JP2019057730A - Electromagnetic wave absorber - Google Patents

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一斗 山形
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雄希 武田
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Abstract

To provide an electromagnetic wave absorber which can be used for a radar having high solution, and which can sufficiently cope with the case of using a plurality of radars having different frequencies.SOLUTION: There is provided an electromagnetic wave absorber having a dielectric layer and a conductive layer provided on one surface of the dielectric layer, therein the thickness of the conductive layer is ranging from 20 nm to 100 μm, and the band width of a frequency band in which an electromagnetic wave absorption volume of the electromagnetic wave absorber is 20 dB or more is 2GHz or more in a frequency band of 60 to 90 GHz.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、電磁波障害を防止するための電磁波吸収体に関するものである。   The present invention relates to an electromagnetic wave absorber for preventing electromagnetic interference.

近年、電磁波を情報通信媒体とした利用が進んでいる。このような電磁波の利用としては、例えば、自動車の技術分野において、レーダにより障害物を検知して自動でブレーキをかけたり、周辺車両の速度や車間距離を測定して自車の速度や車間距離を制御したりする、衝突予防システムがある。衝突予防システム等が正常に動作するには、誤認防止のため、不要な電磁波(ノイズ)をできるだけ受信しないようにすることが重要である。したがって、これらのシステム等には、ノイズを吸収する電磁波吸収体が用いられることがある(例えば、特許文献1,2参照)。   In recent years, the use of electromagnetic waves as information communication media has progressed. Examples of the use of such electromagnetic waves include, for example, in the technical field of automobiles, obstacles are detected by radar and brakes are automatically applied, or the speed and distance between vehicles are measured by measuring the speed and distance between surrounding vehicles. There is a collision prevention system that controls. In order for a collision prevention system or the like to operate normally, it is important to avoid receiving unnecessary electromagnetic waves (noise) as much as possible in order to prevent misidentification. Therefore, an electromagnetic wave absorber that absorbs noise may be used in these systems and the like (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

そして、上記衝突予防システム等において、より高い検知性能を実現するため、レーダ自体の性能が向上しており、従来の周波数(24GHz)よりも高い周波数(76.5GHz,79GHz)のレーダの利用が進められているため、高周波帯域においてノイズを高吸収する電磁波吸収体が求められている。また、レーダの分解能を向上させるため、使用周波数の広帯域化(76GHzの場合1GHz、79GHzの場合4GHz)も進んでおり、電磁波吸収体においても広帯域幅での吸収性能が求められている。しかし、特許文献1,2に示すように、従来の電磁波吸収体は、対象となる周波数近傍のごく限られた範囲にしか吸収能を発揮することができず、高い周波数帯域をカバーできないという問題がある。また、使用中の環境の変化や経時により、電磁波吸収体を構成する材料の特性が変化すると、それに応じて吸収することのできる周波数(吸収ピーク)も変動する可能性があり、設定した周波数において充分な吸収能を発揮できないことが懸念される。また、レーダの周波数が少しでも変動すると、吸収能を発揮できなくなるという問題もある。   In order to achieve higher detection performance in the collision prevention system and the like, the performance of the radar itself has been improved, and the use of radars with higher frequencies (76.5 GHz, 79 GHz) than the conventional frequencies (24 GHz). Because of the progress, there is a demand for an electromagnetic wave absorber that absorbs noise in a high frequency band. In addition, in order to improve the resolution of the radar, the use frequency is widened (1 GHz in the case of 76 GHz, 4 GHz in the case of 79 GHz), and the electromagnetic wave absorber is also required to have an absorption performance in a wide bandwidth. However, as shown in Patent Documents 1 and 2, conventional electromagnetic wave absorbers can only exhibit absorptivity only in a limited range near the target frequency, and cannot cover a high frequency band. There is. In addition, if the characteristics of the materials that make up the electromagnetic wave absorber change due to changes in the environment in use or over time, the frequency that can be absorbed (absorption peak) may also fluctuate accordingly. There is a concern that sufficient absorption capacity cannot be exhibited. There is also a problem that if the radar frequency fluctuates even a little, the absorption ability cannot be exhibited.

さらに、上記衝突予防システム等において、より一層の高い精度を実現するため、周波数の異なる複数のレーダが併用されることが考えられる。しかし、上記のとおり、通常、電磁波吸収体の吸収能は、対象とする周波数近傍のごく限られた範囲にしか発揮することができないため、周波数の異なるレーダごとに異なる電磁波吸収体を用意する必要があり、電磁波吸収体のコストが高くなるとともに、多数の電磁波吸収体を用いることにより総重量が重くなるという問題が生じる。   Further, in the collision prevention system or the like, it is conceivable that a plurality of radars having different frequencies are used in combination in order to achieve higher accuracy. However, as described above, the absorption capability of the electromagnetic wave absorber can usually be exhibited only in a very limited range near the target frequency, so it is necessary to prepare a different electromagnetic wave absorber for each radar having a different frequency. There is a problem that the cost of the electromagnetic wave absorber is increased and the total weight is increased by using a large number of electromagnetic wave absorbers.

特開平6−120689号公報Japanese Patent Laid-Open No. 6-120688 特開平10−13082号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-13082

本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、高い分解能を有するレーダに対して用いることができる、広帯域幅において優れた吸収能を有する電磁波吸収体を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an electromagnetic wave absorber having excellent absorption capability in a wide bandwidth that can be used for a radar having high resolution. .

上記の目的を達成するため、本発明は、以下の[1]および[2]を提供する。
[1]誘電体層と、上記誘電体層の一方の面に設けられる導電層とを有する電磁波吸収体であって、上記導電層の厚みが20nm〜100μmの範囲にあり、60〜90GHzの周波数帯域において、電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅が2GHz以上であることを特徴とする、電磁波吸収体。
[2]上記導電層のシート抵抗が、1.0×10-7〜100Ω/□の範囲に設定された、[1]に記載の電磁波吸収体。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following [1] and [2].
[1] An electromagnetic wave absorber having a dielectric layer and a conductive layer provided on one surface of the dielectric layer, wherein the conductive layer has a thickness in the range of 20 nm to 100 μm and a frequency of 60 to 90 GHz. An electromagnetic wave absorber characterized in that, in a band, a frequency band having an electromagnetic wave absorption amount of 20 dB or more has a bandwidth of 2 GHz or more.
[2] The electromagnetic wave absorber according to [1], wherein the sheet resistance of the conductive layer is set in a range of 1.0 × 10 −7 to 100 Ω / □.

本発明者らは、分解能が向上したレーダの周波数とその波動の振幅との関係に着目し、これらのレーダに対応することのできる優れた吸収能を有する電磁波吸収体を得ることを目的として鋭意研究を行った。その結果、60〜90GHzの周波数帯域において、電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅を2GHz以上である電磁波吸収体とすることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明に到達するに至った。   The present inventors have paid attention to the relationship between the frequency of radar with improved resolution and the amplitude of the wave, and have earnestly aimed to obtain an electromagnetic wave absorber having excellent absorption capability that can cope with these radars. I did research. As a result, in the frequency band of 60 to 90 GHz, it is found that the above problem can be solved by using an electromagnetic wave absorber that has an electromagnetic wave absorption amount of 20 dB or more and an electromagnetic wave absorber of 2 GHz or more, and the present invention is achieved. It came to.

