JP2019090334A - Pump and application device - Google Patents

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Abstract

To easily discharge high-viscosity liquid.SOLUTION: A pump according to an embodiment includes: a housing; a flexible member arranged inside the housing, and in which liquid is housed; a cylinder part for housing working fluid; a plunger inserted into the cylinder part so as to be capable of reciprocating, and for supplying the working fluid to a gap between the housing and the flexible member to cause the liquid to be discharged from the flexible member; and a shaft arranged inside the flexible member.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、ポンプ及び塗布装置に関する。   The present invention relates to a pump and a coating apparatus.

従来、ガラス基板等の被処理基板に被膜等を形成するための塗布液を塗布する塗布装置が知られている。このような塗布装置としては、基板が配置されるステージと、塗布液を吐出可能なノズルと、ノズルに塗布液を供給可能なポンプとを備えるものがある。   DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the coating device which apply | coats the coating liquid for forming a film etc. in to-be-processed substrates, such as a glass substrate, is known. Examples of such a coating apparatus include a stage on which a substrate is disposed, a nozzle capable of discharging a coating liquid, and a pump capable of supplying the coating liquid to the nozzle.

例えば、特許文献１から３には、ベローズ方式のポンプが開示されている。ポンプは、ポンプケースと、ポンプケースの内部に配置される可撓性チューブと、を備えている（例えば、特許文献１参照）。例えば、シリンダ内のピストンが往復移動すると、駆動室内に封入された非圧縮性媒体の移動により、可撓性チューブが膨張収縮する。   For example, Patent Documents 1 to 3 disclose a bellows type pump. The pump includes a pump case and a flexible tube disposed inside the pump case (see, for example, Patent Document 1). For example, as the piston in the cylinder reciprocates, the movement of the incompressible medium enclosed in the drive chamber causes the flexible tube to expand and contract.

特開２００８−１２８０５９号公報JP, 2008-128059, A 特開２００７−１５４７６７号公報JP 2007-154767 A 特開２０１１−２２６３７５号公報JP, 2011-226375, A

しかしながら、上記従来技術においては、粘度の高い薬液をポンプで吐出することが想定されておらず、高粘度の液体を吐出することができない可能性があった。   However, in the above-mentioned prior art, it is not assumed that a high-viscosity chemical solution is discharged by a pump, and it may not be possible to discharge a high-viscosity liquid.

以上のような事情に鑑み、本発明は、高粘度の液体を容易に吐出することが可能なポンプ及び塗布装置を提供することを目的とする。   In view of the circumstances as described above, the present invention aims to provide a pump and a coating device capable of easily discharging a high viscosity liquid.

本発明の一態様に係るポンプは、筐体と、前記筐体の内部に配置され、液体が収容される可撓性部材と、作動流体を収容するシリンダ部と、前記シリンダ部に対して往復移動可能に挿入され、前記筐体と前記可撓性部材との隙間に前記作動流体を供給して前記可撓性部材から前記液体を排出させるプランジャと、前記可撓性部材の内部に配置されたシャフトと、を含む。   A pump according to an aspect of the present invention includes a housing, a flexible member that is disposed inside the housing and stores a liquid, a cylinder unit that stores a working fluid, and a reciprocating unit with respect to the cylinder unit. A plunger which is movably inserted, supplies a working fluid to a gap between the housing and the flexible member and discharges the liquid from the flexible member, and is disposed inside the flexible member And a shaft.

この構成によれば、可撓性部材の内部に配置されたシャフトを含むことで、シャフトを有しない場合と比較して、可撓性部材の内部容積が減少するため、高粘度の液体を容易に吐出することができる。加えて、可撓性部材がシャフトを軸として膨張収縮するため、可撓性部材が座屈することを抑制することができる。   According to this configuration, by including the shaft disposed inside the flexible member, the internal volume of the flexible member is reduced as compared to the case where the shaft is not provided, and therefore, it is easy to use a high viscosity liquid. Can be discharged. In addition, since the flexible member is expanded and contracted about the shaft, buckling of the flexible member can be suppressed.

上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、四角形以上の多角形形状であってもよい。
この構成によれば、シャフトの軸方向から見て可撓性部材が角部と辺部とを周方向に交互に有する。辺部は角部よりも変形しやすいため、辺部を積極的に膨張収縮させることができる。したがって、シャフトの軸方向から見て可撓性部材が円形形状である場合と比較して、可撓性部材が意図しない方向に変形することを抑制することができる。加えて、可撓性部材が複数の角部で補強されるため、可撓性部材が座屈することをより一層抑制することができる。 In the above pump, when viewed from the axial direction of the shaft, the flexible member may have a polygonal shape of square or more.
According to this configuration, when viewed from the axial direction of the shaft, the flexible members alternately have the corner portions and the side portions in the circumferential direction. Since the side portion is more easily deformed than the corner portion, the side portion can be positively expanded and contracted. Therefore, deformation of the flexible member in an unintended direction can be suppressed as compared with the case where the flexible member has a circular shape when viewed from the axial direction of the shaft. In addition, since the flexible member is reinforced by the plurality of corners, buckling of the flexible member can be further suppressed.

上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、菱形形状であってもよい。
この構成によれば、４つの辺部の長さが互いに相等しいため、各辺部を均等に変形させることができる。したがって、可撓性部材を安定して膨張収縮させることができる。 In the above pump, when viewed from the axial direction of the shaft, the flexible member may have a rhombus shape.
According to this configuration, since the lengths of the four side portions are equal to each other, each side portion can be deformed uniformly. Therefore, the flexible member can be stably expanded and contracted.

上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記筐体の内面と前記可撓性部材とは、相似形状をなしていてもよい。
この構成によれば、筐体と可撓性部材との隙間に供給される作動流体が可撓性部材の周方向において均等に流れやすくなるため、可撓性部材を安定して膨張収縮させることができる。加えて、可撓性部材の成形時に、筐体を成形型として活用することができるため好適である。 In the above pump, when viewed from the axial direction of the shaft, the inner surface of the housing and the flexible member may have a similar shape.
According to this configuration, since the working fluid supplied to the gap between the housing and the flexible member can easily flow evenly in the circumferential direction of the flexible member, the flexible member can be stably expanded and contracted. Can. In addition, the case can be used as a mold when molding the flexible member, which is preferable.

上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは、前記可撓性部材の内部の中央に配置されていてもよい。
この構成によれば、シャフトを介して可撓性部材の内部に収容される液体がシャフトの周囲において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性部材の収縮時に可撓性部材の内面がシャフトに接触しにくくなるため、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。 In the above pump, when viewed in the axial direction of the shaft, the shaft may be centrally located inside the flexible member.
According to this configuration, since the liquid contained in the flexible member can easily flow evenly around the shaft via the shaft, the liquid can be stably discharged. In addition, since it becomes difficult for the inner surface of the flexible member to come in contact with the shaft when the flexible member is contracted, it is possible to suppress the generation of foreign matter such as dust.

上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは円形であってもよい。
この構成によれば、シャフトを介して可撓性部材の内部に収容される液体がシャフトの周方向において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性部材の収縮時に可撓性部材の内面がシャフトに接触した場合であっても、シャフトの表面（曲面）で滑りやすい。したがって、シャフトの軸方向から見てシャフトが多角形である場合と比較して、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。 In the above pump, when viewed in the axial direction of the shaft, the shaft may be circular.
According to this configuration, since the liquid contained in the flexible member can easily flow evenly in the circumferential direction of the shaft via the shaft, the liquid can be stably discharged. In addition, even when the inner surface of the flexible member contacts the shaft when the flexible member contracts, it is slippery on the surface (curved surface) of the shaft. Therefore, generation of foreign matter such as dust can be suppressed as compared with the case where the shaft is polygonal when viewed from the axial direction of the shaft.

