JP2019113064A5 - - Google Patents

Description

モーターは、例えば、永久磁石同期機械として、特に内側に位置する磁石を有し、又はＩＰＭＳＭとして形成されていることが可能である。よって、効率は更に向上させられることが可能である。特に、ＩＰＭＳＭによって特別高い効率が達成されることが可能だからである。

さらなる実施形においては、スクリュー式ローターが、それぞれ、スクリュー軸に沿って隣接する少なくとも二つの部分を有し、その際、スクリュー式ローターは、それぞれ、インレットの近くに置かれた第一の部分内に、少なくとも基本的に一定であるか、又は増加するピッチを有し、そして第二の部分内に、第一の部分におけるよりも小さいピッチを有する。そしてその際、スクリュー軸に関して第一の部分は、第一の部分内の閉じられた搬送量よりも長く、特に、スクリュープロフィルの一回転、又は３６０度よりも長い。これによって、圧縮された領域とポンプのインレットの間の間隙長は拡大され、これによって相応するシール性が改善される。よってポンプは、より効率的に形成されることが可能である。更に、これによって、インレット領域のスクリュー式ローターのためのカバー面の必要な作業品質が下げられることが可能である。これは、ポンプの製造コストを下げる。

例えば、ポンプが、制御装置を有し、この制御装置は、ポンプを、少なくとも通常作動モードにおいて、約１２０Ｈｚ以下、特に約８０Ｈｚ以上のローター回転数で作動させるよう形成されている、又は設けられていることが可能である。これによって、相応して低い電力消費、又は相応して低い機械的損失が達成される。これは特に、吐出ポンプ段の領域に言える。ここで、又はアウトレット領域において、ローター温度、およびハウジング温度、並びにアウトレットガス温度が低く保たれる。

スクリュー式真空ポンプのスクリュー式ローターは、特にサイクロイドプロフィルによって形成されている、又はそのようなものを有することが可能であり、及び／又は、二段式に形成されていることが可能である。スクリュー式ローターのスクリューピッチは、例えば、部分的に一定に形成されていることが可能である、つまり、ピッチは、スクリュー軸に沿って、部分部分の間の移行部領域においてのみ変化する。その際、移行部領域は、特に一つの部分よりも小さく、特にすべての移行部領域がすべての部分よりも小さい。

サイドカット３６は、シールド、又は熱バリアを形成する。これは詳しく言うと、特に、スクリューローター２８，３０の領域においてポンプ作動の間に発生する熱のためのものである。より少ない材料断面が残ることによって、及び変形によって熱パスが変更されることによって、スクリューモーターからの熱（そうでなければハウジング１６内で広がる熱）が、その他の領域に至ることが防止される。よって特にオイルはギアボックス１４内において、そして支承部５６は、あまりに高い温度から保護される。ギアボックス１４内ないに配置された浸漬クーラー１４は、同様に温度減少に貢献する。これは、ギアボックス１４内の図示されないオイル槽中に配置され、よってオイルを直接冷却する。

スクリューローター２８および３０は、そのそれぞれのスクリュープロフィル３８または４０において、異なるピッチの三つの部分を有する。ポンプ方向において第一の部分６２は、図４において左側で、吸引領域を形成しており、そして一定で、かつ三つの部分で最も大きなピッチを有する。第一の部分６２は、スクリュー軸６３（これは各ローター２８または３０に沿って延びている）に関して、第一の部分内の閉じられた搬送量よりも長い。第二の部分６４は、複数の下位部分を有する。これらは、詳細には参照されていない。下位部分は、それぞれ一定の、スクリュープロフィル３８又は４０において異なるピッチを有している。その際、ピッチは、第一の部分におけるよりも小さい。第二の部分６４は、ここでは最も長い部分を形成する。より小さいピッチを有する第三の部分６６は、排出部分を形成する。第三の部分は、ここでもまた、一定のピッチである。ポンプ方向に沿って減少するピッチによって、内側での圧縮が行われる。これは、ポンプガスを既に排出の前に圧縮する。

スクリュー式真空ポンプ１０は、内側のシールを有する。ポンプ１０のスクリュー式ローター２８、３０は、ここでも、ハウジング１６と相互作用し閉じられた搬送量を取り囲む。そのサイズは、インレット側の端部において、又は部分６２において、アウトレット側の端部において、又は部分６２においてよりも大きい。搬送量のサイズは、スクリュープロフィル３８，４０の断面によって、およびそのピッチによって決定される。

インレット側、又は部分６２における搬送量のサイズは、スクリュー式ポンプ１０の理論的吸引性能を決定する。スクリュープロフィル３８，４０のピッチは、インレット側で部分６２にわたって一定であり、よって搬送量は、内側のシールを通り分かれた後に初めて圧縮される。各ローター２８，３０が各搬送量をあまりに早く、またはあまりに遅く取り囲むと、または内側の圧縮があまりに早く開始すると、ポンプの理論的な吸引性能は沈む。

部分６６においては、ピッチはスクリュープロフィル３８，４０の複数の回転にわたって一定である。ピッチはその際、所定の処理ツールによって達成可能なピッチの略最小に相当し、よって、特にコストを考慮すると製造技術に起因している。複数の回転が、つまり複数の閉じられた搬送量が、部分６６内に意図されていることによって、間隙の間の圧力差の結果の逆流は補償される。全体として、特に ローター２８，３０の全体のピッチの延びと、ローター２８，３０とローター２８，３０とハウジング１６の間に形成される間隙の間のサイズが、ポンプの真空技術的な性能データ、つまり特に吸引性能と、達成可能な最終圧力を決定する。

スクリュープロフィル３８，４０は、その二段の態様によって、特に低いアンバランスを有する。つまり例えば補償要素（追加的な構造空間を要求する、例えば補償質量のようなもの）、及び／又は、補償穴（この穴の中に質量が保存されることが可能である）が必要ない。ポンプは、二段のサイクロイドスクリュープロフィル３８，４０によって、更なる回転数領域で、特に回転数制御によって、及び／又はスタンバイ作動モードで運転されることが可能である。

Claims (2)

1. スクリュー式ローター（２８，３０）が、それぞれ、スクリュー軸（６３）に沿って隣接する少なくとも二つの部分（６２，６４）を有し、その際、スクリュー式ローター（２８，３０）が、それぞれ、インレット（２２）の近くに位置する第一の部分（６２）において少なくとも基本的に一定で、かつ第二の部分（６４）において第一の部分（６２）においてよりも小さいピッチを有し、そしてその際、スクリュー軸（６３）に関して、第一の部分（６２）が、第一の部分（６２）における閉じられた搬送ボリュームよりも長いことを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ（１０）。
2. ポンプ（１０）が、制御装置を有し、この制御装置は、ポンプ（１０）を、少なくとも通常作動モードにおいて、約１２０Ｈｚ以下、特に約８０Ｈｚ以上のローター回転数で作動させるよう形成されている、又は設けられていることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載のスクリュー式真空ポンプ（１０）。