した積層体ユニットを予め作製しておき、それらを外側グリーンシート11aに所定数積層してもよい。
Instead of laminating the
図5Aおよび図5Bに示すように、得られたグリーン積層体4aは、たとえば切断線Cに沿って所定の寸法に切断され、グリーンチップとする。グリーンチップは、固化乾燥により可塑剤が除去され固化される。固化乾燥後のグリーンチップは、メディアおよび研磨液とともに、バレル容器内に投入され、水平遠心バレル機などにより、バレル研磨される。バレル研磨後のグリーンチップは、水で洗浄され、乾燥される。乾燥後のグリーンチップに対して、脱バインダ工程、焼成工程、必要に応じて行われるアニール工程を行うことにより、図1に示すコンデンサ素体4が得られる。なお、図5Aおよび図5Bは、あくまで概略断面図であり、積層数や寸法関係などは、実際のものとは異なる。
As shown in FIGS. 5A and 5B, the obtained green
このようにして得られた焼結体(素子本体4)には、バレル研磨等にて端面研磨を施し、端子電極用ペーストを焼きつけて端子電極6,8が形成される。そして、必要に応じ、端子電極6,8上にめっき等を行うことによりパッド層を形成する。なお、端子電極用ペーストは、上記した内部電極パターン層用ペーストと同様にして調製すればよい。
The sintered body (element body 4) thus obtained is subjected to end face polishing by barrel polishing or the like, and terminal electrode paste is baked to form
このようにして製造された積層セラミックコンデンサ2は、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。 The multilayer ceramic capacitor 2 manufactured in this way is mounted on a printed circuit board by soldering or the like and used for various electronic devices.
本実施形態の積層セラミックコンデンサ2によれば、誘電体層10の厚みは0.4μm以下であり、幅寸法W0は0.59mm以下であり、隙間寸法Wgapは0.010〜0.025mmであり、隙間寸法と幅寸法との比率Wgap/W0寸法は0.025以上である。このため、誘電体層の厚みを薄くした場合においても、クラック発生を抑制することができ、しかも静電容量の低下が少ない。
According to the multilayer ceramic capacitor 2 of the present embodiment, the thickness of the
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified within the scope of the present invention.
たとえば、上述した通常の製造方法では、図1および図2に示す内側誘電体層10、外装領域11、引出領域15Aおよび15Bを構成する各誘電体粒子を形成するための原料として誘電体ペーストに含まれる誘電体粒子の粒径が略同一である。そのため、結果として得られる図1および図2に示す積層セラミックコンデンサ2において、内部電極層12で挟まれている誘電体層10の厚みを0.4μm以下に薄くすると、内部電極層12で挟まれている誘電体層10の誘電体粒子の方が、内部電極層で挟まれていない領域11、15Aおよび15Bの誘電体粒子に比較して平均粒径が大きくなる。その原因としては、内部電極層12で挟まれている誘電体層10の誘電体粒子の方が粒成長が進みやすいからと考えられる。
For example, in the normal manufacturing method described above, a dielectric paste is used as a raw material for forming each dielectric particle constituting the
すなわち、上述した実施形態では、誘電体層10を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、外装領域11に位置する第2誘電体粒子の平均粒径をDgとした場合に、Dg/Di<1となる。また、上述した実施形態では、引出領域15Aおよび15Bを構成する第3誘電体粒子の平均粒径をDhとした場合には、Dh/Di<1である。さらに、側面保護領域16を構成する第4誘電体粒子の平均粒径をDh’とした場合には、Dh’/Di<1である。
That is, in the above-described embodiment, when the average particle diameter of the first dielectric particles constituting the
そこで、本発明の他の実施形態に係る製造方法では、図1および図2に示す内側誘電体層10を構成するための誘電体ペースト原料としての誘電体粒子の平均粒径を、外装領域11および/または引出領域15A,15Bを構成する各誘電体粒子を形成するための誘電体ペースト原料に含まれる誘電体粒子の平均粒径に比較して大きくする。あるいは、逆に、内側誘電体層10を構成するための誘電体ペースト原料としての誘電体粒子の平均粒径に比較して、外装領域11および/または引出領域15A,15Bを構成する各誘電体粒子を形成するための誘電体ペースト原料に含まれる誘電体粒子の平均粒径を小さくする。
Therefore, in the manufacturing method according to another embodiment of the present invention, the average particle diameter of dielectric particles as a dielectric paste material for constituting the