本発明の電磁波吸収体は、60〜90GHzの周波数帯域において、電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅が2GHz以上であり、広い周波数帯域においてノイズを排除することができる。   The electromagnetic wave absorber of the present invention has a frequency band with an electromagnetic wave absorption amount of 20 dB or more in the frequency band of 60 to 90 GHz and 2 GHz or more, and can eliminate noise in a wide frequency band.

本発明の実施の形態の一つである電磁波吸収体の断面図である。It is sectional drawing of the electromagnetic wave absorber which is one of embodiment of this invention. 図1に示す電磁波吸収体に粘着層を設けた場合を説明する図である。It is a figure explaining the case where the adhesion layer is provided in the electromagnetic wave absorber shown in FIG. (a),(b)はいずれも図1に示す電磁波吸収体の製法を説明する図である。(A), (b) is a figure explaining the manufacturing method of the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 本発明の他の実施の形態である電磁波吸収体の断面図である。It is sectional drawing of the electromagnetic wave absorber which is other embodiment of this invention. 図4に示す電磁波吸収体に粘着層を設けた場合を説明する図である。It is a figure explaining the case where the adhesion layer is provided in the electromagnetic wave absorber shown in FIG. (a)〜(f)はそれぞれ実施例1〜6の反射吸収量を測定し、周波数(GHz)と反射吸収量(dB)との関係を示したグラフ図である。(A)-(f) is the graph which measured the reflection absorption amount of Examples 1-6, respectively, and showed the relationship between a frequency (GHz) and reflection absorption amount (dB). (a)〜(f)はそれぞれ実施例7〜10および比較例1,2の反射吸収量を測定し、周波数(GHz)と反射吸収量(dB)との関係を示したグラフ図である。(A)-(f) is the graph which measured the reflective absorption amount of Examples 7-10 and Comparative Examples 1 and 2, respectively, and showed the relationship between a frequency (GHz) and reflective absorption amount (dB).

つぎに、本発明の実施の形態について詳しく説明する。ただし、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to this embodiment.

本発明の電磁波吸収体は、60〜90GHzの周波数帯域において、電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅を2GHz以上有しているものであり、好ましくは5GHz以上、より好ましくは10GHz以上有し、その上限は、通常、30GHzである。また、さらに好ましくは70〜85GHzの周波数帯域において2GHz以上、より好ましくは5GHz以上、さらに好ましくは10GHz以上有し、その上限は、通常、30GHzである。   The electromagnetic wave absorber of the present invention has a frequency band of 2 GHz or more, preferably 5 GHz or more, more preferably 10 GHz or more, in the frequency band of 60 to 90 GHz, in which the electromagnetic wave absorption is 20 dB or more. And the upper limit is usually 30 GHz. More preferably, it has 2 GHz or more in the frequency band of 70 to 85 GHz, more preferably 5 GHz or more, and still more preferably 10 GHz or more, and the upper limit is usually 30 GHz.

上記電磁波吸収量および電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅は、例えば、反射電力法、導波管法等によって測定することができる。本発明においては、キーコム社製 電波吸収体(電波吸収材料)・反射減衰量 測定装置LAF−26.5Bを用いて、JIS R 1679 (電波吸収体のミリ波帯における電波吸収特性測定方法)に準拠し、斜入射15°でサンプルに対して電磁波を照射して反射吸収量を測定し、電磁波吸収量としている。また、同測定において得られた反射吸収曲線より、反射吸収量が20dB以上となる周波数帯域を特定し、電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅としている。   The electromagnetic wave absorption amount and the bandwidth of the frequency band in which the electromagnetic wave absorption amount is 20 dB or more can be measured, for example, by a reflected power method, a waveguide method, or the like. In the present invention, a radio wave absorber (radio wave absorbing material) / reflection loss measuring device LAF-26.5B manufactured by Keycom Corporation is used for JIS R 1679 (radio wave absorption characteristic measuring method in millimeter wave band of radio wave absorber). In conformity, the sample was irradiated with electromagnetic waves at an oblique incidence of 15 °, and the amount of reflected absorption was measured to obtain the amount of electromagnetic wave absorption. Further, from the reflection / absorption curve obtained in the same measurement, the frequency band in which the reflection absorption amount is 20 dB or more is specified, and the bandwidth of the frequency band in which the electromagnetic wave absorption amount is 20 dB or more is set.

この構成によれば、高い周波数の電磁波、例えば、76〜81GHzの周波数帯域内にある特定の波長の電磁波を確実に排除することが可能になるため、より高い分解能を有するレーダとして、76〜81GHz近傍の周波数のものが採用された場合であっても、発生するノイズを確実に排除することができる。また、環境変化や経時的変化により、電磁波吸収体を構成する材料の特性に変化が生じ、吸収することのできる周波数(吸収ピーク)が変動した場合であっても、排除対象として設定されたレーダの周波数において充分な吸収能を発揮することができる。また、レーダの周波数が変動した場合であっても、充分な吸収能を発揮することができる。さらに、上記周波数近傍において周波数の異なる複数のレーダを用いた場合であっても、複数のレーダからのノイズを確実に排除することができる。このため、従来のように周波数の異なるレーダごとに異なる性能の電磁波吸収体を用いる必要がなくなり、低コストを実現することができる。   According to this configuration, high-frequency electromagnetic waves, for example, electromagnetic waves having a specific wavelength in the frequency band of 76 to 81 GHz can be surely eliminated. Therefore, as a radar having higher resolution, 76 to 81 GHz Even when a nearby frequency is adopted, the generated noise can be surely eliminated. In addition, even if the characteristics of the materials that make up the electromagnetic wave absorber change due to environmental changes or changes over time, and the frequency (absorption peak) that can be absorbed fluctuates, the radar set as an exclusion target It is possible to exhibit sufficient absorption ability at a frequency of. In addition, even when the radar frequency fluctuates, sufficient absorption capability can be exhibited. Furthermore, even when a plurality of radars having different frequencies in the vicinity of the frequency are used, noise from the plurality of radars can be reliably eliminated. For this reason, it is not necessary to use an electromagnetic wave absorber having different performance for each radar having different frequencies as in the prior art, and low cost can be realized.

本発明の電磁波吸収体は、磁性損失を利用する磁性電磁波吸収体、誘電損失を利用する誘電性電磁波吸収体、抵抗損失を利用する導電性電磁波吸収体およびλ/4型電磁波吸収体のいずれの方式の電磁波吸収体であってもよいが、とりわけ耐久性、軽量性、薄膜化が容易である点でλ/4型電磁波吸収体が好ましく、加工性に優れる点で磁性電磁波吸収体、誘電性電磁波吸収体が好ましい。   The electromagnetic wave absorber of the present invention is any of a magnetic electromagnetic wave absorber using magnetic loss, a dielectric electromagnetic wave absorber using dielectric loss, a conductive electromagnetic wave absorber using resistance loss, and a λ / 4 type electromagnetic wave absorber. Although a λ / 4 type electromagnetic wave absorber is preferable in terms of durability, light weight, and easy thinning, a magnetic electromagnetic wave absorber and dielectric property are excellent in terms of workability. An electromagnetic wave absorber is preferred.

