JP2019093350A - Cleaning device - Google Patents

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Abstract

To provide a cleaning device which can prevent a cleaning liquid supplied to a workpiece from leaking outside from an outlet of the workpiece arranged on a casing.SOLUTION: A cleaning device for cleaning a workpiece includes: a casing 12 having an inlet 14 and an outlet 16 of the workpiece; a partitioning member 18 which partitions an area inside the casing 12 into a cleaning area P and a workpiece lifting area Q; a conveying part 30 which conveys the workpiece in the cleaning area P; a cleaning liquid supply part (for example, respective high-pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46) which supplies the cleaning liquid to the workpiece conveyed by the conveying part 30 in the cleaning area P; and a workpiece receiving part 50 which is arranged in the workpiece lifting area Q. The workpiece receiving part 50 can ascend and descend between a first position for receiving the workpiece sent from the conveying part 30 and a second position which is positioned above the first position and sends the workpiece to the outlet 16 of the casing 12.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、洗浄液によりワークを洗浄する洗浄装置に関する。   The present invention relates to a cleaning apparatus for cleaning a workpiece with a cleaning solution.

ナット等のワークを切削加工した後に、当該ワークに付着している金属の切削粉等を除去するために、水等の洗浄液によりワークを高圧洗浄する洗浄装置が用いられている。このような洗浄装置では、ケーシングの内部において、金属網から構成されるコンベア上でワークを搬送しながら、洗浄ノズルから高圧の洗浄液をワークに噴射することによりワークの洗浄を行っている。より詳細には、ケーシングにおける対向する2つの側面にそれぞれワークの入口および出口を設けておき、入口によりケーシングの内部に入ったワークをコンベア上で搬送しながら洗浄し、洗浄されたワークはコンベアにより出口に送られるようになっている。また、コンベアの下方に洗浄液の貯留槽を設けておき、この貯留槽に貯留された洗浄液をポンプにより洗浄ノズルに送ることによって、洗浄液を循環使用することにより洗浄液を再利用することができるようになっている。このような洗浄液を再利用することができる洗浄装置として例えば特許文献1等に開示されるものが従来から知られている。   BACKGROUND ART In order to remove metal cutting powder and the like adhering to a work after cutting a work such as a nut, a cleaning device is used which performs high-pressure cleaning of the work with a cleaning solution such as water. In such a cleaning apparatus, while conveying the work on a conveyor made of a metal mesh inside the casing, the work is cleaned by spraying a high-pressure cleaning liquid from the cleaning nozzle onto the work. More specifically, the inlet and outlet of the work are respectively provided on two opposite sides of the casing, and the work is washed while being conveyed on the conveyor by the inlet, and the cleaned work is carried out by the conveyor It is sent to the exit. In addition, by providing a storage tank for the cleaning liquid below the conveyor and sending the cleaning liquid stored in the storage tank to the cleaning nozzle by a pump, the cleaning liquid can be reused by circulating and using the cleaning liquid. It has become. As a cleaning apparatus which can reuse such a cleaning fluid, what is indicated by patent documents 1 grade etc. is known conventionally, for example.

特開平7−164276号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-164276

特許文献1等に開示されるような従来の洗浄装置において、コンベアの下方に洗浄液の貯留槽を設けておき、この貯留槽に貯留された洗浄液をポンプにより洗浄ノズルに送ることによって洗浄液を循環使用する場合に、ケーシングの内部においてコンベア上で搬送されるワークに高圧の洗浄液を噴射すると、ケーシングの側面に設けられたワークの出口から洗浄液が漏れ出てしまうおそれがある。このため、洗浄液がケーシングの外部に漏れ出てしまうのを防止することができる洗浄装置が求められている。   In the conventional cleaning apparatus as disclosed in Patent Document 1 and the like, a storage tank for the cleaning liquid is provided below the conveyor, and the cleaning liquid stored in the storage tank is sent to the cleaning nozzle by a pump and circulatingly used In this case, if high-pressure cleaning fluid is sprayed onto the workpiece conveyed on the conveyor inside the casing, the cleaning fluid may leak from the outlet of the workpiece provided on the side surface of the casing. Therefore, there is a need for a cleaning device that can prevent the cleaning solution from leaking out of the casing.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ワークに供給された洗浄液がケーシングに設けられたワークの出口から外部に漏れ出てしまうことを防止することができる洗浄装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and a cleaning apparatus capable of preventing the cleaning liquid supplied to the work from leaking out of the outlet of the work provided in the casing. Intended to be provided.

本発明の洗浄装置は、ワークの洗浄を行う洗浄装置であって、前記ワークの入口および出口がそれぞれ設けられたケーシングと、前記ケーシングの内部の領域を洗浄領域およびワーク上昇領域に仕切る仕切り部材と、前記洗浄領域において前記ワークを搬送する搬送部と、前記洗浄領域において前記搬送部により搬送される前記ワークに洗浄液を供給する洗浄液供給部と、前記ワーク上昇領域に設けられたワーク受け部であって、前記搬送部から送られた前記ワークを受ける第1位置と、前記第1位置よりも上方に位置しており、前記ケーシングの前記出口に前記ワークを送る第2位置との間で昇降自在となっているワーク受け部と、を備えたことを特徴とする。   The cleaning apparatus according to the present invention is a cleaning apparatus for cleaning a work, comprising: a casing provided with an inlet and an outlet of the work; and a partition member for dividing an area inside the casing into a cleaning area and a work rising area. A transport unit configured to transport the work in the cleaning area; a cleaning liquid supply section configured to supply a cleaning solution to the workpiece transported by the transportation section in the cleaning area; and a work receiving section provided in the workpiece rising area. And the first position to receive the workpiece sent from the transport unit, and the second position to be above the first position and to send the workpiece to the outlet of the casing. And a workpiece receiving portion.

このような洗浄装置によれば、ケーシングの内部の領域を仕切り部材によって洗浄領域およびワーク上昇領域に仕切り、洗浄領域において洗浄されたワークをワーク上昇領域において上昇させてケーシングの出口に送ることにより、洗浄領域においてワークに供給された洗浄液がケーシングに設けられたワークの出口から外部に漏れ出てしまうことを防止することができる。   According to such a cleaning apparatus, the inner region of the casing is partitioned by the partition member into the cleaning region and the workpiece rising region, and the workpiece cleaned in the cleaning region is lifted in the workpiece rising region and sent to the outlet of the casing. It is possible to prevent the cleaning liquid supplied to the work in the cleaning area from leaking out of the outlet of the work provided in the casing.