上記のポンプにおいて、前記シャフトは、前記筐体よりも長く延在し、前記筐体は、筒状の筐体本体と、前記筐体本体の一方側に配置され、前記シャフトの一端部を突出させる第一貫通孔が設けられた第一蓋部と、前記筐体本体の他方側に配置され、前記シャフトの他端部を突出させる第二貫通孔が設けられた第二蓋部と、を備え、前記シャフトの両端部には、ナットが螺合可能な雄ネジ部が設けられていてもよい。
この構成によれば、シャフトの雄ネジ部にナットが螺合されることで、筐体本体、第一蓋部および第二蓋部を強固に固定することができる。したがって、筐体本体、第一蓋部および第二蓋部を複数のボルトで固定する必要がないため、部品点数を削減し、組立作業性の向上および低コスト化を図ることができる。 In the above pump, the shaft extends longer than the housing, and the housing is disposed on a cylindrical housing main body and one side of the housing main body, and projects one end of the shaft. A first lid provided with a first through hole for causing the second through hole, and a second lid disposed on the other side of the casing body and provided with a second through hole for causing the other end of the shaft to protrude An external thread portion on which a nut can be screwed may be provided at both ends of the shaft.
According to this configuration, the housing main body, the first lid, and the second lid can be firmly fixed by screwing the nut into the male screw of the shaft. Therefore, since it is not necessary to fix a housing | casing main body, a 1st cover part, and a 2nd cover part by several bolts, a number of parts can be reduced and improvement and cost reduction of assembly operativity can be achieved.

本発明の一態様に係る塗布装置は、液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、上記のポンプと、を含む。
この構成によれば、高粘度の液体を容易に吐出することが可能な塗布装置を提供することができる。 The coating apparatus which concerns on 1 aspect of this invention contains the application part which apply | coats a liquid with respect to a to-be-coated-article, and said pump.
According to this configuration, it is possible to provide a coating apparatus capable of easily discharging a high viscosity liquid.

本発明によれば、高粘度の液体を容易に吐出することが可能なポンプ及び塗布装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a pump and a coating device capable of easily discharging a high viscosity liquid.

実施形態に係る塗布装置の斜視図である。It is a perspective view of a coating device concerning an embodiment. 実施形態に係る塗布装置の模式図である。It is a schematic diagram of the coating device which concerns on embodiment. 実施形態に係るポンプの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the pump concerning an embodiment. 図３のＩＶ−ＩＶ断面を含む図である。It is a figure containing the IV-IV cross section of FIG. 実施形態に係るシャフトの作用説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the shaft which concerns on embodiment. 実施形態の第一変形例に係るポンプの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the pump concerning the 1st modification of an embodiment. 実施形態の第二変形例に係るポンプ本体の図４に相当する断面を含む図である。It is a figure including the section equivalent to Drawing 4 of the pump main part concerning the 2nd modification of an embodiment. 実施形態の第三変形例に係るポンプ本体の図４に相当する断面を含む図である。It is a figure including the section equivalent to Drawing 4 of the pump main part concerning the 3rd modification of an embodiment.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

＜塗布装置＞
図１に示すように、塗布装置１は、基板１０（被塗布物）に被膜等を形成するための塗布液を塗布するものである。図２に示すように、塗布装置１は、塗布部２、供給部３、切替部５、除去部６、ステージ７、移動装置８（図１参照）及び制御部９を備える。制御部９は、塗布装置１の構成要素を統括制御する。 <Applying device>
As shown in FIG. 1, the coating apparatus 1 applies a coating liquid for forming a film or the like on a substrate 10 (object to be coated). As shown in FIG. 2, the coating apparatus 1 includes a coating unit 2, a supply unit 3, a switching unit 5, a removing unit 6, a stage 7, a moving device 8 (see FIG. 1), and a control unit 9. The control unit 9 centrally controls the components of the coating apparatus 1.

＜塗布部＞
塗布部２は、基板１０に塗布液３ａを吐出するノズル２ａを備える。ノズル２ａは、長尺状に形成されている。ノズル２ａの内部には、塗布液３ａを収容可能である。ノズル２ａは、ノズル２ａの先端（下端）に塗布液３ａを吐出するスリット状の吐出口２ｂを有する。例えば、ノズル２ａは、スリットノズルである。 <Coating section>
The coating unit 2 includes a nozzle 2 a that discharges the coating liquid 3 a onto the substrate 10. The nozzle 2a is formed in a long shape. The coating liquid 3a can be accommodated inside the nozzle 2a. The nozzle 2a has a slit-like discharge port 2b for discharging the coating liquid 3a at the tip (lower end) of the nozzle 2a. For example, the nozzle 2a is a slit nozzle.

＜供給部＞
供給部３は、塗布部２に塗布液３ａを供給可能なポンプ３１と、ポンプ３１に塗布液３ａを供給可能な供給源３０と、を備える。 <Supply unit>
The supply unit 3 includes a pump 31 capable of supplying the application liquid 3 a to the application unit 2 and a supply source 30 capable of supplying the application liquid 3 a to the pump 31.

供給源３０は、塗布部２に供給するための塗布液３ａを貯留する貯留タンク３０ａを備える。貯留タンク３０ａには、窒素ガス等の不活性ガスを導入可能な配管３０ｂが接続されている。配管３０ｂは、バルブを介して加圧源（何れも不図示）に接続されている。バルブの開閉制御によって、貯留タンク３０ａ内の圧力が調整される。供給源３０は、貯留タンク３０ａ内の圧力調整によって、所定量の塗布液３ａをポンプ３１に向けて供給する。   The supply source 30 includes a storage tank 30 a that stores the coating liquid 3 a to be supplied to the coating unit 2. The storage tank 30a is connected to a pipe 30b capable of introducing an inert gas such as nitrogen gas. The pipe 30 b is connected to a pressure source (all not shown) via a valve. By controlling the opening and closing of the valve, the pressure in the storage tank 30a is adjusted. The supply source 30 supplies a predetermined amount of the coating liquid 3a to the pump 31 by adjusting the pressure in the storage tank 30a.

例えば、塗布液３ａは、樹脂基板及び層間絶縁膜等を形成するための液状体を用いる。
本実施形態において、塗布液３ａは、１〜１０Ｐａ・ｓ程度の粘度を有するポリイミドを含む液状体を用いる。一般に、液晶表示装置に用いられるＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体は、０．０１Ｐａｓ以下の粘度を有する。したがって、ポリイミドを含む液状体は、ＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体と比較して高い粘度を有する。なお、塗布液３ａとして、ポリイミドを含む液状体以外の液状体、例えばフォトレジスト等の薬液（液体）を用いてもよい。 For example, as the coating solution 3a, a liquid for forming a resin substrate, an interlayer insulating film, and the like is used.
In the present embodiment, a liquid containing a polyimide having a viscosity of about 1 to 10 Pa · s is used as the coating liquid 3a. Generally, a liquid material for forming a TFT, a liquid crystal layer and the like used in a liquid crystal display device has a viscosity of 0.01 Pas or less. Therefore, the liquid containing polyimide has a high viscosity as compared with the liquid for forming the TFT, the liquid crystal layer, and the like. A liquid other than the liquid containing polyimide, for example, a chemical solution (liquid) such as a photoresist may be used as the coating liquid 3a.