その結果として、焼成後のコンデンサ素体4において、Dg/Di≧1、またはDh/Di≧1、またはDh’/Di≧1の関係、またはそれらの全ての関係を満足させることができる。その理由としては、次のように考えることができる。誘電体ペースト原料の誘電体粒子は粒径が小さいほど、熱に対して活性になるので、焼成時に、粒成長が起こり易くなる。したがって、容量部である内側誘電体層10を構成するための誘電体粒子の平均粒径より、外装領域11および/または引出領域15A,15Bを構成する誘電体粒子の平均粒径を小さくすることによって、容量部である内側誘電体層10を構成するための誘電体粒子より、外装領域11および/または引出領域15A,15Bを構成する誘電体粒子の方が粒成長し易くなります。すると、結果的に、外装領域11および/または引出領域15A,15Bの誘電体粒子の方をより大きくすることができる。
As a result, the capacitor body 4 after firing can satisfy the relationship of Dg / Di ≧ 1, or Dh / Di ≧ 1, or Dh ′ / Di ≧ 1, or all of these relationships. The reason can be considered as follows. The smaller the particle size of the dielectric particles of the dielectric paste material, the more active it is against heat. Therefore, grain growth is likely to occur during firing. Therefore, the average particle size of the dielectric particles constituting the
このような関係にある時に、内側誘電体層10が薄層化しても、静電容量がさらに向上する。一般的には、誘電体層10が薄くなるにつれて、比誘電率が低下することが報告されている。しかしながら、本発明者等は、特定領域の誘電体粒子の粒径をコントロールすることで、誘電体層10を薄くしても比誘電率の低下を抑制することができることを見出した。
In such a relationship, even if the
さらに、本発明では、誘電体ペースト原料の誘電体粒子の平均粒子径を変えること以外の方法で、焼成後のコンデンサ素体4において、上述した関係を満足させても良い。たとえば内側誘電体層10を構成するための誘電体ペースト原料としての誘電体粒子の組成に比較して、外装領域11および/または引出領域15A,15Bを構成する各誘電体粒子を形成するための誘電体ペースト原料に含まれる誘電体粒子の組成を異ならせても良い。たとえば外装領域11および/または引出領域15A,15Bを構成する各誘電体粒子を形成するための誘電体ペースト原料に含まれる誘電体粒子の組成を、より粒成長しやすい組成にしてもよい。
Furthermore, in the present invention, the above-described relationship may be satisfied in the sintered capacitor body 4 by a method other than changing the average particle diameter of the dielectric particles of the dielectric paste raw material. For example, compared with the composition of dielectric particles as a dielectric paste raw material for constituting the
あるいは、外装領域11に、端子電極6,8には接続されないダミー電極を外側誘電体グリーンシートの間に介在させることなどでも、焼成後の誘電体粒子の粒径を制御することは可能である。
Alternatively, the particle size of the dielectric particles after firing can be controlled by interposing a dummy electrode not connected to the
なお、本発明の積層セラミック電子部品は、積層セラミックコンデンサに限らず、その他の積層型セラミック電子部品に適用することが可能である。その他の積層型セラミック電子部品としては、誘電体層が内部電極を介して積層される全ての電子部品であり、たとえばバンドパスフィルタ、インダクタ、積層三端子フィルタ、圧電素子、PTCサーミスタ、NTCサーミスタ、バリスタなどが例示される。 The multilayer ceramic electronic component of the present invention can be applied not only to multilayer ceramic capacitors but also to other multilayer ceramic electronic components. Other multilayer ceramic electronic components are all electronic components in which dielectric layers are laminated via internal electrodes, such as bandpass filters, inductors, laminated three-terminal filters, piezoelectric elements, PTC thermistors, NTC thermistors, Examples include varistors.
