CN219695258U - 探针模组及检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种探针模组及检测装置，包括基体、第一驱动组件、第二驱动组件、第一探针、探针组及针模；第一驱动组件和第二驱动组件均连接在基体上；第一探针连接在第一驱动组件上；针模连接在第二驱动组件上；探针组包括多个第二探针，各第二探针均连接在针模上；第一驱动组件用于驱动第一探针运动，以分别调整其在Z轴和X轴上的位置，第二驱动组件用于驱动针模和各第二探针同步运动，以调整其在Z轴上的位置；第一探针和第二探针能够同时与放置在载具上的待测产品的检测点抵触。这样设置是本实施例的探针模组不仅可以兼顾探针针床式模组的测试快捷性的优点，还可以兼顾数控飞针式模组的低成本和方便性的优点。

Description

探针模组及检测装置

技术领域

本实用新型属于电路板测试技术领域，尤其涉及一种探针模组及检测装置。

背景技术

柔性印制电路板(Flexible Printed Circuit board，以下简称FPCB)因其具备轻、薄、柔以及连接可靠性高等优点，其广泛应用于3C、电动汽车、智能硬件、通讯产品、MEMS的电路连接等场景中。FPCB光板在制成后需要通过相应的检测装置进行四类必要的测试：Open测试、Short测试、Spark测试以及高压测试。

现有的检测装置通常包括检测模组和探针模组，检测模组与探针模组电性连接，工作时，探针模组可以与待测FPCB光板的检测点电性抵触，进而实现检测模组与待测FPCB光板的检测点的电性连接，这样便可以对待测FPCB光板进行相应测试。

探针模组通常包括两种：一种是探针针床式模组，另一种是数控飞针式模组。探针针床式模组需要针对FPCB的所有测试点设计专用针模，针模上的探针与测试点一一对应，后续每步测试时，可以根据不同的测试要求，对相应的位置上的探针进行通电，以便完成相应测试。数控飞针式模组的探针数量与FPCB的测试点的数量无关，此模组中一般只配置有限根探针(常见为2个、4个、8个等)，每根探针都被独立安装在相应的X、Y、Z三轴滑台上，使得各探针均能够在X轴、Y轴以及Z轴上运动，后续每步测试时，可以根据不同的检测需求，通过各三轴滑台将各探针调整到于FPCB的相应测试点对应，然后再进行扎针(即使各探针与对应的测试点电性抵触)并进行通电测试。

但是这两种探针模组都不利于对大尺寸电路板进行检测，其中，长×宽大于510mm×610mm的FPCA被称为大尺寸电路板。比如，采用探针针床式模组大尺寸电路板进行检测时，则需要制备大尺寸的针模，导致探针针床式模组的制作周期长、成本高，而且更换和维护也比较困难；采用数控飞针探针模组大尺寸电路板进行检测时，由于FPCA的幅面较大、测试点比较分散，将探针位置调整至相应的检测点处所花费时间较多，进而导致整个测试速度较低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术中探针模组不利于对大尺寸电路板进行检测的问题，提供一种探针模组及检测装置。

为了解决上述问题，一方面，本实用新型实施例提供一种探针模组，包括基体、第一驱动组件、第二驱动组件、第一探针、探针组以及针模；所述第一驱动组件和所述第二驱动组件均连接在所述基体上；所述第一探针连接在所述第一驱动组件上；所述针模连接在所述第二驱动组件上；所述探针组包括多个第二探针，各所述第二探针均连接在所述针模上；所述第一驱动组件用于驱动所述第一探针运动，以分别调整所述第一探针在Z轴和X轴上的位置，所述第一驱动组件调整所述第一探针在Z轴方向的位置时，能够使所述第一探针靠近放置在载具上的待测产品；所述第二驱动组件用于驱动所述针模和各所述第二探针同步运动，以调整所述第二探针在Z轴上的位置，使得所述第二探针能够靠近放置在载具上的待测产品；所述第一探针和所述第二探针能够同时与放置在载具上的待测产品的检测点抵触。

可选的，所述第一驱动组件包括第一驱动单元、第二驱动单元以及第三驱动单元；所述第一驱动单元与所述基体连接，所述第二驱动单元与所述第一驱动单元连接，所述第三驱动单元与所述第二驱动单元连接；所述第一驱动单元用于驱动所述第一探针沿X轴运动；所述第二驱动单元用于驱动所述第一探针沿Y轴运动；所述第三驱动单元用于驱动所述第一探针沿Z轴运动。