塗布装置１は、塗布液３ａの供給路（流路）を形成する複数の配管１０１〜１０５を備える。上述の通り、塗布液３ａは、供給源３０から塗布部２に向けて流れる。以下、塗布液３ａが流れる方向において、供給源３０側を「上流側」、塗布部２側を「下流側」ともいう。   The coating apparatus 1 includes a plurality of pipes 101 to 105 which form a supply path (flow path) of the coating liquid 3a. As described above, the coating solution 3 a flows from the supply source 30 toward the coating unit 2. Hereinafter, in the direction in which the coating liquid 3 a flows, the supply source 30 side is also referred to as “upstream side”, and the coating unit 2 side is also referred to as “downstream side”.

＜切替部＞
切替部５は、２つのバルブ５１，５２を備える。２つのバルブ５１，５２は、第一バルブ５１および第二バルブ５２である。
第一バルブ５１は、ポンプ３１への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。
第二バルブ５２は、ポンプ３１から塗布部２への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。 <Switching unit>
The switching unit 5 includes two valves 51 and 52. The two valves 51 and 52 are a first valve 51 and a second valve 52.
The first valve 51 can open and close the supply path of the application liquid 3 a to the pump 31.
The second valve 52 can open and close the supply path of the coating liquid 3 a from the pump 31 to the coating unit 2.

＜除去部＞
除去部６は、塗布液３ａに含まれる異物を除去するためのフィルターを備える。例えば、フィルターは、テフロン（登録商標）により形成されている。
除去部６は、供給源３０と切替部５（第一バルブ５１）との間の流路上（配管１０１と配管１０２との間）に設けられる。 <Removal unit>
The removing unit 6 includes a filter for removing foreign matter contained in the coating solution 3a. For example, the filter is formed of Teflon (registered trademark).
The removing unit 6 is provided on a flow path (between the pipe 101 and the pipe 102) between the supply source 30 and the switching unit 5 (first valve 51).

＜塗布液の供給＞
ポンプ３１は、上流側から順に、配管１０１、除去部６、配管１０２、第一バルブ５１及び配管１０３を介して供給源３０に接続されている。
第一バルブ５１の開閉によって、配管１０２側（供給源３０）から配管１０３側（ポンプ３１）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。 <Supply of coating solution>
The pump 31 is connected to the supply source 30 via the pipe 101, the removing unit 6, the pipe 102, the first valve 51 and the pipe 103 in this order from the upstream side.
By opening and closing the first valve 51, the supply of the coating liquid 3a from the pipe 102 side (supply source 30) to the pipe 103 side (pump 31) is started or stopped.

塗布部２は、上流側から順に、配管１０４、第二バルブ５２、配管１０５を介してポンプ３１に接続されている。
第二バルブ５２の開閉によって、配管１０４側（ポンプ３１）から配管１０５側（塗布部２）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。 The application unit 2 is connected to the pump 31 via the pipe 104, the second valve 52, and the pipe 105 sequentially from the upstream side.
By opening and closing the second valve 52, the supply of the application liquid 3a from the pipe 104 side (pump 31) to the pipe 105 side (coating unit 2) is started or stopped.

塗布部２のノズル２ａは、ポンプ３１の駆動によって塗布液３ａを吐出可能とされる。
例えば、ポンプ３１の内圧を調整することによって、高粘度の塗布液３ａを用いた場合であっても、塗布部２に向けて塗布液３ａをスムーズに流すことができる。 The nozzle 2 a of the coating unit 2 can discharge the coating solution 3 a by driving of the pump 31.
For example, by adjusting the internal pressure of the pump 31, even when the high viscosity coating liquid 3a is used, the coating liquid 3a can smoothly flow toward the coating unit 2.

＜ステージ＞
図１に示すように、ステージ７は、直方体状に形成されている。ステージ７の上面には、矩形状の基板１０が配置されている。ステージ７には、基板１０を搬送するための複数のローラ（不図示）が設けられている。なお、ステージ７には、基板１０を浮上させて搬送する不図示の浮上搬送部が設けられていてもよい。 <Stage>
As shown in FIG. 1, the stage 7 is formed in a rectangular shape. A rectangular substrate 10 is disposed on the top surface of the stage 7. The stage 7 is provided with a plurality of rollers (not shown) for transporting the substrate 10. The stage 7 may be provided with a floating conveyance unit (not shown) for floating and conveying the substrate 10.

＜移動装置＞
移動装置８は、一対のレール８１と、門型フレーム８２と、を備える。
一対のレール８１は、第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂである。
第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂは、ステージ７の長手方向に沿う方向に延びる直方体状をなしている。第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂは、ステージ７を挟んで互いに対向するように配置されている。 Mobile Device
The moving device 8 includes a pair of rails 81 and a portal frame 82.
The pair of rails 81 is a first rail 81a and a second rail 81b.
The first rail 81 a and the second rail 81 b have a rectangular parallelepiped shape extending in a direction along the longitudinal direction of the stage 7. The first rail 81 a and the second rail 81 b are disposed to face each other with the stage 7 interposed therebetween.

門型フレーム８２は、基板１０が配置されるステージ７を跨ぐように門型に形成されている。門型フレーム８２は、ステージ７に対して移動可能とされる。
門型フレーム８２は、上下に延びる柱状をなす一対の支柱部８２ａ，８２ｂと、一対の支柱部８２ａ，８２ｂとの間をわたす架橋部８２ｃと、を備える。 The portal frame 82 is formed in a portal shape so as to straddle the stage 7 on which the substrate 10 is disposed. The portal frame 82 is movable relative to the stage 7.
The portal frame 82 includes a pair of vertically extending columnar support portions 82a and 82b and a bridge portion 82c between the pair of support portions 82a and 82b.

一対の支柱部８２ａ，８２ｂは、第一支柱部８２ａ及び第二支柱部８２ｂである。
例えば、第一支柱部８２ａ及び第二支柱部８２ｂの下端部は、それぞれ不図示のスライダを介して第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂに取り付けられている。門型フレーム８２は、一対のレール８１ａ，８１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｖ方向に移動可能である。
なお、架橋部８２ｃは、一対の支柱部８２ａ，８２ｂに対して上下に昇降可能（図中矢印ｕ方向に移動可能）とされていてもよい。 The pair of support portions 82a and 82b is a first support portion 82a and a second support portion 82b.
For example, the lower ends of the first support column 82a and the second support column 82b are attached to the first rail 81a and the second rail 81b via sliders (not shown), respectively. The portal frame 82 is movable in the direction of arrow v in the drawing along the longitudinal direction of the pair of rails 81a and 81b.
The bridging portion 82c may be movable up and down (movable in the direction of the arrow u in the drawing) with respect to the pair of support portions 82a and 82b.

架橋部８２ｃの中央部には、塗布部２及び供給部３を保持する矩形板状の板部材８３が着脱可能に支持されている。例えば、板部材８３は、不図示のビス等によって架橋部８２ｃに着脱可能に取り付けられている。   A rectangular plate member 83 holding the coating unit 2 and the supply unit 3 is detachably supported at the central portion of the bridge portion 82c. For example, the plate member 83 is detachably attached to the bridge portion 82c by a screw or the like (not shown).

塗布部２及び供給部３は、板部材８３を介して門型フレーム８２の架橋部８２ｃに取り付けられている。塗布部２は、不図示の駆動機構の駆動によって、供給部３と共に、一対のレール８１ａ，８１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｖ方向に移動可能とされる。   The application unit 2 and the supply unit 3 are attached to the bridge portion 82 c of the portal frame 82 via the plate member 83. The application unit 2 is movable together with the supply unit 3 in the direction of the arrow v in the drawing along the longitudinal direction of the pair of rails 81a and 81b by driving of a drive mechanism (not shown).