以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。 Hereinafter, although this invention is demonstrated based on a more detailed Example, this invention is not limited to these Examples.
実施例1
まず、主原料の原料紛体として平均粒子径が100nmの{(Ba1−x−y Cax Sry )O}u (Ti1−z Zrz )v O3 粉末(x=0.05、y=0、Z=0.05、u/v=1.004)を準備し、次にMgCO3 、MnCO3 、Y2 O3 、SiO2 を副成分として準備した。なお、副成分はあらかじめ予備解砕を行い、チタン酸バリウム原料の粒子径よりも小さい40nm程度に加工した。
Example 1
First, the main mean particle size as a raw material powder of the raw material is 100nm {(Ba 1-x- y Ca x Sr y) O} u (Ti 1-z Zr z) v O 3 powder (x = 0.05, y = 0, Z = 0.05, u / v = 1.004), and then MgCO 3 , MnCO 3 , Y 2 O 3 and SiO 2 were prepared as subcomponents. In addition, the auxiliary component was preliminarily crushed and processed to about 40 nm, which is smaller than the particle diameter of the barium titanate raw material.
次に上記で準備した各原料粉末を主原料100モルに対して、MgCO3 粉末を0.5モル、MnCO3 粉末を0.3モル、Y2 O3 粉末を0.2モルおよびSiO2 粉末を2モル秤量した。これら各粉末をボールミルで20時間湿式混合、乾燥して、容量部の誘電体原料を得た。このとき添加したBaCO3 、MnCO3 は、焼成後にはそれぞれBaO、MnOとして誘電体磁器組成物中に含有されることとなる。 Then each raw material powder was prepared previously for the main raw material 100 moles, MgCO 3 powder 0.5 mol, MnCO 3 powder 0.3 mol, Y 2 O 3 powder 0.2 mol and SiO 2 powder Was weighed 2 moles. Each of these powders was wet-mixed and dried for 20 hours by a ball mill to obtain a dielectric material for a capacity part. The BaCO 3 and MnCO 3 added at this time are contained in the dielectric ceramic composition as BaO and MnO, respectively, after firing.
次いで、得られた誘電体原料:100重量部と、ポリビニルブチラール樹脂:10重量部と、可塑剤としてのジオクチルフタレート(DOP):5重量部と、溶媒としてのアルコール:100重量部とをボールミルで混合してペースト化し、容量領域14の誘電体層用ペーストを得た。
Next, the obtained dielectric material: 100 parts by weight, polyvinyl butyral resin: 10 parts by weight, dioctyl phthalate (DOP) as a plasticizer: 5 parts by weight, and alcohol as a solvent: 100 parts by weight with a ball mill The mixture was made into a paste, and a dielectric layer paste in the
また、上記とは別に、Ni粒子:44.6重量部と、テルピネオール:52重量部と、エチルセルロース:3重量部と、ベンゾトリアゾール:0.4重量部とを、3本ロールにより混練し、ペースト化して内部電極層用ペーストを作製した。 In addition to the above, Ni particles: 44.6 parts by weight, terpineol: 52 parts by weight, ethyl cellulose: 3 parts by weight, and benzotriazole: 0.4 parts by weight are kneaded by three rolls to obtain a paste. To prepare an internal electrode layer paste.
さらに、外装領域11の誘電体原料として、平均粒子径が、容量領域14の誘電体粒子と同じ100nmの主原料粉末を準備した。内装領域13の誘電体原料と同様の手法で、副成分と湿式混合とペースト化を行い、外装領域の誘電体用ペーストを得た。
Further, as the dielectric material for the
そして、上記にて作製した誘電体層用ペーストを用いて、PETフィルム上にグリーンシートを形成した。このとき、グリーンシートの厚みは、表1に記載の焼成後の誘電体層の厚みtdが得られるように調整を行った。次いで、この上に内部電極層用ペーストを用いて、電極層を所定パターンで印刷した。所定パターンの電極層の厚みは、表1に記載の焼成後の内部電極層の厚みteが得られるように調整を行った。 And the green sheet was formed on PET film using the dielectric layer paste produced above. At this time, the thickness of the green sheet was adjusted so as to obtain the thickness td of the dielectric layer after firing shown in Table 1. Next, the electrode layer was printed in a predetermined pattern using the internal electrode layer paste. The thickness of the electrode layer of the predetermined pattern was adjusted so that the thickness te of the internal electrode layer after firing shown in Table 1 was obtained.
