JP2019077147A - Plunger for resin molding apparatus, and resin molding apparatus - Google Patents

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Abstract

To provide a plunger for a resin molding apparatus and a resin molding apparatus capable of accurately measuring a resin pressure in each plunger, realizable, and excellent in versatility.SOLUTION: A plunger 52a for a resin molding apparatus including a rod-likely formed plunger rod 53a and a plunger tip 54 arranged on the tip end of the plunger rod and configured to be able to pressure a resin material, further includes a strain gauge 22 arranged on a circumferential surface of the plunger rod and configured to be measurable a stress applied to the plunger rod in the axial direction.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、樹脂成形品の成形に用いられる樹脂成形装置用プランジャ及び樹脂成形装置に関するものである。   The present invention relates to a plunger for a resin molding device used for molding a resin molded product and a resin molding device.

従来、リードフレームや電子部品基板等に実装された半導体チップ等の電子部品の周囲をトランスファ成形によって絶縁性の熱硬化性樹脂でモールドすることにより、樹脂封止型の半導体製品(樹脂成形品)を製造する樹脂成形装置として、ポット及びプランジャを複数有するマルチポット式トランスファ成形装置が知られている(特許文献1〜3)。なお、トランスファ成形は、電子部品が実装されたリードフレーム等を成形金型で挟み込んだ状態で、可塑化させた樹脂(溶融樹脂)をプランジャによって成形金型のカル部→ランナ部→キャビティ部の順で加圧移動させることで、キャビティ部内にある電子部品をモールドする成形方法である。   Conventionally, resin-sealed semiconductor products (resin-formed products) by molding the periphery of an electronic component such as a semiconductor chip mounted on a lead frame or an electronic component substrate with an insulating thermosetting resin by transfer molding As a resin molding apparatus which manufactures, the multi pot type transfer molding apparatus which has multiple pots and plungers is known (patent documents 1-3). In transfer molding, in a state in which a lead frame or the like on which an electronic component is mounted is sandwiched by a molding die, a plasticized resin (molten resin) is held by a plunger using a plunger of the molding die → runner portion → cavity portion It is a molding method which molds the electronic component in a cavity part by pressure-moving in order.

樹脂成形装置において、目的とするモールドを行うためには、キャビティ内へ溶融樹脂を注入する際の樹脂圧を適切に制御することが重要である。このため、特許文献1及び2のマルチポット式トランスファ成形装置では、複数のプランジャが立設されたマルチトランスファユニットの下部に1つのロードセル(樹脂成形圧センサ)を配し、このロードセルによって測定した荷重に基づいて、マルチトランスファユニットを上下動させるサーボモータのフィードバック制御を実行するよう構成されている。また、特許文献3のマルチポット式トランスファ成形装置では、複数のプランジャの下部にそれぞれロードセル(水晶式力センサ)を配し、このロードセルによって測定した荷重に基づいて、マルチトランスファユニットを上下動させるサーボモータのフィードバック制御を実行するよう構成されている。   In the resin molding apparatus, in order to perform the target molding, it is important to appropriately control the resin pressure at the time of pouring the molten resin into the cavity. For this reason, in the multipot transfer molding apparatus of Patent Documents 1 and 2, one load cell (resin molding pressure sensor) is disposed under the multi transfer unit on which a plurality of plungers are erected, and the load measured by this load cell On the basis of which the feedback control of the servomotor for moving the multi-transfer unit up and down is performed. Further, in the multipot transfer molding apparatus of Patent Document 3, a load cell (quartz force sensor) is disposed below each of the plurality of plungers, and a servo is used to move the multi transfer unit up and down based on the load measured by the load cell. It is configured to perform feedback control of the motor.

特開2013−26360号公報JP, 2013-26360, A 特開2014−154807号公報JP, 2014-154807, A 特開2008−311577号公報JP, 2008-311577, A

しかしながら、特許文献1及び2のマルチポット式トランスファ成形装置では、1つのロードセルによってマルチトランスファユニット全体の荷重を測定するものであることから、複数のキャビティのそれぞれにおける樹脂圧を正確に測定することが困難である。このため、特許文献1及び2のマルチポット式トランスファ成形装置では、各ポットに投入される樹脂タブレットの量のばらつきや、これに伴う各プランジャによる加圧力のばらつきにより、一部のキャビティ部において、樹脂量の不足や過剰な加圧力による空気の巻き込み等に起因する成形不良が生じるおそれがあるという問題がある。   However, in the multipot transfer molding apparatus of Patent Documents 1 and 2, since the load of the entire multitransfer unit is measured by one load cell, the resin pressure in each of the plurality of cavities can be accurately measured. Have difficulty. For this reason, in the multi-pot type transfer molding apparatus of Patent Documents 1 and 2, in some of the cavity portions, due to the variation in the amount of resin tablets introduced into each pot and the variation in the pressing force by each plunger. There is a problem that there is a possibility that molding defects may occur due to insufficient amount of resin or entrainment of air due to excessive pressure.

また、特許文献3のマルチポット式トランスファ成形装置のように、各プランジャの直下にロードセル(水晶式力センサ)を配置する構成では、一般にプランジャから受ける負荷に耐え得る性能を有するロードセルはプランジャよりも大きい径を有しているため、プランジャを密集して配置させることができないという問題がある。このため、特許文献3のマルチポット式トランスファ成形装置には、実現可能性及び汎用性の観点において、改善の余地がある   Further, in a configuration where a load cell (quartz force sensor) is disposed immediately below each plunger as in the multi-pot transfer molding device of Patent Document 3, a load cell having the ability to withstand the load generally received from the plunger is greater than the plunger. Due to the large diameter, there is a problem that the plungers can not be arranged closely. For this reason, the multipot transfer molding apparatus of Patent Document 3 has room for improvement in terms of feasibility and versatility.

そこで、本発明は、プランジャ毎に樹脂圧を正確に測定可能で、実現可能かつ汎用性に優れた樹脂成形装置用プランジャ及び樹脂成形装置を提供することを目的とする。   Then, an object of the present invention is to provide a plunger for a resin molding device and a resin molding device capable of accurately measuring the resin pressure for each plunger, and being feasible and excellent in versatility.

上記の目的を達成するため、本発明に係る樹脂成形装置用プランジャは、棒状に形成されたプランジャロッド部と、該プランジャロッド部の先端部に配され、樹脂材料を押圧可能に構成されたプランジャチップ部とを備える樹脂成形装置用プランジャであって、前記プランジャロッド部の周面に配され、該プランジャロッド部の軸方向に作用する応力を測定可能に構成された歪ゲージを更に備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a plunger for a resin molding apparatus according to the present invention includes a plunger rod portion formed in a rod shape, and a plunger disposed at the tip of the plunger rod portion and capable of pressing a resin material. A plunger for a resin molding device comprising a tip portion, further comprising: a strain gauge disposed on the circumferential surface of the plunger rod portion and configured to be capable of measuring a stress acting in an axial direction of the plunger rod portion. It features.

本発明に係る樹脂成形装置用プランジャにおいて、前記プランジャロッド部は、前記歪ゲージが配された領域の剛性が、他の領域の剛性よりも低くなるよう構成されていることが好ましい。   In the plunger for a resin molding device according to the present invention, preferably, the plunger rod portion is configured such that the rigidity of the region in which the strain gauge is disposed is lower than the rigidity of the other regions.

この場合において、前記プランジャロッド部における前記歪ゲージが配された領域が、他の領域よりも細い構成としても良い。また、前記プランジャロッド部における前記歪ゲージが配された領域が、他の領域よりも肉薄に形成されるとしても良い。さらに、前記プランジャロッド部が、軸方向と交差する方向に貫通する貫通孔を有し、該貫通孔と整合する該プランジャロッド部の肉薄部位に前記歪ゲージが配されるとしても良い。またさらに、前記プランジャロッド部における前記歪ゲージが配された領域が、他の領域よりも剛性の低い素材により形成されるとしても良い。   In this case, the region in which the strain gauge is disposed in the plunger rod portion may be thinner than the other regions. Further, the region in which the strain gauge is disposed in the plunger rod portion may be thinner than the other regions. Furthermore, the plunger rod portion may have a through hole penetrating in a direction intersecting the axial direction, and the strain gauge may be disposed at a thin portion of the plunger rod portion aligned with the through hole. Furthermore, the region in which the strain gauge is disposed in the plunger rod portion may be formed of a material having a rigidity lower than that of the other regions.

本発明に係る樹脂成形装置は、上述した樹脂成形装置用プランジャと、前記樹脂成形装置用プランジャを複数並べて保持するプランジャホルダとを備えることを特徴とする。   A resin molding apparatus according to the present invention includes the above-described plunger for a resin molding apparatus and a plunger holder for holding a plurality of the above-described plungers for a resin molding apparatus side by side.

本発明に係る樹脂成形装置において、前記プランジャロッド部は、前記プランジャチップ部に接続される上側軸部と、前記プランジャホルダに支持される下側軸部とを備え、前記上側軸部は、前記下側軸部に着脱可能に構成されており、前記プランジャホルダは、前記下側軸部の基端部を収容可能な内部空間と、該下側軸部が挿通可能な開口とを有しており、前記下側軸部は、前記基端部が前記プランジャホルダの前記内部空間に収容された状態において、該プランジャホルダの前記開口の縁部と係合可能な凹部を有しており、前記歪ゲージは、前記下側軸部の前記基端部と前記凹部との間に配されることが好ましい。   In the resin molding apparatus according to the present invention, the plunger rod portion includes an upper shaft portion connected to the plunger tip portion, and a lower shaft portion supported by the plunger holder, and the upper shaft portion is The plunger holder is configured to be removable from the lower shaft portion, and the plunger holder has an internal space capable of accommodating the proximal end portion of the lower shaft portion, and an opening through which the lower shaft portion can be inserted. The lower shaft portion has a recess engageable with the edge of the opening of the plunger holder in a state where the base end portion is accommodated in the inner space of the plunger holder; Preferably, a strain gauge is disposed between the proximal end of the lower shaft and the recess.