可选的，所述第一驱动组件和所述第一探针均设有多个，一个所述第一驱动组件上连接一个所述第一探针。

可选的，所述第二驱动组件包括第四驱动单元、第五驱动单元、第六驱动单元、第一安装座、第二安装座以及第三安装座；所述第四驱动单元与所述基体连接，所述第五驱动单元通过所述第一安装座与所述第四驱动单元连接，所述第六驱动单元通过所述第二安装座与所述第五驱动单元连接，所述针模通过所述第三安装座与所述第六驱动单元连接；所述第四驱动单元用于驱动所述针模和各所述第二探针沿X轴同步运动；所述第五驱动单元用于驱动所述针模和各所述第二探针沿Y轴同步运动；所述第六驱动单元用于驱动所述针模和各所述第二探针沿Z轴同步运动。

可选的，所述第二驱动组件还包括第七驱动单元和第四安装座，所述第七驱动单元通过所述第四安装座与所述第六驱动单元连接，所述针模通过所述第三安装座与所述第七驱动单元连接；所述第七驱动单元用于驱动所述第三安装座、所述针模以及各所述第二探针绕Z轴同步转动。

可选的，所述第二驱动组件还包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件连接在所述第三安装座上，所述第二限位件连接在所述第四安装座上，所述第七驱动单元驱动所述第三安装座转动过程中，所述第一限位件能够与所述第二限位件抵触，以限定所述第三安装座的最大转动范围。

可选的，所述探针模组还包括第三探针，所述第二驱动组件还包括第八驱动单元；所述第八驱动单元连接在所述第二安装座上，所述第三探针与所述第八驱动单元连接；所述第八驱动单元用于驱动所述第三探针运动，以调整所述第三探针在Z轴上的位置。

可选的，所述探针模组还包括位置识别单元，所述位置识别单元连接在所述第二安装座上，用于识别待测产品与所述第二探针的相对位置。

可选的，所述第三安装座包括支撑柱和针模安装板，所述支撑柱的一端与所述针模连接，所述支撑柱的另一端与所述针模安装板连接；所述针模安装板和所述针模沿着所述第二探针的轴向间隔设置，各所述第二探针中的至少一部分位于所述针模安装板和所述针模之间。

为了解决上述问题，另一方面，本实用新型实施例提供一种检测装置，包括检测模组以及上述任一项所述的探针模组。

在本实用新型实施例提供的探针模组及检测装置中，第一探针和第一驱动组件相当于是组成了现有技术中的数控飞针式模组，针模、探针组以及第二驱动组件相当是组成了现有技术柱的探针针床式模组，即本实施例中通常设置了这两种方式的探针模组，使用时，第一探针用于与待测产品的一部分检测点电性抵触，第二探针用于与待测产品的另一部分检测点电性抵触，当对大尺寸的待测产品进行检测时，无需使用大尺寸的针模，也无需第二探针移动过大的距离，从而可以有效避免成本升高，并降低检测时长提高检测效率。由此可见，本实施例提供的探针模组不仅可以兼顾探针针床式模组的测试快捷性的优点，还可以兼顾数控飞针式模组的低成本和方便性的优点。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的探针模组的局部结构的示意图；

图2是一种待测产品的结构示意图；

图3本实用新型一实施例提供的探针模组的第一驱动组件处的示意图一；

图4本实用新型一实施例提供的探针模组的第一驱动组件处的示意图二；

图5本实用新型一实施例提供的探针模组的第二驱动组件处的示意图一；

图6本实用新型一实施例提供的探针模组的第二驱动组件处的示意图二；

图7本实用新型一实施例提供的探针模组的第二驱动组件处的示意图三；

图8本实用新型一实施例提供的探针模组的第二驱动组件处的示意图四。

说明书中的附图标记如下：

100、探针模组；

1、基体；

2、第一驱动组件；21、第一驱动单元；211、直线电机；212、第一导向模块；213、第一检测模块；22、第二驱动单元；23、第三驱动单元；231、制动模块；

3、第二驱动组件；31、第四驱动单元；32、第五驱动单元；33、第六驱动单元；331、电机；332、丝杆传动机构；333、导向机构；334、第一限位结构；335、第二限位结构；34、第一安装座；35、第二安装座；351、第一安装板；352、第二安装板；36、第三安装座；361、支撑柱；362、针模安装板；37、第七驱动单元；371、旋转电机；372、减速机；38、第四安装座；381、第一连接板；382、第二连接板；391、第一限位件；392、第二限位件；393、光电传感器；394、感应块；30、第八驱动单元；