＜ポンプ＞
図３に示すように、ポンプ３１は、ポンプ本体１３０と、シリンダ部１４０と、プランジャ１５０（ピストン）と、を備える。ポンプ３１は、プランジャ方式のポンプである。 <Pump>
As shown in FIG. 3, the pump 31 includes a pump body 130, a cylinder portion 140, and a plunger 150 (piston). The pump 31 is a plunger type pump.

ポンプ本体１３０は、シリンダ部１４０に対してボルト（不図示）により固定される筐体１３１と、筐体１３１の内部に配置された可撓性チューブ１３２（可撓性部材）と、可撓性チューブ１３２の内部に配置されたシャフト１３８と、を備える。   The pump body 130 includes a housing 131 fixed to the cylinder portion 140 by a bolt (not shown), a flexible tube 132 (flexible member) disposed inside the housing 131, and flexibility. And a shaft 138 disposed inside the tube 132.

筐体１３１は、筒状の筐体本体１３５と、筐体本体１３５の一方側に配置される第一蓋部１３３と、筐体本体１３５の他方側に配置される第二蓋部１３４と、を備える。例えば、筐体１３１は、アルミニウム等の金属部材で形成されている。筐体本体１３５と各蓋部１３４との間には、シール部材１３７が設けられている。   The casing 131 includes a cylindrical casing body 135, a first lid 133 disposed on one side of the casing body 135, and a second lid 134 disposed on the other side of the casing body 135. Equipped with For example, the housing 131 is formed of a metal member such as aluminum. A seal member 137 is provided between the housing body 135 and the lids 134.

筐体本体１３５は、第一蓋部１３３と第二蓋部１３４の間をわたすように延在している。筐体本体１３５には、シリンダ部１４０の側に開口する本体側開口部１３５ｈが形成されている。本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の延在方向において第一蓋部１３３の側の端部に位置している。   The housing body 135 extends between the first lid 133 and the second lid 134. In the housing body 135, a main body side opening 135h that opens to the side of the cylinder portion 140 is formed. The main body side opening 135 h is located at the end on the first lid 133 side in the extending direction of the cylindrical main body 135.

第一蓋部１３３には、可撓性チューブ１３２の上流側に連通する流体供給口１３３ｈが形成されている。液体供給口１３３ｈには、上流側の配管１０３が接続されている。例えば、第一バルブ５１（図２参照）を「開」とすることによって、流体供給口１３３ｈを介して、配管１０３側（供給源３０）から可撓性チューブ１３２内への塗布液３ａの供給が可能とされる（供給方向は、図中矢印ｍ方向）。   A fluid supply port 133 h communicating with the upstream side of the flexible tube 132 is formed in the first lid portion 133. An upstream pipe 103 is connected to the liquid supply port 133 h. For example, by setting the first valve 51 (see FIG. 2) to “open”, the supply of the coating liquid 3a from the pipe 103 side (supply source 30) into the flexible tube 132 via the fluid supply port 133h. (Supply direction is the direction of the arrow m in the figure).

第二蓋部１３４には、可撓性チューブ１３２の下流側に連通する流体排出口１３４ｈが形成されている。流体排出口１３４ｈには、下流側の配管１０４が接続されている。後述する作動流体１３０ａによって、流体排出口１３４ｈを介して、可撓性チューブ１３２内から配管１０４側（塗布部２）への塗布液３ａの排出が可能とされる（排出方向は、図中矢印ｎ方向）。   The second lid 134 is formed with a fluid outlet 134 h communicating with the downstream side of the flexible tube 132. A pipe 104 on the downstream side is connected to the fluid discharge port 134 h. Discharge of the coating liquid 3a from the inside of the flexible tube 132 to the side of the pipe 104 (application portion 2) is enabled by the working fluid 130a described later via the fluid discharge port 134h (the discharge direction is the arrow in the figure) n direction).

可撓性チューブ１３２は、筐体本体１３５の長手方向に沿う筒状をなしている。可撓性チューブ１３２は、筐体１３１の内部に同軸的に配置されている。可撓性チューブ１３２には、塗布液３ａが収容される。例えば、可撓性チューブ１３２の厚みは、１．８ｍｍ程度である。   The flexible tube 132 has a tubular shape along the longitudinal direction of the housing body 135. The flexible tube 132 is coaxially disposed inside the housing 131. The flexible tube 132 contains the coating solution 3 a. For example, the thickness of the flexible tube 132 is about 1.8 mm.

可撓性チューブ１３２は、径方向に膨張収縮自在の弾性部材で形成されている。可撓性チューブ１３２は、筐体１３１の内部に収容されている。可撓性チューブ１３２と筐体１３１との間には、作動流体１３０ａが流れ込むことで可撓性チューブ１３２を膨張収縮させる隙間１３６（以下「本体側駆動室１３６」ともいう。）が形成されている。   The flexible tube 132 is formed of a radially expandable and contractible elastic member. The flexible tube 132 is housed inside the housing 131. Between the flexible tube 132 and the housing 131, a gap 136 (hereinafter, also referred to as "main body side drive chamber 136") is formed to expand and contract the flexible tube 132 when the working fluid 130a flows in. There is.

例えば、可撓性チューブ１３２は、樹脂材料やゴム材料等の可撓性材料で形成されている。
なお、可撓性チューブ１３２は、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂で形成されていてもよい。フッ素樹脂はフォトレジストと反応しないため、塗布液３ａとしてフォトレジスト等の薬液を用いた場合、塗布液３ａの品質を保つ上で好適である。塗布液３ａとしてフォトレジスト等の薬液を用いた場合、第一蓋部１３３及び第二蓋部１３４も、フッ素樹脂で形成されていることが好ましい。なお、塗布液３ａとしてフォトレジスト等の薬液を用いた場合、第一蓋部１３３のうち少なくとも流体供給口１３３ｈの形成部分および第二蓋部１３４のうち少なくとも流体排出口１３４ｈの形成部分がフッ素樹脂で形成されていればよい。 For example, the flexible tube 132 is formed of a flexible material such as a resin material or a rubber material.
The flexible tube 132 may be formed of a fluorine resin such as tetrafluoroethylene perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA). Since a fluorine resin does not react with the photoresist, it is preferable to use a chemical solution such as a photoresist as the coating solution 3a in order to maintain the quality of the coating solution 3a. When a chemical solution such as a photoresist is used as the coating solution 3a, it is preferable that the first lid portion 133 and the second lid portion 134 be also made of fluorocarbon resin. When a chemical solution such as a photoresist is used as the coating liquid 3a, at least a portion of the first lid 133 where the fluid supply port 133h is formed and a portion of the second lid 134 where at least the fluid outlet 134h is fluorine resin It should just be formed.

シャフト１３８は、筐体１３１よりも長く延在している。第一蓋部１３３には、シャフト１３８の一端部を突出させる第一貫通孔１３３ｉが設けられている。第二蓋部１３４には、シャフト１３８の他端部を突出させる第二貫通孔１３４ｉが設けられている。シャフト１３８の両端部には、ナット１３９が螺合可能な雄ネジ部１３８ａが設けられている。   The shaft 138 extends longer than the housing 131. The first lid 133 is provided with a first through hole 133i for causing one end of the shaft 138 to protrude. The second lid 134 is provided with a second through hole 134i for causing the other end of the shaft 138 to protrude. At both ends of the shaft 138, an external thread portion 138a to which a nut 139 can be screwed is provided.

