JP2019082403A - 検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査部と検査対象物を測定期間中、常に接触させていなくても、信頼性の高い検査を行うことができる検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】移動体１には、投光部１３を有するカメラ部１０と、接触部３２を有する接触検査部が備えられている。カメラ部１０は、投光部１３より検査対象である壁面１００に投光し、カメラ部１０の撮像部は壁面１００からの反射光を受光して画像データに変換し、画像データに基づいて検査対象物における測定可能な部分部を候補位置として検出する。候補位置を検出すると、接触部３２のセンサ部は壁面１００に接触して超音波により壁面１００の腐食状態を検出する。【選択図】 図２

Description

本発明は、壁面等の検査対象物の腐食等の劣化状態を検査する接触検査部が備えら、移動体によって移動可能な検査装置および検査方法に関する。

壁面やパイプ等の金属製やコンクリート製の検査対象物は、長年使用していると次第に腐食等の劣化が進むことから、劣化状態を検査し、必要に応じて補修することが知られている。例えば、特許文献１には、管の径方向に変位可能で管の内周面に常時接触するように付勢された案内部と、案内部の径方向変位と連動するように基台に支持された送信探触子及び受信探触子とを備え、管内を走行しながら、超音波を用いて壁面の腐食状態を検査する管内走行超音波装置が開示されている。

特開２０１５−１７２４９６号公報

上述したような壁面等を超音波を用いて検査する場合には、検査部（探触子）を壁面に接触させないと超音波が対象物に効率よく伝播せず、腐食状態を的確に検出できない。そのため、信頼性の高い検査を行うために接触子を測定を行う期間、接触させる必要がある。しかし、壁面等の検査対象物の腐食状態によっては表面が凹凸形状となって一般に平面とはならず、腐食状態に応じて測定に好適な箇所は検査の都度変動することから、検査部を検査対象物の状況に係わらず常に接触させることは困難である。

本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、検査部と検査対象物を測定期間中、常に接触させていなくても、信頼性の高い検査を行うことができる検査装置および検査方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため第１の発明に係る検査装置は、移動体と、上記移動体に搭載され、検査対象物の画像データを取得する撮像部と、上記画像データに基づいて、上記検査対象物における測定可能な面積の部分を一つ又は複数の候補位置として検出する候補検出部と、上記検査対象物の状態を検査する接触検査部と、を具備し、上記候補検出部によって検出された上記候補位置に接触検査部を接触させる。

第２の発明に係る検査装置は、上記第１の発明において、接触媒体を上記検査対象物上に供給する供給部と、を有し、上記供給部による上記接触媒体の供給後に、接触移動を行い、上記接触媒体を上記接触検査部と上記接触検査部の間に介在させる。
第３の発明に係る検査装置は、上記第１の発明において、接触検査がＮＧとなった時に、接触したまま、ずらして測定する。

第４の発明に係る検査装置は、上記第１の発明において、上記候補検出部によって上記候補位置として検出された候補位置において、上記接触検査部による検査が不能であった場合には、上記接触検査部は上記検査対象物における複数の候補位置における次の候補位置で検査を行う。
第５の発明に係る検査装置は、上記第４の発明において、上記次の候補位置は、検査不能のであった候補位置から上記移動体で移動可能な小移動した位置である。
第６の発明に係る検査装置は、上記第４の発明において、上記接触検査部による検査が不能であった場合には、測定位置の近傍で検査を行った検査結果に基づいて、測定位置における検査を予測して上記接触検査部による検査を行う。

第７の発明に係る検査装置は、上記第１の発明において、上記候補検出部は、上記検査対象物に投光し、上記検査対象物からの反射光を上記撮像部で受光し、上記画像データに基づいて上記検査対象物における測定可能な部分を候補位置として検出する。
第８の発明に係る検査装置は、上記第１の発明において、上記接触検査部は、上記検査対象の接触面が斜めの際に、上記接触面に対して垂直にセンサ部を当て付ける機構を有する。
第９の発明に係る検査装置は、上記第１の発明において、上記接触検査部は、上記移動体と上記検査対象物が正対しなくても、上記検査対象物と上記接触検査部内のセンサの位置が正しい位置に保持される機構を有する。
第１０の発明に係る検査装置は、上記第１乃至第９の発明において、上記候補位置は、上記検査対象物の全周囲において所定間隔となるよう設定され、上記移動体は、上記接触検査部による検査データを出力する。

第１１の発明に係る検査装置は、移動体と、検査対象物の状態を検査する接触検査部と、接触媒体を上記検査対象物上に供給する供給部と、を有し、上記供給部による上記接触媒体の供給後に、接触移動を行い、上記接触媒体を上記接触検査部と上記検査対象物の間に介在させる。
第１２の発明に係る検査装置は、上記第１１の発明において、上記供給部は、バルーン内に上記接触媒体を充填し、上記接触媒体を充填した上記バルーンを上記接触検査部と上記接触検査部の間に介在させる。

第１３の発明に係る検査方法は、移動体と接触検査部が搭載され、移動可能な検査装置における検査方法において、検査対象物における測定可能な部分を候補位置として検出し、検出された上記候補位置において、上記接触検査部を上記検査対象物に接触させ、上記検査対象物の状態を検査する。

第１４の発明に係る検査方法は、上記第１３の発明において、検査対象物の画像データを取得し、該画像データに基づいて、上記検査対象物の候補位置を検出する。
第１５の発明に係る検査方法は、上記第１３の発明において、上記候補位置において、接触媒体を上記検査対象物に供給し、上記接触媒体の供給後に、接触移動を行い、上記接触媒体を上記接触検査部と上記検査対象物の間に介在させる。
第１６の発明に係る検査方法は、上記第１３の発明において、上記接触検査部を上記検査対象物に接触させる際に、上記検査対象物の接触面が斜めになっている場合には、上記接触面に対して垂直に上記接触検査部のセンサ部を当て付けるようにする。

本発明によれば、検査部と検査対象物を測定期間中、常に接触させていなくても、信頼性の高い検査を行うことができる検査装置および検査方法を提供することができる。

本発明の一実施形態に係る検査システムの主として電気的構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの主として電気的構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの動作状態を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの動作状態を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムにおいて、壁面が平面であるか否かを検出する方法を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムにおいて、壁面が平面であるか否かを検出する方法を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムにおいて、壁面が平面であるか否かを検出する方法を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムにおいて、壁面が平面であるか否かを検出する方法を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムのカメラ部の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る検査システムの接触検査部の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る検査システムの移動部の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る検査システムの移動部の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る検査システムの第１の変形例の外観を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの第１の変形例の動作状態を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの第２の変形例の動作状態を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの第３の変形例の動作状態を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムの変形例の移動部の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る検査システムにおいて、壁面に垂直に当て着くための機構を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムにおいて、移動体の変形例の外観を示す図である。 本発明の一実施形態に係る検査システムにおいて、移動体による検査手順と移動体の帰還を説明する上面図である。

以下、本発明の一実施形態として壁面等の検査対象物の腐食等の劣化状態を検査する検査システムに本発明を適用した例について説明する。本実施形態に係る検査システムは、移動体に移動部、カメラ部および検査部が設けられており（例えば、図１Ａの移動体１に設けられた接触検査部３０およびカメラ部１０参照）、投光部１３からの投射光の壁面からの反射光を測定することにより、壁面が平面であるか凹凸面であるかを判定し、この判定結果に基づいて、壁面の検査箇所の候補を抽出する（例えば、図４〜図７、図８のＳ３〜Ｓ１９参照）。

また、本実施形態に係る検査システムは、壁面に向けて接触媒質を塗布し、この接触媒質を介して壁面の検査を行う（例えば、図１１〜図１４、図１５のＳ７８等参照）。さらに、本実施形態に係る検査システムは、接触検査部が壁面と垂直に当て着くための機構を有する（例えば、図１６参照）。なお、本実施形態に係る移動体は、無人航空機、いわゆるドローンを用いた例について説明するが、移動体としては、ドローンに限らず地上走行タイプの移動体等、種々の移動体に適用可能である。

図１Ａおよび図１Ｂを用いて、本実施形態に係る検査システムの電気的構成を説明する。この検査システムは、移動体１と操縦部４０とからなり、また移動体１は、カメラ部１０、移動部２０、および接触検査部３０を有する。

移動部２０は、カメラ部１０および接触検査部３０を載せ、空中を移動自在に移動することができる。移動部２０は、制御部２１、レーダ２７ａ、推進部２２、電源２８、空間情報部２７、位置・方位判定部２５、高度・姿勢判定部２４、記録部２６、通信部２３ａ、および時計部２９を有する。

レーダ２７ａは、電波を発射し、その反射波を測定することにより、移動体１の周囲に存在する物体までの距離や方向を測定する。測定結果は、制御部２１に出力する。電源２８は、電源電池を有し、移動体１内に電源を供給する。なお、移動体１の移動範囲が限られている場合には、地上からケーブル等を用いて給電するようにしてもよい。

推進部２２は、ロータおよびロータの駆動機構を有し、制御部２１からの指示に応じて、空中を飛行する。本実施形態においては、推進部２２は、図２等に示すように、４つのロータ（回転翼）２２ａを有するが、３つ以上のロータを有すればよく、５つ以上のロータを有するようにしても勿論構わない。移動体１は、複数のロータを同時にバランスよく回転させることによって飛行する。上昇・下降はロータの回転速度（回転数）の増減によって行い、前進・後進・旋回などは、各ロータの回転数に差をつけ、機体を傾けることで行う。