上記λ/4型電磁波吸収体である本発明の電磁波吸収体としては、例えば、図1に示すように、抵抗層Aと、誘電体層Bと、導電層Cとをこの順で有し、上記抵抗層Aの外側と、導電層Cの外側に、それぞれ樹脂層D1,D2が設けられているものがあげられる。なお、図1において、各部分は模式的に示したものであり、実際の厚み、大きさ等とは異なっている(以下の図においても同じ)。また、抵抗層Aと、誘電体層Bと、導電層Cの構成で充分に効果を奏することができるため、樹脂層D1,D2は、任意に設けられた構成である。 As the electromagnetic wave absorber of the present invention which is the λ / 4 type electromagnetic wave absorber, for example, as shown in FIG. 1, it has a resistance layer A, a dielectric layer B, and a conductive layer C in this order, Examples include resin layers D 1 and D 2 provided on the outside of the resistance layer A and the outside of the conductive layer C, respectively. In addition, in FIG. 1, each part is shown typically and is different from the actual thickness, size, etc. (the same applies to the following figures). Further, since the resistance layer A, the dielectric layer B, and the conductive layer C can be sufficiently effective, the resin layers D 1 and D 2 are arbitrarily provided.

上記抵抗層Aは、電磁波吸収体内部へ電磁波を透過させることが求められるため、空気に近い比誘電率を有していることが好ましく、通常、酸化インジウムスズ(以下「ITO」とする)が用いられる。なかでも、非晶質構造が極めて安定であり、高温多湿の環境下においても抵抗層Aのシート抵抗の変動を抑えることができる点から、20〜40重量%のSnO2、より好ましくは25〜35重量%のSnO2を含有するITOを主成分とするものが好ましく用いられる。なお、本発明において「主成分とする」とは、その材料の特性に影響を与える成分の意味であり、その成分の含有量は、通常、材料全体の50質量%以上であり、当然、その成分のみからなるものも含まれる。 Since the resistance layer A is required to transmit electromagnetic waves to the inside of the electromagnetic wave absorber, it preferably has a relative dielectric constant close to air. Usually, indium tin oxide (hereinafter referred to as “ITO”) is used. Used. Among these, from 20 to 40% by weight of SnO 2 , more preferably from 25 to 40% by weight, since the amorphous structure is extremely stable and fluctuations in sheet resistance of the resistance layer A can be suppressed even in a high-temperature and high-humidity environment. Those mainly composed of ITO containing 35% by weight of SnO 2 are preferably used. In the present invention, “main component” means a component that affects the characteristics of the material, and the content of the component is usually 50% by mass or more of the whole material, and naturally What consists only of an ingredient is also included.

また、抵抗層Aのシート抵抗は320〜500Ω/□の範囲に設定されることが好ましく、より好ましくは360〜450Ω/□の範囲である。抵抗層Aのシート抵抗が上記範囲内であると、ミリ波レーダや準ミリ波レーダとして汎用される波長(周波)の電磁波を選択的に吸収しやすくなるためである。   The sheet resistance of the resistance layer A is preferably set in the range of 320 to 500 Ω / □, more preferably in the range of 360 to 450 Ω / □. This is because when the sheet resistance of the resistance layer A is within the above range, it is easy to selectively absorb electromagnetic waves having a wavelength (frequency) that is widely used as a millimeter wave radar or a quasi-millimeter wave radar.

そして、抵抗層Aの厚みは、15〜100nmの範囲であることが好ましく、25〜50nmの範囲であることがより好ましい。厚みが厚すぎても、逆に薄すぎても、経時的あるいは環境的変化が加えられた際の、シート抵抗値の信頼性が低下する傾向がみられるためである。   The thickness of the resistance layer A is preferably in the range of 15 to 100 nm, and more preferably in the range of 25 to 50 nm. This is because, when the thickness is too thick or conversely too thin, there is a tendency that the reliability of the sheet resistance value is lowered when a change with time or an environmental change is applied.

上記誘電体層Bは、吸収の対象とする電磁波の波長に合わせ、所定の比誘電率を有する樹脂組成物を、硬化後に所定の厚みとなるように形成し、硬化させることによって得られるものである。上記樹脂組成物としては、エチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)、塩化ビニル、ウレタン、アクリル、アクリルウレタン、ポリオレフィン、ポリエチレン、ポリプロピレン、シリコーン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリスチレン、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、エポキシ等の合成樹脂や、ポリイソプレンゴム、ポリスチレン・ブタジエンゴム、ポリブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン・プロピレンゴムおよびシリコーンゴム等の合成ゴム材料を樹脂成分として用いることが好ましい。とりわけ、成形性と比誘電率の点から、EVAまたはアクリル樹脂を用いることが好ましい。なお、これらは単独でもしくは2種以上併せて用いることができ、誘電体層Bは、単層あるいは複層とすることもできる。   The dielectric layer B is obtained by forming a resin composition having a predetermined relative dielectric constant so as to have a predetermined thickness after curing in accordance with the wavelength of the electromagnetic wave to be absorbed, and curing the resin composition. is there. Examples of the resin composition include ethylene vinyl acetate copolymer (EVA), vinyl chloride, urethane, acrylic, acrylic urethane, polyolefin, polyethylene, polypropylene, silicone, polyethylene terephthalate, polyester, polystyrene, polyimide, polycarbonate, polyamide, polysulfone, Synthetic rubber materials such as polyethersulfone and epoxy, and polyisoprene rubber, polystyrene / butadiene rubber, polybutadiene rubber, chloroprene rubber, acrylonitrile / butadiene rubber, butyl rubber, acrylic rubber, ethylene / propylene rubber and silicone rubber It is preferable to use it as a resin component. In particular, EVA or acrylic resin is preferably used in terms of moldability and relative dielectric constant. These may be used alone or in combination of two or more, and the dielectric layer B may be a single layer or multiple layers.

また、誘電体層Bは比誘電率が小さいほど広帯域化しやすいことから、上記材料を発泡化した発泡体を使用してもよい。またこのような発泡体としては、柔軟性の高い発泡体が好ましく用いられる。   Further, since the dielectric layer B has a wider band as the relative dielectric constant is smaller, a foam obtained by foaming the above material may be used. Moreover, as such a foam, a highly flexible foam is preferably used.

誘電体層Bの比誘電率は、1〜10の範囲にあることが好ましく、1〜5の範囲にあることがより好ましく、1〜3の範囲にあることがさらに好ましい。比誘電率が上記範囲内であると、誘電体層を制御しやすい厚みに設定することができ、かつ電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅をより広いものに設定することが可能となり、吸収能をより均一に有する電磁波吸収体を得ることができる。   The relative dielectric constant of the dielectric layer B is preferably in the range of 1 to 10, more preferably in the range of 1 to 5, and still more preferably in the range of 1 to 3. When the relative dielectric constant is within the above range, the dielectric layer can be set to a thickness that can be easily controlled, and the frequency band with an electromagnetic wave absorption of 20 dB or more can be set to a wider bandwidth. Thus, an electromagnetic wave absorber having a more uniform absorption ability can be obtained.

なお、上記誘電体層Bの比誘電率は、アジレント・テクノロジー社製 ネットワークアナライザーN5230C、関東電子応用開発社製 空洞共振器CP531等を用い、10GHzにおける比誘電率を空洞共振器摂動法により測定することができる。   The relative dielectric constant of the dielectric layer B is measured by a cavity resonator perturbation method using a network analyzer N5230C manufactured by Agilent Technologies, a cavity resonator CP531 manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd., and the like. be able to.

