JP2019072736A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工用レーザ光が照射されている加工対象物の温度を正確にモニタできるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。【解決手段】加工対象物2を加工するレーザ加工装置であって、加工用レーザ光L1を出力するレーザ光出力装置10と、加工用レーザ光L1を照射された状態の加工対象物2から発生する散乱光L2をリアルタイムで解析して、加工対象物2の温度を検出する検出器60とを備え、加工用レーザ光L1の中心波長が、加工対象物2の温度の上昇に起因して変動したときの散乱光L2の熱輻射スペクトルのピーク波長と一定の波長差を有するように設定されている。【選択図】図1
Description
本発明は、加工対象物の温度をモニタしながら加工するレーザ加工装置及びレーザ加工方法に関する。
加工対象物を非接触で加工できることや機械加工では難しい複雑な形状に加工できることから、レーザ光を使用したレーザ加工が材料の切断、穴あけ、溶接などに用いられている。
レーザ加工では、加工対象物の破損の防止などを目的として、加工対象物の状態がモニタされる。例えば、加工用レーザ光が照射されている加工対象物の温度をモニタする(例えば、特許文献1参照。)。特許文献1には、加工用レーザ光からのノイズ光が熱輻射される光に混入しないように、熱輻射される光の波長と同じ波長の光を加工用レーザ光からフィルタによって取り除いておく技術が開示されている。
しかしながら、レーザ加工によって加工対象物の温度が上昇するにしたがって、熱輻射スペクトルのピーク波長は短波長側にシフトする。このため、加工用レーザ光の中心波長と熱輻射スペクトルが重なることがある。更に、その場合には、特許文献1に記載の技術では、加工用レーザ光から取り除かれる光とともに熱輻射される光がフィルタによって取り除かれる。このため、加工対象物の正確な温度を測定できない。
上記問題に鑑み、本発明は、加工用レーザ光が照射されている加工対象物の温度を正確にモニタできるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様によれば、加工対象物を加工するレーザ加工装置であって、加工用レーザ光を出力するレーザ光出力装置と、加工用レーザ光を照射された状態の加工対象物から発生する散乱光をリアルタイムで解析して、加工対象物の温度を検出する検出器とを備え、加工用レーザ光の中心波長が、加工対象物の温度の上昇に起因して変動したときの散乱光の熱輻射スペクトルのピーク波長と一定の波長差を有するように設定されていることを特徴とするレーザ加工装置が提供される。
本発明の他の態様によれば、加工対象物を加工するレーザ加工方法であって、加工用レーザ光を加工対象物に照射するステップと、加工用レーザ光を照射された状態の加工対象物から発生する散乱光をリアルタイムで解析して、加工対象物の温度を検出するステップとを含み、加工用レーザ光の中心波長が、加工対象物の温度の上昇に起因して変動したときの散乱光の熱輻射スペクトルのピーク波長と一定の波長差を有するように設定されているレーザ加工方法が提供される。
本発明によれば、加工用レーザ光が照射されている加工対象物の温度を正確にモニタできるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供できる。
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであることに留意すべきである。また、以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の構造、配置などを下記のものに特定するものでない。この発明の実施形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
図1に示す本発明の実施形態に係るレーザ加工装置は、加工対象物2を加工するレーザ加工装置である。このレーザ加工装置は、図1に示すように、加工用レーザ光L1を出力するレーザ光出力装置10と、加工用レーザ光L1を照射された状態の加工対象物2から発生する散乱光L2をリアルタイムで解析して、加工対象物2の温度を検出する検出器60とを備える。検出器60は、熱輻射を含む散乱光L2の熱輻射スペクトルを解析して、加工対象物2の温度を検出する。なお、加工用レーザ光L1の中心波長は、加工対象物2の温度の上昇に起因して変動したときの散乱光L2の熱輻射スペクトルのピーク波長と、一定の波長差を有するように設定されている。
レーザ光出力装置10は、例えば図2に示すように、複数のレーザ光源11と、レーザ光源11からそれぞれ出射される複数のビームLbが入射する結合レンズ13と、結合レンズ13によって複数のビームLbと結合される光導波路14とを備える。
