JP2019054675A - 振動波モータ及び振動波モータを有する光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 少ない構成部材で高出力な振動波モータを提供する。【解決手段】 圧電素子１０１と振動板１０２とからなる複数の振動子１０３と、振動子１０３の摩擦接触部１０２ｃに接触する摩擦部材１０５と、振動子１０３を摩擦部材１０５に押圧する押圧力を発生する加圧手段１０６と、振動子１０３と摩擦部材１０５との相対移動を案内する案内手段１０７と、を備え、振動子１０３が発生する振動により振動子１０３と摩擦部材１０５とを相対移動させる振動波モータにおいて、押圧力は、摩擦部材１０５が回動することにより振動子１０３に伝達される。【選択図】 図１

Description

本発明は、振動波モータ、特に直動型振動波モータ及びその振動波モータを有するレンズ鏡筒などの光学装置に関するものである。

従来から直動型超音波モータは、圧電素子に高周波電圧を印加することで、圧電素子が固定された超音波振動子を振動させている。超音波振動子の振動によって、超音波振動子が押圧する摩擦部材が駆動される。直動型超音波モータは駆動効率が高く、高出力を維持したまま小型化するための様々な工夫が考えられている。特許文献１の直動型超音波モータは、振動子と、振動子が圧接されて超音波振動により相対的に移動する摩擦部材と、振動子を保持する振動子支持部材と、振動子支持部材の移動をガイドするガイド部と、振動子を圧接する加圧部とによって構成されている。また、特許文献２の直動型超音波モータでは、超音波振動子を２個使用することで、高い駆動力及び保持力を得ることができる。

特開２０１５−２２０９１１号公報 特開２０１５−５３７６６号公報

しかしながら、特許文献１に開示された直動型超音波モータにおいて、高い駆動力を得るために振動子を２個使用すると、各構成部材が重複し部品点数が多くなってしまう。また、特許文献２に開示された直動型超音波モータの構成では、加圧部は共通化されているが２個の振動子保持部材を軸支するための部材が必要となり、部品点数削減の効果が少ない。更に、ガイド部で摺動負荷が発生するため、駆動力や耐久性などの性能が低下してしまう。

本発明の目的は、上記の問題を解決するためになされたものであり、少ない構成部材で高出力な振動波モータを提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、圧電素子と振動板とからなる複数の振動子と、振動子の摩擦接触部と接触する摩擦部材と、振動子を摩擦部材に押圧する押圧力を発生する加圧手段と、振動子と摩擦部材との相対移動を案内する案内手段と、を備え、振動子が発生する振動により振動子と摩擦部材とを相対移動させる振動波モータにおいて、押圧力は、摩擦部材が回動することにより振動子に伝達されることを特徴とする。

本発明によれば、少ない構成部材で高出力な振動波モータを得ることができる。

本発明の実施例１の直動型振動波モータ１００の断面図である。 （Ａ）本発明の実施例１の直動型振動波モータ１００の第１の振動子１０３Ａを示す断面図である。（Ｂ）同第２の振動子１０３Ｂを示す断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）本発明の実施例１の直動型振動波モータ１００の相対移動方向における作動を示す平面図である。 （Ａ）、（Ｂ）本発明の実施例１の直動型振動波モータ１００の摩擦部材１０５が固定された状態におけるイコライズ機能を示す断面図である。（Ｃ）、（Ｄ）同地板１１５が固定された状態におけるイコライズ機能を示す断面図である。 本発明の実施例２の直動型振動波モータ２００の断面図である。 図５の断面線ＶＩ−ＶＩにおける直動型振動波モータ２００の断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）本発明の実施例２の直動型振動波モータ２００の相対移動方向における作動を示す平面図である。 本発明による直動型振動波モータ１００を搭載した光学装置の断面図である。

