JP2019039683A - Optical inspection device and abnormality detection method - Google Patents

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祥憲 樽本
Yoshinori Tarumoto
祥憲 樽本
雅 近藤
Masa Kondo
雅 近藤
一幸 杉本
Kazuyuki Sugimoto
一幸 杉本
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Abstract

To detect the presence of abnormality in at least one of an excitation light irradiation unit and a fluorescence detection unit.SOLUTION: An optical inspection unit 1 comprises: an excitation light irradiation unit 4 for applying excitation light in an inspection region R for causing foreign matter F stuck to a specimen S to generate fluorescence; an optical conversion unit 8, installed in the inspection region R, for causing fluorescence to be generated by excitation light; a fluorescence detection unit 52 for detecting the fluorescence generated by foreign matter F in the inspection region R and the fluorescence generated by the optical conversion unit 8 and outputting a detection signal for the detected fluorescence; and a processing unit 6 for detecting the presence of abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 on the basis of the detection signal for the fluorescence generated by the optical conversion unit 8.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、被検査物に異物が含まれているか否かを検査する光検査装置、及び光検査装置における異常検出方法に関する。   The present invention relates to an optical inspection apparatus that inspects whether or not a foreign object is contained in an object to be inspected, and an abnormality detection method in the optical inspection apparatus.

特許文献1には、魚等の切り身に寄生虫等の異物が含まれているか否かを検査するために、励起光照射部から紫外線等の励起光を切り身に照射し、異物から発生した蛍光を蛍光検出部によって検出する検出装置が記載されている。   In Patent Document 1, in order to inspect whether a fish or other fillet contains foreign substances such as parasites, the excitation light such as ultraviolet rays is irradiated to the fillet from the excitation light irradiation unit, and fluorescence generated from the foreign matter is detected. Describes a detection device that detects a fluorescence by a fluorescence detection unit.

特開平1−311253号公報Japanese Patent Laid-Open No. 1-311253

特許文献1に記載された検出装置において、蛍光検出部は、励起光照射部から照射された励起光ではなく、異物から発生した蛍光を検出している。例えばランプ切れ等の異常が励起光照射部に生じた場合、蛍光検出部の検出信号は蛍光が検出されない状態のままとなる。このため、蛍光検出部の検出信号を見ても、蛍光を発生させる異物が検査領域内に存在しないのか、励起光照射部に異常が生じているのかを検出することができない。   In the detection apparatus described in Patent Document 1, the fluorescence detection unit detects fluorescence generated from a foreign substance, not the excitation light emitted from the excitation light irradiation unit. For example, when an abnormality such as lamp breakage occurs in the excitation light irradiation unit, the detection signal of the fluorescence detection unit remains in a state where no fluorescence is detected. For this reason, even if it sees the detection signal of a fluorescence detection part, it cannot detect whether the foreign material which generate | occur | produces fluorescence exists in a test | inspection area | region, or abnormality has arisen in the excitation light irradiation part.

そこで、本発明は、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出可能な光検査装置、及び異常検出方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide an optical inspection apparatus and an abnormality detection method capable of detecting the presence / absence of at least one of an excitation light irradiation unit and a fluorescence detection unit.

本発明に係る光検査装置は、被検査物を検査領域に搬送する搬送部と、被検査物に付着した異物に蛍光を発生させるための励起光を検査領域に照射する励起光照射部と、検査領域内に設置され、励起光によって蛍光を発生させる光変換部と、検査領域において、励起光によって異物が発生させた蛍光と励起光によって光変換部が発生させた蛍光とを検出し、検出した蛍光の検出信号を出力する蛍光検出部と、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する異常検出部と、を備える。   An optical inspection apparatus according to the present invention includes a transport unit that transports an object to be inspected to an inspection region, an excitation light irradiation unit that irradiates the inspection region with excitation light for generating fluorescence in a foreign substance attached to the inspection object, Detects and detects the light conversion unit that is installed in the inspection area and generates fluorescence by excitation light, and the fluorescence generated by the foreign substance by excitation light and the fluorescence generated by the light conversion unit by excitation light in the inspection area A fluorescence detection unit that outputs the detected fluorescence detection signal, and an abnormality detection unit that detects the presence / absence of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit And comprising.

この光検査装置において、光変換部は、検査領域内に励起光が照射されている場合に蛍光を発生させる。このため、蛍光検出部は、検査領域内に搬送された被検査物に異物が付着しているか否かにかかわらず、光変換部が発生させた蛍光を検出することができる。ここで、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が生じた場合、光変換部が発生させた蛍光の検出信号にも異常が生じる。従って、異常検出部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出することができる。   In this optical inspection apparatus, the light conversion unit generates fluorescence when excitation light is irradiated in the inspection region. For this reason, the fluorescence detection unit can detect the fluorescence generated by the light conversion unit regardless of whether or not a foreign object is attached to the inspection object conveyed into the inspection region. Here, when an abnormality occurs in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit, an abnormality also occurs in the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit. Therefore, the abnormality detection unit can detect the presence or absence of an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit.