4、第一探针；

5、第二探针；5a、探针组；

6、针模；

7、位置识别单元；

8、第三探针；

200、待测产品；201、检测点；202、第一区域；203、第二区域。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1和图2所示，在一实施例中，检测装置包括检测模组、探针模组100以及载具，其中，检测模组与探针模组100电性连接，载具用于支撑放置待测产品200，探针模组100用于与放置在载具上的待测产品200的检测点201电性抵触，进而实现检测模组与待测产品200的检测点201的电性连接。其中，载具和检测模组均可以是现有设计，待测产品200可以是FPCB等。

如图1所示，在一实施例中，探针模组100包括基体1、第一驱动组件2、第二驱动组件3、第一探针4、探针组5a以及针模6；第一驱动组件2和第二驱动组件3均连接在基体1上；第一探针4连接在第一驱动组件2上；针模6连接在第二驱动组件3上；探针组5a连接在针模6上，其中，探针组5a包括多个第二探针5，各第二探针5均连接在针模6上。另外，“多个”是指大于或者等于两个，且“多个”在本申请各实施例中的含义相同，下文不再赘述。

使用时，第一驱动组件2用于驱动第一探针4运动，以分别调整第一探针4在Z轴和X轴上的位置，第一驱动组件2调整第一探针4在Z轴方向的位置时，能够使第一探针4靠近放置在载具上的待测产品200，当第一探针4在Z轴方向上的位移合适时，便可以抵触在载具上的待测产品200的检测点201上；第二驱动组件3用于驱动针模6和各第二探针5同步运动，以调整第二探针5在Z轴上的位置，使得第二探针5能够靠近放置在载具上的待测产品200，当第二探针5在Z轴方向上的位移合适时，便可以抵触在载具上的待测产品200的检测点201上；而且，第一探针4和第二探针5能够同时与放置在载具上的待测产品200的检测点201电性抵触。

第一探针4和第二探针5均与检测模组电性连接，当第一探针4和第二探针5电性抵触在待测产品200的检测点201上时，便可以实现检测模组与待测产品200的检测点201的电性连接。应当说明的是，第一探针4和各第二探针5均可以是通过相应的导电线与检测模组电性连接，具体的，第一探针4的一端用于与待测产品200的检测点201电性抵触，第一探针4的另一端通过导电线与检测模组电性连接；各第二探针5的一端用于与待测产品200的检测点201电性抵触，各第二探针5的另一端分别通过导电线与检测模组电性连接(一个第二探针5通过一个导电线与检测模组电性连接)。或者，各第二探针5的一端用于与待测产品200的检测点201电性抵触，各第二探针5的另一端也均可以是与一电路板电性连接，该电路板与检测模组电性连接，进而实现各第二探针5与检测模组的电性连接。

在本实施例中，第一探针4和第一驱动组件2相当于是组成了现有技术中的数控飞针式模组，针模6、探针组5a以及第二驱动组件3相当是组成了现有技术柱的探针针床式模组，即本实施例中通常设置了这两种方式的探针模组100，使用时，第一探针4用于与待测产品200的一部分检测点201电性抵触，第二探针5用于与待测产品200的另一部分检测点201电性抵触，当对大尺寸的待测产品200进行检测时，无需使用大尺寸的针模6，也无需第二探针5移动过大的距离，从而可以有效避免成本升高，并降低检测时长提高检测效率。由此可见，本实施例提供的探针模组100不仅可以兼顾探针针床式模组的测试快捷性的优点，还可以兼顾数控飞针式模组的低成本和方便性的优点。

在一实际使用场景中，载具位于探针模组100的下方，其中，Z轴平行于上下方向，X轴平行于水平方向。另外，第一探针4的轴线和各第二探针5的轴线均可以是平行于Z轴，此时，第一探针4的下端和各第二探针5的下端用于与待测产品200的检测点201电性抵触，此时，第一探针4的上端和各第二探针5的上端用于与检测模组电性连接。

另外，检测装置还包括工作台，载具、探针模组100以及检测模组均可以是安装在工作台上。其中，探针模组100可以是通过一龙门架连接在工作台上，进而实现与载具上下间隔设置。