誘電体層Bの厚みは、50〜2000μmであることが好ましく、100〜1500μmであることがより好ましく、100〜1000μmであることがさらに好ましい。薄すぎると厚み寸法精度の確保が困難となり、吸収性能の精度が低下する恐れがあり、厚すぎると重量も増すこともあり扱いにくくなったり、材料コストが高くなる傾向がある。   The thickness of the dielectric layer B is preferably 50 to 2000 μm, more preferably 100 to 1500 μm, and still more preferably 100 to 1000 μm. If the thickness is too thin, it is difficult to ensure the thickness dimensional accuracy, and the accuracy of the absorption performance may be lowered. If the thickness is too thick, the weight may increase and it may be difficult to handle, and the material cost tends to increase.

上記導電層Cは、対象とする電磁波を電磁波吸収体の裏面近傍で反射させるために配置されるものであり、そのシート抵抗は、抵抗層Aのシート抵抗より充分に低く設定されている。これらのことから、導電層Cの材料としては、例えば、ITO、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、およびこれらの金属の合金があげられる。なかでも、導電層CにITOを用いることで、透明な電磁波吸収体を供することができ、透明性が必要とされる部位への適用が可能となるだけでなく、施工性の改善を図ることができるため、とりわけ5〜15重量%のSnO2を含有するITOが好ましく用いられる。導電層CにITOを用いた場合の厚みは、20〜200nmであることが好ましく、50〜150nmであることがより好ましい。厚みが厚すぎると導電層Cに応力によりクラックが入り易くなる傾向がみられ、薄すぎると所望の低い抵抗値が得られ難くなる傾向がみられるためである。一方、シート抵抗値をより容易に下げることができ、ノイズをより低減することができる点から、Alまたはその合金が好ましく用いられる。Alまたはその金属合金を用いた場合の導電層Cの厚みは、20nm〜100μmであることが好ましく、50nm〜50μmであることがより好ましい。厚みが厚すぎると電磁波吸収体が剛直となり扱いづらくなる傾向がみられ、薄すぎると所望の低い抵抗値が得られがたくなる傾向がみられるためである。また、導電層Cのシート抵抗は、1.0×10-7Ω〜100Ωであることが好ましく、1.0×10-7Ω〜20Ωであることが好ましい。 The conductive layer C is disposed to reflect the target electromagnetic wave in the vicinity of the back surface of the electromagnetic wave absorber, and the sheet resistance is set sufficiently lower than the sheet resistance of the resistance layer A. For these reasons, examples of the material of the conductive layer C include ITO, aluminum (Al), copper (Cu), nickel (Ni), chromium (Cr), molybdenum (Mo), and alloys of these metals. It is done. In particular, by using ITO for the conductive layer C, it is possible to provide a transparent electromagnetic wave absorber, and not only can be applied to parts where transparency is required, but also improve workability. In particular, ITO containing 5 to 15% by weight of SnO 2 is preferably used. The thickness when ITO is used for the conductive layer C is preferably 20 to 200 nm, and more preferably 50 to 150 nm. This is because if the thickness is too thick, the conductive layer C tends to crack due to stress, and if it is too thin, a desired low resistance value tends to be difficult to obtain. On the other hand, Al or an alloy thereof is preferably used from the viewpoint that the sheet resistance value can be lowered more easily and noise can be further reduced. The thickness of the conductive layer C when Al or a metal alloy thereof is used is preferably 20 nm to 100 μm, and more preferably 50 nm to 50 μm. If the thickness is too thick, the electromagnetic wave absorber tends to be rigid and difficult to handle, and if it is too thin, a desired low resistance value tends to be difficult to obtain. The sheet resistance of the conductive layer C is preferably 1.0 × 10 -7 Ω~100Ω, is preferably 1.0 × 10 -7 Ω~20Ω.

上記樹脂層D1,D2は、抵抗層Aまたは導電層Cをスパッタ等により形成する際の基板となるものであり、電磁波吸収体に形成された後に、抵抗層Aおよび導電層Cを外部からの衝撃等から保護する等の役割を果たすものである。このような樹脂層D1,D2の材料としては、抵抗層Aまたは導電層Cの形成に用いる蒸着やスパッタ等の高温に耐えうるものであることが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、アクリル(PMMA)、ポリカーボネート(PC)、シクロオレフィンポリマー(COP)等があげられる。なかでも、耐熱性に優れ、寸法安定性とコストとのバランスがよいことからPETが好ましく用いられる。なお、樹脂層D1,D2は、互いに同じ材料からなっていてもよいし、それぞれ異なる材料からなっていてもよい。また、単層にかぎらず複層であってもよいし、樹脂層D1,D2を設けなくてもよい。 The resin layers D 1 and D 2 serve as substrates when the resistance layer A or the conductive layer C is formed by sputtering or the like. After the resin layers D 1 and D 2 are formed on the electromagnetic wave absorber, the resistance layer A and the conductive layer C are externally connected. It plays a role of protecting from impacts from the like. The material of the resin layers D 1 and D 2 is preferably one that can withstand high temperatures such as vapor deposition and sputtering used to form the resistance layer A or the conductive layer C. For example, polyethylene terephthalate (PET), Examples thereof include polyethylene naphthalate (PEN), acrylic (PMMA), polycarbonate (PC), and cycloolefin polymer (COP). Of these, PET is preferably used because of its excellent heat resistance and good balance between dimensional stability and cost. The resin layers D 1 and D 2 may be made of the same material, or may be made of different materials. Moreover, it may be not only a single layer but a multiple layer, and it is not necessary to provide the resin layers D 1 and D 2 .

樹脂層D1,D2の厚みは、それぞれ10〜125μmであることが好ましく、20〜50μmであることがより好ましい。薄すぎると、抵抗層Aを形成する際にシワや変形が起こりやすい傾向がみられるためであり、厚すぎると、電磁波吸収体としての屈曲性が低下する傾向がみられるためである。また、樹脂層D1,D2は互いに同じ厚みであってもよいし、それぞれ異なる厚みであってもよい。 The thicknesses of the resin layers D 1 and D 2 are each preferably 10 to 125 μm, and more preferably 20 to 50 μm. This is because if the thickness is too thin, wrinkles and deformation tend to occur when the resistance layer A is formed. If the thickness is too thick, the flexibility as an electromagnetic wave absorber tends to be reduced. Further, the resin layers D 1 and D 2 may have the same thickness or different thicknesses.