空間情報部２７は、カメラ部１０および／またはレーダ２７ａからの情報に基づいて、移動体１の周囲の物体（障害物や検査対象物）の方位・角度等の情報を検出する。位置・方位判定部２５は、移動体１の現在位置、および移動方向を判定する。現在位置はＧＰＳ（Global Positioning System）やビーコン等によって判定する。高度・姿勢判定部２４は、移動体１の高度および傾き等の姿勢を判定する。高度は図示しない高度計等による検出結果に基づいて判定する。

記録部２６は、電気的に書き換え可能な不揮発性メモリを有し、制御部２１等におけるプログラム、各種調整値等を記憶している。また記録部２６は、移動部２０の各種制御情報の記録も行い、またカメラ部１０で撮影した画像の画像データ、また画像データに基づいて抽出された検査候補位置等、および接触検査部３０における検査結果等も記録する。

時計部２９は、日時情報を生成する。この日時情報は、記録部２６において各種データ等を記録する際に、各種データに関連付けて記録される。

通信部２３ａは、通信回路を有し、操縦部４０内の通信部４３ｂと通信を行う。通信部２３ａから通信部４３ｂに送信される情報としては、移動体１の状態情報がある。状態情報としては、例えば、移動体１の飛行に関する情報、カメラ部１０において取得した情報、接触検査部３０において取得した検査情報等がある。また、通信部４３ｂから通信部２３ａに送信される情報としては、制御信号がある。制御信号としては、操縦者が操縦部４０を手動操作した際の制御信号、また操縦者が移動体１の飛行前に予め設定した自動操縦のための制御信号、自動操縦中に手動操縦に切り換えた際の制御信号等がある。

制御部２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）およびその周辺回路を有するＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等のプロセッサで構成される。制御部２１内に、記録部２６に記憶されるプログラムを記憶するようにしてもよい。制御部２１は、移動部２０内の各部の制御を行い、またカメラ部１０および接触検査部３０とも通信制御部２１ｆを介して、制御を行う。

移動判定部２１ｄは、操縦部４０からの制御信号または予め記録してある自動操縦情報、および位置・方位判定部２５等からの各種情報に基づいて、移動体１の移動方向等の判定を行う。この判定結果は方向制御部２１ｂ等に出力する。

姿勢判定部２１ｅは、操縦部４０からの制御信号または予め記録してある自動操縦情報、および高度・姿勢判定部２４等からの各種情報に基づいて、移動体１の姿勢等の判定を行う。この判定結果は姿勢制御部２１ｃ等に出力する。

推進制御部２１ａ、方向制御部２１ｂ、および姿勢制御部２１ｃは、推進部２２の駆動制御を行う。すなわち、移動判定部２１ｄおよび姿勢判定部２１ｅからの判定結果に基づいて、推進部２２の複数のロータを制御することにより、移動体１の移動方向制御および姿勢制御を行う。

電源判定部２１ｇは、電源２８の電源状態を判定する。例えば、供給電圧を一定電圧となるように調整する。また、電源電圧が規定電圧以下になった場合に等には、警告を発し、通信部２３ａ等を通じて操縦部４０を操作する操縦者に告知する。

通信制御部２１ｆは、移動体１内における通信の制御を行う。すなわち、移動部２０内の制御部２１と、カメラ部１０内のカメラ制御部１１および接触検査部３０内の接触検査制御部３１との間で、通信を行う。

カメラ部１０は、カメラ制御部１１、撮像部１２、および投光部１３を有する。カメラ部１０は、撮像部１２によって検査対象物等の画像データを取得し、この画像データを操縦部４０に送信し、表示部４６に検査対象物の表示を行う。また、画像データに基づいて、壁面が平面か凹凸面等の画像の特徴を判定し（後述する図４および図５参照）、また壁面までの距離を測定する（図６および図７参照）。

撮像部１２は、光学系１２ｂの他、撮像素子、撮像制御回路等を有する。光学系１２ｂは、検査対象等の画像を結像する。撮像素子は結像された画像の画像データを取得し、カメラ制御部１１内の画像処理部１１ｂに出力する。撮像部１２は、移動体に搭載され、検査対象物の画像データを取得する撮像部として機能する。

投光部１３は、ＬＥＤ等の投光素子および投光光学系１３ａを有し、検査対象等に投光する。撮像部１２は、検査対象からの反射光を受光し、この反射光に基づく画像データは、画像処理部１１ｂに出力され、壁面が平面か凹凸面かが判定される。この判定については、図４ないし図７を用いて後述する。

カメラ制御部１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）およびその周辺回路を有するＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等のプロセッサで構成される。周辺回路として、ＣＰＵを動作させるプログラムを記憶する。制御部１１は、移動部２０内の制御部２１からの制御信号に応じて、カメラ部１０内の各部の制御を行う。

カメラ制御部１１は、画像処理部１１ｂ、画像特徴検出部１１ｃ、投光制御部１１ｄ、距離判定部１１ｅ、および通信部（不図示）を有する。これらの各部は、ハードウエア回路によって実現してもよいが、本実施形態においては、その一部をプログラムとＣＰＵによってソフトウエア的に実現する。

カメラ制御部１１は、画像データに基づいて、検査対象物における平坦部等の測定可能な面積の部分を一つ又は複数の候補位置として検出する候補検出部として機能する。候補検出部によって上記候補位置として検出された候補位置において、接触検査部による検査が不能であった場合には、接触検査部は検査対象物における複数の候補位置における次の候補位置で検査を行う（例えば、図２（ｃ）、図１０ＢのＳ７９参照）。

次の候補位置は、検査不能のであった候補位置から移動体で移動可能な小移動した位置である（例えば、図１０ＢのＳ７９参照）。ここで、小移動とは、例えば、測定時にカメラ部１０にて撮影される画像の撮影範囲内となる距離程度の移動の中で、かつ、移動しやすい位置に向かう移動を意味する。つまり、各種移動体には、移動手段が異なる推進制御部がある上、接触型の検査などでは、対象部位への接近の仕方にも制約があるので、それらを考慮した移動でなければ現実的ではない。位置制御の分解能が移動メカの制御の分解能より小さい場合は制御が出来ない。例えば移動体がドローンの場合では、接触したままで長く移動するとセンサ部がこすれて破壊されてしまう可能性があり、１回接触した部位から離れて、前後左右に動いた後、再度、近傍に接触して再検査（Ｕターン再検査）という動きになる。この場合には、位置精度上の制約を受けるので、最も近い候補位置よりも、誤差の範囲を許容する候補位置を目標にした方が良い場合もあれば、数ミリ、数センチ程度であれば、本実施形態にて説明している接触部位に塗布された接触媒体の潤滑効果で、そのままずらして測定を行ってもよい。この接触媒体も量の限りがある上、接触部の凹凸も様々であるため、それらを考慮して、このずらし再検査を行うことが好ましい場合がある。ずらし再検査がうまく行かない時に、上述したようなＵターン再検査を行っても良い。また、画像で候補位置を決める時に、このずらし再検査が出来そうな、比較的広い面積で面の状態が類似の部分を選ぶようにしてもよい。また、接触検査がＮＧであった場合には、センサ部を接触させたまま、接触媒体の潤滑で、ずらしてから測定するようにしてもよい。

画像処理部１１ｂは、撮像部１２から画像データを入力し、各種画像処理を施す。画像特徴検出部１１ｃは、投光部１３による投光時に撮像部１２によって取得された画像データに基づいて、壁面が平面であるか凹凸面であるかを判定する。その他、検査対象となる面の画像の特徴を検出する。

投光制御部１１は、検査対象となる壁面が平面であるか凹凸面であるかを判定する際に、投光部１３の投光制御を行う。距離判定部１１ｅは、投光時に壁面からの反射光を検出することにより、移動体１から壁面までの距離を測定する。図４等を用いて後述するように、投光部１３と撮像部は、図２（ａ）の鉛直方向Ｇにオフセットさせた配置となっており、投光された領域の像の位置関係を、三角測距法により評価することで壁面までの距離を測定することができる。また、コントラスト法によって相対的な距離を測定するようにしてもよい。

接触検査部３０は、接触検査制御部３１、接触部３２、および補助部３３を有する。接触検査部３０は、超音波等を用いて、壁面等の検査対象物の腐食等の劣化状態を検査する。また、接触部３２のセンサが検査しやすくなるように、対象物の壁面とセンサ部３２ｂの間に接触媒質を塗布するための装置（補助部３３）や、移動体１と対象物の壁面とがほぼ垂直でない場合でも、センサ部３２ｂがほぼ垂直で壁面に接するようにするため機構（補助部３３）が備えられている。接触検査部３０は、検査対象物の状態を検査する接触検査部として機能する（例えば、図２、図９のＳ３５〜Ｓ４３参照）。検査対象物の検査にあたっては、候補検出部によって検出された候補位置に接触検査部を接触させる（図１０ＢのＳ７５、Ｓ７７参照）。また、候補位置は、検査対象物の全周囲において所定間隔となるよう設定され、移動体は、接触検査部による検査データを出力する。

接触部３２は、超音波の発信源、超音波センサ部（超音波探触子）３２ｂ、超音波信号処理回路等を有し、対象物に超音波を投射し、対象物からの反射音を受信し、受信信号を信号処理部３１ｂに出力する。後述するように、接触検査制御部３１は受信した信号に基づいて検査対象物の厚さ等（例えば、図２（ａ）に示す厚さＴｈ参照）を測定し、また腐食状態等の内部状況の可視化等を行う。接触部３２は、伸縮機構を有するようにしてもよい。この場合、補助部３３によって接触媒体を吐出した後、接触部３２を伸ばし、接触部３２を検査対象物に押し付けるようにしてもよい。

補助部３３は、対象物と超音波センサ部（超音波探触子）３２ｂの間に必要最小限の接触媒質を供給する機構である（図３参照）。また補助部３３は移動体１が対象物と正対しなくても、対象物と超音波センサ部３２ｂの位置関係が正対状態を保持する機構を有していてもよい（図１６参照）。これらの機構の全てを保持しなくてもよく、いずれか一方でもよく、両方とも省略してもよい。