光検査装置において、異常検出部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号の有無に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出してもよい。光変換部が発生させた蛍光の検出信号が無い場合とは、励起光が照射されていないために光変換部が蛍光を発生させていない場合又は光変換部が蛍光を発生させているものの発生させた蛍光が検出されていない場合である。このため、異常判定部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号の有無を判定するだけで、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を容易に検出できる。   In the optical inspection apparatus, the abnormality detection unit may detect the presence / absence of at least one of the abnormality of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the presence / absence of the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit. When there is no detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit, the case where the light conversion unit does not generate fluorescence because the excitation light is not irradiated or the case where the light conversion unit generates fluorescence This is a case where the detected fluorescence is not detected. Therefore, the abnormality determination unit can easily detect the presence / absence of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit only by determining the presence / absence of the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit.

光検査装置において、検査領域は、第1領域と、第1領域とは異なる第2領域とを含み、光変換部は、第1領域内に設置され、搬送部は、被検査物を第2領域に搬送してもよい。この場合、異常検出部は、異物が発生させた蛍光の検出信号と、光変換部が発生させた蛍光の検出信号とを容易に識別できる。   In the optical inspection apparatus, the inspection region includes a first region and a second region different from the first region, the light conversion unit is installed in the first region, and the transport unit holds the second object to be inspected. You may convey to an area | region. In this case, the abnormality detection unit can easily identify the fluorescence detection signal generated by the foreign matter and the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit.

光検査装置は、搬送部における被検査物の搬送を制御する搬送制御部を更に備え、搬送制御部は、異常検出部によって励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が有りと検出された場合、搬送部における被検査物の搬送を停止させてもよい。これにより、光検査装置は、搬送部によって被検査物が次々と搬送される場合であっても、励起光照射部等の異常によって異物の検出が正しくできない状態のまま検査領域に被検査物が搬送され続けることを防止できる。   The optical inspection apparatus further includes a conveyance control unit that controls conveyance of the inspection object in the conveyance unit, and the conveyance control unit detects that there is an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit by the abnormality detection unit. When it is done, the conveyance of the inspection object in the conveyance unit may be stopped. As a result, the optical inspection apparatus can detect the inspection object in the inspection region in a state where the foreign object cannot be detected correctly due to an abnormality of the excitation light irradiation unit or the like even when the inspection object is successively transferred by the transfer unit. It can be prevented from continuing being conveyed.

光検査装置において、光検査装置は、検査領域を覆う筐体を更に備え、光変換部は、筐体に固定されていてもよい。この場合、光変換部は、筐体を用いて検査領域内に容易に設置され得る。   In the optical inspection device, the optical inspection device may further include a housing that covers the inspection region, and the light conversion unit may be fixed to the housing. In this case, the light conversion unit can be easily installed in the inspection region using the housing.

光検査装置において、筐体は、搬送部に対して離間可能に設けられていてもよい。この場合、例えば、作業者が搬送部の清掃作業等を行うときに筐体を搬送部から離間させることが可能となる。これにより、作業者は、搬送部の掃除作業等を容易に行うことができる。   In the optical inspection apparatus, the housing may be provided so as to be separated from the transport unit. In this case, for example, when the worker performs a cleaning operation or the like of the transport unit, the casing can be separated from the transport unit. Thereby, the worker can easily perform the cleaning operation and the like of the transport unit.

光検査装置は、蛍光の波長帯以外の波長帯の光を減衰させるフィルタを更に備え、蛍光検出部は、当該蛍光検出部の光取込部に入射した蛍光を検出し、フィルタは、光取込部に対向する位置に設けられていてもよい。この場合、蛍光以外の光が蛍光検出部の光取込部に入射することが抑制される。これにより、光検査装置は、蛍光検出部の検出精度を向上させることが可能となる。   The optical inspection device further includes a filter that attenuates light in a wavelength band other than the fluorescence wavelength band, the fluorescence detection unit detects fluorescence incident on the light capturing unit of the fluorescence detection unit, and the filter You may be provided in the position which opposes an insertion part. In this case, light other than fluorescence is prevented from entering the light capturing unit of the fluorescence detection unit. Thereby, the optical inspection apparatus can improve the detection accuracy of the fluorescence detection unit.

光検査装置において、搬送部における被検査物が載置される載置面には、励起光の反射防止処理が施されていてもよい。これにより、被検査物周辺の載置面で反射された励起光の反射光が蛍光検出部に入射する割合を減少させることができる。   In the optical inspection apparatus, an excitation light reflection preventing process may be performed on a mounting surface on which an object to be inspected in the transport unit is mounted. Thereby, the ratio that the reflected light of the excitation light reflected by the mounting surface around the inspection object enters the fluorescence detection unit can be reduced.

本発明に係る異常検出方法は、検査領域に搬送された被検査物に励起光を照射して被検査物に付着する異物を検出すると共に、励起光によって蛍光を発生させる光変換部が検査領域内に設置された光検査装置における異常検出方法であって、異物及び光変換部に蛍光を発生させるための励起光を検査領域に照射させる制御信号を励起光照射部に入力する照射ステップと、検査領域において、励起光照射部が照射した励起光によって光変換部が発生させた蛍光を蛍光検出部が検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された光変換部が発生させた蛍光に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を異常検出部が検出する異常検出ステップと、を含む。   According to the abnormality detection method of the present invention, the light conversion unit that irradiates the inspection object conveyed to the inspection area with the excitation light to detect the foreign matter adhering to the inspection object and generates fluorescence by the excitation light is provided in the inspection area. An abnormality detection method in an optical inspection apparatus installed in an irradiation step of inputting a control signal for irradiating an inspection area with excitation light for generating fluorescence in a foreign substance and a light conversion unit, and an excitation step, In the inspection region, the fluorescence detection unit detects the fluorescence generated by the light conversion unit by the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit, and the fluorescence generated by the light conversion unit detected in the fluorescence detection step. And an abnormality detection step in which the abnormality detection unit detects whether there is an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit.