さらに電極が印刷されていない部分の段差を埋めるために、容量領域14の誘電体用ペーストと同じものを使用してパターン印刷を行うことで、段差吸収層20を形成し、内部電極パターン層12aと段差吸収層20とを有するグリーンシート10aを作製した。
Further, in order to fill the step in the portion where the electrode is not printed, pattern printing is performed using the same paste as the dielectric paste in the
次いで、外装領域11を形成するための誘電体ペーストを用いて、PETフィルム上にグリーンシートを形成した。外装領域11を形成するためのグリーンシートの厚みは10μmとした。このとき、100nmの誘電体原料を使用したグリーンシートを用い、外装領域11を形成するためのグリーンシートを形成した。
Next, a green sheet was formed on the PET film using a dielectric paste for forming the
内部電極層を有する内装領域13のためのグリーンシートと、外装領域11のためのグリーンシートを複数枚積層し、加圧接着することによりグリーン積層体とし、このグリーン積層体を所定サイズに切断することにより、グリーンチップを得た。
A plurality of green sheets for the
次いで、得られたグリーンチップについて、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記条件にておこなって、積層セラミック焼成体を得た。 Next, the obtained green chip was subjected to binder removal processing, firing and annealing under the following conditions to obtain a multilayer ceramic fired body.
脱バインダ処理条件は、昇温速度25℃/時間、保持温度:235℃、保持時間:8時間、雰囲気:空気中とした。 The binder removal treatment conditions were a temperature increase rate of 25 ° C./hour, a holding temperature: 235 ° C., a holding time: 8 hours, and an atmosphere: in the air.
焼成条件は、昇温速度600〜1000℃/時間、保持温度1100〜1150℃とし、保持時間を1時間とした。降温速度は200℃/時間とした。なお、雰囲気ガスは、加湿したN2 +H2 混合ガスとし、酸素分圧が10−12MPaとなるようにした。 The firing conditions were a temperature rising rate of 600 to 1000 ° C./hour, a holding temperature of 1100 to 1150 ° C., and a holding time of 1 hour. The cooling rate was 200 ° C./hour. The atmospheric gas was a humidified N 2 + H 2 mixed gas, and the oxygen partial pressure was 10 −12 MPa.
アニール条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度1050℃、保持時間:3時間、降温速度:200℃/時間、雰囲気ガス:加湿したN2 ガス(酸素分圧:10−7MPa)とした。 The annealing conditions are as follows: heating rate: 200 ° C./hour, holding temperature of 1050 ° C., holding time: 3 hours, cooling rate: 200 ° C./hour, atmospheric gas: humidified N 2 gas (oxygen partial pressure: 10 −7 MPa) It was.
なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを使用した。 A wetter was used for humidifying the atmospheric gas during firing and annealing.
次いで、得られた積層セラミック焼成体の端面をバレル研磨した後、外部電極としてCuペーストを塗布し、還元雰囲気にて焼き付け処理を行い、表1に示す試料番号1〜25の積層セラミックコンデンサ試料(以下、単に「コンデンサ試料」と表記する場合がある)を得た。 Next, after end-barreling the end face of the obtained multilayer ceramic fired body, Cu paste was applied as an external electrode and baked in a reducing atmosphere, and the multilayer ceramic capacitor samples (sample numbers 1 to 25 shown in Table 1) Hereinafter, it may be simply referred to as “capacitor sample”).
得られたコンデンサ試料の縦寸法L0、幅寸法W0および幅Wgapは、表1に示すように、試料毎に変化させた。 As shown in Table 1, the vertical dimension L0, the width dimension W0, and the width Wgap of the obtained capacitor sample were changed for each sample.