（実施例１）
以下、本発明の好適な実施例１を添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明では、デジタルカメラのレンズ鏡筒２０などを駆動するアクチュエータとしてユニット化された直動型振動波モータ１００（超音波モータ）を例に説明する。しかしながら、本発明の使用用途はこれに限られたものではない。本発明の実施例１の直動型振動波モータ１００は、第１の振動子１０３Ａ及び第２の振動子１０３Ｂを備えており、これらをまとめて表す場合は、振動子１０３と称する。また、本明細書中において、振動子１０３が駆動され、摩擦部材１０５と相対移動する相対移動方向をＸ方向（駆動方向Ｘ）、振動子１０３を摩擦部材１０５に対して押圧する押圧方向をＺ方向とする。図３及び図７において、上方向への相対移動の向きを−Ｘ方向、下方向への相対移動の向きを＋Ｘ方向と定義する。また、Ｘ方向及びＺ方向と直交する直交方向をＹ方向とする。

図１は、本発明の実施例１の直動型振動波モータ１００の駆動方向Ｘに直交する方向における断面図である。また、図２（Ａ）は図１の断面線ＩＩＡ−ＩＩＡにおける断面図であって、第１の振動子１０３Ａの構成を示す断面図、図２（Ｂ）は図１の断面線ＩＩＢ−ＩＩＢにおける第２の振動子１０３Ｂの断面を示す断面図である。本実施例１における直動型振動波モータ１００は、駆動方向Ｘに長軸を有し、以下に述べる各部材により構成されている。

振動子１０３には振動板１０２が備えられ、振動板１０２には圧電素子１０１が公知の接着剤等により固定されており、圧電素子１０１は電圧を印加することにより超音波領域の周波数の振動（超音波振動）を励振する。なお、振動板１０２と圧電素子１０１との接着は、接着されればその方法は限定されない。更に振動板１０２は摩擦接触部１０２ｃを備え、摩擦接触部１０２ｃは後述する摩擦部材１０５の摩擦接触面１０４に押圧を伴う加圧接触状態で接触している。本実施例１では、振動板１０２と圧電素子１０１とにより第１の振動子１０３Ａ、同様に第２の振動子１０３Ｂが構成されている。振動板１０２と圧電素子１０１とが接着された状態において圧電素子１０１が振動波振動を発生することで、第１の振動子１０３Ａ、第２の振動子１０３Ｂに共振現象が起こる。その結果、振動板１０２の摩擦接触部１０２ｃに楕円運動が発生する。圧電素子１０１に印加される電圧の周波数や位相を変えることで、当該楕円運動の回転方向や楕円比を適宜変化させて、所望の動きを得ることができる。

第１の振動子１０３Ａは、第１の支持部材１１２Ａに共振現象を阻害しない公知の方法で固定されている。そして、第１の支持部材１１２Ａは、振動板１０２を摩擦部材１０５に押圧する押圧方向Ｚに移動可能な公知の方法により連結部材１１３に保持されている。加圧手段１０６は、連結部材１１３と第１の支持部材１１２Ａとに狭持され、第１の支持部材１１２Ａを介して加圧手段１０６と同じ軸上に位置する第１の振動子１０３Ａに押圧力ＦＡをダイレクトに−Ｚ方向に付与する。

第２の振動子１０３Ｂも同様に共振現象を阻害しない公知の方法により第２の支持部材１１２Ｂに固定されている。そして、第２の支持部材１１２Ｂは、半円筒形状（カマボコ形状）をした係合部１１４を有し、係合部１１４が連結部材１１３のＶ字形状の凹部１１３ｒに係合する。この構成により、第２の振動子１０３Ｂは摩擦接触部１０２ｃに追従して揺動可能なように連結部材１１３に保持されている。第１の振動子１０３Ａと第２の振動子１０３Ｂは、連結部材１１３により摩擦接触部１０２ｃが駆動方向Ｘの法線Ｙ方向に並列するように配置される。そして、摩擦部材１０５の同一面上の摩擦接触面１０４に摩擦接触部１０２ｃが接触している。連結部材１１３は、締結部材１１６により地板１１５に固定されている。