本発明によれば、プランジャ毎に樹脂圧を正確に測定可能で、実現可能かつ汎用性に優れた樹脂成形装置用プランジャ及び樹脂成形装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a plunger for a resin molding device and a resin molding device capable of accurately measuring the resin pressure for each plunger, and being feasible and excellent in versatility.

本発明の第1実施形態に係る樹脂成形装置を概略的に示す正面図である。It is a front view showing roughly the resin molding device concerning a 1st embodiment of the present invention. 上型及び下型を型締めした状態を概略的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the state which clamped the upper mold | type and the lower mold | type. 第1実施形態に係るトランスファ機構及び下型を一部省略して概略的に示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view schematically showing the transfer mechanism and the lower mold according to the first embodiment with a part thereof omitted. 第1実施形態に係る樹脂成形装置用プランジャを概略的に示す図である。It is a figure showing roughly a plunger for resin molding devices concerning a 1st embodiment. 第2実施形態に係る樹脂成形装置用プランジャを概略的に示す図である。It is a figure showing roughly a plunger for resin molding devices concerning a 2nd embodiment. 第3実施形態に係る樹脂成形装置用プランジャを概略的に示す図である。It is a figure showing roughly a plunger for resin molding devices concerning a 3rd embodiment. 第4実施形態に係る樹脂成形装置用プランジャを概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the plunger for resin molding apparatuses which concerns on 4th Embodiment. 第5実施形態に係る樹脂成形装置用プランジャを概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the plunger for resin molding apparatuses which concerns on 5th Embodiment. 第6実施形態に係る樹脂成形装置用プランジャを概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the plunger for resin molding apparatuses which concerns on 6th Embodiment. 第7実施形態に係る樹脂成形装置用プランジャを概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the plunger for resin molding apparatuses which concerns on 7th Embodiment.

以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments for carrying out the present invention will be described using the drawings. The following embodiments do not limit the invention according to each claim, and all combinations of features described in the embodiments are not necessarily essential to the solution means of the invention. .

[第1実施形態]
まず、第1実施形態に係る樹脂封止装置(樹脂成形装置)10について、図1〜図4を用いて説明する。
First Embodiment
First, a resin sealing apparatus (resin molding apparatus) 10 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4.

第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、図1に示すように、床面上に載置された矩形板状の下プラテン12と、下プラテン12の四隅から上方に向けて延びる4本のタイバー14と、4本のタイバー14の上端部に四隅が連結された矩形板状の上プラテン16と、4本のタイバー14が四隅を貫通し、下プラテン12及び上プラテン16の間においてタイバー14に沿って昇降可能に設けられた矩形板状の移動プラテン18と、下プラテン12と移動プラテン18との間に設けられ、移動プラテン18を昇降させる昇降型締機構20と、移動プラテン18の上面に設けられたトランスファ機構50と、上プラテン16とトランスファ機構50との間に設けられた樹脂成形金型26と、樹脂封止装置10に異常等が生じた際又は異常の発生を予知した際に警報を発する報知手段(図示せず)と、樹脂封止装置10の各種制御を実行する制御部(図示せず)とを備えている。昇降型締機構20は、油圧式又は電動式型締シリンダや、油圧式又は電動式トグルリンク型締機構等の種々の型締機構を採用することが可能である。なお、本実施形態に係る樹脂封止装置10において、これら下プラテン12、タイバー14、上プラテン16、移動プラテン18、昇降型締機構20、樹脂成形金型26及び制御部は、種々の公知の構成を採用することが可能であるため、その詳細な説明を省略する。   As shown in FIG. 1, the resin sealing device 10 according to the first embodiment is a rectangular plate-shaped lower platen 12 placed on a floor surface, and four extending upward from four corners of the lower platen 12. The tie bar 14 and the rectangular plate-like upper platen 16 whose four corners are connected to the upper ends of the four tie bars 14, and the four tie bars 14 pass through the four corners, and the tie bar between the lower platen 12 and the upper platen 16 A movable platen 18, a movable platen 18 provided between the lower platen 12 and the movable platen 18 for raising and lowering the movable platen 18, and a movable platen 18 of the movable platen 18; The transfer mechanism 50 provided on the upper surface, the resin molding die 26 provided between the upper platen 16 and the transfer mechanism 50, and an abnormality or the like in the resin sealing device 10 or the occurrence of an abnormality And notification means for issuing an alarm upon knowledge (not shown), and a control unit for executing various controls of the resin sealing apparatus 10 and a (not shown). The raising and lowering mold clamping mechanism 20 can adopt various types of mold clamping mechanisms such as a hydraulic or electric mold clamping cylinder, and a hydraulic or electric toggle link clamping mechanism. In the resin sealing device 10 according to the present embodiment, the lower platen 12, the tie bar 14, the upper platen 16, the movable platen 18, the lifting and clamping mechanism 20, the resin molding die 26 and the control unit are various known. Since the configuration can be adopted, the detailed description thereof is omitted.

樹脂成形金型26は、マルチポット式の成形金型であり、図1に示すように、上プラテン16の下面に取り付けられた上型30と、トランスファ機構50の上部に取り付けられ、上型30と共にキャビティCを形成可能な下型60とを備えている。   The resin molding die 26 is a multi-pot molding die, and as shown in FIG. 1, an upper die 30 attached to the lower surface of the upper platen 16 and an upper portion of the transfer mechanism 50 And a lower mold 60 capable of forming a cavity C.

上型30は、図1及び図2に示すように、下型60と対向して配置され、下型60との間において樹脂成形用のキャビティCを形成可能な型面32を有している。上型30の型面32には、プランジャ52a毎に形成されたカル部33aと、被封止対象となる電子部品と整合する位置に樹脂成型用のキャビティCを形成可能なキャビティ部33dと、カル部33aからキャビティ部33dに向けて溶融樹脂を流動させるランナ部33bと、ランナ部33bを流動する溶融樹脂をキャビティ部33d内に流入させるゲート部33cとが、それぞれプランジャ52aと同数(本実施形態では5つ)ずつ形成されている。なお、カル部33aとは、収容ポット形成孔部51及びプランジャ52aと整合する位置に形成された略円形状の領域をいうものとする。また、ランナ部33bは、キャビティ部33dに向けて樹脂を流動させる経路のうち、カル部33aからゲート部33cまでの領域をいうものとする。さらに、ゲート部33cは、溶融樹脂がキャビティ部33dに流入される流入口であって、ランナ部33bからキャビティ部33dまでの領域をいうものとする。   The upper mold 30 is disposed opposite to the lower mold 60 and has a mold surface 32 which can form a cavity C for resin molding between the lower mold 60 and the upper mold 30 as shown in FIGS. 1 and 2. . In the mold surface 32 of the upper mold 30, a cull portion 33a formed for each plunger 52a, and a cavity portion 33d capable of forming a cavity C for resin molding at a position aligned with the electronic component to be sealed; The number of runners 33b for flowing the molten resin from the cull part 33a to the cavity 33d and the number of gates 33c for flowing the molten resin flowing in the runners 33b into the cavity 33d are the same as the number of the plungers 52a. In the form, 5) are formed. In addition, the cull part 33a shall mean the area | region of the substantially circular shape formed in the position aligned with the accommodation pot formation hole part 51 and the plunger 52a. Further, the runner portion 33b refers to the region from the cull portion 33a to the gate portion 33c in the path for flowing the resin toward the cavity portion 33d. Further, the gate portion 33c is an inlet through which the molten resin flows into the cavity portion 33d, and means a region from the runner portion 33b to the cavity portion 33d.

下型60は、図2及び図3に示すように、上型30と対向して配置され、上型30との間において樹脂成形用のキャビティCを形成可能な金型本体62と、金型本体62の裏面(下面)側に離間して設けられたベースプレート64と、金型本体62とベースプレート64との間において金型本体62の裏面に対して進退移動可能に設けられたエジェクタ機構70と、金型本体62とベースプレート64とを連結固定しプレス型締め時に金型本体62を支持するよう設けられ、ベースプレート64の熱を金型本体62に伝達可能に構成された伝熱部材(サポートピラー)66と、エジェクタ機構70に取り付けられた離型力測定機構80とを備えている。   The lower mold 60 is disposed opposite to the upper mold 30, as shown in FIGS. 2 and 3, and a mold main body 62 capable of forming a cavity C for resin molding between the upper mold 30 and the mold A base plate 64 provided on the back surface (lower surface) side of the main body 62, and an ejector mechanism 70 provided between the mold main body 62 and the base plate 64 so as to be movable forward and backward with respect to the back surface of the mold main body 62; A heat transfer member (support pillar) configured to connect and fix the mold body 62 and the base plate 64 and to support the mold body 62 at the time of pressing and clamping, and to transmit the heat of the base plate 64 to the mold body 62 66 and a release force measurement mechanism 80 attached to the ejector mechanism 70.

金型本体62は、図2及び図3に示すように、その表面(上面)に型面62aを有する矩形板状の金属部材である。金型本体62の型面62aには、上型30のキャビティ部33dと整合する位置に、上型30のキャビティ部33dと共にキャビティCを形成するキャビティ部63が形成されている。ベースプレート64は、トランスファ機構50の上面に載置された矩形板状の金属部材から形成され、伝熱部材66を介して金型本体62を支持するよう構成されている。伝熱部材66は、円柱状の金属部材から形成されたサポートピラーであり、一端部(下端部)がベースプレート64の上面に固定されると共に、他端部(上端部)が金型本体62の裏面に固定されることにより、ベースプレート64から離間した位置で金型本体62を支持するよう構成されている。また、伝熱部材66は、加熱手段によって加熱されたベースプレート64の熱を金型本体62に対して伝達し、金型本体62を所定温度に加熱するよう構成されている。伝熱部材66は、1つのキャビティCに対して複数(例えば6本)設けられており、これら複数の伝熱部材66が各キャビティCの周囲を囲うように配されることにより、各キャビティCの周囲における金型本体62の撓みを抑え、バリの発生等を抑制するよう構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the mold body 62 is a rectangular plate-shaped metal member having a mold surface 62 a on the surface (upper surface) thereof. The mold surface 62 a of the mold body 62 is formed with a cavity 63 that forms a cavity C together with the cavity 33 d of the upper mold 30 at a position aligned with the cavity 33 d of the upper mold 30. The base plate 64 is formed of a rectangular plate-like metal member placed on the upper surface of the transfer mechanism 50, and is configured to support the mold body 62 via the heat transfer member 66. The heat transfer member 66 is a support pillar formed of a cylindrical metal member, and one end (lower end) thereof is fixed to the upper surface of the base plate 64 and the other end (upper end) is fixed to the mold body 62. By being fixed to the back surface, the mold body 62 is configured to be supported at a position separated from the base plate 64. Further, the heat transfer member 66 is configured to transmit the heat of the base plate 64 heated by the heating means to the mold main body 62, and heat the mold main body 62 to a predetermined temperature. A plurality of (for example, six) heat transfer members 66 are provided for one cavity C, and the plurality of heat transfer members 66 are disposed so as to surround the circumference of each cavity C. It is configured so as to suppress the deflection of the mold body 62 around the periphery and to suppress the occurrence of burrs and the like.