補助部３３は、接触媒体を検査対象物上に供給する供給部として機能する。供給部による接触媒体の供給後に、接触媒体を検査対象物の間に接触させるように移動を行い、接触媒体を接触検査部と接触検査部の間に充填する（例えば、図３、図９のＳ３７、Ｓ３９、図１１〜図１４、図１５のＳ７８参照）。また、供給部は、バルーン内に接触媒体を充填し、接触媒体を充填したバルーンを接触検査部と接触検査部の間に介在させるようにしてもよい（例えば、図１３、図１４、図１５参照）。

なお、補助部３３は、接触媒体を検査対象物に直接供給するのではなく、検査媒体をセンサ部３２ｂ（探触子）の先端に供給し、その後、探触子を検査対象に接触させるようにしてもよい。この方法によれば、（１）塗布する箇所のばらつき、塗布の失敗が減る為、測定の失敗が減り、また（２）塗布面積が最小限で済み接触媒体の供給が少なくて済む為、検査時間が長くなる、という利点がある。

接触検査制御部３１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）およびその周辺回路を有するＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等のプロセッサで構成される。周辺回路として、ＣＰＵを動作させるプログラムを記憶する。接触検査制御部３１は、移動部２０内の制御部２１からの制御信号に応じて、接触検査部３０内の各部の制御を行う。

接触検査制御部３１は、信号処理部３１ｂ、発信制御部３１ｃ、補助制御部３１ｄ、測定データ化部３１ｅ、および接触判定部３１ｆを有する。これらの各部は、ハードウエア回路によって実現してもよいが、本実施形態においては、その一部をプログラムとＣＰＵによってソフトウエア的に実現する。

信号処理部３１ｂは、信号処理回路を有し、センサ３２ｂからの超音波信号を処理する。発信制御部３１ｃは、発信制御回路を有し、接触部３２内の超音波の発信源における発振制御を行う。測定データ化部３１ｅは、信号処理部３１ｂによって信号処理された超音波信号に基づいて対象物の内部状況、例えば、検査対象物の厚み（例えば、図２（ａ）に示す厚さＴｈ参照）を測定し、また腐食等の劣化領域を可視化した等の測定データを生成する。

接触判定部３１ｆは、対象物との接触面が腐食等により斜めになっていても、センサ部３２ｂが垂直に当て着くことができるように、接触状態を判定する。補助制御部３１ｄは、補助部３３における動作を制御する。補助部３３は、対象物と超音波センサ部（超音波探触子）３２ｂの間に接触媒質を供給する機構であり、この機構を有する場合には、接触媒質の供給制御を行う。また、補助部３３は対象物と超音波センサ部３２ｂの位置関係が正対状態を保持する機構であり、この機構を有する場合には、接触判定部３１ｆの判定に基づいて、機構の制御を行う。

操縦部４０は、操縦者がドローン等の移動体１を遠隔から操作するための操作装置である。操縦部４０は、制御部４１、通信部４３、通信部４３ａ、操作部４５、表示部４６、および記録部４７を有する。

通信部４３は、通信回路を有し、移動体１内の通信部２３ａと通信を行う。この通信としては、無線操縦を行うための制御信号、また移動体に自動操縦を行わせるための制御信号、また移動体１からの画像データ、超音波信号を用いて行った検査データ等がある。通信部４３ｂは、ネットワーク５０との通信を行う。

操作部４５は、移動体１内の移動部２０による無人飛行を行うための操作部材である。表示部４６は、移動体１を操作・制御するためのメニュー画面、カメラ部１０からの画像データに基づく対象物等の画像、接触検査部３０による測定データに基づく画像等を表示する。記録部４７は、電気的に書き換え可能な不揮発性メモリを有し、対象物の画像データ、接触検査による測定データ等を記録する。

ネットワーク５０を介して、外部のサーバ等と通信を行うことができ、外部サーバ等に計時記録部５１を設けておく。計時記録部５１は、日時情報等を記録でき、また対象物の画像データ、接触検査による測定データ等も記録可能である。

次に、図２を用いて、本実施形態における超音波を用いた検査について説明する。図２（ａ）は、移動体１が検査対象物１００の壁面１００ａに近づき、検査候補であるか否かを判定している様子を示す。図２（ａ）において、矢印Ｇは鉛直方向（重力方向）を示し、矢印Ｄは検査対象物１００である壁の厚さを示す。壁の厚さは計測対象である。

移動体１には壁面１００ａの画像データを取得用の撮像部１２を有するカメラ部１０と、投光部１３が設けられている。投光部１３によって壁面１００ａに投光し、撮像部１２の撮像素子が壁面１００ａからの反射光を受光し、画像データを生成する。カメラ１０の光学系１２ｂ（受光用）の光軸Ｏおよび光源である投光部１３の投光光学系１３ａの光軸は（図４および図５参照）、図２（ａ）の移動体１の本体の鉛直方向Ｇに対し、いずれも垂直となる向きに設定されている。これにより、カメラ部１０の光軸に対し、壁面１００ａが略垂直となる場合に、候補位置とすることが可能となる。検査候補として適切か否かの判定方法については、図４および図５を用いて後述する。

移動体１の近傍の壁面１００ａが検査候補に決まると、図２（ｂ）に示すように、接触移動を行う。すなわち移動体１のセンサ部３２は検査対象物１００の壁面１００ａに接触するように、壁面１００ａに向けて移動する。移動体１のセンサ部３２は、壁面１００ａに当て付けられ、超音波を投射し、壁面１００ａからの反射波を受信する。センサ部３２を壁面１００ａに当て付けるには、移動体１の推進部２２によって壁面１００ａ方向に移動させてもよく、また壁面１００ａまでの距離が短ければ、センサ部３２を壁面１００ａ方向に延ばすようにしてもよい。

壁面１００ａに超音波を発信した場合、検査候補の場所であっても、見込み違いで、実際に測定を行うと検出することができないがある。その場合には、移動体１の位置を移動し、例えば、図２（ｃ）に示すように下降し、次の候補において測定を行う。

本実施形態における超音波測定（超音波厚さ計）では、壁面１００ａの裏面１００ｂからの音波の反射（時間）を検出し、下記（１）を用いて、検査対象物１００の厚さＴｈを測定する。
Ｔｈ＝Ｔ・Ｖ／２ ・・・（１）
ここで、Ｔは検査対象物１００から反射してくる時間であり、Ｖは検査対象物の内部の音波の速度である。

このように、本実施形態においては、移動体１は、検査対象物１００である壁面１００ａの近傍に近づき投光し、壁面１００ａからの反射光に基づいて検査候補として適切であるか否かを判定する（図２（ａ）参照）。検査候補として適切と判定すると、超音波接触子を有するセンサ部３２を壁面に当て付け測定を行う（図２（ｂ）参照）。測定が上手くいかない場合には、移動体１の位置を移動させて次の候補で測定する（図２（ｃ）参照）。

したがって、本実施形態においては、検査対象物１００の表面（壁面１００ａ）腐食の度合いを自動で評価することできる。図２において、腐食の少ないフラット面側から計測できれば計測の失敗は減らせる可能性があります。しかし、測定の制約から、腐食面側から評価しなければならない場合もあります。この場合、従来は人手の目視で確認していたが、本実施形態による測定では、凹凸のある腐食面であっても、良好に評価することができる。

次に、図３を用いて、接触媒質１１０を供給しながら、超音波による測定を行う場合について説明する。接触媒質（超音波カプラント）は、超音波探触子と検査対象（試験体）との間に充填され、音響エネルギを伝搬しやすくする液体、ゲル、またはペースト状の媒質である。センサ部３２ｂと検査対象物である壁面１００の間に塗布、充填することにより、効率よく超音波で測定することができる。

センサ部３２の近傍に補助部３３が設けられており、この補助部３３は接触媒質（カプラント）を、検査対象物と超音波探触子の間に必要最小限の供給する機構を有している。このため、移動体１は壁面に近づくと、図３（ａ）に示すように、接触媒質１１０を壁面に向けて吐出する。吐出後に、移動体１はセンサ部３２を壁面に当て付けるように壁面に前進すればよい。

また、補助部３３のカプラント塗付用の吐出口は、図３（ｂ）に示すように、センサ部３２の下側に配置することもできる。この場合には、接触媒質１１０を吐出後、移動体１を下降させ、下降後に移動体１は前進し、センサ部３２を壁面に当て付ければよい。

図３（ｃ）は、接触媒質１１０を吐出するための補助部３３の構成の一例を示す。補助部３３は、スリープ３３ａと、このスリープ３３ａ内に内挿され、矢印Ａ方向に移動可能な探触子３３ｂと、スリープ３３ａ内に接触媒質を供給するためのパイプ３３ｃを有する。パイプ３３ｃを介して接触媒質をスリープ３３ａ内に充填し、探触子３３ｂを矢印Ａの右側方向に押し出すことにより、接触媒質を、壁面側に供給することができる。

このように、本実施形態においては、補助部３３から接触媒質１１０を吐出する機構を設けたので、センサ部３２と検査対象物の間に接触媒質１１０を介在させることができ、効率よく超音波で検査することができる。

次に、図４ないし図６を用いて、検査候補として適切か否かの判定方法に説明する。検査候補としては、対象物の表面が平面の方が、凹凸が多い面より適している。凹凸面では表面で超音波が乱反射されてしまい、検査対象物の内部まで超音波が浸透しにくいからである。また、超音波の送信方向が対象物に対して垂直となっていないと、対象物からの反射波を効率よく受信することができない。本実施形態においては、カメラ部１０の投光光学系１３ａの光軸と、接触検査部３０の超音波投射の投射軸を平行とし、カメラ部１０からの投光の反射光に基づいて、超音波検査の際に対象物の面に対して垂直であるか否かを判定するようにしている。