例えば、シャフト１３８を筐体本体１３５内に挿通し、シャフト１３８の一端部を第一蓋部１３３の第一貫通孔１３３ｉから突出させ、かつ、シャフト１３８の他端部を第二蓋部１３４の第二貫通孔１３４ｉから突出させた状態で、シャフト１３８の両端部の雄ネジ部１３８ａにナット１３９を螺着することによって、筐体本体１３５、第一蓋部１３３および第二蓋部１３４を固定することができる。   For example, the shaft 138 is inserted into the housing body 135, one end of the shaft 138 is protruded from the first through hole 133i of the first lid 133, and the other end of the shaft 138 is a second lid 134. The housing body 135, the first lid 133, and the second lid 134 are fixed by screwing the nuts 139 onto the male screw portions 138a at both ends of the shaft 138 in a state of being projected from the second through hole 134i. can do.

図４に示すように、シャフト１３８の軸方向（以下単に「軸方向」ともいう。）から見て、シャフト１３８は円形である。図４の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央に配置されている。可撓性チューブ１３２の内部には、１本のシャフト１３８が設けられている。   As shown in FIG. 4, the shaft 138 is circular when viewed from the axial direction of the shaft 138 (hereinafter, also simply referred to as “axial direction”). As viewed in the axial direction of FIG. 4, the shaft 138 is centrally located inside the flexible tube 132. Inside the flexible tube 132, a single shaft 138 is provided.

図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、四角形以上の多角形形状である。図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、径方向外方に凸をなして湾曲する４つ角部１３２ａと、隣り合う２つの角部１３２ａ同士をつなぐ直線状をなす４つの辺部１３２ｂとを有する。実施形態において、４つの辺部１３２ｂは互いに同じ長さを有する。すなわち、図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形形状である。言い換えると、図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、角丸を有する菱形である。   As viewed in the axial direction of FIG. 4, the flexible tube 132 has a polygonal shape that is equal to or greater than a square. When viewed from the axial direction in FIG. 4, the flexible tube 132 has four corners 132 a that are curved so as to be convex outward in the radial direction, and four straight lines connecting two adjacent corners 132 a. And a side portion 132b. In the embodiment, the four sides 132b have the same length. That is, as viewed in the axial direction of FIG. 4, the flexible tube 132 has a rhombus shape. In other words, when viewed from the axial direction of FIG. 4, the flexible tube 132 is in the shape of a rhombus with rounded corners.

図４の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしている。具体的に、図４の軸方向から見て、筐体本体１３５の内面１３５ａと可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしている。すなわち、図４の軸方向から見て、筐体本体１３５の内面１３５ａは、可撓性チューブ１３２の外形よりも大きい菱形形状である。図４の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向中央部に位置している。ここで、筒体本体１３５の幅方向は、筐体本体１３５の内面１３５ａがなす菱形形状の長軸に平行な方向である。   As viewed in the axial direction of FIG. 4, the inner surface of the housing 131 and the flexible tube 132 have a similar shape. Specifically, as viewed in the axial direction of FIG. 4, the inner surface 135 a of the housing body 135 and the flexible tube 132 have a similar shape. That is, when viewed from the axial direction of FIG. 4, the inner surface 135 a of the housing body 135 is in the shape of a rhombus larger than the outer shape of the flexible tube 132. When viewed from the axial direction in FIG. 4, the main body side opening 135 h is located at the widthwise center of the cylindrical main body 135. Here, the width direction of the cylindrical main body 135 is a direction parallel to the major axis of the rhombus shape formed by the inner surface 135 a of the housing main body 135.

図３に示すように、シリンダ部１４０は、筐体本体１３５の長手方向に沿うように延びる筒状をなしている。シリンダ部１４０には、シリンダ部１４０の長手方向に延在するシリンダ孔１４０ａが形成されている。シリンダ部１４０には、本体側開口部１３５ｈに連通するようにポンプ本体１３０側に開口するシリンダ側開口部１４０ｈが形成される。   As shown in FIG. 3, the cylinder portion 140 has a tubular shape extending along the longitudinal direction of the housing body 135. In the cylinder portion 140, a cylinder hole 140a extending in the longitudinal direction of the cylinder portion 140 is formed. The cylinder portion 140 is formed with a cylinder side opening portion 140 h that opens to the pump main body 130 side so as to communicate with the main body side opening portion 135 h.

プランジャ１５０は、シリンダ部１４０の長手方向に延在するプランジャ本体１５１と、プランジャ本体１５１のシリンダ部１４０側とは反対側の端部に設けられたガイドブロック１５２と、を備える。   The plunger 150 includes a plunger main body 151 extending in the longitudinal direction of the cylinder portion 140, and a guide block 152 provided at an end of the plunger main body 151 opposite to the cylinder portion 140 side.

プランジャ本体１５１は、シリンダ部１４０に対して往復移動可能に挿入されている。
ガイドブロック１５２は、プランジャ本体１５１の長手方向と平行に延在するリニアガイドアクチュエータ４１ｂに接続されている。リニアガイドアクチュエータ４１ｂには、複数のギアを内蔵する減速機４１ａを介してモータ４１が接続されている。ガイドブロック１５２は、モータ４１の駆動によって、プランジャ本体１５１と共に、リニアガイドアクチュエータ４１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｇ方向に移動可能とされる。このようにして、プランジャ１５０は、シリンダ部１４０に対して往復移動可能とされている。 The plunger main body 151 is inserted in the cylinder portion 140 so as to be capable of reciprocating.
The guide block 152 is connected to a linear guide actuator 41 b which extends parallel to the longitudinal direction of the plunger body 151. The motor 41 is connected to the linear guide actuator 41 b via a reduction gear 41 a that incorporates a plurality of gears. The guide block 152 is movable together with the plunger main body 151 in the longitudinal direction of the linear guide actuator 41b in the direction of the arrow g in the figure by driving the motor 41. Thus, the plunger 150 is capable of reciprocating with respect to the cylinder portion 140.

シリンダ部１４０において、プランジャ本体１５１の先端面１５１ａと、シリンダ孔１４０ａに臨む側壁面１４０ｂとの間には、プランジャ１５０の往復移動によって容積が変動するシリンダ側駆動室１４１が形成されている。シリンダ側駆動室１４１は、シリンダ側開口部１４０ｈ及び本体側開口部１３５ｈを介して本体側駆動室１３６に連通している。   In the cylinder portion 140, a cylinder side drive chamber 141 whose volume is changed by the reciprocation of the plunger 150 is formed between the tip end surface 151a of the plunger main body 151 and the side wall surface 140b facing the cylinder hole 140a. The cylinder side drive chamber 141 is in communication with the main body side drive chamber 136 via the cylinder side opening 140 h and the main body side opening 135 h.

本体側駆動室１３６及びシリンダ側駆動室１４１には、作動流体１３０ａが封入されている。例えば、作動流体１３０ａは、非圧縮性媒体を用いる。各駆動室１３６，１４１の内部の作動流体１３０ａは、各開口部１３５ｈ，１４０ｈを介して流動自在とされている。   A working fluid 130 a is enclosed in the main body side drive chamber 136 and the cylinder side drive chamber 141. For example, the working fluid 130a uses an incompressible medium. The working fluid 130a inside the drive chambers 136 and 141 is made free to flow through the openings 135h and 140h.