エジェクタ機構70は、図2に示すように、金型本体62とベースプレート64との間において金型本体62の裏面に対して進退移動可能に設けられたエジェクタピンホルダ42と、金型本体62の貫通孔と整合する位置に配されたエジェクタピン(ピン部材)44と、エジェクタピンホルダ42を金型本体62の裏面に対して進退移動させる駆動手段(図示せず)とを備え、エジェクタピンホルダ42を金型本体62の裏面に対して前進させることにより、エジェクタピン44を金型本体62の型面62aから突出させ、キャビティCによって成形された樹脂成形品を金型本体62の型面62aから離型させるよう構成されている。なお、本実施形態に係るエジェクタ機構70において、駆動手段は、例えば電動モーター駆動やプレスの下降動作によるエジェクタロッド突き下げ等の種々の公知の構成を採用することが可能であるため、その説明を省略する。   As shown in FIG. 2, the ejector mechanism 70 includes an ejector pin holder 42 provided so as to be movable forward and backward with respect to the back surface of the mold body 62 between the mold body 62 and the base plate 64; The ejector pin (pin member) 44 disposed at a position aligned with the through hole, and a drive means (not shown) for moving the ejector pin holder 42 forward and backward with respect to the back surface of the mold main body 62 The ejector pin 44 is made to project from the mold surface 62 a of the mold body 62 by advancing 42 to the back surface of the mold body 62, and the resin molded product formed by the cavity C is the mold surface 62 a of the mold body 62. It is configured to be released from. In the ejector mechanism 70 according to the present embodiment, the drive unit can adopt various known configurations such as driving of an electric motor or pushing down of an ejector rod by a lowering operation of a press, for example. I omit it.

離型力測定機構80は、図2に示すように、エジェクタピン44から受ける荷重に比例して変形する起歪体と、起歪体の4つの肉薄部にそれぞれ貼り付けられ、該起歪体の変形量を検出する歪ゲージ(図示せず)とを備える所謂ロバーバル型ロードセルである。これら4つの歪ゲージは、それぞれ、測定対象物(起歪体)の歪み(伸縮)に応じて電気抵抗が変化するよう構成されており、ホイートストンブリッジ回路(図示せず)を構成するよう互いに接続されている。離型力測定機構80は、エジェクタピン44の基端部と接触するよう、エジェクタピンホルダ42の裏面(下面)に垂直に取り付けられている。各離型力測定機構80は、それぞれ、隣接する他の離型力測定機構80及び伝熱部材66に干渉しないよう、複数の伝熱部材66の隙間に設けられている。離型力測定機構80は、樹脂注入時又は離型時における起歪体の変形量を歪ゲージにより検出し、この変形量に基づいて、エジェクタピン44を介して起歪体に付加された荷重、すなわち、樹脂注入時の樹脂圧及び離型時の離型力を測定するよう構成されている。また、離型力測定機構80は、樹脂注入時の樹脂圧及び離型時の離型力に異常が生じた場合には、種々の報知手段を介して異常を報知するよう構成されている。   As shown in FIG. 2, the mold release force measurement mechanism 80 is attached to each of the strain generating body that deforms in proportion to the load received from the ejector pin 44 and the four thin portions of the strain generating body. And a strain gauge (not shown) for detecting the amount of deformation of the load cell. Each of these four strain gauges is configured such that the electrical resistance changes in accordance with the strain (extension or contraction) of the object to be measured (the strain generating body), and they are connected to one another to constitute a Wheatstone bridge circuit (not shown) It is done. The mold release force measurement mechanism 80 is vertically attached to the back surface (lower surface) of the ejector pin holder 42 so as to be in contact with the proximal end of the ejector pin 44. Each release force measurement mechanism 80 is provided in a gap of the plurality of heat transfer members 66 so as not to interfere with the other release force measurement mechanism 80 and the heat transfer member 66 adjacent to each other. The mold release force measurement mechanism 80 detects the amount of deformation of the strain generating body during resin injection or mold release using a strain gauge, and the load applied to the strain generating body via the ejector pin 44 based on the amount of deformation. That is, it is configured to measure the resin pressure at the time of resin injection and the mold release force at the time of mold release. Further, the release force measuring mechanism 80 is configured to notify of an abnormality through various notification means when an abnormality occurs in the resin pressure at the time of resin injection and the release force at the release.

トランスファ機構50は、図2及び図3に示すように、複数(本実施形態では5本)のプランジャ52aを有するマルチポット式(マルチプランジャ式)トランスファ機構である。具体的には、トランスファ機構50は、樹脂成形金型26のキャビティC(図2参照)と連通し、樹脂タブレット(図示せず)を収容可能な複数(本実施形態では5つ)の収容ポット形成孔部51と、収容ポット形成孔部51毎に配され、収容ポット形成孔部51内に収容された樹脂タブレットをキャビティCに向けて押し出すプランジャ52aと、複数(本実施形態では5本)のプランジャ52aを支持するプランジャホルダ59と、プランジャホルダ59を昇降させる駆動手段(図示せず)と、樹脂成形金型26及び収容ポット形成孔部51を加熱する加熱手段(図示せず)とを備えている。   The transfer mechanism 50 is a multi-pot (multi-plunger) transfer mechanism having a plurality (five in the present embodiment) of plungers 52a as shown in FIGS. Specifically, the transfer mechanism 50 communicates with the cavity C (see FIG. 2) of the resin molding die 26 and includes a plurality of (five in the present embodiment) storage pots capable of storing resin tablets (not shown). A plurality of (five in the present embodiment) plungers 51a which are disposed at the forming holes 51 and the receiving pot forming holes 51 and push resin tablets contained in the receiving pot forming holes 51 toward the cavity C. A plunger holder 59 for supporting the plunger 52a, a drive means (not shown) for raising and lowering the plunger holder 59, and a heating means (not shown) for heating the resin molding die 26 and the storage pot forming hole 51; Have.

プランジャ52aは、図4に示すように、それぞれ、棒状に形成されたプランジャロッド部53aと、プランジャロッド部53aの先端部に配されたプランジャチップ部54aとを備えている。   As shown in FIG. 4, the plunger 52a includes a rod-like plunger rod 53a and a plunger tip 54a disposed at the tip of the plunger rod 53a.

プランジャロッド部53aは、図4に示すように、収容ポット形成孔部51の内径よりも小さい外径を有する長尺な円柱状(棒状)に形成されており、基端部55aがプランジャホルダ59内において支持されている。プランジャロッド部53aの基端部55aは、径方向外側に向けて突出したフランジ状に形成されており、プランジャホルダ59に形成された係合溝59bと係合することで、プランジャホルダ59に対するプランジャ52aの抜け止めとして機能するよう構成されている。プランジャロッド部53aの基端部55aの下面は、下方に向けて凸となる曲面状に形成されており、該下面の外周縁部とプランジャホルダ59の内面との間に僅かな隙間が形成されるよう構成されている。また、プランジャロッド部53aの基端部55aよりも軸方向上方側の部位には、プランジャホルダ59の開口縁部59aに係合可能な一対の凹部56aが形成されており、該凹部56aがプランジャホルダ59の開口縁部59aと係合することで、プランジャホルダ59に対するプランジャ52aの回り止めとして機能するよう構成されている。プランジャロッド部53aは、剛性に優れた金属材から形成されている。   As shown in FIG. 4, the plunger rod portion 53 a is formed in a long cylindrical shape (rod shape) having an outer diameter smaller than the inner diameter of the accommodation pot forming hole 51, and the base end portion 55 a is a plunger holder 59. It is supported internally. The proximal end 55a of the plunger rod portion 53a is formed in the shape of a flange projecting outward in the radial direction, and by engaging with the engagement groove 59b formed in the plunger holder 59, the plunger for the plunger holder 59 It is configured to act as a retention for 52a. The lower surface of the base end 55a of the plunger rod portion 53a is formed in a curved shape that is convex downward, and a slight gap is formed between the outer peripheral edge of the lower surface and the inner surface of the plunger holder 59. Are configured to A pair of recesses 56a engageable with the opening edge 59a of the plunger holder 59 is formed at a position axially higher than the proximal end 55a of the plunger rod 53a, and the recesses 56a are plungers. By engaging with the opening edge 59a of the holder 59, it is configured to function as a rotation stopper of the plunger 52a with respect to the plunger holder 59. The plunger rod portion 53a is formed of a metal material excellent in rigidity.