なお、上記実施の形態では、電磁波吸収体が、抵抗層A、誘電体層B、導電層C、樹脂層D1,D2の積層体からなっているが、電磁波吸収体にはこれらの層以外の層を設けてもよい。すなわち、樹脂層D1の外側、抵抗層Aと誘電体層Bの間、誘電体層Bと導電層Cの間、樹脂層D2の外側等に他の層を設けるようにしてもよい。例えば、抵抗層Aと誘電体層Bの間にコート層(図示せず)を設けると、誘電体層B中の成分が抵抗層Aに拡散することを防止することができ、抵抗層Aの保護を図ることができる。同様に、導電層Cと誘電体層Bの間にコート層(図示せず)を設けると、誘電体層B中の成分が導電層Cに拡散することを防止することができ、導電層Cの保護を図ることができる。また、図2に示すように、樹脂層D2の外側に粘着層Gを設けると他の部材(被取り付け部材)への取り付けが容易になる。 In the above embodiment, the electromagnetic wave absorber is composed of a laminate of the resistance layer A, the dielectric layer B, the conductive layer C, and the resin layers D 1 and D 2. Other layers may be provided. That is, other layers may be provided outside the resin layer D 1 , between the resistance layer A and the dielectric layer B, between the dielectric layer B and the conductive layer C, outside the resin layer D 2 , and the like. For example, if a coat layer (not shown) is provided between the resistance layer A and the dielectric layer B, the components in the dielectric layer B can be prevented from diffusing into the resistance layer A. Protection can be achieved. Similarly, when a coating layer (not shown) is provided between the conductive layer C and the dielectric layer B, components in the dielectric layer B can be prevented from diffusing into the conductive layer C. Can be protected. Further, as shown in FIG. 2, when providing an adhesive layer G on the outer side of the resin layer D 2 is attached to the other member (the attachment member) is facilitated.

上記コート層の材料としては、例えば、二酸化ケイ素(SiO2)、窒化ケイ素(SiN)、酸化アルミニウム(Al23)、窒化アルミニウム(AlN)、酸化ニオブ(Nb25)、スズ・シリコン酸化物(STO)、アルミニウム含有酸化亜鉛(AZO)、窒化シリコン(SiN)等を用いることができる。 Examples of the material of the coating layer include silicon dioxide (SiO 2 ), silicon nitride (SiN), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), niobium oxide (Nb 2 O 5 ), and tin / silicon. An oxide (STO), aluminum-containing zinc oxide (AZO), silicon nitride (SiN), or the like can be used.

上記粘着層Gの材料としては、例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤等の粘着剤を用いることができる。また、エマルション系接着剤、ゴム系接着剤、エポキシ系接着剤、シアノアクリル系接着剤、ビニル系接着剤、シリコーン系接着剤等の接着剤を用いることもでき、被取り付け部材の材質や形状によって適宜選択することができる。なかでも、長期間にわたる粘着力を発揮し、取り付けの信頼性が高い点から、アクリル系粘着剤が好ましく用いられる。   As the material of the adhesive layer G, for example, an adhesive such as a rubber adhesive, an acrylic adhesive, a silicone adhesive, and a urethane adhesive can be used. It is also possible to use adhesives such as emulsion adhesives, rubber adhesives, epoxy adhesives, cyanoacrylic adhesives, vinyl adhesives, silicone adhesives, etc., depending on the material and shape of the mounted member It can be selected appropriately. Among them, an acrylic pressure-sensitive adhesive is preferably used from the viewpoint of exhibiting adhesive force over a long period of time and having high attachment reliability.

このような電磁波吸収体(図1参照)は、例えば、つぎのようにして製造することができる。   Such an electromagnetic wave absorber (see FIG. 1) can be manufactured, for example, as follows.

まず、図3(a)に示すように、フィルム状に成形された樹脂層D1の上(図では下)に抵抗層Aを形成する。また、フィルム状に成形された樹脂層D2の上に導電層Cを形成する。上記抵抗層Aおよび導電層Cは、スパッタ、蒸着等により形成することができる。なかでも、抵抗値や厚みを厳密に制御できる点から、いずれもスパッタを用いることが好ましい。 First, as shown in FIG. 3 (a), to form the resistive layer A on the film resin layer formed into a shape D 1 (lower in the figure). Further, a conductive layer C on top of the film to the molded resin layer D 2. The resistance layer A and the conductive layer C can be formed by sputtering, vapor deposition, or the like. Of these, it is preferable to use sputtering because the resistance value and thickness can be strictly controlled.

つぎに、図3(b)に示すように、誘電体層Bを形成する樹脂組成物をシート状にプレス成形する。そして、上記誘電体層Bの一方の面に、樹脂層D1の上に形成された抵抗層Aを重ね、もう一方の面に、樹脂層D2の上に形成された導電層Cを重ねる。これにより、図1に示す、樹脂層D1、抵抗層A、誘電体層B、導電層C、樹脂層D2がこの順で積層された電磁波吸収体を得ることができる。 Next, as shown in FIG.3 (b), the resin composition which forms the dielectric material layer B is press-molded in a sheet form. Then, the resistance layer A formed on the resin layer D 1 is overlaid on one surface of the dielectric layer B, and the conductive layer C formed on the resin layer D 2 is overlaid on the other surface. . Thereby, the electromagnetic wave absorber in which the resin layer D 1 , the resistance layer A, the dielectric layer B, the conductive layer C, and the resin layer D 2 shown in FIG. 1 are laminated in this order can be obtained.

これによれば、誘電体層Bの厚みの制御が容易であるため、対象とする波長(周波)の電磁波を効果的に吸収する電磁波吸収体とすることができる。また、抵抗層Aおよび導電層Cを別々に形成することができるため、電磁波吸収体の製造にかかる時間を短縮することができ、低コストで製造することができる。なお、樹脂層D1,D2を設けない場合には、例えば、誘電体層Bに、抵抗層Aおよび導電層Cの材料を、直接、スパッタ、蒸着等することにより電磁波吸収体を製造することができる。 According to this, since it is easy to control the thickness of the dielectric layer B, an electromagnetic wave absorber that effectively absorbs an electromagnetic wave having a target wavelength (frequency) can be obtained. Moreover, since the resistance layer A and the conductive layer C can be formed separately, the time required for the production of the electromagnetic wave absorber can be shortened, and the production can be carried out at a low cost. In the case where the resin layers D 1 and D 2 are not provided, for example, the electromagnetic wave absorber is manufactured by directly sputtering or vapor-depositing the material of the resistance layer A and the conductive layer C on the dielectric layer B. be able to.

つぎに、前記磁性電磁波吸収体または誘電性電磁波吸収体である本発明の電磁波吸収体としては、例えば、図4に示すように、誘電体層Eと導電層Fを有しているものがあげられる。磁性電磁波吸収体は、誘電体層Eの外側から照射された電磁波を、添加される磁性体の磁気モーメントの追従遅れを利用した磁性損失により吸収する電磁波吸収体である。一方、誘電性電磁波吸収体は、添加される誘電体の分極の追従遅れを利用した熱損失により吸収する電磁波吸収体である。なお、磁性体と誘電体とを組み合わせて添加した電磁波吸収体としてもよい。   Next, examples of the electromagnetic wave absorber of the present invention which is the magnetic electromagnetic wave absorber or the dielectric electromagnetic wave absorber include those having a dielectric layer E and a conductive layer F as shown in FIG. It is done. The magnetic electromagnetic wave absorber is an electromagnetic wave absorber that absorbs an electromagnetic wave irradiated from the outside of the dielectric layer E by a magnetic loss using a tracking delay of the magnetic moment of the added magnetic body. On the other hand, the dielectric electromagnetic wave absorber is an electromagnetic wave absorber that absorbs by heat loss using the follow-up delay of polarization of the added dielectric. In addition, it is good also as an electromagnetic wave absorber which added combining the magnetic body and the dielectric material.