本発明の洗浄装置においては、前記ワーク受け部は、前記ケーシングの前記出口に向かって斜め下方に傾斜するワーク載置部材を有しており、前記ワーク受け部が前記第1位置に位置しているときに前記搬送部から前記ワーク受け部に送られた前記ワークは前記ワーク載置部材上に載置されるようになっていてもよい。   In the cleaning apparatus according to the present invention, the workpiece receiving portion has a workpiece placement member that inclines obliquely downward toward the outlet of the casing, and the workpiece receiving portion is positioned at the first position. The workpiece, which has been sent from the transport unit to the workpiece receiving unit at the same time, may be placed on the workpiece placement member.

この場合、前記ワーク受け部が前記第1位置から前記第2位置に移動する際に、前記ワーク載置部材上に載置されている前記ワークは前記ケーシングの内壁に接触しながら上昇するようになっていてもよい。   In this case, when the workpiece receiving portion moves from the first position to the second position, the workpiece placed on the workpiece placement member is lifted while in contact with the inner wall of the casing. It may be done.

また、前記ワーク受け部は、前記ワーク載置部材の上方において当該ワーク載置部材と間隔を隔てて設けられた天井部材を有しており、前記ワーク受け部が前記第1位置に位置しているときに前記搬送部から前記ワーク受け部に送られた前記ワークは前記ワーク載置部材と前記天井部材との間の領域で倒れた状態で前記ワーク載置部材上に載置されるようになっていてもよい。   Further, the work receiving portion has a ceiling member provided above the work mounting member at a distance from the work mounting member, and the work receiving portion is positioned at the first position. The work transferred from the transfer unit to the work receiving unit during loading is mounted on the work mounting member in a state where the work falls in a region between the work mounting member and the ceiling member. It may be done.

本発明の洗浄装置は、前記洗浄領域において前記洗浄液供給部から前記ワークに供給された洗浄液を受ける洗浄液受け部と、前記洗浄液受け部に受けられた洗浄液を前記洗浄液供給部に送る洗浄液送り部と、を更に備え、前記洗浄液供給部から前記ワークに供給される洗浄液が循環使用されるようになっていてもよい。   The cleaning apparatus according to the present invention comprises a cleaning solution receiving unit for receiving the cleaning solution supplied from the cleaning solution supply unit to the work in the cleaning area, and a cleaning solution sending unit for transferring the cleaning solution received by the cleaning solution receiving unit to the cleaning solution supply unit The cleaning liquid supplied to the work from the cleaning liquid supply unit may be circulated and used.

本発明の洗浄装置によれば、ワークに供給された洗浄液がケーシングに設けられたワークの出口から外部に漏れ出てしまうことを防止することができる。   According to the cleaning apparatus of the present invention, it is possible to prevent the cleaning liquid supplied to the work from leaking out of the outlet of the work provided in the casing.

本発明の実施の形態による洗浄装置の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the washing | cleaning apparatus by embodiment of this invention. 図1に示す洗浄装置の内部構成を示す縦断面図であって、ワーク受け部が第1位置に位置しているときの状態を示す図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the washing | cleaning apparatus shown in FIG. 1, Comprising: It is a figure which shows a state when a workpiece receiving part is located in a 1st position. 図1に示す洗浄装置の内部構成を示す縦断面図であって、ワーク受け部が第2位置に位置しているときの状態を示す図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the washing | cleaning apparatus shown in FIG. 1, Comprising: It is a figure which shows a state when a workpiece receiving part is located in a 2nd position. 図2および図3に示すワーク受け部および当該ワーク受け部の駆動機構を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the drive mechanism of the workpiece receiving part shown to FIG. 2 and FIG. 3, and the said workpiece receiving part.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1乃至図4は、本実施の形態に係る洗浄装置を示す図である。このうち、図1は、本実施の形態による洗浄装置の外観を示す斜視図であり、図2および図3は、それぞれ、図1に示す洗浄装置の内部構成を示す縦断面図である。また、図4は、図2および図3に示すワーク受け部および当該ワーク受け部の駆動機構を示す分解斜視図である。なお、図2および図3において、本実施の形態により洗浄されるワーク(具体的には、例えばナット)を参照符合Wで示している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 4 are views showing a cleaning apparatus according to the present embodiment. Among these, FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of the cleaning apparatus according to the present embodiment, and FIGS. 2 and 3 are longitudinal sectional views showing the internal configuration of the cleaning apparatus shown in FIG. FIG. 4 is an exploded perspective view showing the workpiece receiving portion shown in FIGS. 2 and 3 and a drive mechanism of the workpiece receiving portion. In FIGS. 2 and 3, a work (specifically, for example, a nut) to be cleaned according to the present embodiment is indicated by reference numeral W.

図1および図2に示すように、本実施の形態による洗浄装置10は、略直方体形状のケーシング12と、ケーシング12の内部でワークを搬送する搬送部30と、搬送部30により搬送されるワークに高圧の水等の洗浄液を供給する4つの高圧洗浄ノズル40、42、44、46とを備えている。また、ケーシング12の内部は仕切り部材18により洗浄領域Pおよびワーク上昇領域Qに仕切られており、ワーク上昇領域Qには、搬送部30から送られたワークを上昇させるワーク受け部50が設けられている。また、搬送部30の下方には、洗浄液の貯留槽80(タンク)が設けられており、高圧洗浄ノズル40、42、44、46から搬送部30により搬送されるワークに供給された洗浄液は貯留槽80に貯留されるようになっている。また、各高圧洗浄ノズル40、42、44、46には洗浄液供給管92が接続されており、この洗浄液供給管92は貯留槽80にも接続されている。また、洗浄液供給管92には、貯留槽80に貯留されている洗浄液を各高圧洗浄ノズル40、42、44、46に送る高圧ポンプ90が設けられている。このような洗浄装置10の各構成部材について以下に詳述する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the cleaning device 10 according to the present embodiment includes a casing 12 having a substantially rectangular parallelepiped shape, a transport unit 30 that transports a workpiece inside the casing 12, and a workpiece transported by the transport unit 30. And four high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46 for supplying a cleaning solution such as high pressure water. Further, the inside of the casing 12 is divided by the partition member 18 into the cleaning area P and the work rising area Q, and the work rising area Q is provided with the work receiving portion 50 for raising the work sent from the transport unit 30. ing. In addition, a storage tank 80 (tank) of the cleaning liquid is provided below the transport unit 30, and the cleaning fluid supplied to the work transported by the transport unit 30 from the high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46 is stored. It is stored in the tank 80. Further, a cleaning fluid supply pipe 92 is connected to each high pressure cleaning nozzle 40, 42, 44, 46, and the cleaning fluid supply pipe 92 is also connected to the storage tank 80. Further, the cleaning solution supply pipe 92 is provided with a high pressure pump 90 for transferring the cleaning solution stored in the storage tank 80 to the high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46. Each component of such a cleaning device 10 will be described in detail below.