プランジャチップ部54aは、図2及び図4に示すように、収容ポット形成孔部51の内径と概ね同径の外径を有し、かつ、収容ポット形成孔部51に沿って延在する軸方向の長さを有する円柱状に形成されている。これにより、プランジャチップ部54aは、収容ポット形成孔部51の内面にガイドされながら摺動し、収容ポット形成孔部51内に収容された樹脂タブレットをキャビティCに向けて押圧可能に構成されている。プランジャチップ部54aは、耐摩耗性及び剛性に優れた金属材から形成されている。なお、プランジャチップ部54aは、プランジャロッド部53aと一体に形成されても良いし、プランジャロッド部53aにロウ付け等により後付される構成としても良い。   The plunger tip portion 54a has an outer diameter substantially the same as the inner diameter of the storage pot formation hole 51 and extends along the storage pot formation hole 51, as shown in FIGS. 2 and 4. It is formed in a cylindrical shape having a length in the direction. As a result, the plunger tip portion 54a slides while being guided by the inner surface of the storage pot formation hole 51, and is configured to be able to press the resin tablet stored in the storage pot formation hole 51 toward the cavity C. There is. The plunger tip portion 54a is formed of a metal material excellent in wear resistance and rigidity. The plunger tip 54a may be integrally formed with the plunger rod 53a, or may be attached to the plunger rod 53a by brazing or the like.

プランジャロッド部53aの周面(曲面)には、図3及び図4に示すように、複数(第1実施形態では4枚)の歪ゲージ22が、プランジャロッド部53aの周方向に所定の間隔をおいて貼り付けられている。これら4つの歪ゲージ22は、それぞれ、測定対象物(プランジャロッド部53a)の歪み(伸縮)に応じて電気抵抗が変化するよう構成されており、ホイートストンブリッジ回路(図示せず)を構成するよう互いに接続されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of (four in the first embodiment) strain gauges 22 are provided on the circumferential surface (curved surface) of the plunger rod portion 53a at predetermined intervals in the circumferential direction of the plunger rod portion 53a. It is pasted with a gap. Each of these four strain gauges 22 is configured such that the electrical resistance changes in accordance with the strain (expansion and contraction) of the object to be measured (plunger rod portion 53a), and constitutes a Wheatstone bridge circuit (not shown) Connected to each other.

プランジャ52a毎に形成されるホイートストンブリッジ回路は、それぞれ、アンプ(図示せず)及びA/D変換器(図示せず)を介してデータ収集解析手段(図示せず)と電気的に接続されている。第1実施形態では、プランジャ52a毎に配された4枚の歪ゲージ22、アンプ及びA/D変換器と、共通のデータ収集解析手段とにより、全てのプランジャ52aにおける樹脂注入時の樹脂圧を統括して測定可能な樹脂圧測定装置が構成されている。   The Wheatstone bridge circuit formed for each plunger 52a is electrically connected to data acquisition and analysis means (not shown) through an amplifier (not shown) and an A / D converter (not shown). There is. In the first embodiment, the resin pressure at the time of resin injection in all the plungers 52a is determined by the four strain gauges 22 arranged for each plunger 52a, the amplifier and the A / D converter, and the common data collection and analysis means. A resin pressure measuring device that can be integrated and measured is configured.

データ収集解析手段は、例えばパーソナルコンピュータ等からなり、4枚の歪ゲージ22の抵抗値に基づいて歪み値を算出し、この歪み値に基づいて、該歪み値と相関を有するプランジャ52aの軸方向に作用する応力、すなわち、樹脂注入時の樹脂圧を測定するよう構成されている。また、データ収集解析手段は、測定した樹脂圧に基づいて樹脂圧の異常を判定し、異常と判定した場合には、報知手段に報知信号を出力するよう構成されている。さらに、データ収集解析手段は、測定した樹脂圧に基づいて、駆動手段に対してフィードバック制御の実行信号を出力するよう構成されている。なお、データ収集解析手段における異常の検知方法としては、種々の方法を採用可能である。例えば、プランジャ52a毎に測定された樹脂圧の値や挙動(時間的な遷移)が予め定められた許容範囲を超えた場合又は下回った場合に、異常と判定する方法を採用しても良い。   The data collection and analysis means comprises, for example, a personal computer or the like, calculates a strain value based on the resistance values of the four strain gauges 22, and based on this strain value, the axial direction of the plunger 52 a having a correlation with the strain value. It is configured to measure the stress acting on the resin, that is, the resin pressure at the time of resin injection. Further, the data collection and analysis means is configured to determine an abnormality in the resin pressure based on the measured resin pressure, and to output a notification signal to the notification means when it is determined that the resin pressure is abnormal. Furthermore, the data collection and analysis means is configured to output a feedback control execution signal to the drive means based on the measured resin pressure. In addition, various methods can be adopted as a method of detecting an abnormality in the data collection and analysis means. For example, a method may be adopted in which it is determined that the value of the resin pressure and the behavior (temporal transition) measured for each plunger 52a are abnormal when they exceed or fall below a predetermined allowable range.

プランジャホルダ59は、図3に示すように、複数のプランジャ52aを整列させた状態で支持可能なブロック状に形成されている。プランジャホルダ59は、図4に示すように、各プランジャ52aの基端部55a及びその近傍を収容可能な内部空間を有しており、該内部空間の下部側面に、各プランジャ52aの基端部55aが係合可能な係合溝59bが形成されている。プランジャホルダ59の上面には、プランジャロッド部53aが挿通可能な開口が形成されており、該開口の開口縁部59aが、プランジャロッド部53aの凹部56aに係合するよう構成されている。   The plunger holder 59 is, as shown in FIG. 3, formed in a block shape that can support the plurality of plungers 52a in an aligned state. As shown in FIG. 4, the plunger holder 59 has an inner space capable of receiving the proximal end 55a of each plunger 52a and the vicinity thereof, and the lower end of the inner space is a proximal end of each plunger 52a. An engagement groove 59b is formed to which the 55a can engage. An opening through which the plunger rod portion 53a can be inserted is formed on the top surface of the plunger holder 59, and the opening edge 59a of the opening is configured to engage with the recess 56a of the plunger rod portion 53a.

以上の構成を備える第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、図2に示すように、上型30及び下型60によってワーク(リードフレームや電子部品基板等)を挟み込んだ状態で、溶融樹脂(モールド材料)をプランジャ52aによって加圧し、上型30のカル部33a→ランナ部33b→ゲート部33c→キャビティ部33dの順で流動させ、熱硬化させることで、キャビティC内に配置された電子部品をモールドし、樹脂成形品を製造するよう構成されている。また、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、プランジャ52aに作用する樹脂圧を樹脂圧測定装置によってリアルタイムで測定乃至監視し、樹脂の注入異常を検知した際に、報知手段により警報を発するよう構成されている。さらに、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、樹脂圧測定装置により測定した樹脂圧に基づいて、樹脂の注入異常を検知したプランジャ52aに対する加圧力を調整するフィードバック制御を実行するよう構成されている。   The resin sealing device 10 according to the first embodiment having the above configuration is, as shown in FIG. 2, melted in a state in which the work (lead frame, electronic component substrate, etc.) is sandwiched between the upper mold 30 and the lower mold 60. The resin (mold material) is pressurized by the plunger 52a, and is made to flow in the order of the cull part 33a of the upper die 30 → the runner part 33b → the gate part 33c → the cavity part 33d and thermally cured to be disposed in the cavity C. It is configured to mold an electronic component and manufacture a resin molded product. In addition, the resin sealing device 10 according to the first embodiment measures or monitors the resin pressure acting on the plunger 52a in real time by the resin pressure measuring device, and when an abnormality in injection of resin is detected, the alarm means It is configured to emit. Furthermore, the resin sealing device 10 according to the first embodiment is configured to execute feedback control that adjusts the pressure applied to the plunger 52a that has detected a resin injection abnormality based on the resin pressure measured by the resin pressure measuring device. It is done.

また、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、電子部品のモールド完了後、移動プラテン18を下降させることで下型60を上型30から離間させると共に、これと並行又は同期して、上型30に内蔵されたエジェクタ機構(図示せず)によって上型30の型面32から樹脂成形品を離型させるよう構成されている。さらに、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、上型30から下型60を離間させた後に、エジェクタ機構70によって下型60の型面62aから樹脂成形品を離型させるよう構成されている。また、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、下型60の型面62aから樹脂成形品を離型させる際の離型力を離型力測定機構80によってリアルタイムで測定乃至監視し、離型不良を検知した際に、報知手段により警報を発するよう構成されている。   Further, the resin sealing device 10 according to the first embodiment separates the lower mold 60 from the upper mold 30 by lowering the movable platen 18 after molding of the electronic component is completed, and in parallel with or in synchronization with this. An ejector mechanism (not shown) incorporated in the upper mold 30 is configured to release the resin molded product from the mold surface 32 of the upper mold 30. Furthermore, the resin sealing device 10 according to the first embodiment is configured to release the resin molded product from the mold surface 62 a of the lower mold 60 by the ejector mechanism 70 after separating the lower mold 60 from the upper mold 30. ing. Further, the resin sealing device 10 according to the first embodiment measures or monitors the mold release force at the time of releasing the resin molded product from the mold surface 62 a of the lower mold 60 by the mold release force measurement mechanism 80 in real time. When the mold release failure is detected, the notification means is configured to issue an alarm.

以上説明したとおり、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、棒状に形成されたプランジャロッド部53aと、プランジャロッド部53aの先端部に配され、樹脂材料を押圧可能に構成されたプランジャチップ部54aと、プランジャロッド部53aの周面に配され、プランジャロッド部53aの軸方向に作用する応力を測定可能に構成された歪ゲージ22とを備えている。   As described above, the resin sealing device 10 according to the first embodiment includes the plunger rod portion 53a formed in a rod shape and the tip end portion of the plunger rod portion 53a and configured to be capable of pressing the resin material. A tip portion 54a and a strain gauge 22 disposed on the circumferential surface of the plunger rod portion 53a and configured to be capable of measuring a stress acting in the axial direction of the plunger rod portion 53a are provided.