この光検査装置には、検査領域内に光変換部が設置されている。光変換部は、照射ステップにおいて励起光照射部が励起光を検査領域内に照射している場合に蛍光を発生させる。このため、蛍光検出ステップにおいて蛍光検出部は、検査領域内に搬送された被検査物に異物が付着しているか否かにかかわらず、光変換部が発生させた蛍光を検出することができる。ここで、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が生じた場合、光変換部が発生させた蛍光の検出信号にも異常が生じる。従って、異常検出ステップにおいて異常検出部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出することができる。   In this optical inspection apparatus, a light conversion unit is installed in the inspection region. The light conversion unit generates fluorescence when the excitation light irradiation unit irradiates the excitation light in the examination region in the irradiation step. For this reason, in the fluorescence detection step, the fluorescence detection unit can detect the fluorescence generated by the light conversion unit regardless of whether or not a foreign object is attached to the inspection object conveyed in the inspection region. Here, when an abnormality occurs in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit, an abnormality also occurs in the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit. Therefore, in the abnormality detection step, the abnormality detection unit can detect the presence / absence of at least one of the abnormality of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit.

本発明によれば、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出できる。   According to the present invention, it is possible to detect the presence or absence of an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit.

一実施形態の光検査装置の構成図である。It is a block diagram of the optical inspection apparatus of one Embodiment. 図1の光検査装置の筐体を、搬入口側から見た側面図である。It is the side view which looked at the housing | casing of the optical inspection apparatus of FIG. 1 from the carrying-in entrance side. 搬送部上に筐体が配置された状態の光検査装置全体を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the whole optical inspection apparatus in the state by which the housing | casing has been arrange | positioned on a conveyance part. 搬送部から筐体が離間された状態の光検査装置全体を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the whole optical inspection apparatus in the state where the housing | casing was spaced apart from the conveyance part. 被検査物の搬送方向(X軸方向)に沿って見た場合の検査領域を示す概略図である。It is the schematic which shows the test | inspection area | region when it sees along the conveyance direction (X-axis direction) of a to-be-inspected object. 検出部からコンベアベルト側を見た場合の検査領域を示す概略図である。It is the schematic which shows the test | inspection area | region at the time of seeing the conveyor belt side from a detection part. 異常検出方法における処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the process in an abnormality detection method.

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same or equivalent elements will be denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

図1に示されるように、光検査装置1は、筐体2と、搬送部3と、励起光照射部4と、検出部5と、処理部(異常検出部)6と、表示部7と、光変換部8と、脚部9(図3参照)と、を備える。光検査装置1は、被検査物Sに異物Fが含まれているか否かを検査するための装置である。被検査物Sは、主に、サバ、アジ、イカ、イワシ、サケ、サンマ、ホッケ等の魚介類の切り身であり、異物Fは、主に、アニサキス、ブリ線虫等の寄生虫である。   As shown in FIG. 1, the optical inspection device 1 includes a housing 2, a transport unit 3, an excitation light irradiation unit 4, a detection unit 5, a processing unit (abnormality detection unit) 6, and a display unit 7. The light conversion part 8 and the leg part 9 (refer FIG. 3) are provided. The optical inspection apparatus 1 is an apparatus for inspecting whether or not the foreign object F is included in the inspection object S. The inspection object S is mainly fillets of seafood such as mackerel, horse mackerel, squid, sardine, salmon, saury and hockey, and the foreign matter F is mainly a parasite such as anisakis and yellowtail nematode.

図1及び図2に示されるように、筐体2は、検査領域Rを覆い、外部の光(屋内の人工灯や自然光等)から検査領域Rを遮蔽する。なお、検査領域Rは、筐体2の内部領域Lのうち、検出部5が蛍光を検出する3次元の領域である。筐体2は、台座部21と、保護ケース23と、を有する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the housing 2 covers the inspection area R and shields the inspection area R from external light (such as indoor artificial light and natural light). The inspection region R is a three-dimensional region in the inner region L of the housing 2 where the detection unit 5 detects fluorescence. The housing 2 includes a pedestal portion 21 and a protective case 23.

台座部21は、搬送部3によって搬送される被検査物Sが通過可能に搬送部3の上方に配置されている。台座部21には、内部領域Lに被検査物Sを搬入するための搬入口21a、及び内部領域Lから被検査物Sを搬出するための搬出口21bが形成されている。なお、筐体2内には、台座部21の搬入口21a及び搬出口21b等を介して外部の光が進入し得るが、内部領域Lは、台座部21及び保護ケース23によって外部の光から十分に遮蔽されている。つまり、筐体2は、後述する蛍光の検出が阻害されないように外部の光から内部領域L(検査領域R)を遮蔽するものであればよく、外部の光から内部領域Lを完全に遮蔽するものである必要はない。   The pedestal unit 21 is disposed above the transport unit 3 so that the inspection object S transported by the transport unit 3 can pass therethrough. In the pedestal portion 21, a carry-in port 21 a for carrying the inspection object S into the internal region L and a carry-out port 21 b for carrying out the inspection item S from the internal region L are formed. External light can enter the housing 2 via the carry-in port 21 a and the carry-out port 21 b of the pedestal portion 21, but the internal region L is protected from external light by the pedestal portion 21 and the protective case 23. It is well shielded. That is, the housing 2 only needs to shield the internal region L (examination region R) from external light so that detection of fluorescence described later is not hindered, and completely shields the internal region L from external light. It doesn't have to be a thing.