図2に示すように、ケーシング12における対向する2つの側面(具体的には、図2等における左側の側面および右側の側面)に、それぞれワークの入口14および出口16が設けられている。また、ケーシング12の入口14にはワーク投入部20が設けられている。ワーク投入部20は水平面に対してケーシング12の内部に向かって斜め下方に傾斜しており、作業者によってワーク投入部20の入口に入れられたワークは自重により当該ワーク投入部20の内部を滑ってケーシング12の内部に送られるようになっている。また、ワーク投入部20の出口部分は後述する搬送部30のコンベア32の上流側端部の近傍に位置している。また、ケーシング12の出口16にはワーク投出部70が設けられている。ワーク投出部70は水平面に対してケーシング12から離れる方向に沿って斜め下方に傾斜しており、出口16を介してケーシング12の内部から外部に出たワークは自重によりワーク投出部70の内部を滑って当該ワーク投出部70の出口部分から排出されるようになっている。また、図1および図2に示すように、ワーク投出部70の上方にはカバー72が設けられており、出口16を介してケーシング12の内部から外部に出たワークが飛散してしまうことがカバー72によって抑制されるようになっている。   As shown in FIG. 2, an inlet 14 and an outlet 16 of the work are respectively provided on two opposite side surfaces of the casing 12 (specifically, the left side surface and the right side surface in FIG. 2 etc.). Further, at the inlet 14 of the casing 12, a workpiece loading unit 20 is provided. The work insertion portion 20 is inclined obliquely downward toward the inside of the casing 12 with respect to the horizontal plane, and the work inserted into the entrance of the work insertion portion 20 by the operator slides in the work insertion portion 20 by its own weight. Is sent to the inside of the casing 12. Further, the outlet portion of the work loading unit 20 is located near the upstream end of the conveyor 32 of the transport unit 30 described later. Further, at the outlet 16 of the casing 12, a work dispensing unit 70 is provided. The workpiece ejection portion 70 is inclined obliquely downward along the direction away from the casing 12 with respect to the horizontal plane, and the workpiece coming out from the inside of the casing 12 through the outlet 16 is of the workpiece ejection portion 70 by its own weight. It slides inside and is discharged from the outlet part of the work ejection part 70. In addition, as shown in FIGS. 1 and 2, a cover 72 is provided above the workpiece ejection portion 70, and the workpiece coming out of the casing 12 from the inside through the outlet 16 may be scattered. Is suppressed by the cover 72.

図2に示すように、ケーシング12の内部は仕切り部材18により洗浄領域Pおよびワーク上昇領域Qに仕切られている。ここで、ケーシング12に設けられているワークの出口16は、仕切り部材18の下端部よりも高い位置に配置されている。また、洗浄領域Pには、ワーク投入部20によりケーシング12の外部から内部に送られたワークを搬送する搬送部30と、搬送部30により搬送されるワークに高圧の水等の洗浄液を供給する4つの高圧洗浄ノズル40、42、44、46がそれぞれ設けられている。より詳細には、搬送部30は、金網等から構成される無端状のコンベア32と、コンベア32が掛け渡される一対のプーリ34とを有しており、一対のプーリ34のうち一方のプーリ34には駆動モータ(図示せず)が接続されている。そして、駆動モータにより当該駆動モータに接続されているプーリ34が図2等における時計回りの方向に回転させられることにより、コンベア32は図2等における時計回りの方向(すなわち、図2等における矢印方向)に循環移動させられるようになっている。このことにより、ワーク投入部20の出口部分からコンベア32上に送られたワークは、当該コンベア32上で図2における右方向に移動するようになっている。また、4つの高圧洗浄ノズル40、42、44、46のうち3つの高圧洗浄ノズル40、42、44は、コンベア32上で図2等における右方向に搬送されるワークに対して上方から下向きに高圧の水等の洗浄液を噴射するようになっている。一方、高圧洗浄ノズル46は、コンベア32上で図2等における右方向に搬送されるワークに対して下方から上向きに高圧の水等の洗浄液を噴射するようになっている。このようにして、コンベア32上で図2等における右方向に搬送されるワークに対して表裏両面に高圧の洗浄液を噴射することができるようになり、よってワークに付着している金属の切削粉等を十分に除去することができるようになる。   As shown in FIG. 2, the inside of the casing 12 is partitioned by a partition member 18 into a cleaning area P and a workpiece lifting area Q. Here, the outlet 16 of the work provided in the casing 12 is disposed at a position higher than the lower end portion of the partition member 18. Further, in the cleaning area P, a transport unit 30 that transports the workpiece transported from the outside of the casing 12 to the inside by the workpiece loading unit 20 and a cleaning fluid such as high pressure water is supplied to the workpiece transported by the transport unit 30 Four high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46 are provided respectively. More specifically, the transport unit 30 includes an endless conveyor 32 formed of a wire mesh or the like, and a pair of pulleys 34 on which the conveyor 32 is stretched. One of the pair of pulleys 34 is a pulley 34. A drive motor (not shown) is connected to the. Then, the pulley 32 connected to the drive motor is rotated in the clockwise direction in FIG. 2 and the like by the drive motor, whereby the conveyor 32 is in the clockwise direction in FIG. Direction) can be moved cyclically. As a result, the workpiece sent from the outlet of the workpiece loading unit 20 onto the conveyor 32 is moved on the conveyor 32 in the right direction in FIG. Also, among the four high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46, the three high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44 are directed downward from above with respect to the work conveyed in the right direction in FIG. It is designed to inject cleaning liquid such as high pressure water. On the other hand, the high-pressure cleaning nozzle 46 sprays a cleaning liquid such as high-pressure water upward from below with respect to the workpiece conveyed in the right direction in FIG. In this way, it becomes possible to spray high-pressure cleaning fluid on both the front and back sides of the workpiece conveyed in the right direction in FIG. 2 and the like on the conveyor 32, and thereby metal cutting powder adhering to the workpiece Etc. can be sufficiently removed.