図４は、検査対象物である壁面１０１が平坦（平面）の場合を示す。図４（ａ）において、移動体１の投光部１３の投光光学系１３ａから投射された光束は、平面１０１によって反射され、撮像素子受光用の光学系１２ｂを介して受光される。図４（ｂ）は移動体１が下降し、この位置から壁面１０１に投射し、反射光を受光する様子を示す。また、図４（ｃ）は、移動体１が上昇し、この位置から壁面１０１に投射し、反射光を受光する様子を示す。符号Ｕは主光線の軌跡を示す。

いずれの場合でも、壁面が平面であれば、投光光学系１３ａからの平行光束は、反射されても平行光束のままで光学系１２ｂを介して撮像素子で光電変換される。このため、撮像素子から出力される画像信号は一定の強度となる。

これに対して、壁面１０３が凹凸面であれば、図５（ａ）に示すように、移動体１の投光光学系１３ａから投射された光束は、壁面１０３の凹凸面で乱反射され、撮像素子受光用の光学系１２ｂを介して受光される。図５（ｂ）は移動体１が下降し、この位置から壁面１０３に投射し、反射光を受光する様子を示す。また、図５（ｃ）は、移動体１が上昇し、この位置から壁面１０３に投射し、反射光を受光する様子を示す。符号Ｕは主光線の軌跡を示す。

いずれの場合でも、壁面が凹凸面であれば、投光光学系１３ａからの平行光束は、乱反射されて光学系１２ｂを介し撮像素子で光電変換される。このため、撮像素子から出力される画像信号は平面の場合に比較して弱くなり、また凹凸の状態に応じた信号値となる。

撮像部１２の撮像素子からの信号値に基づいて、検査対象の平面度や、また表面のざらつき具合等を判定することができる。超音波を用いて、検査対象の腐食状態等を判定する場合には、壁面がなるべく平面であることが望ましく、また表面の凹凸が少ない方が正確な検出ができる。そこで、本実施形態においては、検査対象の表面に投光し、検査対象からの反射光に基づいて、検査対象の候補を抽出する（図８のＳ３〜Ｓ１９等参照）。すなわち、検査対象の壁面が平面である場合には、反射光に均一光量の部分があり、一方、壁面に凹凸がある場合には、反射光に均一光量の部分がないので、反射光に均一光量の部分があるか否かを判定し、検査対象の候補を抽出する。

図６は、カメラ部１０の投光光学系１３ａの光軸が、検査対象物の壁面１０５に対して垂直でない場合を示す。図６（ａ）は、投光光学系１３ａと壁面１０５の間の距離がＬ１の場合である。図６（ａ）に示す状態において、投光光学系１３ａからの投射光は、壁面１０５で反射され、光学系１２ｂを介して撮像素子によって受光される。

図６（ｂ）は、移動体１の投光光学系１３ａと光学系１２ｂが、そのままの位置関係で下方に移動させた状態を示す。この状態で光学系１２ｂを介して受光する受光量は、図６（ａ）の場合に比較し、増加する。すなわち、壁面１０５が傾いており、投光光学系１３ａ等を下方向に移動させると、距離がＬ１からＬ２になり近くなる分、光量が増加する。

図６（ｃ）は、移動体１の投光光学系１３ａと光学系１２ｂが、そのままの位置関係で前方（壁面１０５側）に移動させた状態を示す。この状態で光学系１２ｂを介して受光する受光量は、図６（ａ）の場合に比較し、増加する。すなわち、移動体１が壁面１０５に近づくことにより、距離がＬ１からＬ３になり近くなる分、光量が増加する。

このように、本実施形態においては、投光部１３の位置を、上下方向に移動し（図６（ａ）および図６（ｂ）参照）、また投光部１３の位置を前後方向に移動し（図６（ａ）および図６（ｃ）参照）、それぞれの状態で壁面１０５からの反射光を受光し、この受光量の変化を検出する（図８のＳ５、Ｓ１５等参照）。そして、投光部１３の位置が変化しても反射光量に変化がない場合に、投光部１３の投射方向（言い換えると、センサ部３２（超音波センサの探触子）の超音波投射方向）と壁面１０５の面は垂直であるである。本実施形態においては、検査対象物の測定面とセンサの超音波の投射軸とが垂直となるような状況において、測定を行うので、効率よく、また正確に検査を行うことができる。

次に、図７を用いて、移動体１から検査対象までの距離の測定について説明する。図７は、撮像素子からの画像データに含まれる高周波成分の変化に基づいて、相対的な距離を検出する方法を示す。図７（ａ）において、投光光学系１３ａから、検査対象である壁面１０７（平面）に投光すると、光学系１２ｂを介して反射光を受光する。光学系１２ｂは、反射光を撮像面１２ｃに結像する。今、移動体１が移動し、平面１０７が相対的に壁面１０７ａに移動したとすると、壁面１０７ａからの反射光の結像位置は撮像面１２ｃ’に移動し、撮像面１２ｃにおける画像は、ボケてしまう。

そこで、撮像面１２ｃに撮像素子を配置し、撮像素子からの画像データに含まれる高周波成分を抽出する。そして、この高周波成分の値の変化を検出することにより、移動体１から壁面（平面１０５）までの相対的距離を検出することができる。また、撮像面１２ｂ、１２ｃ上でのピント位置がずれことから、三角測距によって、壁面までの距離を測定するようにしてもよい。

次に、図８に示すフローチャートを用いて、カメラ部１０の動作について説明する。この動作は、カメラ制御部１１内のＣＰＵが記憶部に記憶されたプログラムに従ってカメラ部１０内の各部を制御することにより行う。このカメラ部の動作のフローは、主として、センサ部３２ｂが接する面が平坦であり、その面積がセンサ面積より十分広いか否かについて判定し、この結果に基づいて検査対象の候補位置として抽出している（図８のＳ５、Ｓ７，Ｓ９等参照）。

また、本実施形態においては、検査対象となる壁面が図２（ａ）に示した鉛直方向Ｇと略平行となる箇所を検査対象の候補位置として抽出している。すなわち、図２（ａ）に示したように、光学系１２ｂの光軸は、あらかじめ、本体の鉛直方向と直交する向きとなるよう配置されており、後述のとおり、壁面が光学系１２ｂの光軸に対し略垂直となる場合に検査対象の候補位置として抽出する（図４、図６、図８のＳ５、Ｓ１５、Ｓ１７、Ｓ１９参照）。

図８のフローに入ると、まず、位置信号を取得したか否かについて判定する（Ｓ１）。後述するように、移動部２０内の制御部２１は、カメラ部１０に対して、現在位置に関する情報を送信する（図１０ＢのＳ７３）。ここでは、移動部２０からの現在位置に関する信号を受信したか否かに基づいて判定する。移動部２０は、現在位置は、空間情報判定部２７および位置・方位判定部２５から取得する。

ステップＳ１における判定の結果、位置信号を取得した場合には、発光および撮像を行う（Ｓ３）。図４ないし図７を用いて説明したように、検査対象の壁面状態や、検査対象と接触検査部３０との位置関係（超音波の投射軸と壁面が垂直）を測定するために、撮像部１２は壁面に向けて投光し、壁面からの反射光の撮像を行う。

撮像を行うと、次に、距離分布、および反射パターンの判定を行う（Ｓ５）。ここでは、図４ないし図７を用いて説明したように、検査対象の壁面が平面であるか凹凸面であるか等の壁面状態や、また検査対象と接触検査部の位置関係を検出するために、反射パターンと距離分布について測定を行う。

次に、均一光量部が有るか否かについて判定する（Ｓ７）。ここではステップＳ５における測定に基づいて、検査対象の壁面からの反射光に均一光量の部分があるか否かについて判定する。図４および図５を用いて説明したように、検査対象の壁面が平面である場合には、反射光に均一光量の部分がある。

ステップＳ７における判定の結果、均一光量部が有る場合には、接触可能面積があるか否かを判定する（Ｓ９）。接触可能かどうかは、センサ部の大きさと移動体の位置制御誤差で決まる。その部分で検査ができない場合、接触媒体が塗布される量によっては、左右上下に接触点をずらして測定するだけの面積があれば、再検査が容易になるので、再検査するための余裕を考慮した広めの面積を確保できるように判定してもよい。均一光量部分があっても、接触検査部３０のセンサ部３２ｂによって十分接触可能な面積がないと、正確な検査を行うことができない。そこで、このステップでは、ステップＳ５における測定に基づいて、センサ部３２ｂが十分接触できる程度の面積が平坦であるか否かを判定する。

また、接触可能な面積は、均等な陰影の画像が得られる部位の面積として画像で判定しても良い。例えばレーザーレーダーなどの反射情報を利用して判定してもよい。後述するが、この面積は、再検査する場合などにも有効に使える情報である。もし、検査がうまく出来ない場合は、左右上下にずらした位置で再検査を行うが、あまりにこれが狭いと再検査でうまく測定できる確率が低くなってしまう。

ステップＳ９における判定の結果、接触可能面積が確保されている場合には、候補部位置を記録する（Ｓ１１）。このステップでは、接触検査部３０の接触部３２が接触して検査を行う候補であると判定し、候補位置として記録する。この候補は一点だけだと、やり直しに時間がかかるので、複数点判定し、記憶できた方が良い。つまり、検査ＮＧの時、再度検査面から離れてから再接近する場合、画像判定からやり直す手間が省ける。一点だけの場合は、検査がＮＧの場合、ずらして測定できるだけの面積がある部分が好ましい。