得られたコンデンサ試料について静電容量とクラック発生率を下記に示す方法で確認した。 About the obtained capacitor | condenser sample, the electrostatic capacitance and the crack generation rate were confirmed by the method shown below.
(静電容量)
静電容量は、コンデンサ試料に対し、基準温度25℃においてデジタルLCRメーターにて、周波数1.0kHz、入力信号レベル(測定電圧)1.0Vrmsの条件下で測定した。ただし、表1に示す静電容量の数値は、ある特定のL0寸法、W0寸法のコンデンサ素体に対して、Wgapが0.020であるときの静電容量を1としたときの静電容量比を表している。たとえば、試料番号3〜7の静電容量は、試料番号5の静電容量を基準とした比である。静電容量は0.90以上を良好とした。結果を表1に示す。
(Capacitance)
The capacitance was measured with respect to the capacitor sample at a reference temperature of 25 ° C. with a digital LCR meter under the conditions of a frequency of 1.0 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1.0 Vrms. However, the numerical value of the electrostatic capacity shown in Table 1 is the electrostatic capacity when the electrostatic capacity when Wgap is 0.020 is set to 1 with respect to a specific capacitor body of L0 size and W0 size. Represents the ratio. For example, the capacitances of sample numbers 3 to 7 are ratios based on the capacitance of sample number 5. The electrostatic capacity was 0.90 or more. The results are shown in Table 1.
(クラック発生率)
クラック発生率の測定方法は、作製した試料(n=1000)の外観を顕微鏡などを用いて目視で観察し、クラックが検出された割合である。クラック発生率が、0〜1.0までが良好であり、0〜0.1が特に良好である。結果を表1に示す。
(Crack occurrence rate)
The method for measuring the crack occurrence rate is the ratio at which cracks were detected by visually observing the appearance of the prepared sample (n = 1000) using a microscope or the like. A crack generation rate of 0 to 1.0 is good, and 0 to 0.1 is particularly good. The results are shown in Table 1.
実施例2
表2に示すように、焼成後の誘電体層10の厚みtdおよび焼成後の内部電極層12の厚みteを0.3μmとした以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製し、それらの静電容量とクラック発生率を測定した。結果を表2に示す。
Example 2
As shown in Table 2, a multilayer ceramic capacitor sample was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness td of the fired
評価1
表1および表2に示す結果から、誘電体層の厚みtdは0.4μm以下であり、幅寸法W0は0.59mm以下であり、隙間寸法Wgapは0.010〜0.025mmであり、比率(Wgap/W0寸法)は0.025以上で、クラック発生率が少なく、静電容量の低下が少ない積層セラミックコンデンサが得られることが確認できた。
Evaluation 1
From the results shown in Table 1 and Table 2, the thickness td of the dielectric layer is 0.4 μm or less, the width dimension W0 is 0.59 mm or less, the gap dimension Wgap is 0.010 to 0.025 mm, and the ratio (Wgap / W0 dimension) was 0.025 or more, and it was confirmed that a multilayer ceramic capacitor with a low crack generation rate and a small decrease in capacitance was obtained.
実施例3
表3に示すように、焼成後の内部電極層12の厚みteを変化させた以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製し、それらの静電容量とクラック発生率を測定した。結果を表3に示す。
Example 3
As shown in Table 3, samples of the multilayer ceramic capacitor were prepared in the same manner as in Example 1 except that the thickness te of the
評価2
表3に示す結果から、te/tdが1.25未満、特に好ましくは、te/tdが0.95〜1.05となる場合に、クラック発生率が少なく、静電容量の低下が少ない積層セラミックコンデンサが得られることが確認できた。
Evaluation 2
From the results shown in Table 3, when te / td is less than 1.25, particularly preferably, when te / td is 0.95 to 1.05, the number of cracks is small, and the decrease in capacitance is small. It was confirmed that a ceramic capacitor was obtained.
