JP2019046998A - 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェハの処理に用いられるガスの無駄を削減可能な半導体製造装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体製造装置は、ガス供給部1から供給されたガスを収容する第1タンク6及び第2タンク7を備える。装置はさらに、ガス供給部、第1タンク、または第2タンクから供給されたガスを用いてウェハを処理するチャンバ2を備える。装置はさらに、第1タンク及び第2タンク内の物理量を計測する第1計測器8及び第2計測器9を備え、計測された物理量に基づいてチャンバへのガスの供給を制御する制御部10を備える。
【選択図】図1
【解決手段】半導体製造装置は、ガス供給部1から供給されたガスを収容する第1タンク6及び第2タンク7を備える。装置はさらに、ガス供給部、第1タンク、または第2タンクから供給されたガスを用いてウェハを処理するチャンバ2を備える。装置はさらに、第1タンク及び第2タンク内の物理量を計測する第1計測器8及び第2計測器9を備え、計測された物理量に基づいてチャンバへのガスの供給を制御する制御部10を備える。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体製造装置および半導体装置の製造方法に関する。
ガスを用いてウェハをチャンバ内で処理する場合、ガス供給部からのガスをチャンバに供給せずにチャンバを迂回させることがある。例えば、ガス供給部とチャンバとの間にMFC(Mass Flow Controller)を配置する場合には、ウェハの処理の開始前に、MFCにガスを供給してMFCを安定化させる。この場合、MFCを通過したガスはチャンバを迂回することから、ガスがウェハの処理に寄与せずに無駄になってしまう。
ウェハの処理に用いられるガスの無駄を削減可能な半導体製造装置および半導体装置の製造方法を提供する。
一の実施形態によれば、半導体製造装置は、ガス供給部から供給されたガスを収容する第1および第2タンクを備える。前記装置はさらに、前記ガス供給部、前記第1タンク、または前記第2タンクから供給されたガスを用いてウェハを処理するチャンバを備える。前記装置はさらに、前記第1タンク、前記第2タンク、および前記チャンバへのガスの供給を制御する制御部を備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の半導体製造装置の構成を示す模式図である。
図1は、第1実施形態の半導体製造装置の構成を示す模式図である。
図1の半導体製造装置は、ガス供給部1と、チャンバ2と、ポンプ3と、第1MFC4と、第2MFC5と、第1タンク6と、第2タンク7と、第1計測器8と、第2計測器9と、制御部10とを備えている。第1MFC4は第1流量制御器の例であり、第2MFC5は第2流量制御器の例である。
図1の半導体製造装置はさらに、第1供給バルブ11と、第2供給バルブ12と、第3供給バルブ13と、迂回バルブ14と、第1入口バルブ21と、第2入口バルブ22と、第1出口バルブ23と、第2出口バルブ24と、第1移送バルブ25と、第2移送バルブ26と、導入バルブ27とを備えている。バルブ21〜26はそれぞれ第1〜第6バルブの例である。
図1はさらに、ガスを供給するガス流路として、流路P1〜P4や流路P11〜P19を示している。
ガス供給部1は、ウェハを処理するガスを供給する。このようなガスの例は、ウェハに膜を形成するためのCVD(Chemical Vapor Deposition)ガスや、ウェハ上の膜をエッチングするためのRIE(Reactive Ion Etching)ガスである。ガス供給部1は、例えばガスボンベである。ガス供給部1は、流路P1にガスを供給する。
チャンバ2は、ガス供給部1等からのガスを用いてウェハを処理する。チャンバ2の例は、CVDチャンバやRIEチャンバである。チャンバ2は、ガス供給部1等からのガスを流路P2から導入し、流路P3にガスを排出する。
ポンプ3は、チャンバ2からガスを排出するために流路P3に設けられている。なお、流路P2と流路P3は、チャンバ2を迂回する流路P4に接続されている。
第1MFC4は、流路P1と流路P2との間に配置されている。第1MFC4は、図1に示すように、ガス供給部1の下流に位置し、チャンバ2、第1タンク6、および第2タンク7の上流に位置している。第1MFC4は、ガス供給部1からのガスの質量流量を計測する機能と、ガス供給部1からのガスの質量流量を制御する機能とを有している。第1MFC4は、計測した流量を制御部10に出力してもよい。
第2MFC5は、流路P15と流路P16との間に配置されている。第2MFC5は、図1に示すように、第1タンク6および第2タンク7の下流に位置し、チャンバ2の上流に位置している。第2MFC5は、第1タンク6または第2タンク7からのガスの質量流量を計測する機能と、第1タンク6および第2タンク7からのガスの質量流量を制御する機能とを有している。第2MFC5は、計測した流量を制御部10に出力してもよい。
