JP2019138738A - 微粒子検出器 - Google Patents

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Abstract

【課題】微粒子検出器の外部からの信号を利用することなく微粒子の量を補正する。【解決手段】微粒子検出器10は、筐体22と、ガス流路24内に導入されたガス中の微粒子26に放電によって発生させた電荷28を付加して帯電微粒子Pにする電荷発生部30と、余剰電荷を捕集する余剰電荷除去部40と、帯電微粒子Pを捕集する捕集部50と、余剰電荷に応じて変化する第1電流I1に基づいて帯電微粒子Pに応じて変化する第2電流I2を補正し補正後の第2電流I2に基づいて微粒子数を検出する個数検出部60とを備える。【選択図】図4

Description

本発明は、微粒子検出器に関する。
微粒子検出器としては、内燃機関の排ガス中の微粒子量に相関する測定信号に基づき微粒子量を決定するものが知られている。この種の微粒子検出器において、例えば特許文献1では、微粒子検出器に使用される絶縁部材の絶縁性が経年劣化により低下してリーク電流が発生して測定精度が低下する点を課題として捉え、車両制御部からフューエルカット信号を受信したときに測定信号のゼロ点補正を行っている。
特開2016−161369号公報
しかしながら、特許文献1では、微粒子検出器に車両制御部からフューエルカット信号を受信するための信号線を接続する必要があった。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、微粒子検出器の外部からの信号を利用することなく微粒子の量を補正することを主目的とする。
本発明は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。
本発明の微粒子検出器は、
ガス中の微粒子を検出するために用いられる微粒子検出器であって、
前記ガスが通過するガス流路を有する筐体と、
前記ガス流路内に導入された前記ガス中の微粒子に放電によって発生させた電荷を付加して帯電微粒子にする電荷発生部と、
前記ガス流路内で前記電荷発生部よりも前記ガスの流れの下流側に設けられ、前記微粒子に帯電しなかった余剰電荷を捕集する第1捕集部と、
前記ガス流路内で前記第1捕集部よりも前記ガスの流れの下流側に設けられ、前記帯電微粒子を捕集する第2捕集部と、
前記第1捕集部に捕集された前記余剰電荷に応じて変化する第1物理量に基づいて前記第2捕集部に捕集された前記帯電微粒子に応じて変化する第2物理量を補正し、補正後の前記第2物理量に基づいて前記微粒子の量を検出する検出部と、
を備えたものである。
この微粒子検出器では、電荷発生部が電荷を発生させることでガス流路内に導入されたガス中の微粒子を帯電微粒子にし、微粒子に付加されなかった余剰電荷を第1捕集部が捕集し、帯電微粒子を第2捕集部が捕集する。検出部は、第1捕集部に捕集された余剰電荷に応じて変化する第1物理量に基づいて第2捕集部に捕集された帯電微粒子に応じて変化する第2物理量を補正し、補正後の第2物理量に基づいて微粒子の量を検出する。このため、この微粒子検出器によれば、微粒子検出器の外部からの信号を利用することなく微粒子の量を補正することができる。
なお、本明細書において、「電荷」とは、正電荷や負電荷のほかイオンを含むものとする。「物理量」とは、捕集対象に応じて変化するパラメータであればよく、例えば電流などが挙げられる。「微粒子の量」とは、例えば微粒子の数、質量、表面積などが挙げられる。
本発明の微粒子検出器において、前記検出部は、前記電荷発生部で前記電荷を発生させる前後で前記第1物理量が変化したか否かを判定し、前記第1物理量が変化しなかったならばそのタイミングで前記第2物理量のゼロ点補正を行ってもよい。電荷を発生させる前後で第1物理量が変化しなかったということは、実質的に流量がゼロだと推定することができる。そのため、実質的に流量がゼロのタイミングで第2物理量のゼロ点補正を行うことができる。