保護ケース23は、台座部21の上部に接合され、励起光照射部4及び検出部5を収容する。保護ケース23は、ステンレススチール等の金属、又はプラスチック樹脂等の材料から形成されている。保護ケース23は、開口部24aを有する箱状の本体部24と、開口部24aの周囲から張り出した鍔部25と、を有する。台座部21と保護ケース23とは、例えば、鍔部25に形成された挿通孔にボルトB(図3参照)が挿通され、その挿通されたボルトBが台座部21に形成されたネジ孔に螺合されることにより接合される。   The protective case 23 is joined to the upper part of the pedestal 21 and houses the excitation light irradiation unit 4 and the detection unit 5. The protective case 23 is made of a metal such as stainless steel or a material such as plastic resin. The protective case 23 includes a box-shaped main body 24 having an opening 24a, and a flange 25 protruding from the periphery of the opening 24a. The pedestal 21 and the protective case 23 are, for example, a bolt B (see FIG. 3) inserted into an insertion hole formed in the flange 25, and the inserted bolt B is inserted into a screw hole formed in the pedestal 21. Joined by screwing.

台座部21は、保護ケース23の開口部24aよりも面積が小さな窓部21cを有する。窓部21cには、PMMA(ポリメタクリル酸メチル)樹脂、プラスチック樹脂、又はガラス等からなる光透過性の透明部材21dが嵌め込まれている。これにより、搬送部3から本体部24の内部に粉塵又は水等が侵入することが防止される。窓部21cは、窓部21cを介して異物Fから発せられる蛍光を検出部5が検出することが阻害されないようなサイズ、かつ検査領域Rに励起光照射部4の励起光が照射可能なサイズに形成されている。   The pedestal portion 21 has a window portion 21 c having a smaller area than the opening portion 24 a of the protective case 23. A light transmissive transparent member 21d made of PMMA (polymethyl methacrylate) resin, plastic resin, glass or the like is fitted into the window portion 21c. This prevents dust or water from entering the inside of the main body 24 from the transport unit 3. The size of the window portion 21c is such that the detection unit 5 does not hinder the fluorescence emitted from the foreign substance F through the window portion 21c, and the size capable of irradiating the excitation light of the excitation light irradiation unit 4 to the inspection region R. Is formed.

搬送部3は、被検査物Sを検査領域Rに搬送する。搬送部3は、無端状のコンベアベルト31と、一対のローラ32と、支持部33と、駆動モータ34と、搬送制御部35と、を有する。   The transport unit 3 transports the inspection object S to the inspection region R. The transport unit 3 includes an endless conveyor belt 31, a pair of rollers 32, a support unit 33, a drive motor 34, and a transport control unit 35.

コンベアベルト31は、XY平面(互いに直交するX軸及びY軸を含む平面であって、例えば、水平面)に平行な搬送面(載置面)31aを有する。コンベアベルト31は、搬送面31aに載置された被検査物SをX軸に平行な搬送方向Aに沿って搬入口21aから搬出口21bまで搬送する。コンベアベルト31の表面(搬送面31aをなす表面)には、後述する励起光の反射を抑制する反射防止処理が施されている。反射防止処理は、例えば、励起光に対して光吸収性を有する染料を用いた色付けである。そのようなコンベアベルト31の一例としては、カーボンを含有させた黒色ベルトが挙げられる。   The conveyor belt 31 has a conveyance surface (mounting surface) 31a parallel to an XY plane (a plane including an X axis and a Y axis orthogonal to each other, for example, a horizontal plane). The conveyor belt 31 conveys the inspection object S placed on the conveyance surface 31a from the carry-in port 21a to the carry-out port 21b along the carrying direction A parallel to the X axis. The surface of the conveyor belt 31 (the surface forming the conveyance surface 31a) is subjected to an antireflection treatment for suppressing reflection of excitation light, which will be described later. The antireflection treatment is, for example, coloring using a dye having a light absorptivity with respect to excitation light. An example of such a conveyor belt 31 is a black belt containing carbon.

一対のローラ32は、無端状のコンベアベルト31の内側に配置され、コンベアベルト31を支持する。駆動モータ34は、ローラ32を回転駆動する。駆動モータ34がローラ32を回転させることにより、一対のローラ32の周りをコンベアベルト31の搬送面31aが移動する。搬送制御部35は、駆動モータ34の駆動を制御する。支持部33は、ローラ32を着脱自在に支持する。支持部33は、脚部9によって支持される。   The pair of rollers 32 is disposed inside the endless conveyor belt 31 and supports the conveyor belt 31. The drive motor 34 drives the roller 32 to rotate. When the drive motor 34 rotates the roller 32, the transport surface 31 a of the conveyor belt 31 moves around the pair of rollers 32. The conveyance control unit 35 controls driving of the drive motor 34. The support part 33 supports the roller 32 so that attachment or detachment is possible. The support part 33 is supported by the leg part 9.