実施例4
表4に示すように、容量領域14の誘電体粒子の平均粒径Diに比較して、外装領域11の誘電体粒子の平均粒径Dgを変化させた以外は、実施例1の試料16と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料(試料番号16a〜16b)を作製し、それらの静電容量とクラック発生率を測定した。結果を表4に示す。Dg/Diが1以上の関係を得るために、外装領域11を形成するための誘電体ペーストに含まれる原料の誘電体粒子の平均粒径を60nmとした。
Example 4
As shown in Table 4, the
実施例5
表5に示すように、容量領域14の誘電体粒子の平均粒径Diに比較して、引出領域15A,15Bの誘電体粒子の平均粒径Dhを変化させた以外は、実施例1の試料16と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料(試料番号16c〜16d)を作製し、それらの静電容量とクラック発生率を測定した。結果を表5に示す。Dh/Diが1以上の関係を得るために、引出領域12Aおよび12Bと側面保護領域16を形成するための段差吸収用誘電体ペーストに含まれる原料の誘電体粒子の平均粒径を60nmとした。
Example 5
As shown in Table 5, the sample of Example 1 except that the average particle diameter Dh of the dielectric particles in the
なお、焼成後の誘電体粒子の平均粒径は下記に示す方法で確認した。 The average particle size of the dielectric particles after firing was confirmed by the method shown below.
(誘電体の平均粒子径)
コンデンサ試料を、積層方向が上側になるように垂直に立て、直径25mm、縦20mmのテフロン(登録商標)製の容器を用いて試料の周辺を硬化樹脂で埋めた。ついでサンドペーパーと微細加工研磨機を使用して試料の長手方向の断面が出るように研磨を行った後、表面のダメージを取り除くために、アルゴンイオンを使用したミリングを行った。
(Average particle size of dielectric)
The capacitor sample was set up vertically so that the stacking direction was on the upper side, and the periphery of the sample was filled with a cured resin using a Teflon (registered trademark) container having a diameter of 25 mm and a length of 20 mm. Then, after polishing so that a cross section in the longitudinal direction of the sample appeared using a sandpaper and a microfabricated polishing machine, milling using argon ions was performed in order to remove surface damage.
加工を行った試料を電子顕微鏡を2万倍にして容量領域14、外装領域11、引出領域15A,15Bの誘電体粒子の観察を行い、画像処理ソフトを使用して500個の粒子の断面面積から円相当径の算出を行った。
The processed sample was magnified 20,000 times with an electron microscope to observe the dielectric particles in the
評価3
表4に示す結果から、好ましくはDg/Di≧1、さらに好ましくはDg/Di≧1.05、特に好ましくはDg/Di≧1.15の関係にある時に、誘電体層が薄層化しても、静電容量がさらに向上し、しかもクラック発生率が低いことが確認できた。
Evaluation 3
From the results shown in Table 4, when the relationship of Dg / Di ≧ 1, more preferably Dg / Di ≧ 1.05, particularly preferably Dg / Di ≧ 1.15, the dielectric layer is thinned. It was confirmed that the electrostatic capacity was further improved and the crack generation rate was low.
また、表5に示す結果から、Dh/Di≧1、さらに好ましくはDh/Di≧1.1、特に好ましくはDh/Di≧1.2の関係にある時に、誘電体層が薄層化しても、静電容量がさらに向上し、しかもクラック発生率が低いことが確認できた。 Further, from the results shown in Table 5, when the relationship Dh / Di ≧ 1, more preferably Dh / Di ≧ 1.1, particularly preferably Dh / Di ≧ 1.2, the dielectric layer is thinned. It was confirmed that the electrostatic capacity was further improved and the crack generation rate was low.