この場合、前記検出部は、前記電荷発生部で前記電荷を発生させる前後で前記第1物理量が変化したか否かを判定するにあたり、前記電荷発生部で前記電荷を発生させる直前の前記第1物理量と、予め前記ガスの流量がゼロのときに前記電荷発生部で前記電荷を発生させたあと前記電荷が前記第1捕集部に到達するまでの期間を求めておき該期間内における前記第1物理量とを比較して判定してもよい。こうすれば、より適切なタイミングで第2物理量のゼロ点補正を行うことができる。
本発明の微粒子検出器において、前記検出部は、前記第1物理量に基づいて前記微粒子1つあたりの帯電数を求め、前記第2物理量を前記帯電数で補正して補正後の前記第2物理量に基づいて前記微粒子の量を検出してもよい。第2物理量に基づいて微粒子の量を算出するにあたっては、微粒子1つあたりの帯電数を考慮する必要がある。ここで、余剰電荷の量と微粒子1つあたりの帯電数とは相関がある。そのため、余剰電荷の量に相当する第1物理量に基づいて微粒子1つあたりの帯電数を求め、その帯電数で第2物理量を補正し、補正後の第2物理量に基づいて微粒子の量を検出する。こうすることにより、微粒子の量をより精度よく求めることができる。なお、こうした補正は、上述した第2物理量のゼロ点補正を行ったあとに行うことが好ましい。
この場合、前記検出部は、前記第1物理量に基づいて前記微粒子1つあたりの帯電数を求めるにあたり、予め記憶部に記憶された前記第1物理量と前記微粒子1つあたりの帯電数との対応関係を用いて、前記第1物理量に対応する前記微粒子1つあたりの帯電数を求めてもよい。こうすれば、第1物理量に対応する微粒子1つあたりの帯電数を容易に求めることができる。
微粒子検出器10の説明図。 微粒子検出素子20の斜視図。 図2のA−A断面図。 図2のB−B断面図。 微粒子数検出処理ルーチンのフローチャート。 別の微粒子数検出処理ルーチンのフローチャート。 ステップS350〜380のフローチャート。
次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図1は本発明の一実施形態である微粒子検出器10の説明図、図2は微粒子検出素子20の斜視図、図3は図2のA−A断面図、図4は図2のB−B断面図である。なお、本実施形態において、上下方向,左右方向及び前後方向は、図1〜図2に示した通りとする。
微粒子検出器10は、図1に示すように、エンジンの排気管12を流れる排ガスに含まれる微粒子26(図4参照)の数を検出するものである。この微粒子検出器10は、微粒子検出素子20と、各種電源36,46,56や個数検出部60を含む付属ユニット80とを備えている。
微粒子検出素子20は、図1に示すように、円柱状の支持体14に差し込まれた状態で、排気管12に固定されたリング状の台座16に取り付けられている。微粒子検出素子20は、保護カバー18によって保護されている。保護カバー18には図示しない穴が設けられており、この穴を介して排気管12を流通する排ガスが微粒子検出素子20の下端22aに設けられたガス流路24を通過する。微粒子検出素子20は、図4に示すように、筐体22に、電荷発生部30と、余剰電荷除去部40と、捕集部50と、ヒータ電極72とを備えたものである。
筐体22は、図1に示すように、排気管12の軸方向と交差する方向(ここでは略直交する方向)に長い長尺の直方体である。筐体22は絶縁体であり、例えばアルミナなどのセラミック製である。筐体22の下端22aは排気管12の内部に配置され、上端22bは排気管12の外部に配置される。筐体22の下端22aには、ガス流路24が設けられている。筐体22の上端22bには、各種端子が設けられている。
ガス流路24の軸方向は、排気管12の軸方向と一致している。ガス流路24は、図2に示すように、筐体22の前方の面に設けられた矩形のガス導入口24aから、筐体22の後方の面に設けられた矩形のガス排出口24bまで連なる直方体形状の空間である。筐体22は、ガス流路24を構成する左右一対の流路壁22c,22dを備えている。