摩擦部材１０５は、後述の案内手段１０７により駆動方向Ｘに直進案内されている。摩擦部材１０５は、第１の振動子１０３Ａと第２の振動子１０３Ｂのそれぞれの摩擦接触部１０２ｃが接触する摩擦接触面１０４の反対側の面に駆動方向Ｘに延びるＶ字形状の溝部１０５ｇを備えている。また、摩擦部材１０５に対向する地板１１５は、駆動方向Ｘに延びるＶ字形状の溝部１１５ｇを備えている。案内手段１０７は、摩擦部材１０５に備えられたＶ字形状の溝部１０５ｇと、地板１１５に備えられたＶ字形状の溝部１１５ｇと、これらＶ字形状の溝部１０５ｇ、溝部１１５ｇに狭持された２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂとにより構成されている。

続いて、押圧力ＦＡ、ＦＢの伝達について述べる。摩擦部材１０５は、２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂの中心を通る駆動方向Ｘと平行な回動軸１０８まわりに回動可能となっている。そして、加圧手段１０６が発生する押圧力ＦＡにより、第１の振動子１０３Ａはダイレクトに押圧され、摩擦部材１０５は第１の振動子１０３Ａの摩擦接触部１０２ｃから押圧方向−Ｚに押圧力ＦＡを受ける。押圧力ＦＡは、摩擦部材１０５が有する回動軸１０８に対して＋Ｙ方向にオフセットして作用することにより、摩擦部材１０５には回動軸１０８を中心とした左回りのモーメントＭ１が発生する。一方、摩擦部材１０５は、回動軸１０８に対して−Ｙ方向にオフセットして第２の振動子１０３Ｂの摩擦接触部１０２ｃとも接触している。そのため、左回りのモーメントＭ１は、第２の振動子１０３Ｂの摩擦接触部１０２ｃにより受けられ（又は制止され）、その際に発生する押圧方向Ｚの力が第２の振動子１０３Ｂを押圧する押圧力ＦＢとなる。このような構成により、少ない構成部材で加圧手段１０６による押圧力ＦＡを第１の振動子１０３Ａに与えるとともに、第２の振動子１０３Ｂに押圧力ＦＢを伝達させることができる。

次に図３（Ａ）、（Ｂ）を参照して、実施例１の直動型振動波モータ１００に用いられている各部材の駆動時の相対的な位置関係について述べる。図３（Ａ）、（Ｂ）は、実施例１の直動型振動波モータ１００を−Ｚ方向から見た平面図である。理解しやすいように摩擦部材１０５、第１の振動子１０３Ａ、第２の振動子１０３Ｂ、２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂ、地板１１５のみ示されている。

図３（Ａ）は、摩擦部材１０５が駆動方向Ｘにおいて相対移動のほぼ中央に位置したときの状態を示している。２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂは、第１の振動子１０３Ａからの−Ｚ方向の押圧力ＦＡを受けた摩擦部材１０５により地板１１５に押圧されている。そして、摩擦部材１０５のＶ字形状の溝部１０５ｇと地板１１５のＶ字形状の溝部１１５ｇとに狭持された２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂが転動することによって、摩擦部材１０５が振動子１０３の駆動力により駆動方向Ｘへ移動することを許容する。これにより摩擦部材１０５は摩擦抵抗を受けずに駆動方向Ｘに直進案内され、スムーズな移動が可能となっている。