＜プランジャ本体（作動流体）の作用＞
プランジャ本体１５１をシリンダ部１４０の側壁面１４０ｂに向けて移動（側壁面１４０ｂへ近接）させると、シリンダ側駆動室１４１は収縮する。シリンダ側駆動室１４１の収縮によって、シリンダ側駆動室１４１内の作動流体１３０ａは、シリンダ側開口部１４０ｈ及び本体側開口部１３５ｈを介して、本体側駆動室１３６内に流入する。すると、可撓性チューブ１３２は、作動流体１３０ａに押圧されて収縮する。これにより、可撓性チューブ１３２内に収容された塗布液３ａは、流体排出口１３４ｈから配管１０４側（塗布部２）へ排出される。すなわち、プランジャ本体１５１は、筐体１３１と可撓性チューブ１３２との間の隙間（本体側駆動室１３６）に作動流体１３０ａを供給して可撓性チューブ１３２から塗布液３ａを排出させる。 <Action of plunger body (working fluid)>
When the plunger main body 151 is moved toward the side wall surface 140 b of the cylinder portion 140 (close to the side wall surface 140 b), the cylinder side drive chamber 141 contracts. The contraction of the cylinder side drive chamber 141 causes the working fluid 130a in the cylinder side drive chamber 141 to flow into the body side drive chamber 136 via the cylinder side opening 140h and the body side opening 135h. Then, the flexible tube 132 is pressed by the working fluid 130 a and contracts. Thereby, the coating liquid 3a accommodated in the flexible tube 132 is discharged from the fluid discharge port 134h to the side of the pipe 104 (the coating unit 2). That is, the plunger main body 151 supplies the working fluid 130 a to the gap (main body side drive chamber 136) between the housing 131 and the flexible tube 132 to discharge the application liquid 3 a from the flexible tube 132.

一方、プランジャ本体１５１をシリンダ部１４０の側壁面１４０ｂとは反対側に向けて移動（側壁面１４０ｂから離反）させると、シリンダ側駆動室１４１が膨張する。シリンダ側駆動室１４１の膨張によって、本体側駆動室１３６内の作動流体１３０ａは、本体側開口部１３５ｈ及びシリンダ側開口部１４０ｈを介して、シリンダ側駆動室１４１内に流入する。すると、作動流体１３０ａによる可撓性チューブ１３２の押圧が解除される。   On the other hand, when the plunger main body 151 is moved toward the opposite side to the side wall surface 140 b of the cylinder portion 140 (away from the side wall surface 140 b), the cylinder side drive chamber 141 is expanded. By expansion of the cylinder side drive chamber 141, the working fluid 130a in the main body side drive chamber 136 flows into the cylinder side drive chamber 141 via the main body side opening 135h and the cylinder side opening 140h. Then, the pressing of the flexible tube 132 by the working fluid 130a is released.

このように、シリンダ部１４０に対してプランジャ本体１５１が往復移動すると、各駆動室１３６，１４１内に封入された作動流体１３０ａの移動により本体側駆動室１３６が膨張収縮する。そのため、本体側駆動室１３６の膨張収縮に連動させて第二バルブ５２（図２参照）を開閉することによって、配管１０４等を介して塗布液３ａを塗布部２に供給することができる。   As described above, when the plunger main body 151 reciprocates with respect to the cylinder portion 140, the movement of the working fluid 130a enclosed in the drive chambers 136 and 141 causes the main drive chamber 136 to expand and contract. Therefore, by opening and closing the second valve 52 (see FIG. 2) in conjunction with the expansion and contraction of the main body side drive chamber 136, the coating liquid 3a can be supplied to the coating unit 2 through the pipe 104 and the like.

＜シャフトの作用＞
図５は、可撓性チューブ１３２の収縮状態を示す図である。図５は、図４に相当する断面図である。
図５に示すように、可撓性チューブ１３２は、シャフト１３８を軸として収縮している。可撓性チューブ１３２の収縮状態において、辺部１３２ｂは角部１３２ａよりも変形しやすいため、辺部１３２ｂが積極的に変形している。具体的に、作動流体１３０ａが本体側開口部１３５ｈを介して本体側駆動室１３６内に流入すると、辺部は、隣り合う２つの角部１３２ａ同士をつなぐ直線状（図４参照）から、隣り合う２つの角部１３２ａの間で径方向に凸をなす湾曲状へと変形する。 <Function of shaft>
FIG. 5 is a view showing the flexible tube 132 in a contracted state. FIG. 5 is a cross-sectional view corresponding to FIG.
As shown in FIG. 5, the flexible tube 132 is contracted about the shaft 138. In the contracted state of the flexible tube 132, the side portion 132b is more easily deformed than the corner portion 132a, so the side portion 132b is positively deformed. Specifically, when the working fluid 130a flows into the main body side drive chamber 136 through the main body side opening 135h, the side portions are adjacent from the linear shape (see FIG. 4) connecting two adjacent corner portions 132a. It is deformed into a radially convex curved shape between the two corner portions 132a which are fitted.

可撓性チューブ１３２の収縮状態において、可撓性チューブ１３２の内面とシャフト１３８の外面とは、離間している。可撓性チューブ１３２の内部において、可撓性チューブ１３２の内面とシャフト１３８の外面との間には、塗布液３ａが介在している。   In the contracted state of the flexible tube 132, the inner surface of the flexible tube 132 and the outer surface of the shaft 138 are spaced apart. Inside the flexible tube 132, the coating liquid 3a is interposed between the inner surface of the flexible tube 132 and the outer surface of the shaft 138.

ここで、図４に示す可撓性チューブ１３２の初期状態（収縮前の状態）における可撓性チューブ１３２の内部容積を１００％とする。例えば、図５に示す可撓性チューブ１３２の収縮状態における可撓性チューブ１３２の内部容積は４０％程度である。   Here, the internal volume of the flexible tube 132 in the initial state (the state before contraction) of the flexible tube 132 shown in FIG. 4 is set to 100%. For example, the internal volume of the flexible tube 132 in the contracted state of the flexible tube 132 shown in FIG. 5 is about 40%.

以上のように、本実施形態によれば、可撓性チューブ１３２の内部に配置されたシャフト１３８を含むことで、シャフト１３８を有しない場合と比較して、可撓性チューブ１３２の内部容積が減少するため、高粘度の液体を容易に吐出することができる。加えて、可撓性チューブ１３２がシャフト１３８を軸として膨張収縮するため、可撓性チューブ１３２が座屈することを抑制することができる。   As described above, according to the present embodiment, by including the shaft 138 disposed inside the flexible tube 132, the internal volume of the flexible tube 132 is greater than in the case where the shaft 138 is not provided. Because of the reduction, high viscosity liquid can be easily discharged. In addition, since the flexible tube 132 is expanded and contracted about the shaft 138, buckling of the flexible tube 132 can be suppressed.

また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、四角形以上の多角形形状であることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８の軸方向から見て可撓性チューブ１３２が角部１３２ａと辺部１３２ｂとを周方向に交互に有する。辺部１３２ｂは角部１３２ａよりも変形しやすいため、辺部１３２ｂを積極的に膨張収縮させることができる。したがって、シャフト１３８の軸方向から見て可撓性チューブ１３２が円形形状である場合と比較して、可撓性チューブ１３２が意図しない方向に変形することを抑制することができる。加えて、可撓性チューブ１３２が複数の角部１３２ａで補強されるため、可撓性チューブ１３２が座屈することをより一層抑制することができる。   Further, when viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 has a polygonal shape that is equal to or greater than a quadrangle, so that the following effects can be obtained. When viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 has corner portions 132a and side portions 132b alternately in the circumferential direction. Since the side portion 132 b is more easily deformed than the corner portion 132 a, the side portion 132 b can be positively expanded and contracted. Therefore, deformation of the flexible tube 132 in an unintended direction can be suppressed as compared with the case where the flexible tube 132 has a circular shape when viewed from the axial direction of the shaft 138. In addition, since the flexible tube 132 is reinforced by the plurality of corners 132a, buckling of the flexible tube 132 can be further suppressed.