磁性電磁波吸収体の場合、上記誘電体層Eは、前記誘電体層Bと同様の材料からなる樹脂組成物に、磁性体を含有させたものを、硬化後に所定の厚みとなるように形成し、硬化させることによって得ることができる。上記磁性体としては、加えた電界により電磁波を吸収するものがあげられ、例えば、ケッチェンブラック、アセチレンブラック、ファーネスブラック、黒鉛、膨張黒鉛などの導電性カーボン、鉄、ニッケル、フェライトなどの磁性粉等を用いることができる。なかでも、樹脂組成物への分散性に優れる点から、錯体状のカルボニル金属を用いることが好ましく、とりわけカルボニル鉄粉が好ましく用いられる。   In the case of a magnetic electromagnetic wave absorber, the dielectric layer E is formed by adding a magnetic material to a resin composition made of the same material as the dielectric layer B so as to have a predetermined thickness after curing. Can be obtained by curing. Examples of the magnetic material include those that absorb electromagnetic waves by an applied electric field. For example, conductive powder such as ketjen black, acetylene black, furnace black, graphite, and expanded graphite, magnetic powder such as iron, nickel, and ferrite. Etc. can be used. Of these, from the viewpoint of excellent dispersibility in the resin composition, a complex carbonyl metal is preferably used, and carbonyl iron powder is particularly preferably used.

誘電性電磁波吸収体の場合、上記誘電体層Eは、前記誘電体層Bと同様の材料からなる樹脂組成物に、誘電体を含有させたものを、硬化後に所定の厚みとなるように形成し、硬化させることによって得ることができる。上記誘電体としては、加えた磁界により電磁波を吸収するものがあげられ、例えば、ケッチェンブラック、アセチレンブラック、ファーネスブラック、黒鉛、膨張黒鉛などのカーボン、チタン酸バリウム やチタン酸ジルコン酸鉛等の強誘電体を用いることができる。なかでも、材料コストに優れる点からカーボン粉末が好ましく用いられる。   In the case of a dielectric electromagnetic wave absorber, the dielectric layer E is formed so that a resin composition made of the same material as the dielectric layer B contains a dielectric and has a predetermined thickness after curing. And can be obtained by curing. Examples of the dielectric include those that absorb electromagnetic waves by an applied magnetic field, such as carbon such as ketjen black, acetylene black, furnace black, graphite, expanded graphite, barium titanate, lead zirconate titanate, etc. Ferroelectric materials can be used. Among these, carbon powder is preferably used from the viewpoint of excellent material cost.

そして、誘電体層Eの厚みは、50〜2000μmであることが好ましく、100〜1500μmであることがより好ましい。薄すぎると厚み寸法精度の確保が困難となる傾向がみられ、厚すぎると材料コストが高くなるだけでなく、重量が増加し過ぎる傾向がみられるためである。   The thickness of the dielectric layer E is preferably 50 to 2000 μm, and more preferably 100 to 1500 μm. This is because if it is too thin, it tends to be difficult to ensure thickness dimensional accuracy, and if it is too thick, not only the material cost increases, but also the weight tends to increase excessively.

また、誘電体層Eの比誘電率は、1〜10の範囲にあることが好ましく、1〜5の範囲にあることがより好ましい。比誘電率が上記範囲内であると、誘電体層を制御しやすい厚みに設定することができ、かつ電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅をより広いものに設定することが可能となり、また、吸収能をより均一に有する電磁波吸収体を得ることができる。そして、設定および製造が容易であるため、低コストの電磁波吸収体を実現することができる。   The relative dielectric constant of the dielectric layer E is preferably in the range of 1 to 10, and more preferably in the range of 1 to 5. When the relative dielectric constant is within the above range, the dielectric layer can be set to a thickness that can be easily controlled, and the frequency band with an electromagnetic wave absorption of 20 dB or more can be set to a wider bandwidth. In addition, it is possible to obtain an electromagnetic wave absorber having a more uniform absorption ability. And since setting and manufacture are easy, a low-cost electromagnetic wave absorber is realizable.

上記導電層Fは、対象とする波長(周波)の電磁波を電磁波吸収体の裏面近傍で反射させるために配置されるものであることから、導電層Fの材料としては、例えば、ITO、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、およびこれらの金属の合金があげられる。   Since the conductive layer F is disposed to reflect an electromagnetic wave having a target wavelength (frequency) in the vicinity of the back surface of the electromagnetic wave absorber, examples of the material of the conductive layer F include ITO, aluminum ( Al), copper (Cu), nickel (Ni), chromium (Cr), molybdenum (Mo), and alloys of these metals.

また、導電層Fの厚みは、20nm〜100μmであることが好ましく、50nm〜50μmであることがより好ましい。厚みが厚すぎると導電層Fに応力やクラックが入り易くなる傾向がみられ、薄すぎると所望の低い抵抗値が得られ難くなる傾向がみられるためである。そして、導電層Fのシート抵抗は、1.0×10-7Ω〜100Ωであることが好ましく、1.0×10-7Ω〜20Ωであることがより好ましい。 In addition, the thickness of the conductive layer F is preferably 20 nm to 100 μm, and more preferably 50 nm to 50 μm. This is because when the thickness is too thick, stress and cracks tend to easily enter the conductive layer F, and when it is too thin, a desired low resistance value tends to be difficult to obtain. The sheet resistance of the conductive layer F is preferably 1.0 × 10 -7 Ω~100Ω, and more preferably 1.0 × 10 -7 Ω~20Ω.

このような電磁波吸収体(図4参照)は、例えば、プレス成形等によりシート状に形成された誘電体層Eに、導電層Fの材料をスパッタ、蒸着等することにより製造することができる。   Such an electromagnetic wave absorber (see FIG. 4) can be manufactured by, for example, sputtering or vapor-depositing the material of the conductive layer F on the dielectric layer E formed into a sheet shape by press molding or the like.

なお、上記実施の形態では、電磁波吸収体が、誘電体層Eと導電層Fとの積層体からなっているが、電磁波吸収体にこれら以外の層を設けてもよい。すなわち、誘電体層Eの外側、誘電体層Eと導電層Fの間、導電層Fの外側等に他の層を設けるようにしてもよい。例えば、誘電体層Eと導電層Fの間にコート層(図示せず)を設けると、誘電体層E中の成分が導電層Fに拡散することを防止することができ、導電層Fの保護を図ることができる。また、図5に示すように、樹脂層Fの外側に粘着層Gを設けると他の部材(被取り付け部材)への取り付けが容易になる。上記コート層および粘着層Gの材料としては、図1に示す実施の形態と同様のものを用いることができる。   In the above embodiment, the electromagnetic wave absorber is formed of a laminate of the dielectric layer E and the conductive layer F. However, other layers may be provided on the electromagnetic wave absorber. That is, other layers may be provided outside the dielectric layer E, between the dielectric layer E and the conductive layer F, outside the conductive layer F, and the like. For example, when a coat layer (not shown) is provided between the dielectric layer E and the conductive layer F, components in the dielectric layer E can be prevented from diffusing into the conductive layer F. Protection can be achieved. Moreover, as shown in FIG. 5, when the adhesion layer G is provided on the outer side of the resin layer F, attachment to another member (attached member) becomes easy. As the material for the coating layer and the adhesive layer G, the same materials as those in the embodiment shown in FIG. 1 can be used.

以下、実施例および比較例をあげて、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist.