電荷発生部30は、図4に示すように、ガス流路24内のガス導入口24aの近傍に電荷が発生するように、流路壁22cに設けられている。電荷発生部30は、放電電極32と2つの誘導電極34,34とを有している。放電電極32は、流路壁22cの内面に沿って設けられ、図3に示すように、矩形の周囲に複数の微細突起を有している。2つの誘導電極34,34は、矩形電極であり、流路壁22cに間隔をあけて放電電極32と平行となるように埋設されている。電荷発生部30では、図4に示すように、放電電極32と2つの誘導電極34,34との間に放電用電源36(付属ユニット80の1つ)の数kVのパルス電圧が印加されることで、両電極間の電位差による気中放電が発生する。このとき、筐体22のうち放電電極32と誘導電極34,34との間の部分が誘電体層の役割を果たす。この気中放電によって、放電電極32の周囲に存在するガスがイオン化されて正の電荷28が発生する。放電電極32は、図示しない配線を介して筐体22の上端22bの端子33(図2参照)に接続され、この端子33を介して放電用電源36に接続されている。また、2つの誘導電極34,34は、図示しない配線を介して筐体22の上端22bの端子35(図2参照)に接続され、この端子35を介して放電用電源36に接続されている。
ガスに含まれる微粒子26は、図4に示すように、ガス導入口24aからガス流路24内に入り、電荷発生部30を通過する際に電荷発生部30の気中放電によって発生した電荷28が付加されて帯電微粒子Pとなったあと後方に移動する。また、発生した電荷28のうち微粒子26に付加されなかったものは、電荷28のまま後方に移動する。
余剰電荷除去部40は、第1捕集部に相当するものであり、図4に示すように、電荷発生部30の下流で且つ捕集部50の上流に設けられている。余剰電荷除去部40は、印加電極42と除去電極44とを有している。印加電極42は、右側の流路壁22dの内面に沿って設けられ、ガス流路24内に露出している。除去電極44は、左側の流路壁22cの内面に沿って設けられ、ガス流路24内に露出している。印加電極42と除去電極44とは互いに向かい合う位置に配設されている。印加電極42は、除去用電源46(付属ユニット80の1つ)によって後述する電圧V1よりも1桁程度低い電圧V2(正電位)が印加される。除去電極44は、第1電流計48を介してグランドに接続されている。なお、グランドは、保護カバー18や排気管12などのフレームグランドであってもよいし、アースでもよい(以下同じ)。これにより、余剰電荷除去部40の印加電極42と除去電極44との間には弱い電界が発生する。したがって、電荷発生部30で発生した電荷28のうち、微粒子26に付加されなかった余剰の電荷28は、この弱い電界によって除去電極44に引き寄せられて捕集され、グランドに捨てられる。これにより、余剰電荷除去部40は、余剰の電荷28が捕集部50の捕集電極54に捕集されて微粒子26の数にカウントされてしまうことを抑制している。印加電極42は、図示しない配線を介して筐体22の上端22bの端子43(図2参照)に接続され、この端子43を介して除去用電源46に接続されている。また、除去電極44は、図示しない配線を介して筐体22の上端22bの端子45(図2参照)に接続され、この端子45を介して第1電流計48に接続されている。
捕集部50は、第2捕集部に相当するものであり、図4に示すように、ガス流路24のうち電荷発生部30及び余剰電荷除去部40よりも下流に設けられている。捕集部50は、帯電微粒子Pを捕集するものであり、対向電極(電界発生電極)52と捕集電極54とを有している。対向電極52は、右側の流路壁22dの内面に沿って設けられ、ガス流路24内に露出している。捕集電極54は、左側の流路壁22cの内面に沿って設けられ、ガス流路24内に露出している。対向電極52と捕集電極54とは互いに向かい合う位置に配設されている。対向電極52は、印加電極42に印加される電圧V2よりも大きな電圧V1(正電位)が捕集用電源56(付属ユニット80の1つ)によって印加される。捕集電極54は、第2電流計62を介してグランドに接続されている。これにより、捕集部50の対向電極52と捕集電極54との間には比較的強い電界が発生する。したがって、ガス流路24を流れる帯電微粒子Pは、この比較的強い電界によって捕集電極54に引き寄せられて捕集される。対向電極52は、図示しない配線を介して筐体22の上端22bの端子53(図2参照)に接続され、この端子53を介して捕集用電源56に接続されている。また、捕集電極54は、図示しない配線を介して筐体22の上端22bの端子55(図2参照)に接続され、この端子55を介して第2電流計62に接続されている。