第1タンク6は、ガス供給部1からのガスを収容し、収容したガスをチャンバ2に供給する。これにより、チャンバ2は、第1タンク6からのガスを用いてウェハを処理することができる。第1タンク6は、収容したガスを第2タンク7に供給(移送)することもできる。第1タンク6は、ガス供給部1からのガスを流路P11から導入し、流路P13にガスを排出する。流路P11は、流路P4に接続されている。さらに、第1タンク6は、第2タンク7からのガスを流路P14、P15、P16、P17、およびP11を介して導入する。なお、流路P19は、流路P16、P17、およびP2に接続されている。
第2タンク7は、ガス供給部1からのガスを収容し、収容したガスをチャンバ2に供給する。これにより、チャンバ2は、第2タンク7からのガスを用いてウェハを処理することができる。第2タンク7は、収容したガスを第1タンク6に供給(移送)することもできる。第2タンク7は、ガス供給部1からのガスを流路P12から導入し、流路P14にガスを排出する。流路P12は、流路P4に接続されている。さらに、第2タンク7は、第1タンク6からのガスを流路P13、P15、P16、P18、およびP12を介して導入する。なお、流路P19は、流路P16、P18、およびP2に接続されている。
第1計測器8は、第1タンク6内のガスの物理量を計測し、例えば、第1タンク6内のガスの圧力を計測する。第1計測器8は、計測した物理量を制御部10に出力する。
第2計測器9は、第2タンク7内のガスの物理量を計測し、例えば、第2タンク7内のガスの圧力を計測する。第2計測器9は、計測した物理量を制御部10に出力する。
制御部10は、半導体製造装置の種々の動作を制御する。例えば、制御部10は、チャンバ2の動作、ポンプ3の動作、バルブ11〜14の開閉、バルブ21〜27の開閉などを制御する。制御部10の例は、プロセッサ、電気回路、コンピュータなどである。
第1供給バルブ11は、流路P1上に設けられている。第2供給バルブ12と第3供給バルブ13は、流路P2上に設けられている。迂回バルブ14は、流路P4上に設けられている。なお、流路P4は、第1MFC4と第2供給バルブ12との間の地点で流路P2に接続されている。また、流路P19は、第2供給バルブ12と第3供給バルブ13との間の地点で流路P2に接続されている。
第1入口バルブ21、第2入口バルブ22、第1出口バルブ23、第2出口バルブ24はそれぞれ、流路P11、P12、P13、P14上に設けられている。第1移送バルブ25と第2移送バルブ26はそれぞれ、流路P17、P18上に設けられている。導入バルブ27は、流路P19上に設けられている。なお、流路P11、P12は、迂回バルブ14よりも上流の地点で流路P4に接続されている。
制御部10は、これらのバルブ11〜27などを制御することで、第1タンク6、第2タンク7、およびチャンバ2へのガスの供給を制御する。
例えば、制御部10は、ガス供給部1から第1タンク6にガスを供給する第1処理と、ガス供給部1から第2タンク7にガスを供給する第2処理と、第1タンク6からチャンバ2にガスを供給する第3処理と、第2タンク7からチャンバ2にガスを供給する第4処理とを制御する。制御部10は、バルブ21〜24などを制御することで、第1から第4処理を制御することができる。例えば、第1処理を実行する際には、第1入口バルブ21が開放される。
さらに、制御部10は、第2タンク7から第1タンク6にガスを供給する第5処理と、第1タンク6から第2タンク7にガスを供給する第6処理とを制御する。制御部10は、バルブ25、26などを制御することで、第5および第6処理を制御することができる。例えば、第5処理を実行する際には、第1移送バルブ25と第2出口バルブ24とが開放される。
さらに、制御部10は、ガス供給部1から第1および第2タンク6、7を介さずにチャンバ2にガスを供給する第7処理を制御する。制御部10は、バルブ11〜13などを制御することで、第7処理を制御することができる。例えば、第7処理を実行する際には、第1〜第3供給バルブ11〜13が開放される。
そして、本実施形態の制御部10は、第1から第7処理のうちの2つ以上を同時に実行しないように動作する。例えば、第1処理を実行している間は、第2から第7処理は実行されない。第1から第7処理を実行する順番の例については、図2から図5を参照して後述する。
制御部10は、第1タンク6内のガスの圧力の計測結果を第1計測器8から受信し、第2タンク7内のガスの圧力の計測結果を第2計測器9から受信し、これらの圧力を監視する。そして、制御部10は、これらの圧力に基づき、第1タンク6、第2タンク7、およびチャンバ2へのガスの供給を制御する。
例えば、制御部10は、ガス供給部1または第1タンク6から第2タンク6へのガスの供給中には、第1タンク6内のガスの圧力を監視する。この場合、第1タンク6内のガスの圧力が所定値に到達したら、第1タンク6へのガスの供給を停止する。所定値は例えば66.7kPaである。制御部10はその後、ガス供給部1または第2タンク7から第1タンク6にガスを供給する。このように、第1および第2タンク6、7へのガス供給は、交互に行われる。なお、制御部10は、圧力以外の物理量を監視して、ガス供給の制御に使用してもよい。