図3及び図4に示されるように、筐体2は、搬送部3に対して離間する方向に移動可能に設けられている。具体的には、台座部21が、搬送方向に延在する回転軸28を介して搬送部3の支持部33に支持され、台座部21及び保護ケース23が、搬送部3から離間する方向に移動可能に設けられる。台座部21が、搬送部3から離間する方向に移動した場合、台座部21に接合される保護ケース23も一体的に搬送部3から離間する方向に移動する。搬送部3上に筐体2が配置された状態にあるとき、台座部21と支持部33とは、固定部29によって互いに固定される。   As shown in FIGS. 3 and 4, the housing 2 is provided so as to be movable in a direction away from the transport unit 3. Specifically, the pedestal portion 21 is supported by the support portion 33 of the conveyance portion 3 via the rotation shaft 28 extending in the conveyance direction, and the pedestal portion 21 and the protective case 23 are separated from the conveyance portion 3. It is provided so as to be movable. When the pedestal 21 moves in a direction away from the transport unit 3, the protective case 23 joined to the pedestal 21 also moves in a direction away from the transport unit 3 integrally. When the housing 2 is placed on the transport unit 3, the base unit 21 and the support unit 33 are fixed to each other by the fixing unit 29.

脚部9は、筐体2及び搬送部3を支持する。   The leg portion 9 supports the housing 2 and the conveyance portion 3.

図1に示されるように、励起光照射部4は、被検査物Sに付着した異物Fに蛍光を発生させるための励起光を検査領域Rに照射する。具体的には、励起光照射部4は、検査領域Rのうち、光変換部8と、搬送された被検査物Sが通過する領域と、を含む領域内に励起光を照射する。励起光照射部4は、保護ケース23の内壁面に取り付けられており、搬送面31aの一方の側(X軸及びY軸に直交するZ軸に平行な方向における搬送面31aの一方の側であって、例えば、鉛直方向における搬送面31aの上側)から光変換部8及び被検査物Sに励起光を照射する。   As shown in FIG. 1, the excitation light irradiation unit 4 irradiates the inspection region R with excitation light for generating fluorescence in the foreign matter F adhering to the inspection object S. Specifically, the excitation light irradiation unit 4 irradiates excitation light in an area including the light conversion unit 8 and the area through which the conveyed inspection object S passes in the inspection area R. The excitation light irradiation unit 4 is attached to the inner wall surface of the protective case 23, and is on one side of the transport surface 31a (on one side of the transport surface 31a in a direction parallel to the Z axis perpendicular to the X axis and the Y axis). For example, the light conversion unit 8 and the inspection object S are irradiated with excitation light from the upper side of the conveyance surface 31a in the vertical direction.

励起光照射部4は、光源41と、集光部42と、第1光学フィルタ43と、を有している。光源41は、Y軸に平行な方向に沿って配列された複数の発光素子(例えば、発光ダイオード)を有している。光源41は、処理部6から入力された制御信号に基づいて、図示しない電源から電力の供給を受けて励起光を照射する。集光部42は、光学素子(例えば、シリンドリカルレンズ)であって、光源41から照射された励起光を、検査領域Rのうち、光変換部8と、搬送された被検査物Sが通過する領域と、を含む範囲に集光する。ここでは、集光部42は、光源41から照射された発散光を平行光に集光する。第1光学フィルタ43は、励起光を透過させる一方で、励起光の波長帯よりも長波長側の光を減衰させる。例えば、励起光が紫外域の波長帯を有する場合には、第1光学フィルタ43は、可視域の波長帯を有する光を減衰させる。   The excitation light irradiation unit 4 includes a light source 41, a light collecting unit 42, and a first optical filter 43. The light source 41 has a plurality of light emitting elements (for example, light emitting diodes) arranged along a direction parallel to the Y axis. Based on the control signal input from the processing unit 6, the light source 41 receives power supplied from a power source (not shown) and emits excitation light. The condensing unit 42 is an optical element (for example, a cylindrical lens), and the excitation light irradiated from the light source 41 passes through the light conversion unit 8 and the conveyed inspection object S in the inspection region R. The light is condensed to a range including the area. Here, the condensing part 42 condenses the diverging light irradiated from the light source 41 into parallel light. The first optical filter 43 transmits the excitation light, while attenuating light having a wavelength longer than the wavelength band of the excitation light. For example, when the excitation light has an ultraviolet wavelength band, the first optical filter 43 attenuates light having a visible wavelength band.