なお、余剰電荷除去部40の各電極42,44のサイズ、両電極42,44の間に発生させる電界の強さ、捕集部50の各電極52,54のサイズ、両電極52,54の間に発生させる電界の強さは、帯電微粒子Pが除去電極44に捕集されることなく捕集電極54に捕集されるように、また、微粒子26に付加しなかった電荷28が除去電極44によって除去されるように、設定されている。一般に、電荷28の電気移動度は、帯電微粒子Pの電気移動度の10倍以上であり、捕集するのに必要な電界は1桁以上小さくて済むので、このような設定が容易に可能となる。なお、対向電極52と捕集電極54とは、複数組設けられていてもよい。
個数検出部60は、CPU、ROM、RAMなどからなる周知のマイクロコンピュータによって構成されている。個数検出部60は、除去電極44を流れる電流を測定する第1電流計48から第1電流I1を入力し、捕集電極54を流れる電流を測定する第2電流計62から第2電流I2を入力する。また、個数検出部60は、放電用電源36に電圧を制御するための制御信号を出力し、第1及び第2電流I1,I2に基づいて排ガス中の微粒子数を算出してその結果を表示部66に出力する。
ヒータ電極72は、筐体22に埋設された帯状の発熱体である。具体的には、ヒータ電極72は、筐体22の上端22bの一方の端子75(図2参照)から、筐体22の流路壁22cをジグザグに引き回されたあと、筐体22の上端22bの他方の端子75(図2参照)に戻るように配線されている。ヒータ電極72は、一対の端子75,75を介して図示しない給電装置に接続され、その給電装置によって通電されると発熱する。ヒータ電極72は、筐体22や除去電極44,捕集電極54などの各電極を加熱する。
次に、微粒子検出器10の使用例について説明する。自動車の排ガスに含まれる微粒子26を計測する場合、上述したようにエンジンの排気管12に微粒子検出素子20を取り付ける(図1参照)。
図4に示すように、ガス導入口24aからガス流路24内に導入された排ガスに含まれる微粒子26は、電荷発生部30の放電によって発生した電荷28(ここでは正電荷)を帯びて帯電微粒子Pになる。帯電微粒子Pは、電界が弱く除去電極44の長さが捕集電極54よりも短い余剰電荷除去部40をそのまま通過して、捕集部50に至る。捕集部50に到達した帯電微粒子Pは、対向電極52によって発生した捕集用電界によって捕集電極54に捕集される。第2電流計62は、捕集電極54に捕集された帯電微粒子Pの電荷28に基づく第2電流I2を測定する。一方、微粒子26に付加されなかった電荷28は、電界が弱くても余剰電荷除去部40の除去電極44に引き寄せられ、除去電極44から第1電流計48を経てグランドに捨てられる。第1電流計61は、除去電極44に捕集された電荷28に基づく第1電流I1を測定する。微粒子26に付加されなかった不要な電荷28は、余剰電荷除去部40によって除去されるため、捕集部50にほとんど到達することがない。
個数検出部60のCPUは、所定の微粒子数検出タイミングごとに、個数検出部60のROMに記憶された微粒子数検出処理ルーチンのプログラムを読み出し、これを実行する。図5は微粒子数検出処理ルーチンのフローチャートである。
個数検出部60のCPUは、微粒子数検出処理ルーチンを開始すると、まず、電荷発生部30で電荷を発生させる前に除去電極44を流れる第1電流I1を第1電流計48から入力し、RAMに記憶する(ステップS100)。続いて、個数検出部60のCPUは、電荷発生部30で電荷を発生させる(ステップS110)。具体的には、個数検出部60のCPUは、放電用電源36の数kVのパルス電圧が放電電極32と2つの誘導電極34,34との間に印加されるようにする。これにより、両電極間の電位差による気中放電が発生する。続いて、個数検出部60のCPUは、電荷発生後の第1電流I1を第1電流計48から入力してRAMに記憶し(ステップS120)、電荷発生前後で第1電流I1が変化したか否かを判定する(ステップS130)。