なお、実施例5では、段差吸収用誘電体ペーストに含まれる原料の誘電体粒子の平均粒径を60nmとしたため、図2に示す側面保護領域16に含まれる焼成後の誘電体粒子の平均粒径Dh’と、容量領域14における誘電体粒子の平均粒径Diよりも大きくなり、Dh’/Diは、Dh/Diと略同一となることが確認されている。
In Example 5, since the average particle size of the raw material dielectric particles contained in the step absorbing dielectric paste was set to 60 nm, the average particle size of the fired dielectric particles contained in the side
2… 積層セラミックコンデンサ
4… コンデンサ素体
6… 第1端子電極
8… 第2端子電極
10… 内側誘電体層
10a… 内側グリーンシート
11… 外装領域
11a… 外側グリーンシート
12… 内部電極層
12A,12B… 引出部
12a… 内部電極パターン層
13… 内装領域
13a… 内部積層体
14… 容量領域
15A,15B…引出領域
16… 側面保護領域
20… 段差吸収層
2 ... multilayer ceramic capacitor 4 ... capacitor body 6 ... first
Claims (11)
セラミック素体の表面に前記内部電極層と接続される少なくとも一対の外部電極とを有する積層セラミック電子部品であって、
前記誘電体層の厚みは0.5μm以下であり、
積層方向に沿って前記内部電極層の間に位置する前記誘電体層を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、
側面保護領域を構成する第4誘電体粒子の平均粒径をDh’とした場合に、
Dh’/Di>1であることを特徴とする積層セラミック電子部品。 A ceramic body formed by alternately laminating a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers;
A multilayer ceramic electronic component having at least a pair of external electrodes connected to the internal electrode layer on the surface of the ceramic body,
The dielectric layer has a thickness of 0.5 μm or less,
The average particle diameter of the first dielectric particles constituting the dielectric layer located between the internal electrode layers along the stacking direction is Di,
When the average particle diameter of the fourth dielectric particles constituting the side surface protection region is Dh ′,
A multilayer ceramic electronic component, wherein Dh ′ / Di> 1.
セラミック素体の表面に前記内部電極層と接続される少なくとも一対の外部電極とを有する積層セラミック電子部品であって、
前記誘電体層の厚みは0.5μm以下であり、
積層方向に沿って前記内部電極層の間に位置する前記誘電体層を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、
いずれか一方の前記外部電極に接続する前記内部電極層の引出部の間に位置する引出領域を構成する第3誘電体粒子の平均粒径をDhとした場合に、
Dh/Di>1であることを特徴とする積層セラミック電子部品。 A ceramic body formed by alternately laminating a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers;
A multilayer ceramic electronic component having at least a pair of external electrodes connected to the internal electrode layer on the surface of the ceramic body,
The dielectric layer has a thickness of 0.5 μm or less,
The average particle diameter of the first dielectric particles constituting the dielectric layer located between the internal electrode layers along the stacking direction is Di,
When the average particle diameter of the third dielectric particles constituting the extraction region located between the extraction portions of the internal electrode layer connected to any one of the external electrodes is Dh,
A multilayer ceramic electronic component, wherein Dh / Di> 1.
セラミック素体の表面に前記内部電極層と接続される少なくとも一対の外部電極とを有する積層セラミック電子部品であって、
積層方向に沿って前記内部電極層の間に位置する前記誘電体層を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、
側面保護領域を構成する第4誘電体粒子の平均粒径をDh’とした場合に、
Dh’/Di>1であり、
いずれか一方の前記外部電極に接続する前記内部電極層の引出部の間に位置する引出領域を構成する第3誘電体粒子の平均粒径をDhとした場合に、
Dh/Di>1であることを特徴とする積層セラミック電子部品。 A ceramic body formed by alternately laminating a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers;
A multilayer ceramic electronic component having at least a pair of external electrodes connected to the internal electrode layer on the surface of the ceramic body,
The average particle diameter of the first dielectric particles constituting the dielectric layer located between the internal electrode layers along the stacking direction is Di,
When the average particle diameter of the fourth dielectric particles constituting the side surface protection region is Dh ′,
Dh ′ / Di> 1 and
When the average particle diameter of the third dielectric particles constituting the extraction region located between the extraction portions of the internal electrode layer connected to any one of the external electrodes is Dh,
A multilayer ceramic electronic component, wherein Dh / Di> 1.