このように、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、歪ゲージ22がプランジャ52a毎に配されることにより、樹脂注入時における樹脂圧をプランジャ単位で正確に測定乃至監視し、樹脂の注入異常を検知することが可能となるため、作業者に対して、樹脂の注入異常や、これに起因した樹脂成形品の成形不良の可能性を認知させることが可能となる。この利点は、樹脂封止装置10に対するワーク(リードフレームや電子部品基板等)及び樹脂タブレットの供給から樹脂封止後の樹脂成形品の回収までを自動で連続して実行する全自動樹脂成形システムにおいて、特に有効である。   As described above, in the resin sealing device 10 according to the first embodiment, the strain gauge 22 is disposed for each plunger 52 a to accurately measure or monitor the resin pressure at the time of resin injection in the plunger unit. Since it becomes possible to detect the injection abnormality, it is possible to make the operator aware of the possibility of the injection abnormality of the resin and the molding failure of the resin molded product resulting therefrom. This advantage is a fully automatic resin molding system that automatically and continuously executes from the supply of a work (lead frame, electronic component substrate, etc.) and resin tablet to the resin sealing device 10 to the recovery of the resin molded product after resin sealing. Particularly effective.

また、第1実施形態に係る樹脂封止装置10は、プランジャロッド部53aの周面に配した歪ゲージ22によって樹脂圧を測定するよう構成されているため、プランジャの直下に埋設する必要がある水晶圧電式ロードワッシャ等の大径の円筒形ロードセルを用いる場合と比較して、プランジャ52aを密集して配置させることが可能となる。   Further, since the resin sealing device 10 according to the first embodiment is configured to measure the resin pressure by the strain gauge 22 disposed on the circumferential surface of the plunger rod portion 53a, it is necessary to embed the resin sealing device 10 immediately below the plunger. As compared with the case of using a large diameter cylindrical load cell such as a quartz crystal piezoelectric load washer, it is possible to arrange the plungers 52a densely.

[第2実施形態]
次に、第2実施形態に係る樹脂封止装置(樹脂成形装置)について、図5を用いて説明する。なお、第2実施形態に係る樹脂封止装置において、第1実施形態に係る樹脂封止装置10と異なる構成は、プランジャ52bのみであるため、プランジャ52bの構成のみを説明し、その他の構成については説明を省略する。
Second Embodiment
Next, a resin sealing apparatus (resin molding apparatus) according to the second embodiment will be described with reference to FIG. In the resin sealing device according to the second embodiment, only the configuration of the plunger 52b is different from that of the resin sealing device 10 according to the first embodiment. Therefore, only the configuration of the plunger 52b will be described. The description is omitted.

第2実施形態に係るプランジャ52bは、図5に示すように、棒状に形成されたプランジャロッド部53bと、プランジャロッド部53bの先端部に配されたプランジャチップ部54bとを備えている。プランジャロッド部53bは、第1実施形態に係るプランジャロッド部53aと異なり、歪ゲージ22が配された領域が他の領域よりも細くなるよう構成されることで、歪ゲージ22が配された領域の剛性が他の領域の剛性よりも低くなるよう構成されている。具体的には、プランジャロッド部53bは、軸方向の中途部が、他の部位よりも細い角柱状となるよう切削されており、該角柱状部位の4つの平坦面57bにそれぞれ歪ゲージ22が貼り付けられている。   The plunger 52b which concerns on 2nd Embodiment is provided with the plunger rod part 53b formed in rod shape, and the plunger tip part 54b distribute | arranged to the front-end | tip part of the plunger rod part 53b, as shown in FIG. Unlike the plunger rod portion 53a according to the first embodiment, the plunger rod portion 53b is configured such that the region in which the strain gauge 22 is disposed is thinner than the other regions, so that the region in which the strain gauge 22 is disposed Is configured to be lower than the stiffness of other regions. Specifically, the plunger rod portion 53b is cut so that the axial middle portion is in the shape of a rectangular column thinner than the other portions, and the strain gauges 22 are respectively formed on the four flat surfaces 57b of the rectangular column. It is pasted.

第2実施形態に係るプランジャロッド部53bは、このような構成を有することにより、第1実施形態に係るプランジャロッド部53aと比較して、歪ゲージ22が配された領域の変形量(歪み値)を大きくすることが可能となるため、歪ゲージ22による樹脂圧の測定精度(感度)を高めることが可能となる。   The plunger rod portion 53b according to the second embodiment has such a configuration, so that the amount of deformation (strain value) of the region in which the strain gauge 22 is disposed as compared to the plunger rod portion 53a according to the first embodiment. Can be increased, so that the measurement accuracy (sensitivity) of the resin pressure by the strain gauge 22 can be enhanced.

なお、図5では、各平坦面57bに1枚ずつ歪ゲージ22が貼り付けられる構成を例示したが、これに限定されず、4枚の歪ゲージ22は自由に配置することが可能である。例えば、一部の平坦面57bに偏って歪ゲージ22が貼り付けられる構成としても良い。また、図6では、4つの平坦面57bによって四角柱状に形成される構成を例示したが、これに限定されず、平坦面57bの数及び位置は任意に変更することが可能である。例えば、3つ又は5つ以上の平坦面57bによって三角柱状又は五角以上の多角柱状に形成される構成としても良いし、複数の平坦面57bがプランジャロッド部53bの軸方向の位置及び周方向の位置をずらして形成される構成としても良い。   Although FIG. 5 illustrates the configuration in which the strain gauges 22 are attached to each flat surface 57b, it is not limited thereto, and the four strain gauges 22 can be freely disposed. For example, the strain gauges 22 may be stuck to a part of the flat surface 57b. Moreover, although the structure formed in square pole shape by four flat surfaces 57b was illustrated in FIG. 6, it is not limited to this, It is possible to change the number and the position of the flat surfaces 57b arbitrarily. For example, three or five or more flat surfaces 57b may be formed in a triangular prism shape or a polygonal prism shape having five or more corners, and the plurality of flat surfaces 57b may be axially positioned and circumferentially of plunger rod portion 53b. It may be configured to be formed by shifting the position.

[第3実施形態]
次に、第3実施形態に係る樹脂封止装置(樹脂成形装置)について、図6を用いて説明する。なお、第3実施形態に係る樹脂封止装置においても、第1実施形態に係る樹脂封止装置10と異なる構成は、プランジャ52cのみであるため、プランジャ52cの構成のみを説明し、その他の構成については説明を省略する。
Third Embodiment
Next, a resin sealing apparatus (resin molding apparatus) according to the third embodiment will be described with reference to FIG. In the resin sealing device according to the third embodiment, only the configuration of the plunger 52c is different from that of the resin sealing device 10 according to the first embodiment, so only the configuration of the plunger 52c will be described. The explanation is omitted.

第3実施形態に係るプランジャ52cは、図6に示すように、棒状に形成されたプランジャロッド部53cと、プランジャロッド部53cの先端部に配されたプランジャチップ部54cとを備えている。プランジャロッド部53cは、歪ゲージ22が配された領域が他の領域よりも肉薄に形成されることで、歪ゲージ22が配された領域の剛性が他の領域の剛性よりも低くなるよう構成されている。   As shown in FIG. 6, the plunger 52c according to the third embodiment includes a rod-like plunger rod 53c and a plunger tip 54c disposed at the tip of the plunger rod 53c. The plunger rod portion 53c is configured such that the rigidity of the area where the strain gauge 22 is arranged is lower than the rigidity of the other area by forming the area where the strain gauge 22 is arranged thinner than the other areas. It is done.

具体的には、プランジャロッド部53cは、軸方向の中途部に、他の部位よりも肉薄となるよう切削されたくびれが形成されており、該くびれ部位の2つの平坦面57cにそれぞれ歪ゲージ22が2枚ずつ並べて貼り付けられている。なお、図6では、2枚の歪ゲージ22が紙面奥行方向に並べて整列されているため、紙面手前側の歪ゲージ22のみが図示されている。   Specifically, the plunger rod portion 53c is formed with a constriction cut in the axial direction so as to be thinner than the other parts, and the two flat surfaces 57c of the constriction portion respectively have strain gauges. Two 22 pieces are put in order and pasted. In addition, in FIG. 6, since the two strain gauges 22 are arranged side by side in the paper surface depth direction and aligned, only the strain gauge 22 on the paper surface front side is illustrated.

第3実施形態に係るプランジャロッド部53cにおいても、第2実施形態に係るプランジャロッド部53bと同様に、第1実施形態に係るプランジャロッド部53aと比較して、歪ゲージ22が配された領域の変形量(歪み値)を大きくすることが可能となるため、歪ゲージ22による樹脂圧の測定精度(感度)を高めることが可能となる。特に、くびれ部位の厚さを他の部位の半分程度に形成した場合には、第1実施形態に係るプランジャロッド部53aのおよそ2倍の測定精度(感度)を得ることができる。   Also in the plunger rod portion 53c according to the third embodiment, as in the plunger rod portion 53b according to the second embodiment, the region in which the strain gauge 22 is disposed as compared with the plunger rod portion 53a according to the first embodiment. It is possible to increase the amount of deformation (distortion value) of V. Therefore, the measurement accuracy (sensitivity) of the resin pressure by the strain gauge 22 can be enhanced. In particular, when the thickness of the constriction portion is formed to be about half that of the other portion, measurement accuracy (sensitivity) approximately twice that of the plunger rod portion 53a according to the first embodiment can be obtained.

なお、図6では、平坦面57cに2枚ずつ歪ゲージ22が貼り付けられる構成を例示したが、これに限定されず、4枚の歪ゲージ22は自由に配置することが可能である。例えば、一方の平坦面57cに3枚の歪ゲージ22を貼り付け、他方の平坦面57cに1枚の歪ゲージ22を貼り付ける構成としても良いし、片方の平坦面57cに4枚の歪ゲージ22を貼り付ける構成としても良い。また、歪ゲージ22を紙面奥行方向に並べて配置する態様に代えて、歪ゲージ22を軸方向に沿って並べる配置等の種々の配置を採用することが可能である。さらに、図6では、くびれが1つのみ形成される構成を例示したが、これに限定されず、軸方向に並べて2以上のくびれが形成される構成としても良いし、周方向に位相をずらして2以上のくびれが形成される構成としても良い。   Although FIG. 6 exemplifies a configuration in which two strain gauges 22 are attached to the flat surface 57c, the present invention is not limited to this, and four strain gauges 22 can be freely disposed. For example, three strain gauges 22 may be attached to one flat surface 57c, and one strain gauge 22 may be attached to the other flat surface 57c, or four strain gauges may be attached to one flat surface 57c. 22 may be pasted. Further, instead of arranging the strain gauges 22 in the depth direction of the drawing, it is possible to adopt various arrangements such as arranging the strain gauges 22 in the axial direction. Furthermore, although FIG. 6 illustrates a configuration in which only one constriction is formed, the present invention is not limited to this, and two or more constrictions may be formed in axial alignment, or the phases may be shifted in the circumferential direction. The configuration may be such that two or more necks are formed.