候補部位置の記録を行うと、次に、位置情報と関連付けを行う（Ｓ１３）。ステップＳ１において、位置信号を取得していることから、このステップでは、位置信号と候補部位置の関連付けを行う。

続いて、位置を変化させても撮像素子の出力に変化がないか否かを判定する（Ｓ１５）。図４および図６を用いて説明したように、移動体１と検査対象である壁面との位置関係を上下方向や前後方向変化しても、反射光のパターンに変化がない場合には、壁面と接触検査部の超音波の投射軸は垂直であるといえる。ここでは、移動部２０によって移動体１の位置を変化させ、カメラ部１０の撮像部１２の出力に変化がないか否かを判定する。

ステップＳ１５における判定の結果、位置を変化させても撮像素子出力に変化がない場合には、候補位置として送信する（Ｓ１７）。ここでは、移動体１の現在位置が、平坦な壁面であり、また超音波の投射軸が壁面に対して垂直であることから、超音波を用いての検査に適していると判断できる。このため、移動部２０の制御部２１に、位置情報と関連付けた候補位置を送信する。

一方、ステップＳ７における判定の結果、均一光量部が無い場合、またはステップＳ９における判定の結果、接触可能面積がない場合、またはステップＳ１５における判定の結果、位置変化で変化してしまう場合には、候補外位置記録を行う（Ｓ１９）。ここでは、移動体１の現在位置が超音波を用いての検査に適していない判断できたことから、位置情報と関連付けて、候補として不適であることを記録しておく。再び、候補位置として相応しいか否かについて判定作業を行わないように、記録しておく。

ステップＳ１７において候補位置として送信すると、またはステップＳ１９において候補外位置として記録すると、またはステップＳ１における判定の結果、位置信号を取得していない場合には、動作終了か否かを判定する（Ｓ２１）。全ての検査候補を抽出すると、カメラ部の動作は終了する。検査範囲については、予め操縦部４０から指示されているので、この範囲について候補となりうるか否かについて判定を行ったか否かについて判定する。

ステップＳ２１における判定の結果、終了でない場合には、ステップＳ１に戻り、候補位置または候補外であるかの判定を行う。一方、終了の場合には、このフローを終了する。

このように、このカメラのフローにおいては、検査対象である壁面に投光し、壁面からの反射光に基づいて、壁面に平坦部分があり、かつこの平坦部分がセンサ部３２ｂより大きく、検査を行うに十分である位置を候補位置として抽出し、位置情報と関連付けて、移動部２０の制御部２１に送信する。このため、超音波を用いて検査することに適した部位を抽出し、効率的に測定することができる。なお、本実施形態においては、検査の候補位置として、平坦部を検出している。しかし、これに限らず、多少、凹凸があっても、また傾斜していても、センサ部３２ｂの性能によって十分検査が可能である。そこで、候補位置としては、平坦部に限らず、測定が可能な部分であればよい。

また、候補位置は、検査対象物の全周囲において所定間隔となるよう設定されている。所定間隔としては、例えば、５０ｃｍおき、１ｍおき、１０ｍおき、１００ｍおき等、適宜、検査対象の大きさや、材質等の特徴に応じて、適宜決めればよい。また、移動体は、設定された全候補位置について、接触検査部によって検査を行い、検査データを出力する。

次に、図９に示すフローチャートを用いて、接触検査部３０の動作について説明する。この動作は、接触検査制御部３１内のＣＰＵが記憶部に記憶されたプログラムに従って接触検査部３０内の各部を制御することにより行う。このフローでは、カメラ部１０によって候補位置として抽出された部位に達すると、その位置で超音波を用いて検査を行う。

図９のフローに入ると、まず、測定を開始するか否かを判定する（Ｓ３１）。ここでは、カメラ部１０によって候補位置として制御部２１に送信された位置に、移動体１があるか否かを判定する。すなわち、移動体１の位置が、超音波を用いて検査を行う候補位置にあるか否かについて、現在位置信号に基づいて判定する。位置情報は、移動部２０内の空間情報部２７等によって取得された情報に基づいて判定する。

ステップＳ３１における判定の結果、測定を行う位置にあれば、次に、信号送受信および測定を行う（Ｓ３３）。ここでは、センサ部３２ｂから壁面に超音波を投射し、その反射信号を受信することにより、センサ部３２ｂが壁面に接触しているか否かを判定する。壁面に接触しているか否かを、定期的に監視するようにしている。

続いて、接触信号を受信したか否かを判定する（Ｓ３５）。ここでは、接触判定部３１ｆがセンサ部３２ｂからの信号に基づいて、壁面に接触したか否かを判定する。センサ部３２ｂが壁面に接触すると、反射信号が変化することから、接触を判定することができる。なお、接触信号は、センサ部３２ｂが壁面に完全に密着しなくてもよい。

ステップＳ３５における判定の結果、接触信号を検出した場合には、接触媒体を供給する（Ｓ３７）。センサ部３２ｂと壁面の間に接触媒体を介在させると、壁面からの反射信号の強度が強くなる。そこで、図３を用いて説明したように、センサ部３２ｂと壁面の間に、補助部３３から接触媒体１１０を吐出させ、センサ部３２ｂと壁面の間に接触媒体１１０を介在させる。この接触媒体１１０は、潤滑剤としても利用が可能で、この潤滑効果によって、センサ部３２ｂを保護することが出来る。例えば、接触媒体が十分な量で、センサを覆っていた場合、壁面に接触したまま、センサをそれに沿ってずらしても良い。これによって、複数のポイントの測定が容易にできる。

接触媒体を供給すると、移動体１は下降しながら、信号送受信と測定を行う（Ｓ３９）。ここでは、図３を用いて説明したように、センサ部３２ｂと壁面の間に接触媒体１１０が介在するように、移動体１が下降するように移動部２０に要求する。そして、下降しながら、超音波による測定を実行する。

次に、測定がＯＫか否かを判定する（Ｓ４１）。ここでは、ステップＳ３９において行った測定で、所定強度の超音波信号を受信できたか否かに基づいて判定する。

ステップＳ４１における判定の結果、測定ＯＫの場合には、位置情報と測定結果の関連付けを行う（Ｓ４３）。ここでは、壁面の位置に関連付けた測定結果、例えば、位置（ｘ１、ｙ１）における測定結果（例えば、正常または異常）を記録する。

一方、ステップＳ４１における判定の結果、測定がＯＫでない場合には、位置情報とＮＧ結果の関連付けを行う（Ｓ４５）。ここでは、カメラ部１０によって、候補位置と判定された場合であっても、実際に測定を行った場合に、測定ができない場合がある。ここでは、測定ができなかったことを、例えば、壁面の位置（ｘ１、ｙ１）における測定結果ＮＧのように、記録する。

ステップＳ４３またはＳ４５において、関連付けを行うと、次に、終了か否かを判定する（Ｓ４７）。ここでは、抽出された全ての検査候補について検査を行うと、接触検査部の動作は終了する。

ステップＳ４７における判定の結果、終了でない場合には、ステップＳ３１に戻り、超音波による検査を行う。一方、終了の場合には、このフローを終了する。

このように、接触検査部は、カメラ部１０によって候補として抽出された部位について、超音波による検査を行い、その測定結果と位置情報を関連付けて記録する。抽出された候補を中心に検査を行うことから、効率良く検査を行うことができる。

次に、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すフローチャートを用いて、移動部の動作について説明する。ここでの動作は、移動部２０内のＣＰＵが記憶部に記憶されたプログラムに従って移動部２０内の各部を制御することにより行う。このフローでは、予め設定された飛行ルートの自動移動プログラムまたは操作者が操縦部４０による手動操作に応じて、移動体１を移動させ、またカメラ部１０によって候補位置として抽出された部位に向けて移動し、候補位置において、接触検査部３０によって超音波を用いて検査を行わせる。

図１０Ａに示すフローが開始すると、まず、状態判定を行う（Ｓ５１）。ここでは、高度・姿勢判定部２４によって移動体１の現在の高度を検出し、空間情報部２７のレーダ等によって周囲の物体（障害物等を含む）を検出し、カメラ部１０の撮像部１２によって画像データを取得し、また位置・方位判定部２５のＧＰＳ等によって現在の位置等を検出する。

次に、操縦部からのアクセスを待つ（Ｓ５３）。ここでは、操作者が、操縦部４０から通信部４３を介して無線通信してくるのを待つ。操縦部からのアクセスがあると、プログラムが有るか、または移動操縦信号を受信したか否かを判定する（Ｓ５５）。移動体１の飛行ルートが、自動操縦なのか手動操縦なのかは、操縦部４０からの指示によって決まる。また、自動操縦の場合には、操縦部４０から飛行ルートについての指示に関するプログラムが送信されてくるか、または移動部２０内の記録部２６にプログラムが記録されている。

ステップＳ５５における判定の結果、プログラムが無い、かつ移動操縦信号を受信しない場合には、飛行停止が可能であるか否かを判定する（Ｓ５９）。移動体１が飛行を停止できるような場合、例えば、未だ飛行を開始しておらず出発位置にある場合、もしくは飛行を開始したばかりで、直ちに出発位置に着陸できるような場合、全候補位置について検査を終了し出発位置に戻ってきた場合、または飛行経路の途中であるが着陸可能な位置にある場合等である。

ステップＳ５９における判定の結果、飛行を停止できるような場合には、飛行を停止する（Ｓ６７）。ここでは、制御部２１は、推進部２２の制御を行い、飛行を停止し、移動体１は着陸する。

一方、ステップＳ５９における判定の結果、飛行を停止できない場合には、リターンが良いか否かを判定する（Ｓ６１）。ここでは、飛行を開始した移動体１の出発位置に戻ることができるか否かを判定する。例えば、移動体１の出発位置と、移動体１の現在位置を、把握しており、出発位置までの飛行ルートが分かる場合には、リターンすることが良いと判定する。