セラミック素体の表面に前記内部電極層と接続される少なくとも一対の外部電極とを有する積層セラミック電子部品であって、
積層方向に沿って前記内部電極層の間に位置する前記誘電体層を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、
側面保護領域を構成する第4誘電体粒子の平均粒径をDh’とした場合に、
Dh’/Di>1であり、
前記積層方向に沿って前記内部電極層が前記誘電体層を挟んで積層する内装領域の積層方向外側に位置する外装領域に位置する第2誘電体粒子の平均粒径をDgとした場合に、
Dg/Di>1である積層セラミック電子部品。 A ceramic body formed by alternately laminating a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers;
A multilayer ceramic electronic component having at least a pair of external electrodes connected to the internal electrode layer on the surface of the ceramic body,
The average particle diameter of the first dielectric particles constituting the dielectric layer located between the internal electrode layers along the stacking direction is Di,
When the average particle diameter of the fourth dielectric particles constituting the side surface protection region is Dh ′,
Dh ′ / Di> 1 and
When the average particle diameter of the second dielectric particles located in the exterior region located outside the interior direction of the interior region in which the internal electrode layer is laminated with the dielectric layer sandwiched along the lamination direction is Dg,
A multilayer ceramic electronic component in which Dg / Di> 1.
セラミック素体の表面に前記内部電極層と接続される少なくとも一対の外部電極とを有する積層セラミック電子部品であって、
積層方向に沿って前記内部電極層の間に位置する前記誘電体層を構成する第1誘電体粒子の平均粒径をDiとし、
いずれか一方の前記外部電極に接続する前記内部電極層の引出部の間に位置する引出領域を構成する第3誘電体粒子の平均粒径をDhとした場合に、
Dh/Di>1であり、
前記積層方向に沿って前記内部電極層が前記誘電体層を挟んで積層する内装領域の積層方向外側に位置する外装領域に位置する第2誘電体粒子の平均粒径をDgとした場合に、
Dg/Di>1である積層セラミック電子部品。 A ceramic body formed by alternately laminating a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers;
A multilayer ceramic electronic component having at least a pair of external electrodes connected to the internal electrode layer on the surface of the ceramic body,
The average particle diameter of the first dielectric particles constituting the dielectric layer located between the internal electrode layers along the stacking direction is Di,
When the average particle diameter of the third dielectric particles constituting the extraction region located between the extraction portions of the internal electrode layer connected to any one of the external electrodes is Dh,
Dh / Di> 1 and
When the average particle diameter of the second dielectric particles located in the exterior region located outside the interior direction of the interior region in which the internal electrode layer is laminated with the dielectric layer sandwiched along the lamination direction is Dg,
A multilayer ceramic electronic component in which Dg / Di> 1.
前記セラミック素体の幅方向に沿って、前記セラミック素体の外面から前記内部電極層の端部までの隙間寸法(Wgap)は0.010〜0.025mmであり、
前記隙間寸法と前記幅寸法との比率(Wgap/W0寸法)は0.025以上である請求項1〜10のいずれかに記載の積層セラミック電子部品。 The width dimension (W0) along the width direction of the ceramic body is 0.59 mm or less,
A gap dimension (Wgap) from the outer surface of the ceramic body to the end of the internal electrode layer along the width direction of the ceramic body is 0.010 to 0.025 mm.
The multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 10, wherein a ratio (Wgap / W0 dimension) between the gap dimension and the width dimension is 0.025 or more.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019087564A JP6915645B2 (en) | 2015-03-27 | 2019-05-07 | Multilayer ceramic electronic components |
Applications Claiming Priority (2)
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JP2019087564A JP6915645B2 (en) | 2015-03-27 | 2019-05-07 | Multilayer ceramic electronic components |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015067587A Division JP6525669B2 (en) | 2015-03-27 | 2015-03-27 | Multilayer ceramic electronic components |
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JP2019171437A Division JP6860051B2 (en) | 2019-09-20 | 2019-09-20 | Multilayer ceramic electronic components |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019145839A true JP2019145839A (en) | 2019-08-29 |
JP2019145839A5 JP2019145839A5 (en) | 2019-10-10 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210615 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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