また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形形状であることで、以下の効果を奏する。４つの辺部１３２ｂの長さが互いに相等しいため、各辺部１３２ｂを均等に変形させることができる。したがって、可撓性チューブ１３２を安定して膨張収縮させることができる。   Further, when viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 has a rhombus shape, so that the following effects can be obtained. Since the lengths of the four side portions 132 b are equal to each other, each side portion 132 b can be deformed uniformly. Therefore, the flexible tube 132 can be stably inflated and deflated.

また、シャフト１３８の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしていることで、以下の効果を奏する。筐体１３１と可撓性チューブ１３２との隙間に供給される作動流体１３０ａが可撓性チューブ１３２の周方向において均等に流れやすくなるため、可撓性チューブ１３２を安定して膨張収縮させることができる。加えて、可撓性チューブ１３２の成形時に、筐体１３１を成形型として活用することができるため好適である。   Further, when viewed from the axial direction of the shaft 138, the inner surface of the housing 131 and the flexible tube 132 have similar shapes, thereby achieving the following effects. Since the working fluid 130a supplied to the gap between the housing 131 and the flexible tube 132 can easily flow evenly in the circumferential direction of the flexible tube 132, the flexible tube 132 can be stably expanded and contracted. it can. In addition, the housing 131 can be used as a mold when molding the flexible tube 132, which is preferable.

また、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央に配置されていることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８を介して可撓性チューブ１３２の内部に収容される液体がシャフト１３８の周囲において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性チューブ１３２の収縮時に可撓性チューブ１３２の内面がシャフト１３８に接触しにくくなるため、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。   In addition, as viewed in the axial direction of the shaft 138, the shaft 138 is disposed at the center of the inside of the flexible tube 132, thereby achieving the following effects. The liquid contained in the flexible tube 132 via the shaft 138 can flow evenly around the shaft 138, so that the liquid can be stably discharged. In addition, since the inner surface of the flexible tube 132 is less likely to contact the shaft 138 when the flexible tube 132 is contracted, generation of foreign matter such as dust can be suppressed.

また、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は円形であることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８を介して可撓性チューブ１３２の内部に収容される液体がシャフト１３８の周方向において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性チューブ１３２の収縮時に可撓性チューブ１３２の内面がシャフト１３８に接触した場合であっても、シャフト１３８の表面（曲面）で滑りやすい。したがって、シャフト１３８の軸方向から見てシャフト１３８が多角形である場合と比較して、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。   Further, when viewed in the axial direction of the shaft 138, the shaft 138 is circular, and the following effects can be obtained. The fluid contained in the flexible tube 132 via the shaft 138 can flow evenly in the circumferential direction of the shaft 138, so that the fluid can be discharged stably. In addition, even when the inner surface of the flexible tube 132 contacts the shaft 138 when the flexible tube 132 is contracted, the surface (curved surface) of the shaft 138 is slippery. Therefore, compared with the case where the shaft 138 has a polygonal shape when viewed from the axial direction of the shaft 138, generation of foreign matter such as dust can be suppressed.

また、シャフト１３８は、筐体１３１よりも長く延在し、筐体１３１は、筒状の筐体本体１３５と、筐体本体１３５の一方側に配置され、シャフト１３８の一端部を突出させる第一貫通孔１３３ｉが設けられた第一蓋部１３３と、筐体本体１３５の他方側に配置され、シャフト１３８の他端部を突出させる第二貫通孔１３４ｉが設けられた第二蓋部１３４と、を備え、シャフト１３８の両端部には、ナット１３９が螺合可能な雄ネジ部１３８ａが設けられていることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８の雄ネジ部１３８ａにナット１３９が螺合されることで、筐体本体１３５、第一蓋部１３３および第二蓋部１３４を強固に固定することができる。したがって、筐体本体１３５、第一蓋部１３３および第二蓋部１３４を複数のボルトで固定する必要がないため、部品点数を削減し、組立作業性の向上および低コスト化を図ることができる。   Further, the shaft 138 extends longer than the housing 131, and the housing 131 is disposed on one side of the cylindrical housing body 135 and the housing body 135, and causes one end portion of the shaft 138 to project. A first lid 133 provided with one through hole 133i, and a second lid 134 provided on the other side of the case body 135 and provided with a second through hole 134i for causing the other end of the shaft 138 to protrude , And the male screw portion 138a to which the nut 139 can be screwed is provided at both ends of the shaft 138, whereby the following effects can be obtained. By screwing the nut 139 into the male screw portion 138a of the shaft 138, the housing body 135, the first lid 133, and the second lid 134 can be firmly fixed. Therefore, since it is not necessary to fix the housing body 135, the first lid 133, and the second lid 134 with a plurality of bolts, it is possible to reduce the number of parts and achieve improvement in assembly workability and cost reduction. .

また、塗布装置１は、液体を被塗布物に対して塗布する塗布部２と、上記のポンプ３１と、を含むことで、高粘度の液体を容易に吐出することが可能な塗布装置１を提供することができる。   Moreover, the coating device 1 includes the coating part 2 which apply | coats a liquid with respect to a to-be-coated-article, and the said pump 31, and can apply the coating device 1 which can discharge a high viscosity liquid easily. Can be provided.

また、塗布部２が、門型フレーム８２に取り付けられると共に、ポンプ３１によって塗布液３ａを吐出可能なノズル２ａを含むことで、以下の効果を奏する。一般的なレールに沿ってノズル２ａを移動させる場合と比較して、高い剛性を有する門型フレーム８２によってノズル２ａをステージ７に対して移動させることができるため、ノズル２ａの移動を安定して行うことができる。   In addition, the coating unit 2 is attached to the portal frame 82 and includes the nozzle 2 a that can discharge the coating liquid 3 a by the pump 31, thereby achieving the following effects. Since the nozzle 2a can be moved relative to the stage 7 by the portal frame 82 having high rigidity as compared with the case where the nozzle 2a is moved along a general rail, the movement of the nozzle 2a is stabilized. It can be carried out.

なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、塗布部２として、スリット型のノズル２ａを用いたが、これに限らない。例えば、中央滴下型の塗布部を用いてもよいし、インクジェット型の塗布部を用いてもよい。また、基板１０上に配置される液状体を、スキージなどを用いて拡散させて塗布する構成であってもよい。 The shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described example are merely examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like.
For example, although the slit type nozzle 2a is used as the application unit 2 in the above embodiment, the present invention is not limited to this. For example, a central dropping type coating unit may be used, or an inkjet type coating unit may be used. In addition, the liquid material disposed on the substrate 10 may be diffused and applied using a squeegee or the like.

また、上記実施形態においては、塗布装置１が、基板１０上に塗布液３ａとしてポリイミドを含む液状体を塗布する例を挙げたが、これに限らない。例えば、塗布液３ａとしてレジスト液を用いてもよいし、レジスト液以外の液体を用いてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the example which the coating apparatus 1 apply | coats the liquid containing a polyimide as the coating liquid 3a on the board | substrate 10 was given, it does not restrict to this. For example, a resist solution may be used as the coating solution 3a, or a liquid other than the resist solution may be used.