レーザ光源11は半導体レーザなどであり、光導波路14は、例えば光ファイバである。図2に示したレーザ光出力装置10は、レーザ光源11からそれぞれ出射されたビームLbが光導波路14に結合するファイバ結合型である。光導波路14から、加工用レーザ光L1が出力される。
なお、レーザ光源11から出射されるビームLbをそれぞれコリメートしてから、結合レンズ13に入射させてもよい。図2には、レーザ光源11のそれぞれに対応して配置された光源用コリメートレンズ12によってビームLbをコリメートする場合を示した。
レーザ光出力装置10から出力された加工用レーザ光L1は、レーザ光用コリメートレンズ20によってコリメートされた後、光路変更手段30によって光路を変更される。光路を変更された加工用レーザ光L1は、フォーカスレンズ40によって集光されて加工対象物2に照射される。これにより、加工対象物2のレーザ加工が行われる。
加工用レーザ光L1が加工対象物2に照射されることにより、加工対象物2で散乱光L2が発生する。散乱光L2は、図1に示すように、光路変更手段30を透過した後、モニタ用レンズ50に入射する。そして、モニタ用レンズ50によって集光された散乱光L2が検出器60に入射する。
なお、光路変更手段30には種々の構成を使用可能である。例えば、ダイクロイックミラーやプリズム、ビームスプリッタなどを使用して光路変更手段30が構成される。
レーザ光出力装置10からの加工用レーザ光L1の出力は、レーザコントローラ70によって制御される。例えば、レーザ光源11を駆動する駆動電流の供給やレーザ光源11の温度を、レーザコントローラ70が設定する。そして、制御装置80によってレーザコントローラ70を制御することにより、加工対象物2に照射される加工用レーザ光L1のパワーや照射時間が制御される。即ち、制御装置80から、レーザ光出力装置10に供給される駆動電流の大きさやオン・オフ動作を制御するレーザ制御信号RCがレーザコントローラ70に送信される。レーザコントローラ70は、レーザ制御信号RCに従って、レーザ光出力装置10の動作を制御する。
また、検出器60は、散乱光L2を解析して得られた加工対象物2の温度データDtを、制御装置80に送信する。制御装置80は、加工対象物2の温度を所定の上限温度と比較する。そして、加工対象物2の温度が所定の上限温度を超えた場合に、制御装置80がレーザコントローラ70を制御して、加工対象物2に照射される加工用レーザ光L1のエネルギーを抑制する。
即ち、加工対象物2の温度が上限温度以下であれば、加工対象物2のレーザ加工をそのまま継続する。一方、加工対象物2の温度が上限温度を超えていれば、制御装置80は、例えば加工用レーザ光L1のパワーを小さくしたり照射時間を短縮したりするレーザ制御信号RCを、レーザコントローラ70に送信する。
上記のように、加工用レーザ光L1が照射されている状態での加工対象物2の温度と所定の上限温度とを比較して、制御装置80がレーザコントローラ70を制御する。この上限温度は、例えばレーザ加工において加工対象物2に許容される最高温度であり、レーザ加工に不具合が生じないように設定されている。例えば、加工対象物2を半田付けする場合に、周囲の部材が熱によって溶けない温度に上限温度を設定する。また、加工対象物2を切断する場合に意図しない部分が破損しないように、上限温度が設定される。
ところで、図3に示すように、散乱光L2の熱輻射スペクトルにおける放射エネルギー密度が最大であるピーク波長λpは、加工対象物2の温度Tが上昇するほど、短波長側にシフトする。即ち、温度Tが1300Kから1800Kに上昇するに従い、熱輻射スペクトルのピーク波長λpが加工用レーザ光L1の中心波長λcに近づいている。
例えば、図3に示すように加工用レーザ光L1の中心波長λcを810nm程度に設定すると、加工対象物2の温度Tが上昇した場合に、加工用レーザ光L1の中心波長λcと重なる波長での熱輻射スペクトルの放射エネルギー密度が大きくなる。この場合には、加工用レーザ光L1からのノイズ光が熱輻射される光に混入し、加工対象物2の温度を正確にモニタできない。
このため、図1に示したレーザ加工装置では、加工用レーザ光L1の中心波長λcが、加工対象物2の温度の上昇に起因して変動したときの散乱光L2の熱輻射スペクトルのピーク波長λpと一定の波長差を有するように設定されている。これにより、加工用レーザ光L1からのノイズ光が熱輻射される光に混入することが抑制される。
レーザ加工において加工対象物2に許容される上限温度において、熱輻射スペクトルのピーク波長λpが中心波長λcに最も近づく。このため、波長差Δλは、上限温度に応じて設定されることが好ましい。
即ち、図4に示すように、波長差Δλを、加工対象物2の温度が上限温度に達したときの散乱光L2の熱輻射スペクトルのピーク波長λpmと、加工用レーザ光L1の中心波長λcとの差として設定する。波長差Δλは、加工用レーザ光L1の中心波長λcと、散乱光L2の熱輻射スペクトルとを区別できる大きさに設定される。