例えば、個数検出部60のCPUは、電荷発生前の第1電流I1と電荷発生後の第1電流I1との差を算出し、その差がゼロ(実質的にゼロとみなせる微小値だった場合も含む、以下同じ)だったならば、電荷発生前後で第1電流I1が変化しなかったと判定し、ゼロでなかったならば、電荷発生前後で第1電流I1が変化したと判定する。電荷発生後の第1電流I1については、電荷発生後所定期間が経過する前の第1電流I1を入力することが好ましい。所定期間とは、排ガスの流量がゼロのときに電荷発生部30で電荷を発生させたあとその電荷が除去電極44に拡散して到達するまでの期間である。この所定期間は、実験などにより予め求めておくものとする。
個数検出部60のCPUは、電荷発生前後で第1電流I1が変化しなかったならば、排ガスの流量はゼロであると推定して、第2電流I2のゼロ点補正(その時点で第2電流I2をゼロに設定する補正)を実行する(ステップS140)。第2電流I2のベースラインは、経時的に徐々に上がっていく傾向を示す。第2電流I2は、排ガスの流量がゼロであれば、帯電微粒子Pが捕集電極54に捕集されないためゼロになるはずである。そのため、排ガスの流量がゼロであると推測できるタイミングで第2電流I2のゼロ点補正を行う。ここでは、電荷発生前後で第1電流I1が変化していなければ、電荷発生部30で発生した電荷は排ガスの流れによって余剰電荷除去部40に到達しないため、排ガスの流量がゼロであると推測する。個数検出部60のCPUは、ステップS140のあと又はステップS130で第1電流I1が変化していたとき、捕集電極54を流れる第2電流I2を第2電流計62から入力し(ステップS150)、第2電流I2に基づいて微粒子数を算出し(ステップS160)、その微粒子数を表示部66に出力し(ステップS170)、このルーチンを終了する。
ここで、ステップS160で微粒子数を算出する手順について説明する。第2電流I2と電荷量qの関係は、I2=dq/(dt)、q=∫I2dtである。個数検出部60のCPUは、一定期間にわたって電流値を積分(累算)してその積分値(蓄積電荷量)を求め、蓄積電荷量を素電荷で除算して電荷の総数(捕集電荷数)を求め、それを捕集電極54に捕集された微粒子26の個数Ntとする(下記式(1)参照)。個数検出部60のCPUは、この個数Ntを排ガス中の微粒子26の数として検出する。ここでは、1つの微粒子26に付加する電荷の数の平均値(平均帯電数)を1であると仮定した。
Nt=(蓄積電荷量)/(素電荷) …(1)
なお、微粒子検出素子20の使用に伴い、微粒子26等が捕集電極54に数多く堆積すると、新たに帯電微粒子Pが捕集電極54に捕集されないことがある。そのため、定期的にあるいは堆積量が所定量に達したタイミングで、捕集電極54をヒータ電極72によって加熱することにより、捕集電極54上の堆積物を加熱して焼却し捕集電極54の電極面をリフレッシュする。また、ヒータ電極72により、筐体22の内周面に付着した微粒子26を焼却することもできる。
以上説明した本実施形態の微粒子検出器10では、電荷発生部30が電荷28を発生させることでガス流路24内に導入されたガス中の微粒子26を帯電微粒子Pにし、微粒子26に付加されなかった余剰電荷を除去電極44が捕集し、帯電微粒子Pを捕集電極54が捕集する。個数検出部60は、除去電極44に捕集された余剰電荷に応じて変化する第1電流I1に基づいて、捕集電極54に捕集された帯電微粒子Pに応じて変化する第2電流I2を補正(ゼロ点補正)し、補正後の第2電流I2に基づいて微粒子数を検出する。このため、この微粒子検出器10によれば、微粒子検出器10の外部(例えば自動車の車両制御部)からの信号を利用することなく、自身が単独で微粒子数を補正することができる。
また、個数検出部60は、電荷発生部30で電荷を発生させる前後で第1電流I1が変化したか否かを判定し、第1電流I1が変化しなかったならばそのタイミングで第2電流I2のゼロ点補正を行っている。電荷を発生させる前後で第1電流I1が変化しなかったということは、実質的に流量がゼロだと推定することができる。そのため、実質的に流量がゼロのタイミングで第2電流I2のゼロ点補正を行うことができる。
