JP2019117070A - 非接触測定システム - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施例1に係る非接触測定システムについて説明する。図1は、本発明の実施例1に係る非接触測定システムの構成を示すブロック図を示す。図1に示されるように、本実施例1に係る非接触測定システムは、静電容量型センサ101と、静電容量型センサ101に所定の周波数で所定の振幅の交流電圧を印加する高周波電源102と、静電容量型センサ101における電流及び電圧の測定値に基づいて静電容量型センサ101の静電容量値を算出する測定部(例えばLCRメータなど)103と、を備える。
以下、本発明の実施例2に係る非接触測定システムについて説明する。図3は、本発明の実施例2に係る非接触測定システムで使用される静電容量型センサの概略図を示す。図3には、静電容量型センサ部210と、被測定物220を配置する被測定物用容器230と、被測定物用容器230を支持する支持体240と、グラウンドに接地されたグラウンド電極250と、を備えた静電容量型センサ201が示されている。
以下、本発明の実施例3に係る非接触測定システムについて説明する。図6は、本発明の実施例3に係る非接触測定システムの構成のブロック図を示す。図6に示されるように、本実施例3に係る非接触測定システムは、静電容量型センサ301と、所定の周波数で所定の振幅の交流電圧を印加する高周波電源302と、静電容量型センサ301の静電容量値を測定する例えばLCRメータなどの測定部303と、制御部304と、記憶部305と、を備える。本実施例3において、上記実施例で説明した構成要素と同様の構成要素については、同様の構成・機能を有しているため、説明を省略する。
以下、本発明の実施例4に係る非接触測定システムについて説明する。本実施例4に係る非接触測定システムは、図6で示した構成と同様の構成を有しており、被測定物の濃度を測定することができる。本実施例4においては、特に言及する場合を除き、上記実施例で説明した構成要素と同様の構成要素については同様の構成・機能を有しているため、説明を省略する。
Claims (6)
- 静電容量型センサと、
前記静電容量型センサの静電容量値を測定する測定部と、
を備えた非接触測定システムであって、
前記静電容量型センサは、静電容量を形成する静電容量型センサ部と、被測定物を配置する被測定物用容器と、を含み、
前記静電容量型センサは、前記被測定物用容器に前記被測定物を配置した状態において前記被測定物用容器を隔てて前記被測定物とは接触しないように配置され、
前記測定部は、前記被測定物用容器に前記被測定物を配置した状態において前記静電容量型センサの静電容量値を測定することを特徴とする非接触測定システム。 - 前記被測定物用容器の近傍に、前記被測定物に接触しないように設けられた電極をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の非接触測定システム。
- 前記電極はグラウンドに接地されたグラウンド電極であることを特徴とする請求項2に記載の非接触測定システム。
- 前記静電容量型センサ部は、
基材と、
前記基材の第1の表面に形成された第1の電極と、
前記基材の前記第1の表面とは反対側の第2の表面に形成され、前記第1の電極とは面積が異なる第2の電極と、を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の非接触測定システム。 - 制御部と、
前記被測定物についての検出閾値範囲を記憶した記憶部と、
をさらに備え、
前記制御部は、
前記測定部によって測定された静電容量値が前記検出閾値範囲内にあるか否かを判定し、
前記測定された静電容量値が前記検出閾値範囲内にはないと判定した場合、前記被測定物における異常を検出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の非接触測定システム。 - 制御部と、
前記被測定物の濃度と前記測定部が測定した静電容量値の変化量との関係に関する検量線を記憶した記憶部と、
をさらに備え、
前記制御部は、
前記検量線において、前記測定部によって測定された静電容量値に対応する濃度を、前記被測定物の濃度とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の非接触測定システム。
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- 2017-12-26 JP JP2017250214A patent/JP7048043B2/ja active Active
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Also Published As
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