図３（Ｂ）は、摩擦部材１０５が駆動方向Ｘにおいて−Ｘ方向に移動し、−Ｘ方向における相対移動範囲１１０の移動端１１１（−）に位置した時の状態を示している。摩擦部材１０５の相対移動範囲１１０は、２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂの直径と、摩擦部材１０５のＶ字形状の溝部１０５ｇ及び地板１１５のＶ字形状の溝部１１５ｇの駆動方向Ｘの長さとにより任意に規定される。図３（Ａ）において、振動子１０３よりも＋Ｘ方向側に位置する転動部材１０９ａは、摩擦部材１０５が移動端１１１（−）に位置した時に、振動子１０３の摩擦接触部１０２ｃよりもＸａの位置（＋Ｘ方向側）に配置されている。すなわち、転動部材１０９ａは、振動子１０３の摩擦接触部１０２ｃよりも相対移動の方向に対して外側に配置されている。また、図３（Ａ）において、振動子１０３よりも−Ｘ方向側に位置する転動部材１０９ｂは、摩擦部材１０５が移動端１１１（−）に位置した時に、振動子１０３の摩擦接触部１０２ｃよりもＸｂの位置（−Ｘ方向側）に配置されている。すなわち、転動部材１０９ｂも、振動子１０３の摩擦接触部１０２ｃよりも相対移動の方向に対して外側に配置されている。これにより、振動子１０３は、相対移動の方向における２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂの間を介在することになる。

また、摩擦部材１０５が＋Ｘ方向に移動したときも同様であり、振動子１０３よりも＋Ｘ方向側に位置する転動部材１０９ａは、摩擦部材１０５が移動端１１１（＋）（不図示）に位置した時に、摩擦接触部１０２ｃよりも＋Ｘ方向側に配置されている。また、振動子１０３よりも−Ｘ方向側に位置する転動部材１０９ｂは、摩擦部材１０５が移動端１１１（＋）（不図示）に位置した時に、振動子１０３の摩擦接触部１０２ｃよりも−Ｘ方向側に配置されている。

このような２つの転動部材１０９ａ、１０９ｂの配置構成により、摩擦部材１０５はＹ方向を回転の軸とする回動に対して安定して支持され、摩擦接触部１０２ｃにおいて均等な押圧が可能となるため、効率の良い駆動力伝達を実現できる。更により少ない構成部材で高出力な直動型振動波モータ１００を提供することができる。

図４（Ａ）〜（Ｄ）は、実施例１の直動型振動波モータ１００が有するイコライズ動作について示した図である。図４（Ａ）、（Ｂ）は、摩擦部材１０５が固定され、振動による駆動部が可動である構成の直動型振動波モータ１００を示している。図４（Ｃ）、（Ｄ）は、地板１１５が締結部材１１７により固定され、摩擦部材１０５が可動である直動型振動波モータ１００を示している。実施例１の直動型振動波モータ１００では、摩擦部材１０５が案内手段１０７により回動軸１０８まわりに回動可能となっているため、従来技術で用いられているイコライズ部材が不要である。よって、複数の振動子１０３を用いても構成部材が増えることが無く、部品点数削減によるコストダウンと小型化を実現することができる。

（実施例２）
次に、本発明の好適な実施例２について説明する。図５は本発明の実施例２の直動型振動波モータ２００の駆動方向Ｘに直交する方向における断面図である。また、図６は図５の断面線ＶＩ−ＶＩにおける直動型振動波モータ２００の断面図である。本実施例２における直動型振動波モータ２００は、駆動方向Ｘに長軸を有し、以下に述べる各部材により構成されている。本発明の実施例２の直動型振動波モータ２００は、第１の振動子２０３Ａ及び第２の振動子２０３Ｂを備えており、これらをまとめて表す場合は、振動子２０３と称する。第１の振動子２０３Ａ、第２の振動子２０３Ｂは、実施例１で説明したものと同様であるため、説明は省略する。

第１の振動子２０３Ａは、第１の支持部材２１２Ａに共振現象を阻害しない公知の方法で固定されている。そして、第１の支持部材２１２Ａは、振動板２０２を摩擦部材２０５に押圧する押圧方向Ｚに移動可能な公知の方法により連結部材２１３に保持されている。加圧手段２０６は、連結部材２１３と第１の支持部材２１２Ａとに狭持され、第１の支持部材２１２Ａを介して加圧手段２０６と同じ軸上に位置する第１の振動子２０３Ａに押圧力ＦＡをダイレクトに−Ｚ方向に付与する。