ここで、波長差Δλが50nm程度では、熱輻射スペクトルのすそ部分に中心波長λcが重なり、ノイズ光が熱輻射される光に混入すると考えられる。また、半導体レーザをレーザ光出力装置10に使用した場合、中心波長λcの幅は数nm程度と考えられる。そして、中心波長λcは十数nmの範囲で揺らぐ。このため、波長差Δλは100nm以上であることが好ましい。
加工対象物2の正確な温度をモニタするためには、波長差Δλは大きいほうが好ましい。しかし、熱輻射スペクトルのピーク波長λpを短波長側にシフトさせないために上限温度を低くすると、レーザ加工に要する時間が長くなる、或いは十分な加工ができない、などの不具合が生じる。このため、波長差Δλを200nm〜300nm程度とすることが好ましい。
なお、波長差Δλを大きくするために加工用レーザ光L1の中心波長λcを短くすることが考えられる。しかし、中心波長λcが紫外線領域の220nm〜390nm程度の短波長であるレーザ光を用いたレーザ加工では、熱による加工ではなく、レーザアブレーションといった非熱加工が優勢になる。この場合、加工対象物2に熱が蓄積しないため、熱輻射スペクトルを測定することが困難である。一方、中心波長λcを長くすると、上限温度を低くしなければならない。
このため、加工用レーザ光L1の中心波長λcは、400nm〜500nmの範囲に含まれることが好ましい。ただし、非熱加工が優勢になる中心波長λcは加工対象物2の材質などにも依存するため、熱輻射スペクトルを測定できる範囲で中心波長λcを400nmより短波長にしてもよい。そして、散乱光L2の熱輻射スペクトルのピーク波長λpmと加工用レーザ光L1の中心波長λcとの波長差Δλを100nm以上、例えば200nm〜300nmになるように、中心波長λcや上限温度を設定する。これにより、散乱光L2の熱輻射される光に加工用レーザ光L1に起因するノイズ光が混入することが抑制される。その結果、加工対象物2の正確な温度をモニタできる。
なお、図1に示したレーザ加工装置では、加工対象物2がステージ90に搭載される。ステージ90は、搭載した加工対象物2を移動させる移動機構を有し、この移動機構はステージコントローラ100によって制御される。制御装置80は、ステージ90の移動量や移動速度などを設定するステージ制御信号SCを、ステージコントローラ100に送信する。ステージコントローラ100は、ステージ制御信号SCに従って、ステージ90を移動させる。これにより、加工対象物2の所定の位置に焦点を合わせて加工用レーザ光L1を照射することができる。
以下に、図5を参照して、図1に示したレーザ加工装置によって加工対象物2を加工するレーザ加工方法を説明する。
まず、図5のステップS1において、加工用レーザ光L1を加工対象物2に照射する。そして、ステップS2において、レーザ加工が終了した場合には処理を終了する。
レーザ加工が終了していない場合には、ステップS3において、加工用レーザ光L1を照射された状態の加工対象物2から発生する散乱光L2を検出器60によって解析し、加工対象物2の温度をリアルタイムで検出する。検出器60は、熱輻射を含む散乱光L2の熱輻射スペクトルを解析して、加工用レーザ光L1が照射された状態の加工対象物2の温度を検出する。
そして、ステップS4において、検出器60から送信される加工対象物2の温度データDtを用いて、制御装置80によって加工対象物2の温度と上限温度とが比較される。加工対象物2の温度が上限温度以下であれば、ステップS1に戻って、加工対象物2のレーザ加工をそのまま継続する。
一方、ステップS4において加工対象物2の温度が上限温度を超えていれば、ステップS5において、制御装置80がレーザコントローラ70を制御して、加工用レーザ光L1により加工対象物2に照射されるエネルギーを抑制する。例えば、加工用レーザ光L1のパワーを小さくしたり照射時間を短縮したりして、レーザ加工を継続する。或いは、レーザ光出力装置10のレーザ出力を停止させ、レーザ加工を中止する。
以上に説明したように、図1に示したレーザ加工装置を使用したレーザ加工方法では、加工用レーザ光L1の中心波長λcが、散乱光L2の熱輻射スペクトルのピーク波長λpと一定の波長差Δλを有するように設定されている。このため、散乱光L2の熱輻射される光にノイズ光が混入することが抑制され、加工対象物2の温度を正確にモニタできる。
したがって、図1に示したレーザ加工装置によれば、加工対象物2を破損することなく、所定のレーザ加工を実施することができる。
したがって、図1に示したレーザ加工装置によれば、加工対象物2を破損することなく、所定のレーザ加工を実施することができる。
(その他の実施形態)
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
例えば、上記では、レーザ光出力装置10が複数のレーザ光源11で構成される例を示したが、単一のレーザ光源11をレーザ光出力装置10に使用してもよい。また、レーザ光源11から出射されるビームLbを光源用コリメートレンズ12によってコリメートする例を示したが、レーザ光源11からコリメート光のビームLbが出射される場合などは、光源用コリメートレンズ12を使用しなくてもよい。