光変換部8は、検査領域R内に設置され、励起光照射部4が照射する励起光によって蛍光を発生させる。光変換部8は、図2及び図4に示されるように、台座部21の内壁面21eに固定されている。光変換部8は、蛍光部81と、固定部85と、を有している。固定部85の一方の端部は内壁面21eに固定され、他方の端部はコンベアベルト31に向けて延びている。蛍光部81は、固定部85における検出部5側の面に取り付けられている。蛍光部81は、励起光照射部4が照射する励起光によって蛍光を発生させる。本実施形態において、蛍光部81は、励起光によって蛍光を発生させる蛍光層と粘着層とによって構成され、固定部85に貼り付けられている。蛍光部81において蛍光を発生させる材料としては、例えば、青色系の蛍光を発生させるハロけい酸塩又はアルミン酸塩等が用いられる。   The light conversion unit 8 is installed in the inspection region R and generates fluorescence by the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit 4. The light conversion part 8 is being fixed to the inner wall surface 21e of the base part 21, as FIG.2 and FIG.4 shows. The light conversion unit 8 includes a fluorescent unit 81 and a fixing unit 85. One end portion of the fixing portion 85 is fixed to the inner wall surface 21 e, and the other end portion extends toward the conveyor belt 31. The fluorescent unit 81 is attached to the surface of the fixed unit 85 on the detection unit 5 side. The fluorescent part 81 generates fluorescence by the excitation light emitted by the excitation light irradiation part 4. In the present embodiment, the fluorescent part 81 includes a fluorescent layer that generates fluorescence by excitation light and an adhesive layer, and is attached to the fixing part 85. As a material that generates fluorescence in the fluorescent part 81, for example, halosilicate or aluminate that generates blue fluorescence is used.

検出部5は、予め設定された検査領域R内で発生した蛍光を検出する。検出部5は、筐体2の内壁面に取り付けられており、搬送面31aの一方の側(X軸及びY軸に直交するZ軸に平行な方向における搬送面31aの一方の側であって、例えば、鉛直方向における搬送面31aの上側)から蛍光を検出する。   The detection unit 5 detects fluorescence generated in the inspection region R set in advance. The detection unit 5 is attached to the inner wall surface of the housing 2 and is on one side of the conveyance surface 31a (on one side of the conveyance surface 31a in a direction parallel to the Z axis perpendicular to the X axis and the Y axis). For example, fluorescence is detected from the upper side of the conveyance surface 31a in the vertical direction.

検出部5は、第2光学フィルタ51と、蛍光検出部52と、を有している。蛍光検出部52は、ラインセンサを構成している。蛍光検出部52は、Y軸に平行な方向(搬送面31aに垂直な方向から見た場合に、搬送方向Aと交差する交差方向)に沿って配列された複数の光検出素子を有している。この光検出素子は、例えばフォトダイオード等の受光素子であって、蛍光検出部52の光取込部52aに入射した蛍光を検出する。蛍光検出部52は、検査領域Rにおいて異物Fが発生させた蛍光と光変換部8が発生させた蛍光とを検出し、検出した蛍光の検出信号を出力する。   The detection unit 5 includes a second optical filter 51 and a fluorescence detection unit 52. The fluorescence detection unit 52 constitutes a line sensor. The fluorescence detection unit 52 includes a plurality of light detection elements arranged along a direction parallel to the Y axis (a crossing direction intersecting the transport direction A when viewed from a direction perpendicular to the transport surface 31a). Yes. This light detection element is a light receiving element such as a photodiode, for example, and detects fluorescence incident on the light capturing part 52 a of the fluorescence detection part 52. The fluorescence detection unit 52 detects the fluorescence generated by the foreign substance F in the inspection region R and the fluorescence generated by the light conversion unit 8, and outputs a detection signal of the detected fluorescence.

ここで、図5及び図6に示されるように、蛍光検出部52は、コンベアベルト31の幅方向(Y軸に平行な方向)に沿って広がる領域を検査領域Rとする。なお図5及び図6は、筐体2等が省略されて、要部のみ示されている。検査領域Rは、第1領域R1と、第2領域R2と、含んでいる。第1領域R1と第2領域R2とは、検出部5とコンベアベルト31の搬送面31aとが対向する方向に対して直交する方向に沿って並んでいる。本実施形態において、第1領域R1と第2領域R2とは、コンベアベルト31の幅方向(Y軸に平行な方向)に沿って並んでいる。光変換部8は、第1領域R1内に設置されている。搬送部3は、被検査物Sをコンベアベルト31によって第2領域R2に搬送する。すなわち、第1領域R1は、検出部5から光変換部8に向かう領域である。第2領域R2は、検出部5からコンベアベルト31に向かう領域である。なお、第1領域R1及び第2領域R2は、検出部5とコンベアベルト31の搬送面31aとが対向する方向に対して直交する方向(本実施形態ではコンベアベルト31の幅方向)に沿って並んでいれば、上方から見たとき(Z軸方向に沿って見たとき)に、第1領域R1と第2領域R2とが互いにオーバーラップする部分があってもよい。   Here, as shown in FIG. 5 and FIG. 6, the fluorescence detection unit 52 defines an area that extends along the width direction (direction parallel to the Y axis) of the conveyor belt 31 as an inspection area R. In FIGS. 5 and 6, the casing 2 and the like are omitted, and only the main part is shown. The inspection region R includes a first region R1 and a second region R2. 1st area | region R1 and 2nd area | region R2 are located in a line along the direction orthogonal to the direction where the detection part 5 and the conveyance surface 31a of the conveyor belt 31 oppose. In the present embodiment, the first region R1 and the second region R2 are arranged along the width direction of the conveyor belt 31 (direction parallel to the Y axis). The light conversion unit 8 is installed in the first region R1. The transport unit 3 transports the inspection object S to the second region R <b> 2 by the conveyor belt 31. That is, the first region R1 is a region from the detection unit 5 toward the light conversion unit 8. The second region R2 is a region from the detection unit 5 toward the conveyor belt 31. In addition, 1st area | region R1 and 2nd area | region R2 are along the direction (this embodiment width direction of the conveyor belt 31) orthogonal to the direction where the detection part 5 and the conveyance surface 31a of the conveyor belt 31 oppose. If they are aligned, there may be a portion where the first region R1 and the second region R2 overlap each other when viewed from above (when viewed along the Z-axis direction).