ステップＳ６１における判定の結果、リターンが良いと判定された場合には、帰還制御を行う（Ｓ６３）。ここでは、移動体１の現在位置から、移動体１の出発位置に向けて、移動体１は飛行する。なお、出発位置に限らず、他の帰還位置に安全に戻ることが可能であれば、その他の帰還位置に戻るようにしてもよい。

一方、ステップＳ６１における判定の結果、リターンが良いと判定されない場合には、静止制御を行う（Ｓ６５）。ここでは、移動部２０の制御部２１は、いわゆるホバリング、すなわち所定位置で所定高度を保つように飛行制御を行う。操作者が移動体１の位置を見つけられ易くし、操作者が移動体１の近傍に来たところで、手動操縦によって回収・帰還する。

ステップＳ５５に戻り、このステップにおける判定の結果、プログラムが有るか、または移動操縦信号を受信した場合には、次に、移動障害がないか否かについて判定する（Ｓ５７）。ここでは、ステップＳ５１における判定結果に基づいて、移動体１の周囲に飛行の妨げとなるような障害物があるか否かを判定する。このステップＳ５７における判定の結果、移動障害物がある場合には、前述のステップＳ６１に進みにリターンが良いか否かを判定する。このステップＳ６１においては、障害物があってもリターンできるか否かについて判定する。

ステップＳ６３において帰還制御を行うと、またはステップＳ６５において静止制御を行うと、またはステップＳ６７において静止すると、またはステップＳ５７における判定の結果、移動障害がない場合には、次に、状態情報を操縦部に送信する（Ｓ６９）。ステップＳ５５において、操縦部４０と通信が可能であることが判明しており、このステップでは、ステップＳ５１において判定した状態情報を操縦部４０に送信する。

状態情報を送信すると、次に、測定位置近傍にあるか否かを判定する（Ｓ７１）。移動体１が飛行を開始し、接触検査部３０によって検査を行う測定位置に近づいているか否かを判定する。前述したように、検査対象物について移動ルートに沿って所定間隔（例えば、５０ｃｍ間隔）で測定位置が予め決められている。このステップでは、空間情報部２７および位置・方位判定部２５によって検出された現在位置の情報に基づいて、予め決められた測定位置近傍にあるか否かについて判定する。

ステップＳ７１における判定の結果、測定位置の近傍にある場合には、次に、カメラと通信を行う（Ｓ７３）。ここでは、移動部２０内の通信制御部２１ｆを介して、カメラ部１０のカメラ制御部１１と通信を行う。ここでの通信としては、移動部２０が取得した位置情報を移動部２０内の制御部２１に送信し（図８のＳ１参照）、カメラ部１０が抽出した検査に適した候補位置を受信する（図８のＳ１７参照）。なお、測定位置近傍に、候補位置がない場合には、その旨を受信する。

カメラと通信を行うと、次に、候補位置が有るか否かについて判定する（Ｓ７５）。ここでは、ステップＳ７３におけるカメラからの通信において、候補位置を受信したか否かに基づいて判定する。

ステップＳ７５における判定の結果、候補位置がある場合には、接触接近を行い、接触検査部との通信を行う（Ｓ７７）。ここでは、図２および図３を用いて説明したように、移動体１は、補助部３３は接触媒体を壁面に吐出（塗付）する。そして、接触検査部３０のセンサ部３２ｂを、検査対象である壁面に徐々に近づけながら、接触媒体を介して接触させる。この状態で、センサ部３２ｂは壁面からの超音波の反射信号を受信し、検査対象の状態を測定する（図９のＳ３５〜Ｓ４５参照）。また、移動部２０は、最新の位置情報を接触検査部３０に送信し、接触検査後に接触検査部３０から検査結果を受信する。

一方、ステップＳ７５における判定結果、候補位置でない場合には、測定位置の小変更を行う（Ｓ７９）。ここでは、候補位置でないことから、測定位置から少しずらしたところに、移動部２０は、移動体１の位置を移動させる（図２８ｃ）参照）。前述したように、小変更としては、例えば、測定時にカメラ部１０にて撮影される画像の撮影範囲内となる距離程度でもよい。この場合には、候補位置を見落とすことなく、少しずつ検査する位置を変えることができる。移動させる方向は、対象部の全測定範囲をカバーするように、事前に決めておいてもよい。

また、本実施形態においては、測定位置毎に超音波による検査を行う位置の小変更を行い、超音波による検査可能な位置を探しているっている。しかし、これに限らず、測定位置の近傍で検査を行った結果、すなわちＮＧ結果に基づいて、測定位置の近傍における検査結果を予測し、この予測結果に基づいて接触検査部による検査を行ってもよい。この場合、ＮＧ結果に限らず、測定位置等におけるＯＫ結果も用いて予測するようにしてもよい。

また、全体を画像で検査して、必要な部分のみ、接触型の検査を行っても良い。例えば、ある箇所のみ画像に乱れがある場合、乱れた所を接触検査するだけで良い場合もある。また、乱れていないところを念のため接触検査してＯＫならば、他の部分もＯＫという判定が出来る。画像は、壁面に対して垂直な（Ｚ方向）接触用の移動制御を特別必要とせず、特定の距離を保って水平（Ｘ方向）、あるいは鉛直方向（Ｙ方向）に移動するだけでよく、手間暇がかからないというメリットがある。

ステップＳ７７において接触接近を行い、接触検査部と通信を行うと、またはステップＳ７９において測定位置の小変更を行うと、次に、対象部の検査が終了したか否かについて判定する（Ｓ８１）。ここでは、対象部での検査が終了したか否かを判定する。すなわち、ステップＳ７５における候補位置での接触検査部による検査、またはステップＳ７９において位置を少しずらした後の接触検査部による検査が終わったか否かについて判定する。この判定の結果、終了していない場合には、ステップＳ７５に戻り、ステップＳ７７において接触検査部による検査を行い、またはステップＳ７９において更に、測定位置を少しずらす。なお、ステップＳ７９における測定位置の変更は、所定回数までとし、所定回数の移動でも検査不能の場合には、ステップＳ８１における判定をＹｅｓとして、次のステップに進む。

ステップＳ８１における判定の結果、対象部の検査が終了していた場合には、次に、測定結果を送信する（Ｓ８３）。ここでは、候補位置（測定位置）毎の測定結果を、測定位置情報に関連付けて、操縦部４０に送信する。

測定結果の送信を行うと、次に全検査が終了したか否かを判定する（Ｓ８５）。前述したように、本実施形態においては、検査対象物について移動ルートに沿って所定間隔で測定位置が予め決められている。ここでは、全ての測定位置（ポイント）について検査が終了したか否かについて判定する。

ステップＳ８５における判定の結果、全測定位置について検査が終了していない場合には、次の測定値（ポイント）に移動する（Ｓ８７）。ここでは、移動部２０の制御部２１は、推進部２２を制御して、次の測定位置（ポイント）に移動する。ポイント移動を行うと、前述のステップＳ５１に進み、次の測定位置（ポイント）で検査を行う。一方、全測定位置で検査が終了した場合には、ステップＳ６３に進み、出発位置に帰還する。すなわち、上述の一連のステップにより、移動体１は、検査対象となる内周或いは外周を所定間隔で一巡し、検査領域全周の検査データを操縦部４０に送信することになる。出発位置への帰還方法については、図１８を用いて後述する。

このように、移動部の動作は、自動操縦または手動操縦により、移動体１を移動させ、測定位置近傍に達すると、検査対象物の検査を行い（Ｓ７７参照）、検査結果を操縦部４０に送信している（Ｓ８３）。

次に、図１１ないし図１４を用いて、移動体１における接触媒質の吐出構造の変形例およびその動作について説明する。

図１１（ａ）は、接触媒質の吐出構造の第１の変形例を示す外観図である。この変形例は、図２に示した外観図と比較し、接触部３２を保持するための上下２つの輪２および支持棒３を有する点で相違する。このため、接触部３２は輪２の半径上で移動させることができる。

ロータ２２ａは対称の位置に４つ設けてあり（図１１（ｂ）においては、ロータを２つのみ描き、２つは省略してある）、このロータ２２ａは、輪２とは干渉しないように、輪２の内側に配置されている。また、補助部３３は、伸張可能であり、輪２の半径より、短い状態から輪２の半径と略同じ長さまで伸びることができる。

カメラ部１０は輪２の中心部に近いところに設けてあり、一方、接触部３２は輪２と同半径の位置に設けてある。中心からの距離はそれぞれＲ１とＲ２であり、カメラ部１０の重さと、接触部３２の重さを考慮し、移動体１としてバランスがよくなるようにする。バランスが悪いと、飛行の際に支障が生ずる場合があり、バランスがよくなるように配置する。

図１２は、図１１に示した変形例において、接触媒体を吐出する動作を示す。図１２（ａ）は、補助部３３が、接触媒質１１０を壁面１０８に向けて吐出した様子を示す。この状態で、接触部３２を輪２上で回転させると、図１２（ｂ）に示すように、接触部３２と壁面１０８の間が接触媒質１１０で充填される。接触媒質１１０は効率良く超音波を通すことから、効率よく超音波測定を行うことができる。

図１３は、接触媒質の吐出構造の第２の変形例を示す外観図である。この変形例は、図１１に示した第１の変形例と比較し、補助部３３から接触媒質を吐出させる構造が異なっている。なお、第２の変形例においてもロータ２２ａは４つ設けられるが、図１３では、ロータ２２ａを１つのみ描き、他の３つのロータ２２ａは省略してある。

