JP2019140232A - 剥離装置 - Google Patents
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Abstract
Description
110:吸着コレット
112:ガイド
120、120F、120G:吸着台
130、130B、130C、130F、130G:ピン
130s:始点
130t:終点
132、132B、132C:基部
134、134B:球体
134C:ローラ
140、140F、140G:ピン駆動部
500:半導体チップ
501:上面
502:下面
600:粘着テープ
Claims (1)
- 半導体チップに張り付いた粘着テープを前記半導体チップから剥離する剥離装置であって、
複数のピンと、
前記粘着テープに接着している前記半導体チップの接着面に向けて前記複数のピンを移動させ、前記複数のピンによって前記半導体チップを前記粘着テープ越しに突き上げるピン駆動部と、
を備えており、
前記ピン駆動部は、前記複数のピンによって前記半導体チップを前記粘着テープ越しに突き上げた状態で、前記複数のピンを前記接着面に沿って移動可能に構成されている、剥離装置。
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JP2018021968A JP2019140232A (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 剥離装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018021968A JP2019140232A (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 剥離装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019140232A true JP2019140232A (ja) | 2019-08-22 |
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Family Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021100185A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | ボンドテック株式会社 | 部品実装システム、部品供給装置および部品実装方法 |
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-
2018
- 2018-02-09 JP JP2018021968A patent/JP2019140232A/ja active Pending
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