図2から図5は、第1実施形態の半導体製造装置の動作を説明するための図である。図2から図5において、白色のバルブは開放されたバルブを示し、黒色のバルブは閉鎖されたバルブを示している。
まず、バルブ11、21を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図2(a))。図2(a)の工程では、第1MFC4を安定化させるために、ガス供給部1から第1MFC4を介して第1タンク6にガスを供給する(符号A1)。その結果、ガスが無駄に排気されずに、第1タンク6に収容される。図2(a)の工程は、第1処理に対応している。
次に、バルブ11〜13を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図2(b))。図2(b)の工程では、ガス供給部1から第1MFC4を介してチャンバ2にガスを供給し、チャンバ2内のウェハをガスにより処理する(符号A2)。図2(b)の工程は、第7処理に対応している。
図2(a)の工程と図2(b)の工程は、第1タンク6内の圧力が所定値に到達するまで交互に行われる。図2(a)の工程は、第1MFC4を安定化させる工程であり、図2(b)の工程は、ウェハを処理する工程である。
第1タンク6内の圧力が所定値に到達すると、バルブ11、22を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図3(a))。図3(a)の工程では、第1MFC4を安定化させるために、ガス供給部1から第1MFC4を介して第2タンク7にガスを供給する(符号A3)。その結果、ガスが無駄に排気されずに、第2タンク7に収容される。図3(a)の工程は、第2処理に対応している。この場合、図3(a)の工程と図2(b)の工程とを交互に実行することができる。
次に、バルブ23、26を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図3(b))。図3(b)の工程では、第2MFC5を安定化させるために、第1タンク6から第2MFC5を介して第2タンク7にガスを供給する(符号A4)。その結果、ガスが無駄に排気されずに、第1タンク6から第2タンク7に移送される。図3(b)の工程は、第6処理に対応している。
次に、バルブ13、23、27を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図4(a))。図4(a)の工程では、第1タンク6から第2MFC5を介してチャンバ2にガスを供給し、チャンバ2内のウェハをガスにより処理する(符号A5)。図4(a)の工程は、第3処理に対応している。
次に、バルブ11、22を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図4(b))。図4(b)の工程では、第1MFC4を安定化させるために、ガス供給部1から第1MFC4を介して第2タンク7にガスを供給する(符号A6)。その結果、ガスが無駄に排気されずに、第2タンク7に収容される。図4(b)の工程は、第2処理に対応している。この場合、第2タンク7内の圧力が所定値に到達するまで、図4(b)の工程と図2(b)の工程とを交互に実行することができる。
第2タンク7内の圧力が所定値に到達すると、バルブ24、25を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図5(a))。図5(a)の工程では、第2MFC5を安定化させるために、第2タンク7から第2MFC5を介して第1タンク6にガスを供給する(符号A7)。その結果、ガスが無駄に排気されずに、第2タンク7から第1タンク6に移送される。図5(a)の工程は、第5処理に対応している。
次に、バルブ13、24、27を開放し、その他のバルブを閉鎖する(図5(b))。図5(b)の工程では、第2タンク7から第2MFC5を介してチャンバ2にガスを供給し、チャンバ2内のウェハをガスにより処理する(符号A8)。図5(b)の工程は、第4処理に対応している。
その後、本実施形態では、同様の工程を繰り返し実行する。このようにして、ウェハから半導体装置を製造することができる。
以上のように、本実施形態の半導体製造装置は、ガス供給部1からのガスを収容する第1タンク6と第2タンク7とを備え、チャンバ2は、ガス供給部1、第1タンク6、または第2タンク7からのガスを用いてウェハを処理する。よって、本実施形態によれば、ガスを無駄に排気せずに第1および第2MFC4、5を安定化することが可能となる。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、例えば高価なガスや希少なガスを使用する場合に効果的である。このようなガスの例は、タングステン含有ガス、ボロン含有ガス、high−k絶縁膜用のソースガスなどである。
本実施形態の半導体製造装置は、図3(b)の工程において、第1タンク6から第2タンク7にガスを移送する。この際、第1タンク6内のガスは、第1タンク6と第2タンク7との間の差圧により第2タンク7に移送される。よって、本実施形態によれば、このような移送をポンプを用いずに行うことができる。これは、図5(a)の工程でも同様である。