[第4実施形態]
次に、第4実施形態に係る樹脂封止装置(樹脂成形装置)について、図7を用いて説明する。なお、第4実施形態に係る樹脂封止装置においても、第1実施形態に係る樹脂封止装置10と異なる構成は、プランジャ52dのみであるため、プランジャ52dの構成のみを説明し、その他の構成については説明を省略する。
Fourth Embodiment
Next, a resin sealing apparatus (resin molding apparatus) according to the fourth embodiment will be described with reference to FIG. In the resin sealing device according to the fourth embodiment, only the configuration of the plunger 52 d is different from the resin sealing device 10 according to the first embodiment, so only the configuration of the plunger 52 d will be described. The explanation is omitted.

第4実施形態に係るプランジャ52dは、図7に示すように、棒状に形成されたプランジャロッド部53dと、プランジャロッド部53dの先端部に配されたプランジャチップ部54dとを備えている。プランジャロッド部53dは、歪ゲージ22が配された領域が他の領域よりも肉薄に形成されることで、歪ゲージ22が配された領域の剛性が他の領域の剛性よりも低くなるよう構成されている。   As shown in FIG. 7, the plunger 52d according to the fourth embodiment includes a rod-like plunger rod 53d and a plunger tip 54d disposed at the tip of the plunger rod 53d. The plunger rod portion 53d is configured such that the rigidity of the area where the strain gauge 22 is arranged is lower than the rigidity of the other area by forming the area where the strain gauge 22 is arranged thinner than the other areas. It is done.

具体的には、プランジャロッド部53dは、軸方向の中途部に、軸方向と交差する方向に貫通する貫通孔58dを有し、該貫通孔58dの平坦な内面(貫通孔58dと整合するプランジャロッド部53dの肉薄部位の内面)57dに歪ゲージ22がそれぞれ2枚ずつ並べて貼り付けられている。なお、図7では、2枚の歪ゲージ22が紙面奥行方向に並べて整列されているため、紙面手前側の歪ゲージ22のみが図示されている。   Specifically, the plunger rod portion 53d has a through hole 58d penetrating in a direction intersecting with the axial direction at an axial midway portion, and the flat inner surface of the through hole 58d (plunger aligned with the through hole 58d) Two strain gauges 22 are arranged side by side and attached to the inner surface 57d of the thin portion of the rod portion 53d. Note that, in FIG. 7, since the two strain gauges 22 are aligned in the depth direction of the drawing, only the strain gauge 22 on the front side of the drawing is illustrated.

第4実施形態に係るプランジャロッド部53dにおいても、第2及び第3実施形態に係るプランジャロッド部53b,53cと同様に、第1実施形態に係るプランジャロッド部53aと比較して、歪ゲージ22が配された領域の変形量(歪み値)を大きくすることが可能となるため、歪ゲージ22による樹脂圧の測定精度(感度)を高めることが可能となる。特に、貫通孔58dの開口幅をプランジャロッド部53dの幅の半分程度に形成した場合には、第1実施形態に係るプランジャロッド部53aのおよそ2倍の測定精度(感度)を得ることができる。   Also in the plunger rod portion 53d according to the fourth embodiment, similarly to the plunger rod portions 53b and 53c according to the second and third embodiments, the strain gauge 22 is compared with the plunger rod portion 53a according to the first embodiment. Since it is possible to increase the amount of deformation (distortion value) of the region in which is disposed, it is possible to increase the measurement accuracy (sensitivity) of the resin pressure by the strain gauge 22. In particular, when the opening width of the through hole 58d is formed to be about half the width of the plunger rod portion 53d, measurement accuracy (sensitivity) about twice that of the plunger rod portion 53a according to the first embodiment can be obtained. .

なお、図7では、貫通孔58dの互いに対向する内面57dに2枚ずつ歪ゲージ22が貼り付けられる構成を例示したが、これに限定されず、第3実施形態に係るプランジャロッド部53cと同様に、4枚の歪ゲージ22は自由に配置することが可能である。また、図7では、貫通孔58dが1つのみ形成される構成を例示したが、これに限定されず、軸方向に並べて2以上の貫通孔58dが形成される構成としても良いし、周方向に位相をずらして2以上の貫通孔58dが形成される構成としても良い。さらに、貫通孔58d内を樹脂等で埋める構成としても良い。
[第5実施形態]
次に、第5実施形態に係る樹脂封止装置(樹脂成形装置)について、図8を用いて説明する。なお、第5実施形態に係る樹脂封止装置においても、第1実施形態に係る樹脂封止装置10と異なる構成は、プランジャ52eのみであるため、プランジャ52eの構成のみを説明し、その他の構成については説明を省略する。
Although FIG. 7 illustrates a configuration in which two strain gauges 22 are attached to each other on the mutually facing inner surfaces 57d of the through holes 58d, the present invention is not limited thereto, and the same as the plunger rod portion 53c according to the third embodiment In addition, the four strain gauges 22 can be arranged freely. Although FIG. 7 exemplifies a configuration in which only one through hole 58d is formed, the present invention is not limited thereto, and a configuration in which two or more through holes 58d are formed side by side in the axial direction may be employed. Alternatively, two or more through holes 58d may be formed out of phase with each other. Furthermore, the inside of the through hole 58d may be filled with a resin or the like.
Fifth Embodiment
Next, a resin sealing apparatus (resin molding apparatus) according to the fifth embodiment will be described with reference to FIG. In the resin sealing device according to the fifth embodiment, only the configuration of the plunger 52e is different from that of the resin sealing device 10 according to the first embodiment, so only the configuration of the plunger 52e will be described. The explanation is omitted.

第5実施形態に係るプランジャ52eは、図8に示すように、棒状に形成されたプランジャロッド部53eと、プランジャロッド部53eの先端部に配されたプランジャチップ部54eとを備えている。プランジャロッド部53eは、歪ゲージ22が配された領域が他の領域よりも剛性の低い素材により形成されることで、歪ゲージ22が配された領域の剛性が他の領域の剛性よりも低くなるよう構成されている。   The plunger 52e which concerns on 5th Embodiment is provided with the plunger rod part 53e formed in rod shape, and the plunger tip part 54e distribute | arranged to the front-end | tip part of the plunger rod part 53e, as shown in FIG. In the plunger rod portion 53e, the area in which the strain gauge 22 is disposed is formed of a material having a rigidity lower than that of the other areas, so that the stiffness of the area in which the strain gauge 22 is disposed is lower than the rigidity of the other areas. It is configured to be

具体的には、プランジャロッド部53eは、プランジャチップ部54eに接続される上側軸部53e´と、プランジャホルダ59に支持される下側軸部53e´´´と、これら上側軸部53e´と下側軸部53e´´´との間に配された中間軸部53e´´とを備え、応力が作用する向き(すなわち軸方向)に分割された構造を有している。上側軸部53e´は、耐摩耗性に優れた高硬度材からなり、下側軸部53e´´´は、高強度材からなる。中間軸部53e´´は、上側軸部53e´及び下側軸部53e´´´よりも剛性の低い素材、例えばアルミ材等の弾性変化の大きい材料からなる。歪ゲージ22は、周方向に所定の間隔をおいて、中間軸部53e´´に貼り付けられている。   Specifically, the plunger rod portion 53e includes an upper shaft 53e 'connected to the plunger tip 54e, a lower shaft 53e' '' supported by the plunger holder 59, and the upper shaft 53e '. An intermediate shaft portion 53e '' disposed between the lower shaft portion 53e '' and the lower shaft portion 53e '' has a structure divided in the direction in which stress acts (i.e., in the axial direction). The upper shaft portion 53e 'is made of a high-hardness material excellent in wear resistance, and the lower shaft portion 53e' '' is made of a high-strength material. The middle shaft portion 53e ′ ′ is made of a material having rigidity lower than that of the upper shaft portion 53e ′ and the lower shaft portion 53e ′ ′ ′, for example, a material having a large elastic change such as an aluminum material. The strain gauges 22 are attached to the intermediate shaft portion 53 e ′ ′ at predetermined intervals in the circumferential direction.

第5実施形態に係るプランジャロッド部53eにおいても、第2〜第4実施形態に係るプランジャロッド部53b〜53dと同様に、第1実施形態に係るプランジャロッド部53aと比較して、歪ゲージ22が配された領域の変形量(歪み値)を大きくすることが可能となるため、歪ゲージ22による樹脂圧の測定精度(感度)を高めることが可能となる。   Also in the plunger rod portion 53e according to the fifth embodiment, similarly to the plunger rod portions 53b to 53d according to the second to fourth embodiments, the strain gauge 22 is compared with the plunger rod portion 53a according to the first embodiment. Since it is possible to increase the amount of deformation (distortion value) of the region in which is disposed, it is possible to increase the measurement accuracy (sensitivity) of the resin pressure by the strain gauge 22.