在一实施例中，针模6为板状结构，其上面设有多个针孔，各针孔均沿着Z轴方向贯穿针模6，各第二探针5均可以是嵌设在相应的针孔中；其中，一个针孔内安装一个第二探针5，该针孔与该第二探针5之间过盈配合，且第二探针5的两端分别伸出针孔。另外，针模6、第二探针5以及第一探针4均可以是采用现有设计，本实施例在此不做过多限制说明。

通常情况下，第一驱动组件2上连接一个第一探针4。另外，第一驱动组件2和第一探针4均设有多个，一个第一驱动组件2上连接一个第一探针4。比如，第一驱动组件2和第一探针4均可以是两个。

如图2所示，在实际场景中，待测产品200可以分成两个区域，分别为第一区域202和第二区域203，其中，第一区域202的检测点201的密集程度小于第二区域203的检测点201的密集程度，检测时，第一探针4用于与第一区域202内的检测点201电性抵触，第二探针5用于与第二区域203内的检测点201电性抵触。由于第二区域203的检测点201较为密集，这样可以减小针模6的尺寸，从而可以进一步降低成本。另外，第一区域202内的检测点201的数量也可以是小于第二区域203内的检测点201的数量，这样可以避免第二探针5频繁移动，提高检测效率。

如图3和图4所示，在一实施例中，第一驱动组件2包括第一驱动单元21、第二驱动单元22以及第三驱动单元23；第一驱动单元21与基体1连接，第二驱动单元22与第一驱动单元21连接，第三驱动单元23与第二驱动单元22连接；其中，第一驱动单元21用于驱动第一探针4沿X轴运动；第二驱动单元22用于驱动第一探针4沿Y轴运动；第三驱动单元23用于驱动第一探针4沿Z轴运动。

具体的，第一驱动单元21实际上是驱动第二驱动单元22、第三驱动单元23以及第一探针4沿X轴同步运动；第二驱动单元22实际上是驱动第三驱动单元23以及第一探针4沿Y轴同步运动。或者，第二驱动单元22实际上是驱动第一驱动单元21、第三驱动单元23以及第一探针4沿Y轴同步运动；第一驱动单元21实际上是驱动第三驱动单元23以及第一探针4沿X轴同步运动。或者，第三驱动单元23实际上是驱动第二驱动单元22、第二驱动单元22以及第一探针4沿Z轴同步运动；第一驱动单元21实际上是驱动第二驱动单元22以及第一探针4沿X轴同步运动。或者，第三驱动单元23实际上是驱动第二驱动单元22、第二驱动单元22以及第一探针4沿Z轴同步运动；第二驱动单元22实际上是驱动第一驱动单元21以及第一探针4沿Y轴同步运动。

在实际场景中，X轴可以是平行于左右方向，Y轴可以是平行于前后方向。这样可以使第一探针4可以于更多的检测点201电性抵触。

如图4所示，在一实施例中，第一驱动单元21包括第一直线电机211、第一导向模块212以及第一检测模块213，第一直线电机211的定子安装在基体1上，第一直线电机211的动子与第一探针4连接，其中第一直线电机211的动子实际上通过第二驱动单元22以及第三驱动单元23等零部件与第一探针4连接；第一导向模块212分别连接基体1和第一直线电机211的动子，第一导向模块212用于对第一探针4沿X轴的运动进行导向；第一检测模块213与基体1连接，用于检测第一探针4在X轴上的运动距离。第一导向模块212包括相互配合的直线导轨和滑块，直线导轨安装在基体1上，第一直线电机211的动子与滑块连接。第一检测模块213可以是光栅尺，其中，光栅尺的标尺光栅可以是安装在基体1上，光栅尺的光栅读数头可以是安装在第一直线电机211的动子上。

在一实施例中，第二驱动单元22和第一驱动单元21可以是相同的结构，根据实际需要对第二驱动单元22进行安装便可以实现通过第二驱动单元22驱动第一探针4沿Y轴运动，并对第一探针4沿Y轴的运动进行导向及移动距离检测，本实施例在此不做过多说明。

如图4所示，在一实施例中，第三驱动单元23包括第一驱动单元21所具有的第一直线电机211、第一导向模块212以及第一检测模块213，根据实际需要对第三驱动单元23进行安装便可以实现通过第三驱动单元23驱动第一探针4沿Z轴运动，并对第一探针4沿Z轴的运动进行导向及移动距离检测，本实施例在此不做过多说明。另外，第三驱动单元23除了具有第一驱动单元21所具有的上述零部件之外，还包括制动模块231，制动模块231分别连接基体1和第一直线电机211的滑块，制动模块231用于在断电时锁紧第一直线电机211的滑块，避免第一探针4掉落。其中，制动模块231可以是导轨钳制器等，其具体设计可以是现有技术，本实施例在此不做过多说明。

