JP2019091925A - 液体供給装置及び液体供給方法 - Google Patents
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Abstract
Description
することができなかった。CLCが所望の流量を供給することができない原因としては、CLCが故障していることも考えられる。このため、所望の流量を供給することができない場合に、CLCが故障しているのか、それとも差圧が不足しているのかを判断することができなかった。
図1は、第1実施形態に係る薬液供給装置を示す概略正面図である。本実施形態の薬液供給装置は、酸性又はアルカリ性の第1薬液を洗浄装置に供給可能に構成される。図1に示すように、薬液供給装置100は、ハウジング101と、DIWCLCボックス110と、第1薬液CLCボックス120を有する。DIWCLCボックス110は、DIW(希釈水の一例に相当する)の供給を制御する。第1薬液CLCボックス120は、第1薬液の供給を制御する。
後述するDIW供給源10からのDIWを後述する第1インライン混合器72に供給するように構成される(図2参照)。また、DIWCLCボックス110は、DIWの流量をフィードバック制御により設定された流量に制御することができる。
が制御される。
る。具体的には、制御可能な流量範囲が異なる様々なCLCのうち、現時点で達成されている差圧によって所望の流量を供給することができるCLCを選択すればよい。なお、CLCは、その特性として差圧と制御可能な流量範囲との関係を有しており、その関係は予め得られているものである。
図3は、第2実施形態に係る薬液供給装置を示す概略正面図である。本実施形態の薬液供給装置は、第1実施形態に示した薬液供給装置と比べて、2種類の薬液を使用する点が異なる。即ち、例えばアルカリ性の薬液である第1薬液と例えば酸性の薬液である第2薬液を、洗浄装置に供給可能に構成される。したがって、第2実施形態に係る薬液供給装置100は、図1に示した薬液供給装置100の構成に加えて、第2薬液CLCボックス130を有する。第2薬液CLCボックス130は、第2薬液の供給を制御する。また、薬液供給装置100は、第2薬液供給源30(図4参照)からの第2薬液を薬液供給装置100に導入するための薬液ユーティリティボックス60を備えている。
成された第1洗浄薬液は、第1洗浄薬液配管96を介して薬液洗浄部220に供給される。第1洗浄薬液が薬液洗浄部220に供給される間、第2薬液の第2インライン混合器73への供給が停止される。具体的には、第2薬液CLCボックス130の第2薬液供給バルブ132が閉止される。これにより、薬液洗浄部220には第2洗浄薬液は供給されず、第1洗浄薬液のみが供給される。
第1形態によれば、液体源からの液体を洗浄装置に供給するための液体供給装置が提供される。この液体供給装置は、前記液体源からの液体の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する流量制御装置と、前記液体源と前記流量制御装置との間に設けられるイン側圧力計と、前記流量制御装置と前記洗浄装置との間に設けられるアウト側圧力計と、を有する。
圧が不足しているのかを把握することができる。また、プロセスレシピの変更に伴って流量制御装置を変更する際に、適切な流量制御装置を容易に選択することができる。
20…第1薬液供給源
30…第2薬液供給源
52…圧力計
62…圧力計
74…圧力計
75…圧力計
76…圧力計
78…合流部
79…合流部
100…薬液供給装置
111…CLC
121…CLC
131…CLC
200…洗浄装置
Claims (6)
- 液体源からの液体を洗浄装置に供給するための液体供給装置であって、
前記液体源からの液体の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する流量制御装置と、
前記液体源と前記流量制御装置との間に設けられるイン側圧力計と、
前記流量制御装置と前記洗浄装置との間に設けられるアウト側圧力計と、を有する、液体供給装置。 - 請求項1に記載された液体供給装置において、
前記液体源は、希釈水供給源と、薬液供給源と、を有し、
前記流量制御装置は、
前記希釈水供給源からの希釈水の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する希釈水流量制御装置と、
前記薬液供給源からの薬液の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する薬液流量制御装置と、を有し、
前記液体供給装置は、さらに、前記希釈水流量制御装置からの前記希釈水と、前記薬液流量制御装置からの前記薬液とが合流する合流部を有し、
前記イン側圧力計は、前記薬液供給源と前記薬液流量制御装置との間に設けられる薬液イン側圧力計を有し、
前記アウト側圧力計は、前記薬液流量制御装置又は前記希釈水流量制御装置と前記洗浄装置との間に設けられる、液体供給装置。 - 請求項2に記載された液体供給装置において、
前記イン側圧力計は、さらに、前記希釈水供給源と前記希釈水流量制御装置との間に設けられる希釈水イン側圧力計を有する、液体供給装置。 - 液体源からの流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する流量制御装置を備えた液体供給装置において前記液体源からの液体を洗浄装置に供給するための液体供給方法であって、
前記液体源からの流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する流量制御工程と、
前記流量制御装置に流入する液体の圧力を測定する第1測定工程と、
前記流量制御装置から流出する液体の圧力を測定する第2測定工程と、を有する液体供給方法。 - 請求項4に記載された液体供給方法において、
前記流量制御装置は、
希釈水供給源からの希釈水の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する希釈水流量制御装置と、
薬液供給源からの薬液の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する薬液流量制御装置と、を有し、
前記流量制御工程は、
前記希釈水供給源からの前記希釈水の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する希釈水流量制御工程と、
前記薬液供給源からの前記薬液の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する薬液流量制御工程と、を有し、
前記液体供給方法は、さらに、流量が制御された前記希釈水と、流量が制御された前記薬液とを合流させる工程を有し、
前記第1測定工程は、前記薬液流量制御装置に流入する薬液の圧力を測定する工程を有し、
前記第2測定工程は、前記薬液流量制御装置から流出した薬液、前記希釈水流量制御装置から流出した希釈水、及び前記薬液と前記希釈水との混合液のいずれかの圧力を測定する工程を有する、液体供給方法。 - 請求項5に記載された液体供給方法において、
前記第1測定工程は、前記希釈水流量制御装置に流入する前記希釈水の圧力を測定する工程を有する、液体供給方法。
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JP2016015469A (ja) * | 2014-06-09 | 2016-01-28 | 株式会社荏原製作所 | 洗浄薬液供給装置、洗浄薬液供給方法、及び洗浄ユニット |
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