第1および第2タンク6、7の容量は、同じ容量でもよいし、異なる容量でもよい。ただし、第1および第2タンク6、7の容量を同じ容量にすれば、上記の差圧を発生させやすくなる。よって、本実施形態では、第1および第2タンク6、7の容量を同じ容量に設定している。
なお、本実施形態の半導体製造装置は、ガス供給部1とチャンバ2との間に3台以上のタンクを備えていてもよい。これらのタンクは、上述の第1および第2タンク6、7と同様の方法で使用可能である。例えば、第1および第2タンク6、7にガスを交互に供給するのと同様に、これら3台以上のタンクにガスを順番に供給してもよい。3台以上のタンクを備える半導体製造装置は、例えばチャンバ2に大流量のガスを供給する必要がある場合に効果的である。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な装置および方法は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した装置および方法の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:ガス供給部、2:チャンバ、3:ポンプ、
4:第1MFC、5:第2MFC、6:第1タンク、7:第2タンク、
8:第1計測器、9:第2計測器、10:制御部、
11:第1供給バルブ、12:第2供給バルブ、
13:第3供給バルブ、14:迂回バルブ、
21:第1入口バルブ、22:第2入口バルブ、
23:第1出口バルブ、24:第2出口バルブ、
25:第1移送バルブ、26:第2移送バルブ、27:導入バルブ
4:第1MFC、5:第2MFC、6:第1タンク、7:第2タンク、
8:第1計測器、9:第2計測器、10:制御部、
11:第1供給バルブ、12:第2供給バルブ、
13:第3供給バルブ、14:迂回バルブ、
21:第1入口バルブ、22:第2入口バルブ、
23:第1出口バルブ、24:第2出口バルブ、
25:第1移送バルブ、26:第2移送バルブ、27:導入バルブ
Claims (10)
- ガス供給部から供給されたガスを収容する第1および第2タンクと、
前記ガス供給部、前記第1タンク、または前記第2タンクから供給されたガスを用いてウェハを処理するチャンバと、
前記第1タンク、前記第2タンク、および前記チャンバへのガスの供給を制御する制御部と、
を備える半導体製造装置。 - 前記第1タンク内のガスの物理量を計測する第1計測器と、
前記第2タンク内のガスの物理量を計測する第2計測器とをさらに備え、
前記制御部は、前記第1および第2計測器により計測された物理量に基づき、前記第1タンク、前記第2タンク、および前記チャンバへのガスの供給を制御する、請求項1に記載の半導体製造装置。 - 前記制御部は、前記ガス供給部から前記第1タンクにガスを供給する第1処理と、前記ガス供給部から前記第2タンクにガスを供給する第2処理と、前記第1タンクから前記チャンバにガスを供給する第3処理と、前記第2タンクから前記チャンバにガスを供給する第4処理とを制御する、請求項1または2に記載の半導体製造装置。
- 前記制御部は、前記第1から第4処理のうちの2つ以上を同時に実行しないように動作する、請求項3に記載の半導体製造装置。
- 前記ガス供給部と前記第1タンクとの間に設けられた第1バルブと、
前記ガス供給部と前記第2タンクとの間に設けられた第2バルブと、
前記第1タンクと前記チャンバとの間に設けられた第3バルブと、
前記第2タンクと前記チャンバとの間に設けられた第4バルブとをさらに備え、
前記制御部は、前記第1から第4バルブを制御することで、前記第1から第4処理を制御する、請求項3または4に記載の半導体製造装置。 - 前記制御部は、前記第2タンクから前記第1タンクにガスを供給する第5処理と、前記第1タンクから前記第2タンクにガスを供給する第6処理とを制御する、請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記第2タンクから前記第1タンクにガスを供給する第5バルブと、
前記第1タンクから前記第2タンクにガスを供給する第6バルブとをさらに備え、
前記制御部は、前記第5および第6バルブを制御することで、前記第5および第6処理を制御する、請求項6に記載の半導体製造装置。 - 前記制御部は、前記ガス供給部から前記第1および第2タンクを介さずに前記チャンバにガスを供給する第7処理を制御する、請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記ガス供給部と前記第1および第2タンクとの間に設けられた第1流量制御器と、
前記第1および第2タンクと前記チャンバとの間に設けられた第2流量制御器と、
をさらに備える請求項1から8のいずれか1項に記載の半導体製造装置。 - ガス供給部から供給されたガスを第1または第2タンクに収容し、
前記ガス供給部、前記第1タンク、または前記第2タンクから供給されたガスを用いてウェハをチャンバ内で処理し、
前記第1タンク、前記第2タンク、および前記チャンバへのガスの供給を制御部により制御する、
ことを含む半導体装置の製造方法。
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