如图5至图8所示，在一实施例中，第二驱动组件3包括第四驱动单元31、第五驱动单元32、第六驱动单元33、第一安装座34、第二安装座35以及第三安装座36；第四驱动单元31与基体1连接，第五驱动单元32通过第一安装座34与第四驱动单元31连接，第六驱动单元33通过第二安装座35与第五驱动单元32连接，针模6通过第三安装座36与第六驱动单元33连接；第四驱动单元31用于驱动针模6和各第二探针5沿X轴同步运动；第五驱动单元32用于驱动针模6和各第二探针5沿Y轴同步运动；第六驱动单元33用于驱动针模6和各第二探针5沿Z轴同步运动。

具体的，第四驱动单元31实际上是驱动第五驱动单元32、第六驱动单元33、第一安装座34、第二安装座35、第三安装座36、针模6和各第二探针5沿X轴同步运动；第五驱动单元32实际上是驱动第六驱动单元33、第二安装座35、第三安装座36、针模6和各第二探针5沿X轴同步运动；第六驱动单元33实际上是驱动第三安装座36、针模6和各第二探针5沿X轴同步运动。

其中，第四驱动单元31和第五驱动单元32二者的结构设置均可以是与第一驱动单元21相同；第六驱动单元33包括电机331、丝杆传动机构332和导向机构333，其中，电机331和丝杆传动机构332均与第二安装座35连接，电机331的动力通过丝杆传动机构332传递至第三安装座36，进而驱动第三安装座36带动针模6和各第二探针5沿Z轴运动，导向机构333分别连接第二安装座35和丝杆传动机构332的螺母，用于对第三安装座36沿Z轴的运动进行导向；另外，第六驱动单元33还具有第一限位结构334，第一限位结构334可以是连接在丝杠传动机构的螺母上，用于与连接在第三安装座36上(或者其他物体上)的第二限位结构335配合，以限定针模6向下运动的最大距离。或者，在其他一些实施例中，第六驱动单元33的结构设置可以是与三驱动单元的设置相同。

在本实施例中，第二驱动组件3也可以驱动针模6带动各第二探针5在三维空间运动，这样可以方便将第二探针5调整至合适位置。在实际检测时，待测产品200放置在载具上以后，其与针模6之间的实际位置关系与所需求的位置之间存在偏差，这些偏差可以是X轴上的偏差，也可以是Y轴上的偏差，此时，通过调整针模6在X轴和Y轴的位置，便可以对这些偏差进行补正，进而可以保障后续检测的顺利进行。

当然，在实际检测时，针模6与待测产品200之间的偏差也存在角度偏差，由于第二探针5设有多个，所以当针模6与待测产品200之间存在角度偏差时，各第二探针5便不能与各检测点201很好的对应抵触，进而影响后续的检测。对此，如图5和图7所示，在一实施例中，第二驱动组件3还包括第七驱动单元37和第四安装座38，第七驱动单元37通过第四安装座38与第六驱动单元33连接，针模6通过第三安装座36与第七驱动单元37连接；第七驱动单元37用于驱动第三安装座36、针模6以及各第二探针5绕Z轴同步转动。即通过第七驱动单元37驱动针模6转动可以对针模6和待测产品200之间的角度偏差进行补正。

其中，第七驱动单元37可以包括旋转电机371和减速机372，旋转电机371安装在第四安装座38上，减速机372分别连接旋转电机371的输出轴和第三安装座36。

如图8所示，在一实施例中，第四安装座38包括相互连接的第一连接板381和第二连接板382，二者连接形成L形结构，其中，第一连接板381与第六驱动单元33连接，第七驱动单元37连接在第二连接板382上，且第七驱动单元37可以是位于第二连接板382的下方。另外，上述的第二限位结构335实际上是设置在第四安装座38的第一连接板381上。

