JP2019106881A - 移動制御装置及び位置決め制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
の速度を制御することを特徴とする。
Vmax=√(2*a*X0)…(2)
これにより、追加部品を必要とせずに瞬停又は瞬時電圧低下に対応することができ、しかも追加費用や配置場所の確保が不要であるとともに、瞬停又は瞬時電圧低下の規格変更に対しても容易に対応することができる。
ことが好ましい。
本発明は、半導体ウエハを保持するステージを少なくとも1つの移動部を有する移動機構で移動させて半導体ウエハに処理を施す半導体製造装置であれば、どのようなものにも適用可能である。
これにより、ステージ16のX軸方向の位置決めがなされる。
形成する。なお、図2で示したタイムチャートの減速期間の場合も基本的には加速期間と同様のトルクパターンを形成する。
ものである。
演算部88は、次の演算処理ステップを行う。
演算部88は、各移動部20、22、24において、加速期間又は減速期間での瞬停又は瞬時電圧低下の発生時に、制御信号を増幅する増幅器90のコンデンサ容量で各移動部20、22、24を駆動するサーボモータ44、58、74が正常に駆動する最大許容速度V0を決定する。
次に演算部88は、最大許容速度V0からステージ移動の最大許容変位量X0を求める。即ち、制御信号を増幅する増幅器90のコンデンサ容量で瞬停又は瞬時電圧低下に耐えられる変位量の最大許容値を求める。
この許容変位量X0としては、該許容変位量X0をステージ16の移動時間に換算したときに、推奨されている1cycleの瞬停であることが好ましい。具体例として、例えばSEMI−F47で規定される20msとすることができる。図3から分かるように、変位量は、加速度aの傾斜線と横軸の時間軸とで挟まれる斜線部分の面積を求めることに相当し、変位量を移動時間に換算することができる。
次に演算部88は、各移動部20、22、24の逐次動作における加速期間又は減速期間の個別変位量、若しくは各移動部20、22、24の複合動作における加速期間同士、減速期間同士、又は加速期間と減速期間との複合動作部分の合計変位量が最大許容変位量X0以下になるように各移動部20、22、24の上限速度Vmaxを演算する。
ただし、実機では、摩擦や慣性モーメントがあるため、補正テーブルを作成することが好ましい。
図4は、制御部86が各移動部20、22、24を逐次動作させる場合のタイムチャート図である。
図5は、制御部86が各移動部20、22、24を複合動作させる場合のタイムチャート図である。
そして、制御部86は演算部88が演算した各移動部20、22、24の上限速度Vmaxを超えないように各移動部20、22、24の加速期間及び減速期間の最高速度を制御する。
Claims (6)
- ワークを保持するステージと、
前記ステージを移動させて前記ワークの位置決めを行う移動部を有する移動機構と、
前記移動部のモータを駆動するモータ駆動部と、
前記モータ駆動部への制御信号を増幅する増幅器とを備える装置を制御する移動制御装置であって、
前記移動部の加速期間又は減速期間において瞬間的な電圧の低下が発生したときに前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが駆動する最大許容速度V0を決定し、前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求める演算部と、
前記モータ駆動部に制御信号を送信して前記モータ駆動部を制御する制御部であって、前記移動部の加速期間又は減速期間の変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記移動部の速度を制御する制御部と、
を備える移動制御装置。 - 前記移動機構は、
前記ステージをX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ移動させるX軸移動部、Y軸移動部、及びZ軸移動部の各移動部を有し、
前記演算部は、前記各移動部において、前記加速期間又は減速期間において瞬間的な電圧の低下が発生したときに前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが駆動する最大許容速度V0を決定し、前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求め、
前記制御部は、前記各移動部の動作が相互に重複しない逐次動作時には、前記各移動部の前記加速期間又は減速期間における個別の変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記各移動部の速度を制御する、請求項1に記載の移動制御装置。 - 前記移動機構は、
前記ステージをX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ移動させるX軸移動部、Y軸移動部、及びZ軸移動部の各移動部を有し、
前記演算部は、前記各移動部において、前記加速期間又は減速期間において瞬間的な電圧の低下が発生したときに前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが駆動する最大許容速度V0を決定し、前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求め、
前記制御部は、前記各移動部のうちの少なくとも2つの移動部の動作が重複する複合動作時には、該少なくとも2つの移動部の前記加速期間又は減速期間における変位量の合計が前記最大許容変位量X0以下になるように前記各移動部の速度を制御する、請求項1又は2に記載の移動制御装置。 - ワークを保持するステージを、移動部を有する移動機構で移動させて前記ワークの位置決めを行う位置決め制御方法であって、
前記移動部の加速期間又は減速期間において瞬間的な電圧の低下が発生したときに、制御信号を増幅する増幅器のコンデンサ容量で前記移動部を駆動するモータが駆動する最大許容速度V0を決定する最大許容速度決定ステップと、
前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求める最大許容変位量取得ステップと、
前記移動部の加速期間又は減速期間の変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記移動部の速度を制御する速度制御ステップと、
を備える位置決め制御方法。 - 前記移動機構は、
前記ステージをX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ移動させるX軸移動部、Y軸移動部、及びZ軸移動部の各移動部を有し、
前記最大許容速度決定ステップでは、前記各移動部において、前記加速期間又は減速期間において瞬間的な電圧の低下が発生したときに前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが駆動する最大許容速度V0を決定し、
前記速度制御ステップでは、前記各移動部の動作が相互に重複しない逐次動作時には、前記各移動部の前記加速期間又は減速期間における個別の変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記各移動部の速度を制御する、請求項4に記載の位置決め制御方法。 - 前記移動機構は、
前記ステージをX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ移動させるX軸移動部、Y軸移動部、及びZ軸移動部の各移動部を有し、
前記最大許容速度決定ステップでは、前記各移動部において、前記加速期間又は減速期間において瞬間的な電圧の低下が発生したときに前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが駆動する最大許容速度V0を決定し、
前記速度制御ステップでは、前記各移動部のうちの少なくとも2つの移動部の動作が重複する複合動作時には、該少なくとも2つの移動部の前記加速期間又は減速期間における変位量の合計が前記最大許容変位量X0以下になるように前記各移動部の速度を制御する、請求項4又は5に記載の位置決め制御方法。
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