上述したように、搬送部30の下方には、洗浄液の貯留槽80が設けられており、洗浄領域Pにおいて高圧洗浄ノズル40、42、44、46から搬送部30により搬送されるワークに供給された洗浄液は貯留槽80に貯留されるようになっている。ここで、コンベア32が金網等から構成されていることにより、コンベア32上で図2等における右方向に搬送されるワークに対して高圧洗浄ノズル40、42、44により上方から下向きに洗浄液が供給された場合でも、この洗浄液はコンベア32を通過して落下することにより貯留槽80に貯留されるようになる。また、各高圧洗浄ノズル40、42、44、46には洗浄液供給管92が接続されている。また、貯留槽80の底面や側面下部には開口が設けられており、この開口は洗浄液供給管92に連通している。また、洗浄液供給管92には、貯留槽80に貯留されている洗浄液を各高圧洗浄ノズル40、42、44、46に送る高圧ポンプ90が設けられている。このことにより、貯留槽80に貯留されている洗浄液を高圧ポンプ90により各高圧洗浄ノズル40、42、44、46に送ることによって、洗浄液を循環使用することにより洗浄液を再利用することができるようになる。   As described above, the storage tank 80 for the cleaning liquid is provided below the transport unit 30, and is supplied to the workpiece transported by the transport unit 30 from the high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46 in the cleaning region P. The cleaning liquid is stored in the storage tank 80. Here, since the conveyor 32 is formed of a wire mesh or the like, the cleaning liquid is supplied downward from above by the high-pressure cleaning nozzles 40, 42, 44 to the work conveyed in the right direction in FIG. Even in the case where the cleaning liquid is discharged, the cleaning liquid is stored in the storage tank 80 by falling through the conveyor 32. Further, a cleaning liquid supply pipe 92 is connected to each high pressure cleaning nozzle 40, 42, 44, 46. In addition, an opening is provided in the bottom and side lower portions of the storage tank 80, and the opening is in communication with the cleaning liquid supply pipe 92. Further, the cleaning solution supply pipe 92 is provided with a high pressure pump 90 for transferring the cleaning solution stored in the storage tank 80 to the high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46. Thus, the cleaning solution can be reused by circulating the cleaning solution by feeding the cleaning solution stored in the storage tank 80 to the high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46 by the high pressure pump 90. become.

ワーク上昇領域Qには、搬送部30から送られたワークを受け、この受けたワークをケーシング12の出口16に送るワーク受け部50が設けられている。より詳細には、ワーク受け部50は、図2に示すような、搬送部30から送られたワークを受ける第1位置(下方位置)と、図3に示すような、第1位置よりも上方に位置しており、ケーシング12の出口16にワークを送る第2位置(上方位置)との間で昇降自在となっている。また、ワーク受け部50には駆動機構としてエアシリンダ60が取り付けられており、当該エアシリンダ60によりワーク受け部50が第1位置と第2位置との間で昇降させられるようになっている。このようなワーク受け部50等の構成の詳細について図2乃至図4を用いて説明する。   The workpiece lifting area Q is provided with a workpiece receiving unit 50 that receives the workpiece sent from the transport unit 30 and sends the received workpiece to the outlet 16 of the casing 12. More specifically, the workpiece receiving unit 50 has a first position (lower position) for receiving the workpiece sent from the transport unit 30 as shown in FIG. 2 and an upper position than the first position as shown in FIG. , And can be raised and lowered between a second position (upper position) where the work is sent to the outlet 16 of the casing 12. Further, an air cylinder 60 is attached to the workpiece receiving unit 50 as a drive mechanism, and the workpiece receiving unit 50 is moved up and down between the first position and the second position by the air cylinder 60. Details of the configuration of such a workpiece receiving unit 50 will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

図4等に示すように、ワーク受け部50は、ケーシング12の出口16に向かって斜め下方に傾斜する板状のワーク載置部材52と、ワーク載置部材52の上方において当該ワーク載置部材52と間隔を隔てて設けられた板状の天井部材54と、天井部材54に取り付けられた板状の壁部材56と、各部材52、54、56の両側方にそれぞれ取り付けられた左右一対の側板57と、壁部材56や各側板57の上端部に取り付けられた上蓋部材58とを有している。そして、ワーク載置部材52、天井部材54、壁部材56、各側板57および上蓋部材58の組合せ体が一体的に第1位置と第2位置との間で移動するようになっている。ここで、ワーク載置部材52は金網、パンチングメタル、すのこ状部材等から構成されており、洗浄液がワーク載置部材52を通過することができるようになっている。このことにより、仕切り部材18の下方領域を通って洗浄領域Pからワーク上昇領域Qに洗浄液が流れ込んだ場合でも、当該洗浄液はワーク載置部材52を通過して落下することにより貯留槽80に送られるようになる。また、天井部材54には洗浄液が通過する穴や開口が設けられておらず、当該天井部材54を洗浄液が通過することができないようになっていることが好ましい。このことにより、仕切り部材18の下方領域を通って洗浄領域Pからワーク上昇領域Qに流れ込んだ洗浄液が天井部材54の上方に飛散して出口16からケーシング12の外部に漏れ出てしまうことを抑制することができるようになる。   As shown in FIG. 4 and the like, the workpiece receiving portion 50 is a plate-like workpiece placement member 52 that inclines obliquely downward toward the outlet 16 of the casing 12, and the workpiece placement member above the workpiece placement member 52. A plate-like ceiling member 54 provided at a distance from 52, a plate-like wall member 56 attached to the ceiling member 54, and a pair of left and right members attached on both sides of each member 52, 54, 56 A side plate 57 and an upper lid member 58 attached to the wall member 56 and the upper end portion of each side plate 57 are provided. The combination of the work placement member 52, the ceiling member 54, the wall member 56, the side plates 57, and the upper cover member 58 is integrally moved between the first position and the second position. Here, the work placement member 52 is formed of a wire mesh, a punching metal, a gauze-like member, etc., so that the cleaning liquid can pass through the work placement member 52. By this, even when the cleaning liquid flows from the cleaning area P to the workpiece rising area Q through the lower area of the partition member 18, the cleaning liquid passes through the workpiece mounting member 52 and is transported to the storage tank 80. Be able to Further, it is preferable that the ceiling member 54 is not provided with a hole or an opening through which the cleaning solution passes, so that the cleaning solution can not pass through the ceiling member 54. This prevents the cleaning liquid flowing from the cleaning area P into the work rising area Q from the cleaning area P through the lower area of the partition member 18 from being scattered above the ceiling member 54 and leaking out of the outlet 16 to the outside of the casing 12 You will be able to