なお、図8では、周方向に90度の間隔をおいて4枚の歪ゲージ22が貼り付けられる構成を例示したが、これに限定されず、4枚の歪ゲージ22の間隔は自由に変更することが可能である。また、図8では、中間軸部53e´´が1つのみ配される構成を例示したが、これに限定されず、軸方向に並べて2以上の中間軸部53e´´が配される構成としても良い。さらに、図8では、単に中間軸部53e´´の周面に4枚の歪ゲージ22が貼り付けられる構成を例示したが、これに限定されず、例えば第2〜第4実施形態に係るプランジャ52b〜52dと同様の方法により、中間軸部53e´´が上側軸部53e´及び下側軸部53e´´´よりも細い構成や、中間軸部53e´´が上側軸部53e´及び下側軸部53e´´´よりも肉薄に形成される構成や、中間軸部53e´´に貫通孔が形成される構成等を採用することも可能である。
[第6実施形態]
次に、第6実施形態に係る樹脂封止装置(樹脂成形装置)について、図9を用いて説明する。なお、第6実施形態に係る樹脂封止装置においても、第1実施形態に係る樹脂封止装置10と異なる構成は、プランジャ52fのみであるため、プランジャ52fの構成のみを説明し、その他の構成については説明を省略する。
Although FIG. 8 illustrates a configuration in which four strain gauges 22 are attached at intervals of 90 degrees in the circumferential direction, the present invention is not limited thereto, and the intervals of the four strain gauges 22 may be freely changed. It is possible. In addition, although FIG. 8 illustrates a configuration in which only one intermediate shaft 53e ′ ′ is disposed, the present invention is not limited thereto, and a configuration in which two or more intermediate shaft portions 53e ′ ′ are arranged in the axial direction Also good. Furthermore, although FIG. 8 illustrates a configuration in which four strain gauges 22 are simply attached to the circumferential surface of the intermediate shaft portion 53e ′ ′, the present invention is not limited thereto. For example, plungers according to the second to fourth embodiments. The intermediate shaft 53e ′ ′ is thinner than the upper shaft 53e ′ and the lower shaft 53e ′ ′ in the same manner as 52b to 52d, and the intermediate shaft 53e ′ is lower than the upper shaft 53e ′ and lower. It is also possible to adopt a configuration that is thinner than the side shaft portion 53 e ′ ′ ′, a configuration in which a through hole is formed in the middle shaft portion 53 e ′ ′, or the like.
Sixth Embodiment
Next, a resin sealing apparatus (resin molding apparatus) according to a sixth embodiment will be described with reference to FIG. Also in the resin sealing device according to the sixth embodiment, only the configuration of the plunger 52 f is different from the resin sealing device 10 according to the first embodiment, so only the configuration of the plunger 52 f will be described, and other configurations The explanation is omitted.

第6実施形態に係るプランジャ52fは、図9に示すように、棒状に形成されたプランジャロッド部53fと、プランジャロッド部53fの先端部に配されたプランジャチップ部54fとを備えている。プランジャロッド部53fは、プランジャチップ部54fに接続される上側軸部53f´と、プランジャホルダ59に支持される下側軸部53f´´とを備え、応力が作用する向き(すなわち軸方向)に分割された構造を有している。上側軸部53f´は、下側軸部53f´´にねじ止めされており、下側軸部53f´´に対して着脱可能に構成されている。   As shown in FIG. 9, the plunger 52f according to the sixth embodiment includes a rod-like plunger rod 53f and a plunger tip 54f disposed at the tip of the plunger rod 53f. The plunger rod portion 53f includes an upper shaft 53f 'connected to the plunger tip 54f and a lower shaft 53f' 'supported by the plunger holder 59, in the direction in which stress acts (ie, in the axial direction). It has a divided structure. The upper shaft portion 53 f ′ is screwed to the lower shaft portion 53 f ′ ′, and is configured to be removable from the lower shaft portion 53 f ′ ′.

下側軸部53f´´は、基端部55fがプランジャホルダ59の内部空間に収容された状態において、プランジャホルダ59の開口縁部59aと係合可能な凹部56fを有している。下側軸部53f´´の基端部55fは、プランジャホルダ59に形成された係合溝59bと係合することで、プランジャホルダ59に対するプランジャ52fの抜け止めとして機能するよう構成されている。また、下側軸部53f´´の凹部56fは、プランジャホルダ59の開口縁部59aと係合することで、プランジャホルダ59に対するプランジャ52fの回り止めとして機能するよう構成されている。歪ゲージ22は、下側軸部53f´´の基端部55fと凹部56fとの間に配されている。すなわち、プランジャホルダ59の内部空間内に収容されている。   The lower side shaft portion 53 f ′ ′ has a recess 56 f that can be engaged with the opening edge portion 59 a of the plunger holder 59 in a state where the base end 55 f is accommodated in the internal space of the plunger holder 59. The base end 55 f of the lower side shaft 53 f ′ ′ is configured to function as a retainer for the plunger 52 f with respect to the plunger holder 59 by engaging with an engagement groove 59 b formed in the plunger holder 59. Further, the recess 56 f of the lower side shaft portion 53 f ′ ′ is configured to function as a rotation stopper of the plunger 52 f with respect to the plunger holder 59 by engaging with the opening edge 59 a of the plunger holder 59. The strain gauge 22 is disposed between the base end 55 f of the lower shaft 53 f ′ ′ and the recess 56 f. That is, it is accommodated in the internal space of the plunger holder 59.

第6実施形態に係るプランジャ52fは、このように、プランジャロッド部53fの上側軸部53f´が下側軸部53f´´に対して着脱可能に構成されているため、摩耗等によりプランジャチップ部54fの交換が必要となった場合に、下側軸部53f´´をプランジャホルダ59に装着させたまま上側軸部53f´を取り外すだけで、プランジャチップ部54fの交換を行うことが可能となる。また、歪ゲージ22が回り止め(下側軸部53f´´の凹部56f)よりも下方側の部位(プランジャホルダ59の内部空間内の部位)に配されることにより、下側軸部53f´´から上側軸部53f´を取り外す際の回転トルクが歪ゲージ22に作用することが無く、これにより、歪ゲージ22の破損を防止することができる。   In the plunger 52f according to the sixth embodiment, as described above, the upper shaft 53f 'of the plunger rod 53f is configured to be detachable from the lower shaft 53f', so that the plunger tip is worn due to wear and the like. When 54f needs to be replaced, it is possible to replace the plunger tip 54f simply by removing the upper shaft 53f 'with the lower shaft 53f' 'attached to the plunger holder 59. . Further, the strain gauge 22 is disposed at a portion (portion in the internal space of the plunger holder 59) on the lower side than the rotation stopper (the recess 56f of the lower shaft portion 53f ′ ′), the lower shaft portion 53f ′. The rotational torque at the time of removing upper axial part 53f 'from' does not act on strain gauge 22, and, thereby, breakage of strain gauge 22 can be prevented.

なお、図9では、単に下側軸部53f´´の周面に4枚の歪ゲージ22が貼り付けられる構成を例示したが、これに限定されず、例えば第2〜第5実施形態に係るプランジャ52b〜52eと同様の方法により、歪ゲージ22が配された領域の剛性が他の領域の剛性よりも低くなるよう構成されても良い。
[第7実施形態]
最後に、第7実施形態に係る樹脂封止装置(樹脂成形装置)について、図10を用いて説明する。なお、第7実施形態に係る樹脂封止装置においても、第1実施形態に係る樹脂封止装置10と異なる構成は、プランジャ52gのみであるため、プランジャ52gの構成のみを説明し、その他の構成については説明を省略する。
Although FIG. 9 illustrates a configuration in which four strain gauges 22 are simply attached to the circumferential surface of the lower shaft portion 53f ′ ′, the present invention is not limited thereto, and, for example, according to the second to fifth embodiments. The rigidity of the area where the strain gauges 22 are disposed may be configured to be lower than the rigidity of the other areas in the same manner as the plungers 52b to 52e.
Seventh Embodiment
Finally, a resin sealing apparatus (resin molding apparatus) according to a seventh embodiment will be described with reference to FIG. In the resin sealing device according to the seventh embodiment, only the configuration of the plunger 52g is different from the resin sealing device 10 according to the first embodiment, so only the configuration of the plunger 52g will be described, and other configurations The explanation is omitted.

第7実施形態に係るプランジャ52gは、図10に示すように、棒状に形成されたプランジャロッド部53gと、プランジャロッド部53gの先端部に配されたプランジャチップ部54gと、プランジャロッド部53gの軸方向に作用する応力を測定可能に構成された樹脂圧測定機構90と、プランジャロッド部53gの軸方向に作用する応力を樹脂圧測定機構90に伝達する伝達部材92とを備えている。   As shown in FIG. 10, the plunger 52g according to the seventh embodiment includes a plunger rod portion 53g formed in a rod shape, a plunger tip portion 54g disposed at the tip end of the plunger rod portion 53g, and a plunger rod portion 53g. The resin pressure measuring mechanism 90 is configured to measure the stress acting in the axial direction, and the transmission member 92 transmits the stress acting in the axial direction of the plunger rod portion 53g to the resin pressure measuring mechanism 90.

樹脂圧測定機構90は、上述した離型力測定機構80と同様に、荷重に比例して変形する起歪体と、起歪体の4つの肉薄部にそれぞれ貼り付けられ、該起歪体の変形量を検出する歪ゲージ(図示せず)とを備える所謂ロバーバル型ロードセルである。これら4つの歪ゲージは、それぞれ、測定対象物(起歪体)の歪み(伸縮)に応じて電気抵抗が変化するよう構成されており、ホイートストンブリッジ回路(図示せず)を構成するよう互いに接続されている。樹脂圧測定機構90の起歪体は、可動側端部が伝達部材92の下端部92cに連結されており、固定側端部がプランジャホルダ59の上面に垂直に固定されている。   The resin pressure measuring mechanism 90 is attached to each of the thin-walled portions of the strain-generating body, which deforms in proportion to the load, and the four thin-walled portions of the strain-generating body, as in the release force measuring mechanism 80 described above. It is a so-called Roberval-type load cell provided with a strain gauge (not shown) for detecting the amount of deformation. Each of these four strain gauges is configured such that the electrical resistance changes in accordance with the strain (extension or contraction) of the object to be measured (the strain generating body), and they are connected to one another to constitute a Wheatstone bridge circuit (not shown) It is done. The movable side end of the strain body of the resin pressure measuring mechanism 90 is connected to the lower end 92 c of the transmission member 92, and the fixed side end is vertically fixed to the upper surface of the plunger holder 59.