第２の変形例における補助部３３は、バルーン１１２内に接触媒質を注入することができる。図１３（ａ）はバルーン１１２に接触媒質を注入している様子を示す。接触媒質の注入によりバルーン１１２は膨張する。この状態で、図１３（ｂ）に示すように、輪２を回転させ、接触部３２と壁面１０８の間にバルーン１１２が挟まれるようにする。これによって、接触部３２と壁面１０８の間に接触媒質が充填され、効率よく超音波測定を行うことができる。

図１４は、接触媒質の吐出構造の第３の変形例を示す外観図である。この変形例は、図１３に示した第２の変形例と比較し、２つの補助部３３ａと補助部３３ｂを有し、この２つの補助部３３ａ、３３ｂの間に接触部３３を設けている点で相違している。なお、第２の変形例においてもロータ２２ａは４つ設けられるが、図１４では、ロータ２２ａを１つのみ描き、他の３つのロータ２２ａは省略してある。

第３の変形例における補助部３３ａおよび３３ｂも、バルーン１１２内に接触媒質を注入することができる。図１４（ａ）はバルーン１１２に接触媒質を注入している様子を示す。接触媒質の注入によりバルーン１１２は膨張する。この状態で、図１４（ｂ）に示すように、移動体１を壁面１０８に向けて前進させると共に輪２を回転させる、接触部３２と壁面１０８の間にバルーン１１２が挟まれるようにする。これによって、接触部３２と壁面１０８の間に接触媒質が充填され、効率よく超音波測定を行うことができる。

次に、図１５に示すフローチャートを用いて、第１変形例ないし第３変形例の動作について説明する。この第３の変形例の動作は、図１０Ａおよび図１０Ｂに示したフローチャートにおいて、ステップＳ７７をステップＳ７８に置き換えるだけで、他のステップの処理は同様であるので、相違点のみを説明する。

図１５に示すフローチャートにおいて、ステップＳ７５における判定の結果、候補位置がある場合には、接触接近を行い、押し付け回転しながら接触検査部に送信を行う（Ｓ７８）。ここでは、図１２ないし図１４を用いて説明したように、接触媒質を直接またはバルーン内に吐出すると、移動体１は壁面１０８に向けて前進し、さらに、輪２を回転させ、接触部３２を壁面１０８に押し付ける。押し付けると、接触部３２のセンサ部３２ｂから超音波を投射し、反射波を受信して、検査対象物の状態を測定する。測定が終わると、位置情報に関連付けて測定結果を送信する。

ステップＳ７８において、接触接近し、押し付け回転しながら接触検査部通信を行うと、図１０Ｂのフローと同様の処理を行う。

このように、第１ないし第３の変形例においては、接触媒質が接触部３２の前面で壁面との間に充填されることから、効率よく超音波測定を行うことができる。

次に、図１６を用いて、接触部３２が壁面に垂直に当て着くようする構成について説明する。図１６において、軸３２ｃ、３２ｄは、ヒンジ３２ｅによって回動自在に構成されている。軸３２ｃのヒンジ３２ｅと反対側は固定部１ａに固着され、また軸３２ｄのヒンジ３２ｅと反対側は接触部３２が固着されている。また軸３２ｃ、３２ｄはバネ３２ｆによって収縮方向の付勢力が与えられている。

図１６に示すように、接触部３２がヒンジ機構によって保持されているので、接触部３２のセンサ面が壁面と密着することができる。すなわち、ヒンジ３２ｅがセンサ面と壁面が密着するように折れ曲がり、軸３２ｄが壁面に対して垂直となる。センサ面が壁面に対して、傾いていると、検査対象物からの反射波を効率よく受信することができないが、センサ面が壁面に対して密着することにより、検査対象物からの反射波を効率よく受信することができる。

このように、図１６に示すようなヒンジ機構を接触媒体の吐出装置に設けることにより、接触部３２のセンサ部３２ｂを検査対象物に垂直に当て着けることができる。すなわち、接触検査部は、検査対象の接触面が斜めであっても、接触面に対して垂直にセンサ部を当て付ける機構を有している。超音波探触子を斜めに当ててしまうと本来の厚さと違うところを測定してしまうが、接触面に対して垂直にセンサを当てることができることから、正確に検査を行うことができる。また、接触検査部は、移動体と検査対象物が正対しなくても、検査対象物と接触検査部内のセンサの位置が正しい位置に保持される機構を有している。センサが正しい位置に保持されることから、正確に検査を行うことができる。

なお、センサを検査対象物に垂直に当て着ける方法は、これに限らず、例えば、検査対象物に巻き付けて垂直に当て着ける（米国特許８５９０３８３号公報参照）等、検査対象物の形状に合わせて種々の方法を選択すればよい。

次に、図１７を用いて、移動体１として、無人操縦可能な地上走行型の車両に適用して例について説明する。前述の移動体１はロータ２２ａを有し、無人飛行によって検査対象物に近づくことができた。この車両タイプの検査システムは、図１Ａおよび図１Ｂに示した移動部２０が、走行車である点以外は同様であり、この検査システムにおいても、図１７（ａ）に示すように、カメラ部１０、接触検査部３０を有する。カメラ部１０は、投光部１３等、図１Ａおよび図１Ｂと同様の各部を有する。接触検査部３０は接触部３２や補助部３３等、図１Ａと同様の各部を有する。

また、移動部２０は、車輪５を有し、推進部はこの車輪５を駆動する。検査時には、図１７（ｂ）に示すように、車輪５によって前方、後方、左方、右方に移動可能である。検査の際、照明が十分ではない場合には、投光部１３から照明範囲Ｉに照明光を投射する。またカメラ部１０の撮像部１２によって、撮像範囲Ｓの画像データを取得することができる。

車輪５に走行面に磁石を備えることにより、鉄等の金属管の内部を自走することができる。この場合には、磁石で鉄等の金属を吸着しながら、自走することができ、平らでなくとも移動可能であり、さらに垂直な面を登ることも可能となる。このような車輪を備えてシステムであれば、パイプ等の内部であっても、また急峻な壁面であっても、検査対象物の腐食等について容易に検査することができる。

次に、図１８を用いて、本発明の一実施形態において、移動体１の検査のための移動と、出発位置への帰還について説明する。図１８（ａ）は、本実施形態における検査の概要を示す上面である。図１８（ａ）に示す例では、検査対象物１００は、油槽等のタンクであり、このタンクの内側の壁面１００ａに超音波を用いて壁の厚さや腐食の程度を検査する。位置Ｐ１は検査開始時の検査開始位置（出発位置）であり、また方向Ｒ１が検査方向である。移動体１は壁面１００ａに沿って検査方向Ｒ１の方向で検査を行い、帰還方向Ｒｒから検査開始位置（出発位置）Ｐ１に戻る。

図１８（ｂ）は、検査対象物１００の壁面１００ｂが,腐食が進み、凹凸が激しくなっている様子を示す。この場合も、図１８（ａ）と同様に、移動体１は壁面１００ａに沿って検査方向Ｒ１の方向で検査を行い、帰還方向Ｒｒから検査開始位置Ｐ１に戻る。この間、超音波検査によって、検査対象物１００の壁の厚さ等を測定する。

図１８（ｃ）は、検査対象物（検査プラント）の構造のアクセス性から、内壁側から検査することできず、外壁側からしか検査できない場合である。この場合には、移動体１は、検査対象物１００の外壁面１００ｃに沿って、検査方向Ｒ２に検査を行い、帰還方向Ｒｒから検査開始位置（出発位置）Ｐ１に戻る。この間、超音波検査によって、検査対象物１００の壁の厚さ等を測定する。

このように、本実施形態においては、検査対象物が部屋形状の場合に、移動体１が、部屋の内周、或いは外周を、一周すると戻ってくることができる。このため、ドローン等の移動体１を、部屋の内部、或いは外部に配置することが可能である。また、このような配置とすることにより、操縦部４０は、自動で検査対象の外周すべての検査データが取得できるというメリットを有する。つまり、ドローン等の移動体を設定すると、外周、内周全点の検査データを自動で取得できる。

以上説明したように、本発明の一実施形態においては、検査装置は移動体１に搭載され、この検査装置には接触検査部が３０備えられている。そして、平坦部等の検査対象物における測定可能な部分を候補位置として検出し（例えば、図２、図４、図５、図８のＳ３〜Ｓ１７参照）、検出された候補位置において、接触検査部を検査対象物に接触させ、検査対象物の状態を検査している（例えば、図２、図９のＳ３５〜Ｓ４３参照）。このため、接触検査部と検査対象物を測定期間中、常に接触させていなくても、信頼性の高い検査を行うことができる。

また、本発明の一実施形態においては、検査対象物の画像データを取得し、この画像データに基づいて、検査対象物の候補位置を検出している（例えば、図２〜図５、図８のＳ３〜Ｓ１７参照）。画像データに基づいて候補位置を検出することができることから、接触検査部によって検査する前に候補位置を検出できることから、接触検査部と検査対象物の間で常時接触する必要がない。

また、本発明の一実施形態においては、候補位置において、接触媒体を検査対象物に供給し、接触媒体の供給後に、接触検査部を検査対象物に接触させるように移動させ、接触媒体を接触検査部と検査対象物の間に介在させている（例えば、図３、図９のＳ３７、Ｓ３９、図１１〜図１５参照）。接触媒体を簡単な構成で接触検査部と検査対象物の間に介在させることができることから、接触検査部は、接触媒体によって効率よく検査対象物からの反射波を受信することができる。

また、本発明の一実施形態においては、接触検査部を検査対象物に接触させる際に、検査対象物の接触面が斜めになっている場合には、接触面に対して垂直に接触検査部のセンサ部を当て付ける。このため、接触面に対して垂直にセンサを当てることができることから、例えば、腐食が進行しているような壁面であっても、正確に検査を行うことができる。