また、ワーク受け部50の上蓋部材58には、エアシリンダ60のロッド62の先端が接続されている。このため、エアシリンダ60によってロッド62が図2等における上下方向に往復移動させられることにより、ワーク受け部50が第1位置と第2位置との間で移動させられる。   Further, the tip of the rod 62 of the air cylinder 60 is connected to the upper lid member 58 of the workpiece receiving unit 50. Therefore, the rod 62 is reciprocated in the vertical direction in FIG. 2 and the like by the air cylinder 60, whereby the workpiece receiving portion 50 is moved between the first position and the second position.

また、ワーク載置部材52および天井部材54の間に、ワークを受け入れる受入空間が形成されている。より詳細には、図2に示すようにワーク受け部50が第1位置に位置しているときには、搬送部30からワーク受け部50に送られたワークはワーク載置部材52上に載置されるようになっている。また、ワーク受け部50が第1位置から第2位置に移動する際に、ワーク載置部材52上に載置されているワークはケーシング12の内壁(図2および図3において参照符合12aで示す箇所)に接触しながら上昇するようになっている。そして、ワーク受け部50がエアシリンダ60によって上昇させられ、当該ワーク受け部50が図3に示すような第2位置に到達すると、ワーク載置部材52がケーシング12の出口16に向かって斜め下方に傾斜していることにより、ワーク載置部材52上に載置されているワークは自重によってワーク載置部材52上を図3における右下方向に滑って出口16に送られるようになる。このことにより、ワークは出口16を介してケーシング12の内部から外部に投出され、この投出されたワークはワーク投出部70により排出されるようになる。   Further, a receiving space for receiving a work is formed between the work placement member 52 and the ceiling member 54. More specifically, when the workpiece receiving unit 50 is positioned at the first position as shown in FIG. 2, the workpiece sent from the transport unit 30 to the workpiece receiving unit 50 is placed on the workpiece placement member 52. It has become so. Further, when the workpiece receiving portion 50 moves from the first position to the second position, the workpiece placed on the workpiece placement member 52 is the inner wall of the casing 12 (indicated by reference numeral 12a in FIGS. 2 and 3) It comes to rise while touching a part). Then, when the workpiece receiving portion 50 is raised by the air cylinder 60 and the workpiece receiving portion 50 reaches the second position as shown in FIG. 3, the workpiece placement member 52 is obliquely directed downward toward the outlet 16 of the casing 12. By tilting, the workpiece placed on the workpiece placement member 52 slides on the workpiece placement member 52 in the lower right direction in FIG. 3 by its own weight and is sent to the outlet 16. As a result, the work is ejected from the inside of the casing 12 to the outside through the outlet 16, and the ejected work is ejected by the work ejection unit 70.

また、本実施の形態による洗浄装置10によって洗浄されるワークとしてナット等の平たい形状のものが用いられる場合には、ワーク載置部材52と天井部材54との間の距離は、このワークの長手方向の全長よりも小さくなっている。このことにより、ワーク受け部50が図2に示すような第1位置に位置しているときに搬送部30からワーク受け部50に送られたワークは、ワーク載置部材52と天井部材54との間の領域(すなわち、受入空間)で倒れた状態でワーク載置部材52上に載置されるようになる。このことにより、ワーク受け部50がエアシリンダ60によって第1位置から第2位置まで上昇させられる際に、ワーク載置部材52上でナット等の平たい形状のワークが立った状態となってしまい当該ワークが出口16で詰まってしまうことを防止することができるようになる。なお、本実施の形態による洗浄装置10によって洗浄されるワークとして例えば略球状のものや多面体形状のものが用いられる場合には、ワーク載置部材52上でワークが立った状態となってしまうことがないためワーク受け部50において天井部材54を省略してもよい。   When a flat member such as a nut is used as a workpiece to be cleaned by cleaning apparatus 10 according to the present embodiment, the distance between workpiece placement member 52 and ceiling member 54 is the length of the workpiece. It is smaller than the total length of the direction. As a result, when the workpiece receiving unit 50 is positioned at the first position as shown in FIG. 2, the workpiece sent from the transport unit 30 to the workpiece receiving unit 50 includes the workpiece mounting member 52 and the ceiling member 54. The workpiece is placed on the workpiece placement member 52 in a state of being fallen down in the area between the two (ie, the receiving space). As a result, when the work receiving portion 50 is raised from the first position to the second position by the air cylinder 60, a flat work such as a nut is placed on the work placement member 52, and the work is concerned. It becomes possible to prevent the work from being clogged at the outlet 16. When the workpiece to be cleaned by the cleaning apparatus 10 according to the present embodiment is, for example, substantially spherical or polyhedron-shaped, the workpiece is placed on the workpiece placement member 52. The ceiling member 54 may be omitted in the work receiving portion 50 because there is no space.

以上のような構成からなる本実施の形態の洗浄装置10によれば、ケーシング12の内部の領域を洗浄領域Pおよびワーク上昇領域Qに仕切る仕切り部材18が設けられており、洗浄領域Pにおいて洗浄されたワークがワーク上昇領域Qにおいてワーク受け部50により上昇させられてケーシング12の出口16に送られるようになっている。このことにより、洗浄領域Pにおいてワークに供給された洗浄液がケーシング12に設けられたワークの出口16から外部に漏れ出てしまうことを防止することができる。   According to cleaning apparatus 10 of the present embodiment configured as described above, partition member 18 is provided to divide the area inside casing 12 into cleaning area P and workpiece rising area Q. In cleaning area P, cleaning is performed. The workpiece is raised by the workpiece receiving portion 50 in the workpiece lifting area Q and sent to the outlet 16 of the casing 12. This can prevent the cleaning liquid supplied to the work in the cleaning area P from leaking out of the outlet 16 of the work provided in the casing 12 to the outside.

