JP2019130636A - 保持面の研削方法 - Google Patents
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Abstract
Description
保持面24aの中央に凹み部25が形成された保持テーブル21では、例えば厚みのあるウェーハを吸引保持する際、凹み部25にならってウェーハの中央部分も吸引保持できるため、保持面24aの中央とウェーハの中央部分との間に隙間が生じることはなくなる。したがって、保持面24aでウェーハを隙間無く保持できるため、ウェーハの中央が過度に研削されるのを防ぐことができ、ウェーハを均等の厚さに研削することが可能となる。
10:研削手段 11:スピンドル 12:マウント 13:研削ホイール
14:研削砥石 15:レジンボンド 16:ダイヤモンド砥粒 17:昇降手段
20:保持手段 21:保持テーブル 22:モータ 23:枠体
24:ポーラス部材 25:凹み部
Claims (2)
- 環状に研削砥石を配設した研削ホイールの中心を軸に回転させる研削手段と、ウェーハを保持する保持面の中心を軸に保持テーブルを回転させる保持手段とを備えた研削装置を用いて、該保持面の中心を通過する該研削砥石で該保持面を研削する保持面の研削方法であって、
該研削砥石は、レジンボンドにダイヤモンド砥粒を混入させ固形化したレジンボンド砥石であり、
該保持面の中心を頂点とする略円錐面の該保持面を形成するように該研削ホイールの中心の該軸と該保持テーブルの中心の該軸とを相対的に傾けて該保持面の外周から該保持面の中心に至るまで該研削砥石の研削面を接触させ、
該研削面が該保持面に接触しているときは、該研削面に表出した該ダイヤモンド砥粒に研削荷重をかけて該保持面の外周から該保持面の中心に向かって該保持面を研削し、該保持面の中心を通過した該研削面の研削荷重を受けていない該ダイヤモンド砥粒により該保持面の中心から径方向外側を研削する保持面の研削方法。 - 前記ダイヤモンド砥粒は、粒度600を用いた請求項1記載の保持面の研削方法。
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