伝達部材92は、プランジャロッド部53gの先端部に連結された上端部92bと、起歪体の可動側端部に連結された下端部92cと、これら上端部92bと下端部92cとの間をプランジャロッド部53gと平行に延びる連結部92aとを備えている。   The transmission member 92 has an upper end 92b connected to the tip end of the plunger rod 53g, a lower end 92c connected to the movable end of the strain generating body, and a space between the upper end 92b and the lower end 92c. And a connecting portion 92a extending in parallel with the plunger rod portion 53g.

以上の構成を備える樹脂圧測定機構90は、樹脂注入時におけるプランジャロッド部53gの変形が伝達部材92を介して起歪体に伝達され、該起歪体の変形量を歪ゲージにより検出することで、プランジャロッド部53g及び伝達部材92を介して起歪体に付加された荷重、すなわち、樹脂注入時の樹脂圧を測定するよう構成されている。また、樹脂圧測定機構90は、樹脂注入時の樹脂圧に異常が生じた場合には、種々の報知手段を介して異常を報知するよう構成されている。   In the resin pressure measuring mechanism 90 having the above configuration, the deformation of the plunger rod portion 53g at the time of resin injection is transmitted to the straining body through the transmission member 92, and the amount of deformation of the straining body is detected by the strain gauge. The load applied to the strain generating body through the plunger rod portion 53g and the transmission member 92, that is, the resin pressure at the time of resin injection is measured. Further, the resin pressure measuring mechanism 90 is configured to notify an abnormality through various notification means when an abnormality occurs in the resin pressure at the time of resin injection.

第7実施形態に係る樹脂封止装置では、プランジャロッド部53gと平行に延びる伝達部材92を介して樹脂圧測定機構90により樹脂圧を測定するよう構成されているため、第1〜第6実施形態に係る樹脂封止装置と比較して、プランジャロッド部53gの変位量を大きくとることが可能となり、これにより、樹脂圧測定機構90による樹脂圧の測定精度(感度)を高めることが可能となる。   In the resin sealing device according to the seventh embodiment, the resin pressure is measured by the resin pressure measuring mechanism 90 through the transmission member 92 extending in parallel to the plunger rod portion 53g, so the first to sixth embodiments are implemented. The displacement amount of the plunger rod portion 53g can be made larger than that of the resin sealing device according to the embodiment, which makes it possible to increase the measurement accuracy (sensitivity) of the resin pressure by the resin pressure measurement mechanism 90. Become.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上述した実施形態に記載の範囲には限定されない。上記各実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above-described embodiment. It is possible to add various change or improvement to each above-mentioned embodiment.

例えば、上述した実施形態では、樹脂成形装置が樹脂封止成形を行う樹脂封止装置であるものとして説明したが、これに限定されず、例えば射出形成装置であるとしても良い。   For example, in the above-described embodiment, the resin molding apparatus is described as a resin sealing apparatus that performs resin sealing molding, but is not limited to this, and may be, for example, an injection forming apparatus.

また、上述した実施形態では、歪ゲージ22が4枚貼り付けられるものとして説明したが、これに限定されるものではなく、プランジャロッド部53a〜53gの軸方向に作用する応力を測定可能な構成であれば、種々の構成を採用することが可能である。例えば、歪ゲージ22を3枚のみ貼り付け、ホイートストンブリッジ回路の余った端子に標準抵抗を繋げる構成としても良い。   In the embodiment described above, four strain gauges 22 are described as being attached, but the present invention is not limited to this, and a configuration capable of measuring the stress acting in the axial direction of plunger rod portions 53a to 53g. If it is, it is possible to adopt various composition. For example, only three strain gauges 22 may be attached, and a standard resistance may be connected to the remaining terminal of the Wheatstone bridge circuit.

さらに、上述した実施形態では、複数のプランジャ52a〜52gが1つのプランジャホルダ59に支持された一体駆動型の構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、1つのプランジャホルダ59と各プランジャ52a〜52gとの間に独立駆動可能なアクチュエータをそれぞれ介在させ、プランジャホルダ59の昇降によって一体駆動させた後に、各アクチュエータを独立駆動させて各プランジャ52a〜52gによる加圧力を微調整可能としたハイブリッド駆動型の駆動手段としても良い。また、プランジャ52a〜52g毎にプランジャホルダ59と駆動手段とを設け、複数のプランジャ52a〜52gを互いに独立して動作させる独立駆動型の構成としても良い。独立駆動型又はハイブリッド駆動型の駆動手段の場合には、歪ゲージ22により測定した樹脂圧に基づいて、プランジャ52a〜52g単位でフィードバック制御を実行することが可能となる。   Furthermore, in the embodiment described above, although the configuration of the integral drive type in which the plurality of plungers 52a to 52g are supported by one plunger holder 59 has been described as an example, the present invention is not limited thereto. For example, an actuator capable of independently driving is interposed between one plunger holder 59 and each of the plungers 52a to 52g, and after being integrally driven by raising and lowering the plunger holder 59, each actuator is independently driven to operate each plunger 52a to It may be a hybrid drive type drive means capable of finely adjusting the pressure of 52 g. In addition, a plunger holder 59 and a drive unit may be provided for each of the plungers 52a to 52g, and the plurality of plungers 52a to 52g may be configured to operate independently of each other. In the case of an independent drive type or a hybrid drive type drive means, based on the resin pressure measured by the strain gauge 22, it is possible to execute feedback control in units of plungers 52a to 52g.

上記のような変形例が本発明の範囲に含まれることは、特許請求の範囲の記載から明らかである。   It is apparent from the description of the claims that the above-mentioned modifications fall within the scope of the present invention.

10 樹脂封止装置(樹脂成形装置)、22 歪ゲージ、52a〜52g プランジャ(樹脂成形装置用プランジャ)、53a〜53g プランジャロッド部、54a〜54g プランジャチップ部、59 プランジャホルダ   10 resin sealing device (resin molding device), 22 strain gauge, 52a to 52g plunger (plunger for resin molding device), 53a to 53g plunger rod portion, 54a to 54g plunger tip portion, 59 plunger holder

Claims (8)

棒状に形成されたプランジャロッド部と、該プランジャロッド部の先端部に配され、樹脂材料を押圧可能に構成されたプランジャチップ部とを備える樹脂成形装置用プランジャであって、
前記プランジャロッド部の周面に配され、該プランジャロッド部の軸方向に作用する応力を測定可能に構成された歪ゲージを更に備える
ことを特徴とする樹脂成形装置用プランジャ。
A plunger for a resin molding device, comprising: a plunger rod portion formed in a rod shape; and a plunger tip portion disposed at a tip end portion of the plunger rod portion and configured to be capable of pressing a resin material,
A plunger for a resin molding device, further comprising: a strain gauge disposed on a circumferential surface of the plunger rod portion and configured to measure a stress acting in an axial direction of the plunger rod portion.
前記プランジャロッド部は、前記歪ゲージが配された領域の剛性が、他の領域の剛性よりも低くなるよう構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の樹脂成形装置用プランジャ。
The said plunger rod part is comprised so that the rigidity of the area | region where the said strain gauge was distribute | arranged may become lower than the rigidity of other area | regions. The plunger for resin molding apparatuses of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
前記プランジャロッド部における前記歪ゲージが配された領域は、他の領域よりも細い
ことを特徴とする請求項2に記載の樹脂成形装置用プランジャ。
The region of the plunger rod portion in which the strain gauges are arranged is thinner than the other regions.
前記プランジャロッド部における前記歪ゲージが配された領域は、他の領域よりも肉薄に形成されている
ことを特徴とする請求項2に記載の樹脂成形装置用プランジャ。
The area | region where the said strain gauge in the said plunger rod part was distribute | arranged is thinly formed rather than the other area | region. The plunger for resin molding apparatuses of Claim 2 characterized by the above-mentioned.
前記プランジャロッド部は、軸方向と交差する方向に貫通する貫通孔を有し、該貫通孔と整合する該プランジャロッド部の肉薄部位に前記歪ゲージが配されている
ことを特徴とする請求項2に記載の樹脂成形装置用プランジャ。
The plunger rod portion has a through hole penetrating in a direction intersecting the axial direction, and the strain gauge is disposed at a thin portion of the plunger rod portion aligned with the through hole. The plunger for resin molding devices as described in 2.
前記プランジャロッド部における前記歪ゲージが配された領域は、他の領域よりも剛性の低い素材により形成されている
ことを特徴とする請求項2〜5いずれか1項に記載の樹脂成形装置用プランジャ。
The resin molding apparatus according to any one of claims 2 to 5, wherein a region of the plunger rod portion in which the strain gauges are arranged is formed of a material having a rigidity lower than that of the other regions. Plunger.
請求項1〜6いずれか1項に記載の樹脂成形装置用プランジャと、
前記樹脂成形装置用プランジャを複数並べて保持するプランジャホルダと
を備えることを特徴とする樹脂成形装置。
A plunger for a resin molding device according to any one of claims 1 to 6,
And a plunger holder configured to hold a plurality of the resin molding device plungers side by side.
前記プランジャロッド部は、前記プランジャチップ部に接続される上側軸部と、前記プランジャホルダに支持される下側軸部とを備え、
前記上側軸部は、前記下側軸部に着脱可能に構成されており、
前記プランジャホルダは、前記下側軸部の基端部を収容可能な内部空間と、該下側軸部が挿通可能な開口とを有しており、
前記下側軸部は、前記基端部が前記プランジャホルダの前記内部空間に収容された状態において、該プランジャホルダの前記開口の縁部と係合可能な凹部を有しており、
前記歪ゲージは、前記下側軸部の前記基端部と前記凹部との間に配されている
ことを特徴とする請求項7に記載の樹脂成形装置。
The plunger rod portion includes an upper shaft portion connected to the plunger tip portion, and a lower shaft portion supported by the plunger holder,
The upper shaft portion is configured to be removable from the lower shaft portion,
The plunger holder has an internal space capable of accommodating the proximal end of the lower shaft, and an opening through which the lower shaft can be inserted.
The lower shaft has a recess engageable with an edge of the opening of the plunger holder in a state in which the base end is accommodated in the inner space of the plunger holder,
The resin molding apparatus according to claim 7, wherein the strain gauge is disposed between the proximal end portion of the lower shaft portion and the recess.
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