また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形形状である例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形以外の多角形形状であってもよい。また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、円形または楕円形であってもよい。
また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、星型形状であってもよい。言い換えると、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、径方向内方に窪む３つ以上の凹部を周方向に有していてもよい。すなわち、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、相対的に変形しにくい部分と相対的に変形しやすい部分とを周方向に交互に有していればよい。 Moreover, in the said embodiment, although the flexible tube 132 gave the example which is a rhombus shape seeing from the axial direction of the shaft 138, it did not restrict to this. For example, as viewed in the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may have a polygonal shape other than a rhombus. Also, viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may be circular or oval.
Also, viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may be star-shaped. In other words, when viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may have three or more concave portions that are recessed radially in the circumferential direction. That is, when viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may have the portion which is relatively difficult to be deformed and the portion which is relatively easy to be deformed alternately in the circumferential direction.

また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしている例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、互いに異なる形状をなしていてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the inner surface of the housing | casing 131 and the flexible tube 132 have comprised similar shape seeing from the axial direction of the shaft 138, it did not restrict to this. For example, as viewed in the axial direction of the shaft 138, the inner surface of the housing 131 and the flexible tube 132 may have different shapes.

また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央に配置されている例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央位置からずれた位置に配置されていてもよい。   In the above embodiment, the shaft 138 is disposed at the center of the inside of the flexible tube 132 when viewed from the axial direction of the shaft 138, but the present invention is not limited to this. For example, viewed from the axial direction of the shaft 138, the shaft 138 may be disposed at a position offset from the central position inside the flexible tube 132.

また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は円形である例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は多角形であってもよい。   In the above embodiment, the shaft 138 has a circular shape as viewed from the axial direction of the shaft 138, but the present invention is not limited to this. For example, viewed in the axial direction of the shaft 138, the shaft 138 may be polygonal.

また、上記実施形態においては、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の延在方向において第一蓋部１３３の側の端部に位置している例（図３参照）を挙げたが、これに限らない。
図６は、実施形態の第一変形例に係るポンプ２３１の概略構成図である。
例えば、図６に示すように、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の延在方向中央部に位置していてもよい。 Further, in the above embodiment, the example in which the main body side opening 135 h is located at the end on the side of the first lid 133 in the extending direction of the cylindrical main body 135 (see FIG. 3) is given. It is not limited to this.
FIG. 6 is a schematic configuration view of a pump 231 according to a first modified example of the embodiment.
For example, as shown in FIG. 6, the main body side opening 135 h may be located at the central portion in the extension direction of the cylindrical main body 135.

また、上記実施形態においては、図４の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向中央部に位置している例を挙げたが、これに限らない。
図７は、実施形態の第二変形例に係るポンプ本体３３０の図４に相当する断面を含む図である。
例えば、図７の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向の第一端部に位置していてもよい。
図８は、実施形態の第三変形例に係るポンプ本体４３０の図４に相当する断面を含む図である。
例えば、図８の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向において第一端部とは反対側の第二端部に位置していてもよい。 In the above embodiment, the main body side opening 135 h is located at the center in the width direction of the cylindrical main body 135 when viewed from the axial direction in FIG. 4. However, the present invention is not limited thereto.
FIG. 7 is a view including a cross section corresponding to FIG. 4 of a pump body 330 according to a second modified example of the embodiment.
For example, as viewed in the axial direction of FIG. 7, the main body side opening 135 h may be located at the first end of the cylindrical main body 135 in the width direction.
FIG. 8 is a view including a cross section corresponding to FIG. 4 of a pump body 430 according to a third modification of the embodiment.
For example, as viewed in the axial direction of FIG. 8, the main body side opening 135 h may be located at the second end opposite to the first end in the width direction of the cylindrical main body 135.

なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。   In addition, each component described as an embodiment or its modification in the above can be combined suitably in the range which does not deviate from the meaning of the present invention, and some components of a plurality of combined components It is possible not to use as appropriate.

１…塗布装置 ２…塗布部 ３ａ…塗布液（液体）、１０…基板（被塗布物） ３１，２３１…ポンプ １３０ａ…作動流体 １３１…筐体 １３２…可撓性チューブ（可撓性部材） １３３…第一蓋部 １３３ｉ…第一貫通孔 １３４…第二蓋部 １３４ｉ…第二貫通孔 １３５…筐体本体 １３５ａ…筐体本体の内面（筐体の内面） １３８…シャフト １３８ａ…雄ネジ部 １３９…ナット １４０…シリンダ部 １５０…プランジャ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... application apparatus 2 ... application part 3a ... application liquid (liquid), 10 ... board | substrate (application | coating thing) 31,231 ... pump 130a ... working fluid 131 ... housing | casing 132 ... flexible tube (flexible member) 133 ... first lid portion 133i ... first through hole 134 ... second lid portion 134i ... second through hole 135 ... housing body 135a ... inside surface of housing body (inner surface of housing) 138 ... shaft 138a ... male screw portion 139 ... Nut 140 ... Cylinder part 150 ... Plunger

Claims (8)

筐体と、
前記筐体の内部に配置され、液体が収容される可撓性部材と、
作動流体を収容するシリンダ部と、
前記シリンダ部に対して往復移動可能に挿入され、前記筐体と前記可撓性部材との隙間に前記作動流体を供給して前記可撓性部材から前記液体を排出させるプランジャと、
前記可撓性部材の内部に配置されたシャフトと、を含む
ポンプ。 And
A flexible member disposed inside the housing and containing a liquid;
A cylinder unit for containing a working fluid;
A plunger which is reciprocably inserted into the cylinder portion, supplies the working fluid to a gap between the housing and the flexible member, and discharges the liquid from the flexible member;
A shaft disposed inside the flexible member. 前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、四角形以上の多角形形状である
請求項１に記載のポンプ。 The pump according to claim 1, wherein the flexible member has a polygonal shape which is equal to or greater than a square, as viewed in the axial direction of the shaft. 前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、菱形形状である
請求項２に記載のポンプ。 The pump according to claim 2, wherein the flexible member has a rhombic shape when viewed from the axial direction of the shaft. 前記シャフトの軸方向から見て、前記筐体の内面と前記可撓性部材とは、相似形状をなす
請求項１から３の何れか一項に記載のポンプ。 The pump according to any one of claims 1 to 3, wherein the inner surface of the housing and the flexible member have a similar shape when viewed from the axial direction of the shaft. 前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは、前記可撓性部材の内部の中央に配置されている
請求項１から４の何れか一項に記載のポンプ。 The pump according to any one of claims 1 to 4, wherein the shaft is disposed at the center of the inside of the flexible member when viewed from the axial direction of the shaft. 前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは円形である
請求項１から５の何れか一項に記載のポンプ。 The pump according to any one of claims 1 to 5, wherein the shaft is circular as viewed in the axial direction of the shaft. 前記シャフトは、前記筐体よりも長く延在し、
前記筐体は、
筒状の筐体本体と、
前記筐体本体の一方側に配置され、前記シャフトの一端部を突出させる第一貫通孔が設けられた第一蓋部と、
前記筐体本体の他方側に配置され、前記シャフトの他端部を突出させる第二貫通孔が設けられた第二蓋部と、を備え、
前記シャフトの両端部には、ナットが螺合可能な雄ネジ部が設けられている
請求項１から６の何れか一項に記載のポンプ。 The shaft extends longer than the housing,
The housing is
A cylindrical casing body,
A first lid portion disposed on one side of the housing body and provided with a first through hole through which one end portion of the shaft is protruded;
And a second lid portion provided on the other side of the housing body and provided with a second through hole for causing the other end portion of the shaft to project.
The pump according to any one of claims 1 to 6, wherein at both ends of the shaft, a male screw portion in which a nut can be screwed is provided. 液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、
請求項１から７の何れか一項に記載のポンプと、を含む
塗布装置。 An application unit for applying a liquid to an object to be coated;
An application apparatus comprising: the pump according to any one of claims 1 to 7.
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