蛍光検出部52が出力する蛍光の検出信号には、第1領域R1で蛍光が発生しているか否か(すなわち光変換部8によって蛍光が発生しているか否か)、及び、第2領域R2で蛍光が発生しているか否か(すなわち異物Fによって蛍光が発生しているか否か)の情報を含んでいる。   The fluorescence detection signal output by the fluorescence detection unit 52 includes whether or not fluorescence is generated in the first region R1 (that is, whether or not fluorescence is generated by the light conversion unit 8), and the second region R2. Information on whether or not fluorescence is generated (that is, whether or not fluorescence is generated by the foreign matter F).

第2光学フィルタ51は、異物F及び光変換部8が発生させた蛍光を透過させる一方で、蛍光の波長帯以外の波長帯の光を減衰させる。本実施形態において第2光学フィルタ51は、蛍光の波長帯よりも短波長側の光を減衰させる。例えば、蛍光が可視域の波長帯を有する場合には、第2光学フィルタ51は、紫外域の波長帯を有する光を減衰させる。第2光学フィルタ51は、蛍光検出部52の光取込部52aに対向する位置に設けられている。蛍光検出部52の各光検出素子は、第2光学フィルタ51を透過した蛍光を検出する。   The second optical filter 51 transmits the fluorescence generated by the foreign matter F and the light conversion unit 8, while attenuating light in a wavelength band other than the fluorescence wavelength band. In the present embodiment, the second optical filter 51 attenuates light having a shorter wavelength than the fluorescent wavelength band. For example, when the fluorescence has a visible wavelength band, the second optical filter 51 attenuates light having an ultraviolet wavelength band. The second optical filter 51 is provided at a position facing the light capturing part 52 a of the fluorescence detection part 52. Each light detection element of the fluorescence detection unit 52 detects fluorescence transmitted through the second optical filter 51.

励起光照射部4が被検査物Sに照射する励起光は、異物F及び光変換部8に蛍光を発生させるための光であって、例えば、紫外域の波長帯を有する光である。励起光の照射によって異物F及び光変換部8が発生する蛍光は、励起光の波長とは異なる波長を有する光であって、例えば、可視域の波長帯を有する光である。なお、励起光の中心波長は、蛍光の中心波長に対してずれていればよい。つまり、励起光及び蛍光については、少なくとも互いの中心波長(ピーク波長)がずれていれば、互いの波長帯が完全にずれている必要はない。ただし、励起光の波長帯と蛍光の波長帯とは、完全にずれていることが好ましい。   The excitation light that the excitation light irradiation unit 4 irradiates the inspection object S is light for causing the foreign matter F and the light conversion unit 8 to generate fluorescence, for example, light having an ultraviolet wavelength band. The fluorescence generated by the foreign substance F and the light conversion unit 8 by the irradiation of the excitation light is light having a wavelength different from the wavelength of the excitation light, for example, light having a visible wavelength band. In addition, the center wavelength of excitation light should just shift | deviate with respect to the center wavelength of fluorescence. That is, with respect to the excitation light and the fluorescence, it is not necessary that the wavelength bands are completely deviated as long as the center wavelengths (peak wavelengths) are deviated from each other. However, it is preferable that the wavelength band of excitation light and the wavelength band of fluorescence are completely deviated.

処理部6は、検出部5から出力された蛍光の検出信号に基づいて画像を生成する。表示部7は、処理部6によって生成された画像を表示する。   The processing unit 6 generates an image based on the fluorescence detection signal output from the detection unit 5. The display unit 7 displays the image generated by the processing unit 6.

また、処理部6は、使用者等による異物Fの検出の開始の指示に基づいて、励起光照射部4に制御信号を出力することによって光源41から励起光を照射させる。さらに、処理部6は、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかの異常の有無を検出する異常検出部としても機能する。処理部6は、励起光を照射させる電力が励起光照射部4に供給されている間、異常の有無を検出する。以下、処理部6における励起光照射部4等の異常の有無を検出する異常検出処理の詳細について説明する。   Further, the processing unit 6 emits excitation light from the light source 41 by outputting a control signal to the excitation light irradiation unit 4 based on an instruction to start detection of the foreign substance F by a user or the like. Furthermore, the processing unit 6 also functions as an abnormality detection unit that detects the presence / absence of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52. The processing unit 6 detects the presence or absence of abnormality while the power for irradiating the excitation light is being supplied to the excitation light irradiation unit 4. Hereinafter, details of the abnormality detection process for detecting the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 and the like in the processing unit 6 will be described.

処理部6は、検出部5から出力された蛍光の検出信号のうち光変換部8が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかの異常の有無を検出する。   The processing unit 6 detects an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8 among the fluorescence detection signals output from the detection unit 5. The presence or absence of is detected.