また、本実施の形態の洗浄装置10においては、上述したように、ケーシング12に設けられているワークの出口16は、仕切り部材18の下端部よりも高い位置に配置されている。このことにより、仕切り部材18の下方領域を通って洗浄領域Pからワーク上昇領域Qに洗浄液が流れ込んだ場合でも、当該洗浄液が出口16から外部に漏れ出てしまうことを防止することができる。   Further, in the cleaning device 10 of the present embodiment, as described above, the outlet 16 of the work provided in the casing 12 is disposed at a position higher than the lower end portion of the partition member 18. As a result, even when the cleaning liquid flows from the cleaning area P to the workpiece rising area Q through the lower area of the partition member 18, the cleaning liquid can be prevented from leaking from the outlet 16 to the outside.

また、本実施の形態の洗浄装置10においては、上述したように、ワーク受け部50は、ケーシング12の出口16に向かって斜め下方に傾斜するワーク載置部材52を有しており、ワーク受け部50が第1位置に位置しているときに搬送部30からワーク受け部50に送られたワークはワーク載置部材52上に載置されるようになっている。この場合には、ワーク受け部50が第1位置から第2位置に上昇したときに、ワーク載置部材52がケーシング12の出口16に向かって斜め下方に傾斜していることにより当該ワーク載置部材52上にあるワークは自重によりワーク載置部材52上を滑って出口16に送られるようになり、ワーク載置部材52上にあるワークを出口16に移動させる機構を別途設ける必要がなくなる。また、ワーク受け部50が第1位置から第2位置に移動する際に、ワーク載置部材52上に載置されているワークはケーシング12の内壁に接触しながら上昇するようになっている。このことにより、ワーク載置部材52がケーシング12の出口16に向かって斜め下方に傾斜している場合でも、ワーク受け部50が第1位置から第2位置に上昇する途中でワークがワーク載置部材52から落下するのを防止する部材を別途設ける必要がなくなる。また、ワーク載置部材52は、洗浄液が通過することができる部材から構成されている。このことにより、仕切り部材18の下方領域を通って洗浄領域Pからワーク上昇領域Qに洗浄液が流れ込んだ場合でも、当該洗浄液はワーク載置部材52を通過して落下することにより出口16から洗浄液が漏れ出てしまうことを防止することができるようになる。また、ワーク受け部50は、ワーク載置部材52の上方において当該ワーク載置部材52と間隔を隔てて設けられた天井部材54を有しており、ワーク受け部50が第1位置に位置しているときに搬送部30からワーク受け部50に送られたワークはワーク載置部材52と天井部材54との間の領域で倒れた状態でワーク載置部材52上に載置されるようになっている。この場合には、ワーク受け部50が第1位置から第2位置まで上昇させられる際に、ワーク載置部材52上でナット等の平たい形状のワークが立った状態となってしまい当該ワークが出口16で詰まってしまうことを防止することができるようになる。   Further, in the cleaning device 10 of the present embodiment, as described above, the workpiece receiving portion 50 has the workpiece placement member 52 that inclines obliquely downward toward the outlet 16 of the casing 12 The workpiece sent from the transport unit 30 to the workpiece receiving unit 50 when the unit 50 is at the first position is placed on the workpiece placement member 52. In this case, when the workpiece receiving portion 50 is lifted from the first position to the second position, the workpiece placement member 52 is inclined obliquely downward toward the outlet 16 of the casing 12. The workpiece on the member 52 slides on the workpiece placement member 52 by its own weight and is sent to the outlet 16, and it is not necessary to separately provide a mechanism for moving the workpiece on the workpiece placement member 52 to the outlet 16. Further, when the workpiece receiving portion 50 is moved from the first position to the second position, the workpiece placed on the workpiece placement member 52 is configured to rise while contacting the inner wall of the casing 12. As a result, even when the workpiece placement member 52 is inclined obliquely downward toward the outlet 16 of the casing 12, the workpiece placement on the workpiece while the workpiece receiving portion 50 is lifted from the first position to the second position. There is no need to separately provide a member for preventing the member 52 from falling. Further, the work placement member 52 is formed of a member through which the cleaning solution can pass. By this, even when the cleaning liquid flows from the cleaning area P to the workpiece rising area Q through the lower area of the partition member 18, the cleaning liquid passes through the workpiece mounting member 52 and falls, and the cleaning liquid is discharged from the outlet 16. It will be possible to prevent leakage. Further, the workpiece receiving unit 50 has a ceiling member 54 provided above the workpiece mounting member 52 at a distance from the workpiece mounting member 52, and the workpiece receiving unit 50 is positioned at the first position. The workpiece sent from the transport unit 30 to the workpiece receiving unit 50 during loading is placed on the workpiece placement member 52 in a state of being collapsed in the region between the workpiece placement member 52 and the ceiling member 54. It has become. In this case, when the workpiece receiving portion 50 is raised from the first position to the second position, a flat workpiece such as a nut is erected on the workpiece mounting member 52, and the workpiece is exited. It becomes possible to prevent clogged up with 16.

また、本実施の形態の洗浄装置10においては、上述したように、洗浄領域Pにおいて洗浄液供給部(具体的には、各高圧洗浄ノズル40、42、44、46)からワークに供給された洗浄液を受ける洗浄液受け部として貯留槽80が設けられており、また、洗浄液受け部としての貯留槽80に受けられた洗浄液を各高圧洗浄ノズル40、42、44、46等の洗浄液供給部に送る洗浄液送り部として高圧ポンプ90が設けられている。そして、各高圧洗浄ノズル40、42、44、46等の洗浄液供給部からワークに供給される洗浄液が循環使用されるようになっている。この場合には、洗浄液を再利用することにより、ランニングコストを低減させることができるようになる。   Further, in the cleaning apparatus 10 of the present embodiment, as described above, the cleaning liquid supplied to the workpiece from the cleaning liquid supply unit (specifically, each high-pressure cleaning nozzle 40, 42, 44, 46) in the cleaning area P. The storage tank 80 is provided as a cleaning liquid receiving unit for receiving water, and the cleaning liquid for sending the cleaning liquid received in the storage tank 80 as a cleaning liquid receiving unit to the cleaning liquid supply parts such as high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46, etc. A high pressure pump 90 is provided as a feed unit. The cleaning solution supplied to the workpiece from the cleaning solution supply units such as the high pressure cleaning nozzles 40, 42, 44, 46 is circulated and used. In this case, the running cost can be reduced by reusing the washing solution.