更に、個数検出部60は、電荷発生部30で電荷を発生させる前後で第1電流I1が変化したか否かを判定するにあたり、電荷発生部30で電荷を発生させる直前の第1電流I1と電荷発生後所定期間が経過する前の第1電流I1とを比較して判定する。所定期間とは、排ガスの流量がゼロのときに電荷発生部30で電荷を発生させたあとその電荷が除去電極44に拡散して到達するまでの期間である。そのため、より適切なタイミングで第2電流I2のゼロ点補正を行うことができる。
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
例えば、上述した実施形態では、図5に示した微粒子数検出ルーチンを実行したが、その代わりに、図6に示した微粒子数検出処理ルーチンを実行してもよい。すなわち、個数検出部60のCPUは、まず、電荷発生部30で電荷を発生させ(ステップS210)、電荷発生後の第1電流I1を第1電流計48から入力する(ステップS220)。なお、ステップS220では、上述した実施形態のように電荷発生後所定期間が経過する前に第1電流I1を第1電流計48から入力してもよい。続いて、個数検出部60のCPUは、その第1電流I1がゼロか否かを判定し(ステップS230)、ゼロだったならば排ガスの流量がゼロであると推定して第2電流I2のゼロ点補正を実行し(ステップS240)、その後既述のステップS150〜S170の処理を実行し、ゼロでなかったならばそのままステップS150〜S170の処理を実行する。ここでは、電荷発生前は除去電極44に捕集されるべき電荷がないため第1電流I1はゼロであることを前提としている。そのため、ステップS230で第1電流I1がゼロだった場合は、電荷発生前後で第1電流I1がゼロのまま変化しなかったといえる。この図6に示した微粒子数検出処理ルーチンを実行した場合でも、上述した実施形態と同様の効果が得られる。
あるいは、図5又は図6に示した微粒子数検出ルーチンのステップS150〜S170(1点鎖線で囲ったステップ)の代わりに、図7に示したステップS350〜S370を実行してもよい。すなわち、個数検出部60のCPUは、除去電極44を流れる第1電流I1及び捕集電極54を流れる第2電流I2を入力し(ステップS350)、第1及び第2電流I1,I2に基づいて微粒子数を算出する(ステップS360)。具体的には、ステップS360では、個数検出部60のCPUは、まず、第1電流I1に基づいて平均帯電数(1つの微粒子26に付加する電荷の数の平均値)を求める。電荷発生部30で発生する電荷28の量は、微粒子26に帯電する電荷28の量に比べて大過剰である。そのため、電荷発生部30で発生した電荷28のすべてが除去電極44に捕集されたとみなす。そうすると、第1電流I1は、電荷発生部30で発生した電荷28の量を表すことになる。また、電荷発生部30で発生した電荷28の量と平均帯電数との間には相関がある。つまり発生した電荷28の量が多いほど平均帯電数が高くなる。したがって、第1電流I1と平均帯電数との間には相関がある。第1電流I1と平均帯電数との対応関係は、予め実験などにより求めることができ、個数検出部60のROMなどに記憶される。その対応関係の一例を表1に示す。この対応関係を用いて、第1電流I1から平均帯電数を求める。次に、個数検出部60のCPUは、第2電流I2を平均帯電数で補正して補正後の第2電流I2cを求める。ここでは、第2電流I2を平均帯電数で除した値を補正後の第2電流I2cとする。その一例を表1に示す。その後、個数検出部60のCPUは、補正後の第2電流I2cを用いて上述した式(1)から微粒子の数を求める。こうすることにより、微粒子数をより精度よく求めることができる。
Figure 2019138738
上述した実施形態では、電荷発生部30として、ガス流路24の内面に沿って設けられた放電電極32と筐体22に埋設された2つの誘導電極34,34とにより構成したが、気中放電により電荷を発生するものであれば特にどのような構成でも構わない。例えば、誘導電極34,34をガス流路24の壁に埋設する代わりに、ガス流路24の内面に沿って設けてもよい。あるいは、電荷発生部を針状電極と対向電極とで構成してもよい(例えば国際公開第2015/146456号パンフレット参照)。また、上述した実施形態では、電荷発生部30を流路壁22cに設けたが、これに代えて又は加えて、電荷発生部30を流路壁22dに設けてもよい。