如图5和图7所示，在一实施例中，探针模组100还包括位置识别单元7，位置识别单元7连接在第二安装座35上，用于识别待测产品200与第二探针5的相对位置，其中，第二探针5在针模6上的安装位置固定，当识别出针模6与待测产品200之间的相对位置，便可以得到第二探针5与待测产品200的相对位置。这样可以使探针模组100能够自动识别针模6与待测产品200之间的位置偏差，进而可以实现对二者偏差的自动补正。其中，位置识别单元7可以是CCD等，另外，位置识别单元7对两个物体的相对位置关系的识别可以是现有技术，本实施例在此不做过多说明。当然，位置识别单元7通常与相应控制器连接，通过控制器控制各驱动单元的工作。其中，控制器可以是PLC或者单片机等。

如图8所示，在一实施例中，第二驱动组件3还包括第一限位件391和第二限位件392，第一限位件391连接在第三安装座36上，第二限位件392连接在第四安装座38上，第七驱动单元37驱动第三安装座36转动过程中，第一限位件391能够与第二限位件392抵触，以限定第三安装座36的最大转动范围(实际上是绕Z轴的最大转动角度)。这样可以有效避免针模6旋转角度过大而与其他物体碰撞。其中，第一限位件391可以是限位块，第二限位件392可以限位柱。另外，第二限位件392设有两个，第一限位件391位于两个第二限位件392之间，当第三安装座36正反转时，第一限位件391都能够与一个第二限位件392抵触。

如图8所示，在一实施例中，第二驱动组件3还包括光电传感器393和感应块394，感应块394连接在第三安装座36上，光电传感器393连接在第四安装座38上，初始时光电传感器393与感应块394相对，此时光电传感器393可以感应到感应块394，以产生相应电信号，第三安装座36转动时，感应块394相对光电传感器393转动，当感应块394与光电传感器393错开时，光电池传感器不能感应到感应块394，此时便可以控制第七驱动单元37停止驱动第三安装块。

如图5和图7所示，在一实施例中，探针模组100还包括第三探针8，第二驱动组件3还包括第八驱动单元30，第八驱动单元30连接在第二安装座35上，第三探针8与第八驱动单元30连接；第八驱动单元30用于驱动第三探针8运动，以调整第三探针8在Z轴上的位置。

其中，第八驱动单元30上连接一个第三探针8，第三探针8和第八驱动单元30组成一个数控飞针模组，也即第二驱动组件3即可以用于与针模6和探针组5a组成探针针床式模组，还可以与第三探针8组5a成数控飞针式模组。这样便可以根据实际需求选择使用第二探针5或者第三探针8与待测产品200的检测点201电性抵触，从而可以提高探针模组100的适应性。

如图5所示，第二安装座35包括第一安装板351和第二安装板352；第一安装板351水平设置，第一安装板351与第五驱动单元32连接，第六驱动单元33也连接在第一安装板351上，其中，第六驱动单元33的丝杆的轴线竖直设置；第二安装板352与第一安装板351连接，并倾斜向下，且沿着由上到下的方向，第二安装板352逐渐远离第六驱动单元33的丝杆。第八驱动单元30连接在第二安装板352背离第一安装板351的一侧，另外，第八驱动单元30的结构设置可以是与第三驱动单元23相同。

在本实施例中，第八驱动单元30实际上驱动第三探针8倾斜运动，第三探针8的轴线平行于该运动方向，也即第三探针8倾斜设置，这样有利于第三探针8与第一探针4配合，对间距较小的两个检测点201进行抵触。

此外，上述位置识别单元7也可以是连接在第一安装板351上，并位于第一安装板351的下方，且位于第二安装板352背离第八驱动单元30的一侧。

如图8所示，在一实施例中，第三安装座36包括支撑柱361和针模安装板362，支撑柱361的一端与针模6连接，支撑柱361的另一端与针模安装板362连接；针模安装板362和针模6沿着第二探针5的轴向间隔设置，各第二探针5中的至少一部分位于针模安装板362和针模6之间。这样可以通过针模安装板362对第二探针5进行保护，有效避免第二探针5与其他物体产生碰撞。

在一实施例中，第二驱动组件3、针模6以及探针组5a均可以是设有多个，其中，一个第二驱动组件3与一个针模6以及一个探针组5a配合，此时，第三探针8也可以设有多个，一个第三探针8与一个第二驱动组件3配合。比如，如图1所示，第二驱动组件3、针模6、探针组5a以及第三探针8均设有两个。

在其他实施例中，除了采用上述驱动第一探针沿Z轴方向竖直上下运动之外，为了实现调整第一探针4在Z轴方向上的位置，第一驱动组件也可以是驱动第一探针4倾斜上下运动。同样的，第二驱动组件也可以是驱动针模6倾斜上下运动，以实现调整针模和第二探针在Z轴方向上的位置。

