JP2019043082A5 - - Google Patents

Description

本発明の一観点によると、
液体材料が供給される供給口、前記供給口から供給された前記液体材料を吐出する吐出口、及び吐出されなかった前記液体材料を排出する排出口を含む吐出部と、
前記吐出口内の前記液体材料のメニスカス圧に依存する第１制御量、及び前記供給口の圧力と前記排出口の圧力との差圧に依存する第２制御量が、それぞれ前記第１制御量の目標値である第１目標値、及び前記第２制御量の目標値である第２目標値に維持されるように制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、前記第１制御量及び前記第２制御量が、それぞれ前記第１目標値及び前記第２目標値に近づくまでの期間において、前記第１制御量を前記第１目標値に近づける制御を、前記第２制御量を前記第２目標値に近づける制御に優先して実行する機能を持つ液体材料吐出装置が提供される。

本発明の他の観点によると、
液体材料が供給される供給口、前記供給口から供給された前記液体材料を吐出する吐出口、及び吐出されなかった前記液体材料を排出する排出口を含む吐出部への、前記液体材料の供給と排出とを行う方法であって、
前記吐出口内の前記液体材料のメニスカス圧である第１制御量、及び前記供給口の圧力と前記排出口の圧力との差圧である第２制御量が、それぞれ前記第１制御量の目標値である第１目標値、及び前記第２制御量の目標値である第２目標値に維持されるように、前記液体材料の供給及び排出を行う第１の制御モードによる制御と、
前記第１の制御モードによる制御の前に、前記第１制御量を前記第１目標値に近づける制御を、前記第２制御量を前記第２目標値に近づける制御に優先して実行する第２の制御モードによる制御と
を行う液体材料吐出方法が提供される。

Claims (7)

1. 液体材料が供給される供給口、前記供給口から供給された前記液体材料を吐出する吐出口、及び吐出されなかった前記液体材料を排出する排出口を含む吐出部と、
   前記吐出口内の前記液体材料のメニスカス圧に依存する第１制御量、及び前記供給口の圧力と前記排出口の圧力との差圧に依存する第２制御量が、それぞれ前記第１制御量の目標値である第１目標値、及び前記第２制御量の目標値である第２目標値に維持されるように制御する制御装置と
   を備え、
   前記制御装置は、前記第１制御量及び前記第２制御量が、それぞれ前記第１目標値及び前記第２目標値に近づくまでの期間において、前記第１制御量を前記第１目標値に近づける制御を、前記第２制御量を前記第２目標値に近づける制御に優先して実行する機能を持つ液体材料吐出装置。
2. 前記制御装置は、
   前記第１制御量を、前記第１目標値を含む第１目標範囲内に整定させる制御を行い、
   その後、前記第２制御量を、前記第２目標値を含む第２目標範囲内に整定させる制御を行い、
   その後、前記第１制御量及び前記第２制御量を、前記第１目標値及び前記第２目標値に維持する制御を行う請求項１に記載の液体材料吐出装置。
3. さらに、
   前記供給口に流入する前記液体材料の圧力を測定する第１の圧力センサと、
   前記排出口から排出された前記液体材料の圧力を測定する第２の圧力センサと
   を有し、
   前記制御装置は、前記第１の圧力センサの測定値と前記第２の圧力センサの測定値との差に基づいて前記第２制御量を得る請求項１または２に記載の液体材料吐出装置。
4. 前記制御装置は、前記第１の圧力センサの測定値と前記第２の圧力センサの測定値との和、及び前記吐出口の位置の前記液体材料に加わる水頭圧に基づいて、前記第１制御量を得る請求項３に記載の液体材料吐出装置。
5. さらに、
   前記供給口に向けて前記液体材料を送り出す第１のポンプと、
   前記排出口から前記液体材料を排出する第２のポンプと
   を有し、
   前記制御装置は、前記第１のポンプ及び前記第２のポンプの出力を制御することにより、前記第１制御量及び前記第２制御量を、それぞれ前記第１目標値及び前記第２目標値に近づける請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体材料吐出装置。
6. 液体材料が供給される供給口、前記供給口から供給された前記液体材料を吐出する吐出口、及び吐出されなかった前記液体材料を排出する排出口を含む吐出部への、前記液体材料の供給と排出とを行う方法であって、
   前記吐出口内の前記液体材料のメニスカス圧である第１制御量、及び前記供給口の圧力と前記排出口の圧力との差圧である第２制御量が、それぞれ前記第１制御量の目標値である第１目標値、及び前記第２制御量の目標値である第２目標値に維持されるように、前記液体材料の供給及び排出を行う第１の制御モードによる制御と、
   前記第１の制御モードによる制御の前に、前記第１制御量を前記第１目標値に近づける制御を、前記第２制御量を前記第２目標値に近づける制御に優先して実行する第２の制御モードによる制御と
   を行う液体材料吐出方法。
7. 前記第１の制御モードにおいて、前記第１制御量を、前記第１目標値を含む第１目標範囲内に整定し、その後、前記第２制御量を、前記第２目標値を含む第２目標範囲内に整定する請求項６に記載の液体材料吐出方法。