なお、本実施の形態による洗浄装置10は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。   In addition, the washing | cleaning apparatus 10 by this Embodiment is not limited to the aspect as mentioned above, A various change can be added.

例えば、本発明に係る洗浄装置として、内側ケーシングおよび外側ケーシングからなる二重のケーシングを有するものが用いられてもよい。この場合には、内側ケーシングの内部に、ワークの洗浄を行う洗浄領域が形成され、また、内側ケーシングと外側ケーシングとの間に、洗浄領域において洗浄されたワークを上昇させるワーク上昇領域が形成されるようになる。また、内側ケーシングには、当該内側ケーシングの内部領域(すなわち、洗浄領域)と、内側ケーシングと外側ケーシングとの間の領域(すなわち、ワーク上昇領域)とを連通させる開口が設けられるようになる。このような洗浄装置では、内側ケーシングは、外側ケーシングの内部の領域を洗浄領域およびワーク上昇領域に仕切る仕切り部材として機能するようになる。そして、内側ケーシングと外側ケーシングとの間のワーク上昇領域に、ワークを上昇させるワーク受け部を設けるようにする。ここで、内側ケーシングと外側ケーシングとの間のワーク上昇領域に設けられるワーク受け部は、図1乃至図4に示す洗浄装置10で用いられるワーク受け部50と略同一の構成とする。また、内側ケーシングと外側ケーシングとの間のワーク上昇領域に設けられるワーク受け部を、内側ケーシングの内部から送られた洗浄後のワークを受ける第1位置と、第1位置よりも上方に位置しており、外側ケーシングの出口にワークを送る第2位置との間で昇降させるようにする。このような内側ケーシングおよび外側ケーシングからなる二重のケーシングを有する洗浄装置でも、図1乃至図4に示す洗浄装置10と同様に、外側ケーシングの内部の領域が仕切り部材としての内側ケーシングによって洗浄領域およびワーク上昇領域に仕切られ、洗浄領域において洗浄されたワークがワーク上昇領域においてワーク受け部により上昇させられて外側ケーシングの出口に送られるようになる。このことにより、洗浄領域においてワークに供給された洗浄液が外側ケーシングに設けられたワークの出口から外部に漏れ出てしまうことを防止することができる。   For example, as a cleaning device according to the present invention, one having a double casing consisting of an inner casing and an outer casing may be used. In this case, a cleaning area for cleaning the work is formed inside the inner casing, and a work rising area for raising the cleaned work in the cleaning area is formed between the inner casing and the outer casing. Become so. In addition, the inner casing is provided with an opening for communicating the inner region (i.e., the cleaning region) of the inner casing with the region (i.e., the workpiece rising region) between the inner casing and the outer casing. In such a cleaning apparatus, the inner casing functions as a partition member which divides the inner area of the outer casing into the cleaning area and the work rising area. Then, a workpiece receiving portion for elevating the workpiece is provided in the workpiece elevating region between the inner casing and the outer casing. Here, the workpiece receiving portion provided in the workpiece rising area between the inner casing and the outer casing has substantially the same configuration as the workpiece receiving portion 50 used in the cleaning apparatus 10 shown in FIGS. 1 to 4. In addition, a workpiece receiving portion provided in a workpiece elevating region between the inner casing and the outer casing is located at a first position for receiving the cleaned workpiece sent from the inside of the inner casing and above the first position. And raise and lower between the second position where the workpiece is sent to the outlet of the outer casing. In the case of a washing apparatus having a double casing consisting of such an inner casing and an outer casing, as in the washing apparatus 10 shown in FIGS. 1 to 4, the inner area of the outer casing is a washing area by the inner casing as a partition member. The work is divided into work raising areas, and the work cleaned in the cleaning area is raised by the work receiving portion in the work raising area and sent to the outlet of the outer casing. This can prevent the cleaning liquid supplied to the work in the cleaning area from leaking out of the outlet of the work provided on the outer casing.

また、本発明に係る洗浄装置では、高圧洗浄ノズル等の洗浄液供給部からワークに供給される洗浄液が循環使用されないようになっていてもよい。すなわち、洗浄液供給部からワークに供給された洗浄液は排水口等に送られて排水されるようになっていてもよい。この場合でも、ケーシングの内部の領域を仕切り部材によって洗浄領域およびワーク上昇領域に仕切り、洗浄領域において洗浄されたワークをワーク上昇領域において上昇させてケーシングの出口に送るという本発明の原理を適用することができる。   Further, in the cleaning apparatus according to the present invention, the cleaning liquid supplied to the work from the cleaning liquid supply unit such as the high pressure cleaning nozzle may not be circulated and used. That is, the cleaning liquid supplied to the work from the cleaning liquid supply unit may be sent to a drain or the like to be drained. Even in this case, the principle of the present invention is applied, in which the inner region of the casing is partitioned by the partition member into the cleaning region and the workpiece rising region, and the workpiece cleaned in the cleaning region is lifted in the workpiece rising region and sent to the outlet of the casing. be able to.

また、ワーク上昇領域において昇降するワーク受け部は図2乃至図4に示すような形状のものに限定されることはない。洗浄領域において洗浄されたワークを上昇させることができるのであれば、ワーク受け部として様々な形状のものを用いることができる。例えば、ワーク受け部として単なる平板形状の受け皿が用いられてもよい。また、このような受け皿におけるワークの載置面が水平面と略平行となっていてもよい。この場合には、受け皿が第1位置から上昇して第2位置に到達したときに受け皿上のワークをケーシングの出口に押動する押動部材を別途設けるようにする。   In addition, the workpiece receiving unit that moves up and down in the workpiece lifting area is not limited to the shape as shown in FIGS. 2 to 4. As long as it is possible to lift the cleaned workpiece in the cleaning area, workpieces of various shapes can be used as the workpiece receiving portion. For example, a simple flat-plate shaped saucer may be used as a work receptacle. In addition, the mounting surface of the work in such a saucer may be substantially parallel to the horizontal plane. In this case, a pressing member is separately provided for pressing the work on the tray to the outlet of the casing when the tray rises from the first position and reaches the second position.