なお、本発明の一実施形態においては、移動体として、いわゆるドローンのような無人飛行機（例えば、図２参照）や、車輪を有する無人遠隔操作型の車両タイプを用いた例について説明した。しかし、これらに限らず、接触検査部を搭載し、自在に検査対象物に近づける移動体であれば、本発明を適用することができる。

また、本発明の一実施形態においては、候補位置の検出として、投光の検査対象物からの反射光に基づいて判定していたが、光に限らず、音波、電波、また赤外線等、他の方法によって検出するようにしてもよい。また、候補位置の検出の際に反射光の強度、パターン等を用いて判定していたが、画像データを用いた画像解析によって、候補位置を判定するようにしてもよい。

また、本発明の一実施形態においては、接触検査部による検査前に検査対象物の候補位置を抽出していたが、これを省略し、予め決められた位置に対して、接触媒体を塗布して接触検査を行うようにしてもよい。また、接触検査前に接触媒体を塗布していたが、これを省略し、接触検査部による検査前に検査対象物の候補位置を抽出し、この候補に対して全位置において検査するようにしてもよい。これ以外にも、本実施形態の動作の一部を省略してもよい。

また、本発明の一実施形態においては、カメラ部１０、移動部２０、接触検査部３０と、ブロック化したが、必ずしもブロック化する必要はなく、一体に構成しても構わない。また、各ブロックにそれぞれ制御部（制御部２１、カメラ制御部１１、接触検査制御部３１）を設けたが、これらの制御部を一体化しても構わない。

また、本発明の一実施形態においては、制御部（制御部２１、カメラ制御部１１、接触検査制御部３１）とは別体に種々の各部（機能）を設けたが、各部の全部または一部をソフトウエアで構成し、制御部内のＣＰＵによって実行するようにしても勿論かまわない。また、移動体１、操縦部４０内の各部は、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）等のプログラムコードで実行される回路で実現するようにしてもよく、ヴェリログ（Verilog）によって記述されたプログラム言語に基づいて生成されたゲート回路等のハードウエア構成でもよく、またハードウエア回路によって実行するようにしても勿論かまわない。また、ＣＰＵの機能の一部をＤＳＰ等のプログラムコードで実行される回路で実現するようにしてもよく、ヴェリログによって記述されたプログラム言語に基づいて生成されたゲート回路等のハードウエア構成でもよく、またハードウエア回路によって実現するようにしてもよい。

また、本発明の一実施形態例中で、様々なブロック（部）として記載した部分は、専用の回路や、複数の汎用の回路を組み合わせて構成してもよく、必要に応じて、予めプログラムされたソフトウエアに従って動作を行うマイコン、ＣＰＵなどのプロセッサ、あるいはシーケンサを組み合わせて構成されてもよい。また、その制御の一部または全部を外部の装置が引き受けるような設計も可能で、この場合、有線や無線の通信回路が介在する。通信は、ブルートゥース（登録商標）やＷｉＦｉ、電話回線などで行えばよく、ＵＳＢなどで行っても良い。専用の回路、汎用の回路や制御部を一体としてＡＳＩＣとして構成してもよい。移動部などは、様々なアクチュエータと、必要に応じて移動用の連結メカニズムによって構成されており、ドライバ回路によってアクチュエータが作動する。このドライブ回路もまた、特定のプログラムに従ってマイコンやＡＳＩＣなどが制御する。こうした制御は各種センサやその周辺回路が出力する情報によって、詳細な補正、調整などが行われても良い。

また、本明細書において説明した技術のうち、主にフローチャートで説明した制御に関しては、プログラムで設定可能であることが多く、記録媒体や記録部に収められる場合もある。この記録媒体、記録部への記録の仕方は、製品出荷時に記録してもよく、配布された記録媒体を利用してもよく、インターネットを介してダウンロードしたものでもよい。

また、本発明の一実施形態においては、フローチャートを用いて、本実施形態における動作を説明したが、処理手順は、順番を変えてもよく、また、いずれかのステップを省略してもよく、ステップを追加してもよく、さらに各ステップ内における具体的な処理内容を変更してもよい。

また、特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず」、「次に」等の順番を表現する言葉を用いて説明したとしても、特に説明していない箇所では、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

本発明は、上記実施形態にそのまま限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素の幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

１・・・移動体、２・・・輪、３・・・支持棒、５・・・車輪、１０・・・カメラ部、１１・・・カメラ制御部、１１ｂ・・・画像処理部、１１ｃ・・・画像特徴検出部、１１ｄ・・・投光制御部、１１ｅ・・・距離判定部、１２・・・撮像部、１２ｂ・・・光学系、１２ｃ・・・撮像面、１２ｃ’・・・撮像面、１３・・・投光部、１３ａ・・・投光光学系、２０・・・移動部、２１・・・制御部、２１ａ・・・推進制御部、２１ｂ・・・方向制御部、２１ｃ・・・姿勢制御部、２１ｄ・・・移動判定部、２１ｅ・・・姿勢判定部、２１ｆ・・・通信制御部、２１ｇ・・・電源判定部、２２・・・推進部、２２ａ・・・ロータ、２３ａ・・・通信部、２４・・・高度・姿勢判定部、２５・・・位置・方位判定部、２６・・・記録部、２７・・・空間情報部、２７ａ・・・レーダ、２８・・・電源部、２９・・・時計部、３０・・・接触検査部、３１・・・接触検査制御部、３１ｂ・・・信号処理部、３１ｃ・・・発信制御部、３１ｄ・・・補助制御部、３１ｅ・・・測定データ化部、３１ｆ・・・接触判定部、３２・・・接触部、３２ｂ・・・センサ部、３３・・・補助部、３３ａ・・・スリーブ、３３ｂ・・・探触子、３３ｃ・・・供給パイプ、４０・・・操縦部、４１・・・制御部、４１ｆ・・・通信制御部、４３・・・通信部、４３ｂ・・・通信制御部、４５・・・操作部、４６・・・表示部、４７・・・記録部、５０・・・ネットワーク、５１・・・計時記録部、１００・・・検査対象物、１００ａ・・・内壁面、１００ｂ・・・外壁面、１０１・・・壁面、１０３・・・壁面、１０５・・・壁面、１０７・・・壁面、１０８・・・壁面、１１０・・・接触媒質、Ｇ・・・鉛直方向、Ｄ・・・厚さ方向

Claims (16)

1. 移動体と、
   上記移動体に搭載され、検査対象物の画像データを取得する撮像部と、
   上記画像データに基づいて、上記検査対象物における測定可能な面積の部分を一つ又は複数の候補位置として検出する候補検出部と、
   上記検査対象物の状態を検査する接触検査部と、
   を具備し、
   上記候補検出部によって検出された上記候補位置に接触検査部を接触させることを特徴とする検査装置。
2. 接触媒体を上記検査対象物上に供給する供給部と、
   を有し、
   上記供給部による上記接触媒体の供給後に、接触移動を行い、上記接触媒体を上記接触検査部と上記接触検査部の間に介在させることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 接触検査がＮＧとなった時に、接触したまま、ずらして測定することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
4. 上記候補検出部によって上記候補位置として検出された候補位置において、上記接触検査部による検査が不能であった場合には、上記接触検査部は上記検査対象物における複数の候補位置における次の候補位置で検査を行うことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
5. 上記次の候補位置は、検査不能のであった候補位置から上記移動体で移動可能な小移動した位置であることを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
6. 上記接触検査部による検査が不能であった場合には、測定位置の近傍で検査を行った検査結果に基づいて、測定位置における検査を予測して上記接触検査部による検査を行うことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
7. 上記候補検出部は、上記検査対象物に投光し、上記検査対象物からの反射光を上記撮像部で受光し、上記画像データに基づいて上記検査対象物における測定可能な部分を候補位置として検出することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
8. 上記接触検査部は、上記検査対象の接触面が斜めの際に、上記接触面に対して垂直にセンサ部を当て付ける機構を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
9. 上記接触検査部は、上記移動体と上記検査対象物が正対しなくても、上記検査対象物と上記接触検査部内のセンサの位置が正しい位置に保持される機構を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
10. 上記候補位置は、上記検査対象物の全周囲において所定間隔となるよう設定され、上記移動体は、上記接触検査部による検査データを出力するようにしたことを特徴とする請求項１乃至９に記載の検査装置。
11. 移動体と、
    検査対象物の状態を検査する接触検査部と、
    接触媒体を上記検査対象物上に供給する供給部と、
    を有し、上記供給部による上記接触媒体の供給後に、接触移動を行い、上記接触媒体を上記接触検査部と上記検査対象物の間に介在させることを特徴とする検査装置。
12. 上記供給部は、バルーン内に上記接触媒体を充填し、
    上記接触媒体を充填した上記バルーンを上記接触検査部と上記接触検査部の間に介在させることを特徴とした請求項１１に記載の検査装置。
13. 移動体と接触検査部が搭載され、移動可能な検査装置における検査方法において、
    検査対象物における測定可能な部分を候補位置として検出し、
    検出された上記候補位置において、上記接触検査部を上記検査対象物に接触させ、上記検査対象物の状態を検査する、
    ことを特徴とする検査方法。
14. 検査対象物の画像データを取得し、該画像データに基づいて、上記検査対象物の候補位置を検出することを特徴とする請求項１３に記載の検査方法。
15. 上記候補位置において、接触媒体を上記検査対象物に供給し、上記接触媒体の供給後に、接触移動を行い、上記接触媒体を上記接触検査部と上記検査対象物の間に介在させることを特徴とする請求項１３に記載の検査方法。
16. 上記接触検査部を上記検査対象物に接触させる際に、上記検査対象物の接触面が斜めになっている場合には、上記接触面に対して垂直に上記接触検査部のセンサ部を当て付けるようにしたことを特徴とする請求項１３に記載の検査方法。

Images