第２の振動子２０３Ｂも同様に共振現象を阻害しない公知の方法により第２の支持部材２１２Ｂに固定されている。そして、第２の支持部材２１２Ｂは、半円筒形状（カマボコ形状）をした係合部２１４を有し、係合部２１４が地板２１５のＶ字形状の凹部２１５ｒに係合する。この構成により、第２の振動子２０３Ｂは摩擦接触部２０２ｃに追従して揺動可能なように地板２１５に保持されている。第１の振動子２０３Ａと第２の振動子２０３Ｂは、連結部材２１３により摩擦接触部２０２ｃが駆動方向Ｘの法線Ｙ方向に並列するように、かつ摩擦部材２０５を挟んで対向に配置される。そして、摩擦部材２０５の両側に設けられた摩擦接触面２０４Ａ、２０４Ｂに第１の振動子２０３Ａと第２の振動子２０３Ｂのそれぞれの摩擦接触部２０２ｃが接触している。連結部材２１３は、締結部材２１６により地板２１５に固定されている。

摩擦部材２０５は、後述の案内手段２０７により駆動方向Ｘに直進案内されている。摩擦部材２０５は、第２の振動子２０３Ｂの摩擦接触部２０２ｃが接触する摩擦接触面２０４Ｂと同一の面に駆動方向Ｘに延びるＶ字形状の溝部２０５ｇを備えている。また、摩擦部材２０５に対向する地板２１５は、駆動方向Ｘに延びるＶ字形状の溝部２１５ｇを備えている。案内手段２０７は、摩擦部材２０５に備えられたＶ字形状の溝部２０５ｇと、地板２１５に備えられたＶ字形状の溝部２１５ｇと、これらＶ字形状の溝部２０５ｇ、溝部２１５ｇに狭持された２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂとにより構成されている。

続いて、押圧力ＦＡ、ＦＢの伝達について述べる。摩擦部材２０５は、２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂの中心を通る駆動方向Ｘと平行な回動軸２０８まわりに回動可能となっている。そして、加圧手段２０６が発生する押圧力ＦＡにより、第１の振動子２０３Ａはダイレクトに押圧され、摩擦部材２０５は第１の振動子２０３Ａの摩擦接触部２０２ｃから押圧方向−Ｚに押圧力ＦＡを受ける。押圧力ＦＡは、摩擦部材２０５が有する回動軸２０８に対して−Ｙ方向にオフセットして作用することにより、回動軸２０８を中心とした右回りのモーメントＭ２が発生する。一方、摩擦部材２０５は、回動軸２０８に対して押圧力ＦＡよりも更に−Ｙ方向にオフセットして第２の振動子２０３Ｂの摩擦接触部２０２ｃとも接触している。そのため、右回りのモーメントＭ２は、第２の振動子２０３Ｂの摩擦接触部２０２ｃにより受けられ（又は制止され）、その際に発生する押圧方向Ｚの力が第２の振動子２０３Ｂを押圧する押圧力ＦＢとなる。このような構成により、少ない構成部材で加圧手段２０６による押圧力ＦＡを第１の振動子２０３Ａに与えるとともに、第２の振動子２０３Ｂに押圧力ＦＢを伝達させることができる。

次に、図７（Ａ）、（Ｂ）を参照して、実施例２の直動型振動波モータ２００に用いられている各部材の駆動時の相対的な位置関係について述べる。図７（Ａ）、（Ｂ）は、実施例２の直動型振動波モータ２００を−Ｚ方向から見た平面図である。理解しやすいように摩擦部材２０５、第１の振動子２０３Ａ、第２の振動子２０３Ｂ、２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂ、第２の支持部材２１２Ｂ、地板２１５のみ示されている。