当然，在其他实施例中，第八驱动单元也可以是驱动第三探针沿Z轴方向竖直上下运动，以调整第三探针在Z轴上的位置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种探针模组，其特征在于，包括基体、第一驱动组件、第二驱动组件、第一探针、探针组以及针模；

所述第一驱动组件和所述第二驱动组件均连接在所述基体上；

所述第一探针连接在所述第一驱动组件上；

所述针模连接在所述第二驱动组件上；

所述探针组包括多个第二探针，各所述第二探针均连接在所述针模上；

所述第一驱动组件用于驱动所述第一探针运动，以分别调整所述第一探针在Z轴和X轴上的位置，所述第一驱动组件调整所述第一探针在Z轴方向的位置时，能够使所述第一探针靠近放置在载具上的待测产品；

所述第二驱动组件用于驱动所述针模和各所述第二探针同步运动，以调整所述第二探针在Z轴上的位置，使得所述第二探针能够靠近放置在载具上的待测产品；

所述第一探针和所述第二探针能够同时与放置在载具上的待测产品的检测点抵触。

2.根据权利要求1所述的探针模组，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一驱动单元、第二驱动单元以及第三驱动单元；

所述第一驱动单元与所述基体连接，所述第二驱动单元与所述第一驱动单元连接，所述第三驱动单元与所述第二驱动单元连接；

所述第一驱动单元用于驱动所述第一探针沿X轴运动；

所述第二驱动单元用于驱动所述第一探针沿Y轴运动；

所述第三驱动单元用于驱动所述第一探针沿Z轴运动。

3.根据权利要求1所述的探针模组，其特征在于，所述第一驱动组件和所述第一探针均设有多个，一个所述第一驱动组件上连接一个所述第一探针。

4.根据权利要求1所述的探针模组，其特征在于，所述第二驱动组件包括第四驱动单元、第五驱动单元、第六驱动单元、第一安装座、第二安装座以及第三安装座；

所述第四驱动单元与所述基体连接，所述第五驱动单元通过所述第一安装座与所述第四驱动单元连接，所述第六驱动单元通过所述第二安装座与所述第五驱动单元连接，所述针模通过所述第三安装座与所述第六驱动单元连接；

所述第四驱动单元用于驱动所述针模和各所述第二探针沿X轴同步运动；

所述第五驱动单元用于驱动所述针模和各所述第二探针沿Y轴同步运动；

所述第六驱动单元用于驱动所述针模和各所述第二探针沿Z轴同步运动。

5.根据权利要求4所述的探针模组，其特征在于，所述第二驱动组件还包括第七驱动单元和第四安装座，所述第七驱动单元通过所述第四安装座与所述第六驱动单元连接，所述针模通过所述第三安装座与所述第七驱动单元连接；

所述第七驱动单元用于驱动所述第三安装座、所述针模以及各所述第二探针绕Z轴同步转动。

6.根据权利要求5所述的探针模组，其特征在于，所述第二驱动组件还包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件连接在所述第三安装座上，所述第二限位件连接在所述第四安装座上，所述第七驱动单元驱动所述第三安装座转动过程中，所述第一限位件能够与所述第二限位件抵触，以限定所述第三安装座的最大转动范围。

7.根据权利要求4所述的探针模组，其特征在于，所述探针模组还包括第三探针，所述第二驱动组件还包括第八驱动单元；

所述第八驱动单元连接在所述第二安装座上，所述第三探针与所述第八驱动单元连接；

所述第八驱动单元用于驱动所述第三探针运动，以调整所述第三探针在Z轴上的位置。

8.根据权利要求4所述的探针模组，其特征在于，所述探针模组还包括位置识别单元，所述位置识别单元连接在所述第二安装座上，用于识别待测产品与所述第二探针的相对位置。

9.根据权利要求4所述的探针模组，其特征在于，所述第三安装座包括支撑柱和针模安装板，所述支撑柱的一端与所述针模连接，所述支撑柱的另一端与所述针模安装板连接；

所述针模安装板和所述针模沿着所述第二探针的轴向间隔设置，各所述第二探针中的至少一部分位于所述针模安装板和所述针模之间。

10.一种检测装置，其特征在于，包括检测模组以及权利要求1-9任一项所述的探针模组。