下記に示すとおり、実施例1〜10および比較例1,2の電磁波吸収体を作製し、これらについて、キーコム社製 電波吸収体(電波吸収材料)・反射減衰量 測定装置 LAF−26.5Bを用いて、JIS R 1679(電波吸収体のミリ波帯における電波吸収特性測定方法)に準拠し、斜入射15°で電磁波を照射し、それぞれ反射吸収量を測定した。結果を後記の表1および図6、図7に示す。   As shown below, the electromagnetic wave absorbers of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2 were prepared, and for these, a radio wave absorber (radio wave absorbing material) / reflection loss measuring apparatus LAF-26.5B manufactured by Keycom Corporation was used. In accordance with JIS R 1679 (a method for measuring radio wave absorption characteristics of a radio wave absorber in the millimeter wave band), an electromagnetic wave was irradiated at an oblique incidence of 15 °, and the amount of reflected absorption was measured. The results are shown in Table 1 below and FIG. 6 and FIG.

<実施例1>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、三井デュポン社製EVA樹脂(エバフレックスEV250、比誘電率2.45)を120℃でプレス成形し、560μm厚シートに成形して誘電体層Bを作製した。この誘電体層Bの一方の面に、導電層Cとして表面抵抗が20Ω/□になるようにITOがスパッタ形成された38μm厚のPETフィルム(樹脂層D1)を、導電層Cを誘電体層Bに対峙するように貼り合せた。そして、上記誘電体層Bのもう一方の面に、抵抗層Aとして表面抵抗が380Ω/□になるようにITOがスパッタ形成された38μm厚のPETフィルム(樹脂層D2)を抵抗層Aが誘電体層Bに対峙するように貼り合せて、目的とする電磁波吸収体を得た。
<Example 1>
In accordance with the method of obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 1, EVA resin (Evaflex EV250, relative dielectric constant 2.45) manufactured by Mitsui DuPont is press-molded at 120 ° C. and molded into a 560 μm thick sheet, and the dielectric layer B Was made. On one surface of the dielectric layer B, a 38 μm-thick PET film (resin layer D 1 ) in which ITO is sputtered so as to have a surface resistance of 20 Ω / □ as the conductive layer C is used. Lamination was performed so as to face layer B. Then, the resistance layer A is a 38 μm thick PET film (resin layer D 2 ) on which the ITO is sputter-formed on the other surface of the dielectric layer B so as to have a surface resistance of 380Ω / □ as the resistance layer A. The target electromagnetic wave absorber was obtained by bonding so as to face the dielectric layer B.

<実施例2>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bを下記のように変更した以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
(誘電体層B)
三井デュポン社製EVA樹脂(エバフレックスEV250)100重量部に、堺化学工業社製チタン酸バリウム(BT−01)を50重量部添加し、ミキシングロールで混練した後、120℃でプレス成形し、458μm厚シートに成形して誘電体層Bを作製した。この誘電体層Bの比誘電率は3.90であった。
<Example 2>
A target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1 except that the dielectric layer B was changed as follows in accordance with the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG.
(Dielectric layer B)
50 parts by weight of Sakai Chemical Industry's barium titanate (BT-01) is added to 100 parts by weight of Mitsui DuPont EVA resin (Evaflex EV250), kneaded with a mixing roll, and then press-molded at 120 ° C. Dielectric layer B was fabricated by forming into a 458 μm thick sheet. The dielectric constant of this dielectric layer B was 3.90.

<実施例3>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bを下記のように変更した以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
(誘電体層B)
三井デュポン社製EVA樹脂(エバフレックスEV250)100重量部に、堺化学工業社製チタン酸バリウム(BT−01)を100重量部添加し、ミキシングロールで混練した後、120℃でプレス成形し、397μm厚シートに成形して誘電体層Bを作製した。この誘電体層Bの比誘電率は5.19であった。
<Example 3>
A target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1 except that the dielectric layer B was changed as follows in accordance with the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG.
(Dielectric layer B)
To 100 parts by weight of Mitsui DuPont EVA resin (Evaflex EV250), 100 parts by weight of barium titanate (BT-01) manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. was added and kneaded with a mixing roll, and then press-molded at 120 ° C. A dielectric layer B was produced by forming into a 397 μm thick sheet. The dielectric constant of this dielectric layer B was 5.19.

<実施例4>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bを下記のように変更した以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
(誘電体層B)
三井デュポン社製EVA樹脂(エバフレックスEV250)100重量部に、堺化学工業社製チタン酸バリウム(BT−01)を200重量部添加し、ミキシングロールで混練した後、120℃でプレス成形し、336μm厚のシートに成形して誘電体層Bを作製した。この誘電体層Bの比誘電率は7.25であった。
<Example 4>
A target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1 except that the dielectric layer B was changed as follows in accordance with the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG.
(Dielectric layer B)
200 parts by weight of Sakai Chemical Industry's barium titanate (BT-01) was added to 100 parts by weight of Mitsui DuPont EVA resin (Evaflex EV250), kneaded with a mixing roll, and then press-molded at 120 ° C. Dielectric layer B was fabricated by forming into a 336 μm thick sheet. The dielectric constant of this dielectric layer B was 7.25.

<実施例5>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bを日東電工社製のオレフィン系発泡体SCF100(比誘電率1.07)を厚み822μmにスライス成形したものに変更し、抵抗層Aおよび導電層Cをそれぞれ厚み30μmに形成したアクリル系粘着剤を介して誘電体層Bに貼り合せた以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
<Example 5>
In accordance with the method of obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 1, the dielectric layer B is changed to one obtained by slicing an olefin foam SCF100 (relative permittivity 1.07) manufactured by Nitto Denko Corporation to a thickness of 822 μm. A target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1 except that A and the conductive layer C were bonded to the dielectric layer B via an acrylic adhesive having a thickness of 30 μm.

<実施例6>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bをポリエステル系発泡体SCF T100(比誘電率1.09)を厚み793μmにスライス成形したものに変更し、抵抗層Aおよび導電層Cをそれぞれ厚み30μmに形成したアクリル系粘着剤を介して誘電体層Bに貼り合せた以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
<Example 6>
In accordance with the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 1, the dielectric layer B is changed to a polyester foam SCF T100 (relative dielectric constant 1.09) sliced to a thickness of 793 μm, and the resistance layer A and the conductive layer A target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1 except that C was bonded to the dielectric layer B via an acrylic adhesive having a thickness of 30 μm.

<実施例7>
図4に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、三井デュポン社製EVA樹脂(エバフレックスEV250)100重量部に、ニューメタルスエンドケミカルス社製 カルボニル鉄粉YW1を300重量部添加し、ミキシングロールで混練した後、120℃でプレス成形し、1200μm厚シートに成形して誘電体層Eを作製した。この誘電体層Eの比誘電率は6.60であった。上記誘電体層Eの一方の面に、導電層Fとして、ITOフィルム(表面抵抗20Ω/□)を貼り合せて、目的とする電磁波吸収体を得た。
<Example 7>
According to the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 4, 300 parts by weight of New Metals End Chemicals carbonyl iron powder YW1 is added to 100 parts by weight of Mitsui DuPont EVA resin (Evaflex EV250) and kneaded with a mixing roll. After that, it was press-molded at 120 ° C. and formed into a 1200 μm thick sheet to produce a dielectric layer E. The dielectric constant of this dielectric layer E was 6.60. An ITO film (surface resistance 20Ω / □) was bonded as one conductive layer F to one surface of the dielectric layer E to obtain a target electromagnetic wave absorber.