図７（Ａ）は、摩擦部材２０５が駆動方向Ｘにおいて相対移動のほぼ中心に位置した状態を示している。２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂは、第１の振動子２０３Ａからの−Ｚ方向の押圧力ＦＡを受けた摩擦部材２０５により地板２１５に押圧されている。そして、摩擦部材２０５のＶ字形状の溝部２０５ｇと地板２１５のＶ字形状の溝部２１５ｇとに狭持された２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂが転動することによって、摩擦部材２０５が振動子２０３の駆動力により駆動方向Ｘへ移動することを許容する。これにより摩擦部材２０５は摩擦抵抗を受けずに駆動方向Ｘに直進案内され、スムーズな移動を可能にしている。

図７（Ｂ）は、摩擦部材２０５が駆動方向Ｘにおいて−Ｘ方向に移動し、−Ｘ方向における相対移動範囲２１０の移動端２１１（−）に位置した時の状態を示している。摩擦部材２０５の相対移動範囲２１０は、２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂの直径と摩擦部材２０５のＶ字形状の溝部２０５ｇと地板２１５のＶ字形状の溝部２１５ｇの駆動方向Ｘの長さにより任意に規定される。図７（Ａ）において、振動子２０３よりも＋Ｘ方向側に位置する転動部材２０９ａは、摩擦部材２０５が移動端２１１（−）に位置した時に、振動子２０３の摩擦接触部２０２ｃよりもＸａの位置（＋Ｘ方向側）に配置されている。すなわち、転動部材２０９ａは、振動子２０３の摩擦接触部２０２ｃよりも相対移動の方向に対して外側に配置されている。また、図７（Ａ）において、振動子２０３よりも−Ｘ方向側に位置する転動部材２０９ｂは、摩擦部材２０５が移動端２１１（−）に位置した時に、振動子２０３の摩擦接触部２０２ｃよりもＸｂの位置（−Ｘ方向側）に配置されている。すなわち、転動部材２０９ｂも、振動子２０３の摩擦接触部２０２ｃよりも相対移動の方向に対して外側に配置されている。これにより、振動子２０３は、相対移動の方向における２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂの間を介在することになる。

また、摩擦部材２０５が＋Ｘ方向に移動したときも同様であり、振動子２０３よりも＋Ｘ方向側に位置する転動部材２０９ａは、摩擦部材２０５が移動端２１１（＋）（不図示）に位置した時に、摩擦接触部２０２ｃよりも＋Ｘ方向側に配置されている。また、振動子２０３よりも−Ｘ方向側に位置する転動部材２０９ｂは、摩擦部材２０５が移動端２１１（＋）（不図示）に位置した時に、振動子２０３の摩擦接触部２０２ｃよりも−Ｘ方向側に配置されている。

このような２つの転動部材２０９ａ、２０９ｂの配置構成により、摩擦部材２０５はＹ方向を回転の軸とする回動に対して安定して支持され、摩擦接触部２０２ｃにおいて均等な押圧が可能となるため、効率の良い駆動力伝達を実現できる。更により少ない構成部材で高出力な直動型振動波モータ２００を提供することができる。

（適用例）
図８には、例えば実施例１の直動型振動波モータ１００が組み込まれている光学装置の適用例としてのレンズ鏡筒２０が示されている。なお、当該レンズ鏡筒２０は略回転対称形であるため、上側半分のみが図示されている。撮像装置としてのカメラ本体１０には、レンズ鏡筒２０が着脱自在に取り付けられ、カメラ本体１０内には撮像素子１１が設けられている。カメラ本体１０のマウント１２には、レンズ鏡筒２０をカメラ本体１０に取り付けるためのバヨネット部が備えられている。

レンズ鏡筒２０は固定筒２１を有しており、固定筒２１がマウント１２のフランジ部と当接している。固定筒２１には、更にレンズＧ１を保持する前鏡筒２２とレンズＧ３を保持する後鏡筒２３とが固定されており、それぞれレンズＧ１とレンズＧ３が保持されている。更に固定筒２１には、フォーカスレンズ保持枠２４が備えられ、レンズＧ２が保持されている。フォーカスレンズ保持枠２４は、更に前鏡筒２２と後鏡筒２３に保持されたガイドバー２５によって直進移動可能に保持されている。直動型振動波モータ１００は、地板１１５が後鏡筒２３にビス等で固定されている。