上述した実施形態では、対向電極52はガス流路24に露出していたが、これに限らず筐体22に埋設されていてもよい。この点は、印加電極42も同様である。
上述した実施形態では、微粒子検出器10をエンジンの排気管12に取り付ける場合を例示したが、特にエンジンの排気管12に限定されるものではなく、微粒子を含むガスが流通する管であればどのような管であってもよい。
上述した実施形態では、微粒子検出素子20は微粒子の数を検出するものとしたが、微粒子の質量や表面積などを検出するものとしてもよい。微粒子の質量は、例えば、微粒子の数に微粒子の平均質量を乗じることにより求めることができるし、予め蓄積電荷量と捕集された微粒子の質量との関係をマップとして記憶装置に記憶しておき、このマップを用いて蓄積電荷量から微粒子の質量を求めることもできる。微粒子の表面積についても、微粒子の質量と同様の方法で求めることができる。
10 微粒子検出器、12 排気管、14 支持体、16 台座、18 保護カバー、20 微粒子検出素子、22 筐体、22a 下端、22b 上端、22c 流路壁、22d 流路壁、24 ガス流路、24a ガス導入口、24b ガス排出口、26 微粒子、28 電荷、30 電荷発生部、32 放電電極、33 端子、34 誘導電極、35 端子、36 放電用電源、40 余剰電荷除去部、42 印加電極、43 端子、44 除去電極、45 端子、46 除去用電源、48 電流計、50 捕集部、52 対向電極、53 端子、54 捕集電極、55 端子、56 捕集用電源、60 個数検出部、62 電流計、64 個数測定装置、66 表示部、72 ヒータ電極、75 端子、80 付属ユニット。

Claims (5)

  1. ガス中の微粒子を検出するために用いられる微粒子検出器であって、
    前記ガスが通過するガス流路を有する筐体と、
    前記ガス流路内に導入された前記ガス中の微粒子に放電によって発生させた電荷を付加して帯電微粒子にする電荷発生部と、
    前記ガス流路内で前記電荷発生部よりも前記ガスの流れの下流側に設けられ、前記微粒子に帯電しなかった余剰電荷を捕集する第1捕集部と、
    前記ガス流路内で前記第1捕集部よりも前記ガスの流れの下流側に設けられ、前記帯電微粒子を捕集する第2捕集部と、
    前記第1捕集部に捕集された前記余剰電荷に応じて変化する第1物理量に基づいて前記第2捕集部に捕集された前記帯電微粒子に応じて変化する第2物理量を補正し、補正後の前記第2物理量に基づいて前記微粒子の量を検出する検出部と、
    を備えた微粒子検出器。
  2. 前記検出部は、前記電荷発生部で前記電荷を発生させる前後で前記第1物理量が変化したか否かを判定し、前記第1物理量が変化しなかったならばそのタイミングで前記第2物理量のゼロ点補正を行う、
    請求項1に記載の微粒子検出器。
  3. 前記検出部は、前記電荷発生部で前記電荷を発生させる前後で前記第1物理量が変化したか否かを判定するにあたり、前記電荷発生部で前記電荷を発生させる直前の前記第1物理量と、予め前記ガスの流量がゼロのときに前記電荷発生部で前記電荷を発生させたあと前記電荷が前記第1捕集部に到達するまでの期間を求めておき該期間内における前記第1物理量とを比較して判定する、
    請求項2に記載の微粒子検出器。
  4. 前記検出部は、前記第1物理量に基づいて前記微粒子1つあたりの帯電数を求め、前記第2物理量を前記帯電数で補正し、補正後の前記第2物理量に基づいて前記微粒子の量を検出する、
    請求項1〜3のいずれか1項に記載の微粒子検出器。
  5. 前記検出部は、前記第1物理量に基づいて前記微粒子1つあたりの帯電数を求めるにあたり、予め記憶部に記憶された前記第1物理量と前記微粒子1つあたりの帯電数との対応関係を用いて、前記第1物理量に対応する前記微粒子1つあたりの帯電数を求める、
    請求項4に記載の微粒子検出器。
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