<実施例8>
図4に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、導電層Fとして、アルミ箔/PET複合フィルム(UACJ社製 アルミ箔7μm/PET9μm)を、アルミ箔面を誘電体層Eに対峙させて貼り合せた以外は、実施例7と同様にして、目的とする電磁波吸収体を得た。
<Example 8>
In accordance with the method of obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 4, as the conductive layer F, an aluminum foil / PET composite film (aluminum foil 7 μm / PET 9 μm manufactured by UACJ) is bonded with the aluminum foil surface facing the dielectric layer E. A target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 7 except that.

<実施例9>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bをクラレ社製 熱可塑アクリル系エラストマー(クラリティー2330、比誘電率2.55)を150℃でプレス成形し、厚み561μmのシートに成形したものに変更した以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
<Example 9>
In accordance with the method of obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 1, the dielectric layer B is press-molded at 150 ° C. with a thermoplastic acrylic elastomer (clarity 2330, relative dielectric constant 2.55) manufactured by Kuraray Co., Ltd., and a sheet having a thickness of 561 μm The target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1 except that the molded product was changed to one formed into the shape.

<実施例10>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bをクラレ社製 熱可塑アクリル系エラストマー(クラリティー2330、比誘電率2.55)を150℃でプレス成形し、厚み538μmのシートに成形したものに変更し、さらに、抵抗層Aとして、アルミ箔/PET複合フィルム(UACJ社製 アルミ箔7μm/PET9μm)を、アルミ箔面を誘電体層Bに対峙させて貼り合せた以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
<Example 10>
In accordance with the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 1, the dielectric layer B is press-molded at 150 ° C. with a thermoplastic acrylic elastomer (clarity 2330, relative dielectric constant 2.55) manufactured by Kuraray Co., Ltd., and a sheet having a thickness of 538 μm Except that the aluminum foil / PET composite film (aluminum foil 7 μm / PET 9 μm manufactured by UACJ) was bonded as the resistance layer A with the aluminum foil surface facing the dielectric layer B. The target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1.

<比較例1>
図1に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Bを下記のように変更した以外は、実施例1と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
(誘電体層B)
三井デュポン社製EVA樹脂(エバフレックスEV250)100重量部に、堺化学工業社製チタン酸バリウム(BT−01)を300重量部添加し、ミキシングロールで混練した後、120℃でプレス成形し、242μm厚シートに成形して誘電体層Bを作製した。この誘電体層Bの比誘電率は14.0であった。
<Comparative Example 1>
A target electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 1 except that the dielectric layer B was changed as follows in accordance with the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG.
(Dielectric layer B)
To 100 parts by weight of Mitsui DuPont EVA resin (Evaflex EV250), 300 parts by weight of Sakai Chemical Industry's barium titanate (BT-01) was added and kneaded with a mixing roll, followed by press molding at 120 ° C. Dielectric layer B was fabricated by molding into a 242 μm thick sheet. The dielectric constant of this dielectric layer B was 14.0.

<比較例2>
図4に示す電磁波吸収体を得る方法に準じ、誘電体層Eを下記のように変更した以外は、実施例7と同様にして目的とする電磁波吸収体を得た。
(誘電体層E)
三井デュポン社製EVA樹脂(エバフレックスEV250)100重量部に、ニューメタルスエンドケミカルス社製カルボニル鉄粉YW1を400重量部添加し、ミキシングロールで混練した後、120℃でプレス成形し、1200μm厚シートに成形して誘電体層Eを作製した。この誘電体層Eの比誘電率は10.3であった。
<Comparative example 2>
According to the method for obtaining the electromagnetic wave absorber shown in FIG. 4, the intended electromagnetic wave absorber was obtained in the same manner as in Example 7 except that the dielectric layer E was changed as follows.
(Dielectric layer E)
400 parts by weight of New Metals End Chemicals' carbonyl iron powder YW1 is added to 100 parts by weight of Mitsui DuPont EVA resin (Evaflex EV250), kneaded with a mixing roll, press-molded at 120 ° C., and 1200 μm thick sheet To form a dielectric layer E. The dielectric constant of this dielectric layer E was 10.3.

Figure 2019057730
Figure 2019057730

上記表1および図6、図7の結果から、実施例1〜10は、60〜90GHzの周波数帯域において、反射吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅が2GHz以上あり、とりわけ実施例1〜3、5、6、9、10は、同帯域幅が10.0GHz以上という広い幅を有することがわかる。また比誘電率が小さいほど20dB帯域幅が広くなる傾向にある。これに対し、比較例1、2は、60〜90GHzの周波数帯域において、若干の吸収能を発揮するものの、反射吸収量が20dB以上となる吸収能をどの範囲においても実現することはできなかった。   From the results of Table 1 and FIGS. 6 and 7, Examples 1 to 10 have a bandwidth of 2 GHz or more in the frequency band where the reflection absorption amount is 20 dB or more in the frequency band of 60 to 90 GHz. -3, 5, 6, 9, and 10 have a wide width of 10.0 GHz or more. Further, the 20 dB bandwidth tends to increase as the relative dielectric constant decreases. On the other hand, Comparative Examples 1 and 2 exhibited some absorption ability in the frequency band of 60 to 90 GHz, but could not realize the absorption ability with a reflection absorption amount of 20 dB or more in any range. .

本発明は、幅広い周波数帯域において、長期間にわたり不要な電磁波を吸収する性能を発揮することができるため、自動車衝突防止システムに用いるミリ波レーダの電磁波吸収体に好適に利用できる。また、その他の用途として自動車、道路、人の相互間で情報通信を行う高度道路交通システム(ITS)やミリ波を用いた次世代移動通信システム(5G)においても、電波干渉抑制やノイズ低減の目的で用いることができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY Since the present invention can exhibit the performance of absorbing unnecessary electromagnetic waves over a long period of time in a wide frequency band, it can be suitably used for an electromagnetic wave absorber of a millimeter wave radar used in an automobile collision prevention system. In addition, in other applications, such as intelligent road traffic systems (ITS) that perform information communication between automobiles, roads, and people, and next-generation mobile communication systems (5G) that use millimeter waves, it is possible to suppress radio interference and reduce noise. Can be used for purposes.

Claims (2)

誘電体層と、上記誘電体層の一方の面に設けられる導電層とを有する電磁波吸収体であって、上記導電層の厚みが20nm〜100μmの範囲にあり、60〜90GHzの周波数帯域において、電磁波吸収量が20dB以上である周波数帯域の帯域幅が2GHz以上であることを特徴とする電磁波吸収体。   An electromagnetic wave absorber having a dielectric layer and a conductive layer provided on one surface of the dielectric layer, wherein the thickness of the conductive layer is in the range of 20 nm to 100 μm, and in a frequency band of 60 to 90 GHz, An electromagnetic wave absorber characterized in that a frequency band having an electromagnetic wave absorption amount of 20 dB or more has a bandwidth of 2 GHz or more. 上記導電層のシート抵抗が、1.0×10-7〜100Ω/□の範囲に設定された請求項1記載の電磁波吸収体。 The electromagnetic wave absorber according to claim 1, wherein the sheet resistance of the conductive layer is set in a range of 1.0 × 10 −7 to 100 Ω / □.
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