また、更に別の例に係る洗浄装置において、高圧洗浄ノズル等の洗浄液供給部からワークに高圧の洗浄液が噴射されるのではなく通常の水圧の洗浄液がワークに供給されるようになっていてもよい。また、ワークに洗浄液を供給する洗浄液供給部はノズルに限定されることはなく、例えばホース等が洗浄液供給部として用いられ、このホース等の出口から洗浄液がワークに供給されるようになっていてもよい。   Further, in the cleaning apparatus according to still another example, even if a high pressure cleaning solution is not jetted to the work from a cleaning solution supply unit such as a high pressure cleaning nozzle, a normal water pressure cleaning solution is supplied to the work Good. Further, the cleaning liquid supply unit for supplying the cleaning liquid to the work is not limited to the nozzle, and for example, a hose or the like is used as the cleaning liquid supply part, and the cleaning liquid is supplied to the work from the outlet of this hose or the like. It is also good.

10 洗浄装置
12 ケーシング
12a ケーシングの内壁
14 入口
16 出口
18 仕切り部材
20 ワーク投入部
30 搬送部
32 コンベア
34 プーリ
40、42、44、46 高圧洗浄ノズル
50 ワーク受け部
52 ワーク載置部材
54 天井部材
56 壁部材
57 側板
58 上蓋部材
60 エアシリンダ
62 ロッド
70 ワーク投出部
72 カバー
80 貯留槽
90 高圧ポンプ
92 洗浄液供給管
P 洗浄領域
Q ワーク上昇領域
W ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cleaning apparatus 12 Casing 12a Inner wall 14 of casing 14 Entrance 16 Exit 18 Partition member 20 Work loading part 30 Conveying part 32 Conveyor 34 Pulleys 40, 42, 44, 46 High pressure cleaning nozzle 50 Work receiving part 52 Work placement member 54 Ceiling member 56 Wall member 57 Side plate 58 Upper lid member 60 Air cylinder 62 Rod 70 Work ejection part 72 Cover 80 Storage tank 90 High pressure pump 92 Cleaning fluid supply pipe P Cleaning area Q Work up area W Work

Claims (5)

ワークの洗浄を行う洗浄装置であって、
前記ワークの入口および出口がそれぞれ設けられたケーシングと、
前記ケーシングの内部の領域を洗浄領域およびワーク上昇領域に仕切る仕切り部材と、
前記洗浄領域において前記ワークを搬送する搬送部と、
前記洗浄領域において前記搬送部により搬送される前記ワークに洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
前記ワーク上昇領域に設けられたワーク受け部であって、前記搬送部から送られた前記ワークを受ける第1位置と、前記第1位置よりも上方に位置しており、前記ケーシングの前記出口に前記ワークを送る第2位置との間で昇降自在となっているワーク受け部と、
を備えた、洗浄装置。
A cleaning device for cleaning the work,
A casing provided with an inlet and an outlet for the work respectively;
A partition member for partitioning an inner area of the casing into a cleaning area and a work rising area;
A transport unit for transporting the work in the cleaning area;
A cleaning liquid supply unit that supplies a cleaning liquid to the workpiece transported by the transport unit in the cleaning area;
A workpiece receiving unit provided in the workpiece lifting area, which is located at a first position for receiving the workpiece sent from the transport unit, and above the first position, and at the outlet of the casing A workpiece receiving unit which is movable up and down between a second position to which the workpiece is fed;
, Equipped with a cleaning device.
前記ワーク受け部は、前記ケーシングの前記出口に向かって斜め下方に傾斜するワーク載置部材を有しており、
前記ワーク受け部が前記第1位置に位置しているときに前記搬送部から前記ワーク受け部に送られた前記ワークは前記ワーク載置部材上に載置されるようになっている、請求項1記載の洗浄装置。
The workpiece receiving portion has a workpiece placement member that inclines obliquely downward toward the outlet of the casing,
The present invention is characterized in that the workpiece sent from the transport unit to the workpiece receiving portion is placed on the workpiece placement member when the workpiece receiving portion is positioned at the first position. The washing device according to 1.
前記ワーク受け部が前記第1位置から前記第2位置に移動する際に、前記ワーク載置部材上に載置されている前記ワークは前記ケーシングの内壁に接触しながら上昇するようになっている、請求項2記載の洗浄装置。   When the workpiece receiving portion moves from the first position to the second position, the workpiece placed on the workpiece placement member is configured to rise while contacting the inner wall of the casing. The cleaning apparatus according to claim 2. 前記ワーク受け部は、前記ワーク載置部材の上方において当該ワーク載置部材と間隔を隔てて設けられた天井部材を有しており、
前記ワーク受け部が前記第1位置に位置しているときに前記搬送部から前記ワーク受け部に送られた前記ワークは前記ワーク載置部材と前記天井部材との間の領域で倒れた状態で前記ワーク載置部材上に載置されるようになっている、請求項2または3記載の洗浄装置。
The workpiece receiving portion has a ceiling member provided above the workpiece placement member at a distance from the workpiece placement member,
In a state where the workpiece sent from the transport unit to the workpiece receiving portion when the workpiece receiving portion is located at the first position is fallen in a region between the workpiece placement member and the ceiling member The cleaning apparatus according to claim 2, wherein the cleaning apparatus is mounted on the workpiece mounting member.
前記洗浄領域において前記洗浄液供給部から前記ワークに供給された洗浄液を受ける洗浄液受け部と、
前記洗浄液受け部に受けられた洗浄液を前記洗浄液供給部に送る洗浄液送り部と、
を更に備え、
前記洗浄液供給部から前記ワークに供給される洗浄液が循環使用されるようになっている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の洗浄装置。
A cleaning solution receiving unit for receiving the cleaning solution supplied from the cleaning solution supply unit to the work in the cleaning area;
A cleaning solution feeder for sending the cleaning solution received by the cleaning solution receiver to the cleaning solution supply unit;
And further
The cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply unit to the work is circulated.
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