上記のような構成で、直動型振動波モータ１００の摩擦部材１０５が駆動されると、直動型振動波モータ１００の駆動力は、摩擦部材１０５に備えられた連結部１０５ｃを介してフォーカスレンズ保持枠２４に伝達される。フォーカスレンズ保持枠２４はガイドバー２５によって案内されて直線移動する。

以上、本発明に関わる振動波モータ及び振動波モータを有する光学機器に関してその具体例を詳述したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、請求項記載の範囲に示したものであればどのような形態をとることも可能である。

２０ レンズ鏡筒（光学装置）
１００、２００ 直動型振動波モータ（振動波モータ）
１０１、２０１ 圧電素子
１０２、２０２ 振動板
１０２ｃ、２０２ｃ 摩擦接触部
１０３、２０３ 振動子
１０３Ａ、２０３Ａ 第１の振動子
１０３Ｂ、２０３Ｂ 第２の振動子
１０５、２０５ 摩擦部材
１０５ｇ、２０５ｇ 溝部
１０６、２０６ 加圧手段
１０７、２０７ 案内手段
１０８、２０８ 軸
１０９、２０９ 転動部材
１１０、２１０ 相対移動範囲
１１１、２１１ 移動端
１１５、２１５ 地板
１１５ｇ、２１５ｇ 溝部
ＦＡ、ＦＢ 押圧力

Claims (12)

1. 圧電素子と振動板とからなる複数の振動子と、
   前記振動子の摩擦接触部と接触する摩擦部材と、
   前記振動子を前記摩擦部材に押圧する押圧力を発生する加圧手段と、
   前記振動子と前記摩擦部材との相対移動を案内する案内手段と、
   を備え、前記振動子が発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを前記相対移動させる振動波モータにおいて、
   前記押圧力は、前記摩擦部材が回動することにより前記振動子に伝達されることを特徴とする振動波モータ。
2. 前記案内手段は、前記振動子と前記摩擦部材とを回動可能に案内し、前記回動は複数の前記振動子により制止されることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
3. 複数の前記振動子は、前記相対移動の方向に対して並列に配置され、前記摩擦部材は、前記相対移動の方向に平行な軸まわりに回動可能に案内されることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
4. 複数の前記振動子は、前記摩擦部材を挟んで配置され、前記摩擦部材は、前記相対移動の方向に平行な軸まわりに回動可能に案内されることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
5. 前記案内手段は、複数の転動部材を備えるとともに、前記転動部材が前記摩擦部材及び地板のそれぞれに備えられたＶ字形状の溝部に狭持されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
6. 前記振動子は、前記相対移動の方向における２つの前記転動部材の間を介在することを特徴とする請求項５に記載の振動波モータ。
7. 前記振動子と前記摩擦部材の相対移動範囲の移動端において、前記転動部材は、前記振動子の前記摩擦接触部より前記相対移動の方向に対して外側に配置されることを特徴とする請求項５又は６に記載の振動波モータ。
8. 前記振動子と前記転動部材とは、前記摩擦部材を挟んで対向に配置されることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
9. 複数の前記振動子は、第１の振動子と第２の振動子とにより構成され、前記第１の振動子は前記加圧手段により押圧され、前記押圧力は前記案内手段を介して前記第２の振動子を押圧することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波モータ。
10. 前記第１の振動子は、前記加圧手段の押圧方向に位置し、前記加圧手段にダイレクトに押圧されることを特徴とする請求項９に記載の振動波モータ。
11. 前記振動波モータは、超音波領域の周波数の振動を用いた超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動波モータ。
12. 請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の振動波モータを有する光学装置。

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