また、レーザ光出力装置10がファイバ結合型である例を示したが、光導波路14を経由せずに加工用レーザ光L1を出力するレーザ光出力装置10を使用してもよい。
なお、レーザ加工において想定される加工対象物2の最高温度が、加工対象物2に許容される上限温度よりも低い場合もある。その場合に、想定される加工対象物2の最高温度における熱輻射スペクトルのピーク波長λpとの差が波長差Δλよりも大きくなるように、加工用レーザ光L1の中心波長λcを設定してもよい。
また、散乱光L2の熱輻射スペクトルを解析して加工対象物2の温度を検出する例を説明したが、散乱光L2からラマン散乱光を抽出して加工対象物2の温度を検出してもよい。
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことはもちろんである。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
10…レーザ光出力装置
20…レーザ光用コリメートレンズ
30…光路変更手段
40…フォーカスレンズ
50…モニタ用レンズ
60…検出器
70…レーザコントローラ
80…制御装置
90…ステージ
100…ステージコントローラ
L1…加工用レーザ光
L2…散乱光
20…レーザ光用コリメートレンズ
30…光路変更手段
40…フォーカスレンズ
50…モニタ用レンズ
60…検出器
70…レーザコントローラ
80…制御装置
90…ステージ
100…ステージコントローラ
L1…加工用レーザ光
L2…散乱光
Claims (11)
- 加工対象物を加工するレーザ加工装置であって、
加工用レーザ光を出力するレーザ光出力装置と、
前記加工用レーザ光を照射された状態の前記加工対象物から発生する散乱光をリアルタイムで解析して、前記加工対象物の温度を検出する検出器と
を備え、
前記加工用レーザ光の中心波長が、前記加工対象物の温度の上昇に起因して変動したときの前記散乱光の熱輻射スペクトルのピーク波長と一定の波長差を有するように設定されていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記検出器が、前記散乱光の熱輻射スペクトルを解析して前記加工対象物の温度を検出することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記加工用レーザ光の中心波長と前記熱輻射スペクトルのピーク波長との波長差が100nm以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記波長差が、レーザ加工において前記加工対象物に許容される最高温度における前記熱輻射スペクトルのピーク波長と前記加工用レーザ光の中心波長との差であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記加工用レーザ光の中心波長が400nm〜500nmの範囲に含まれることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ光出力装置からの前記加工用レーザ光の出力を制御するレーザコントローラと、
前記加工対象物の温度が所定の上限温度を超えた場合に、前記レーザコントローラを制御して、前記加工用レーザ光によって前記加工対象物に照射されるエネルギーを抑制させる制御装置と
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 加工対象物を加工するレーザ加工方法であって、
加工用レーザ光を前記加工対象物に照射するステップと、
前記加工用レーザ光を照射された状態の前記加工対象物から発生する散乱光をリアルタイムで解析して、前記加工対象物の温度を検出するステップと
を含み、
前記加工用レーザ光の中心波長が、前記加工対象物の温度の上昇に起因して変動したときの前記散乱光の熱輻射スペクトルのピーク波長と一定の波長差を有するように設定されていることを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記散乱光の熱輻射スペクトルを解析して前記加工対象物の温度を検出することを特徴とする請求項7に記載のレーザ加工方法。
- 前記加工用レーザ光の中心波長と前記熱輻射スペクトルのピーク波長との波長差を100nm以上に設定することを特徴とする請求項7又は8に記載のレーザ加工方法。
- 前記波長差が、レーザ加工において前記加工対象物に許容される最高温度における前記熱輻射スペクトルのピーク波長と前記加工用レーザ光の中心波長との差であることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。
- 前記加工用レーザ光の中心波長が400nm〜500nmの範囲に含まれることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。
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