ここで、光変換部8は、励起光照射部4から検査領域R内に励起光が照射されている場合に蛍光を発生させる。従って、励起光照射部4及び蛍光検出部52に異常が無い場合、蛍光検出部52は、励起光照射部4から照射された励起光によって光変換部8が発生させた蛍光を検出できる。しかしながら、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかに異常が生じた場合、蛍光検出部52は、光変換部8が発生させた蛍光を検出できない。また、励起光照射部4の取り付け角度にズレが生じて励起光が光変換部8に照射されていない場合、蛍光検出部52は、光変換部8が発生させた蛍光を検出できない。検出部5の取り付け角度にズレが生じて光変換部8が発生させた蛍光が蛍光検出部52の光取込部52aに入射していない場合、蛍光検出部52は、光変換部8が発生させた蛍光を検出できない。   Here, the light conversion unit 8 generates fluorescence when the excitation light is irradiated from the excitation light irradiation unit 4 into the inspection region R. Therefore, when there is no abnormality in the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52, the fluorescence detection unit 52 can detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8 by the excitation light emitted from the excitation light irradiation unit 4. However, when an abnormality occurs in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52, the fluorescence detection unit 52 cannot detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8. Further, when the mounting angle of the excitation light irradiation unit 4 is deviated and the excitation light is not irradiated to the light conversion unit 8, the fluorescence detection unit 52 cannot detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8. If the fluorescence generated by the light conversion unit 8 is not incident on the light capturing unit 52a of the fluorescence detection unit 52 due to a deviation in the mounting angle of the detection unit 5, the fluorescence detection unit 52 is generated by the light conversion unit 8. The detected fluorescence cannot be detected.

このため、処理部6は、励起光を照射させる電力が光源41に供給されているか否かに関わらず、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号が無い場合、すなわち、光変換部8の蛍光が検出できない場合、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかに異常が有りと検出する。処理部6は、異常が有りと検出した場合、異常が発生していることを示す警報表示等を表示部7に表示させてもよい。処理部6は、異常が有りと検出した場合、異常が発生していることを示す警報音等をスピーカ等から出力させたり、ランプを点灯させたりしてもよい。搬送部3の搬送制御部35は、処理部6によって異常が有りと検出された場合、駆動モータ34を停止させて、コンベアベルト31による被検査物Sの搬送を停止させる。処理部6は、上述した異常の有無の検出を、使用者等による異物Fの検出の開始の指示の後、異物Fの検出の終了の指示がされるまでの間、継続して繰り返し行う。   Therefore, the processing unit 6 does not have the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8 regardless of whether or not the power for irradiating the excitation light is supplied to the light source 41, that is, the light conversion unit 8. Is detected, it is detected that there is an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52. When the processing unit 6 detects that there is an abnormality, the processing unit 6 may display an alarm display or the like indicating that an abnormality has occurred on the display unit 7. When detecting that there is an abnormality, the processing unit 6 may output an alarm sound or the like indicating that an abnormality has occurred from a speaker or the like, or turn on a lamp. When the processing unit 6 detects that there is an abnormality, the conveyance control unit 35 of the conveyance unit 3 stops the drive motor 34 and stops conveyance of the inspection object S by the conveyor belt 31. The processing unit 6 continuously performs the above-described detection of the presence / absence of an abnormality until an instruction to end detection of the foreign matter F is given after an instruction to start detection of the foreign matter F by the user or the like.

なお、処理部6は、例えば、CPU[Central Processing Unit]、ROM[Read Only Memory]、及びRAM[Random Access Memory]等を有する電子制御ユニットである。処理部6では、例えば、ROMに記憶されているプログラムをRAMにロードし、RAMにロードされたプログラムをCPUで実行することにより各種の機能を実現する。処理部6は、複数の電子制御ユニットから構成されていてもよい。   The processing unit 6 is an electronic control unit including, for example, a CPU [Central Processing Unit], a ROM [Read Only Memory], and a RAM [Random Access Memory]. In the processing unit 6, for example, various functions are realized by loading a program stored in the ROM into the RAM and executing the program loaded in the RAM by the CPU. The processing unit 6 may be composed of a plurality of electronic control units.

搬送制御部35は、処理部6と同様の構成を有する電子制御ユニットである。なお、処理部6と搬送制御部35とは、一つの電子制御ユニットとして構成されていてもよい。   The conveyance control unit 35 is an electronic control unit having the same configuration as the processing unit 6. The processing unit 6 and the conveyance control unit 35 may be configured as one electronic control unit.

次に、光検査装置1において励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかの異常の有無を検出する異常検出方法の処理の流れについて、図7のフローチャートを用いて説明する。なお、図7に示される処理は、使用者等による異物Fの検出の開始の指示に基づいて開始され、使用者等による異物Fの検出の終了の指示に基づいて終了する。また、図7に示される処理は、処理がエンドに至った後、再びスタートから処理が開始される。   Next, the flow of processing of an abnormality detection method for detecting the presence or absence of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 in the optical inspection device 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. Note that the processing shown in FIG. 7 is started based on an instruction to start detection of the foreign matter F by the user or the like, and is ended based on an instruction to end detection of the foreign matter F by the user or the like. Further, the processing shown in FIG. 7 is started again from the start after the processing reaches the end.

図7に示されるように、処理部6は、光源41によって励起光を検査領域Rに照射させために、励起光を照射させる制御信号を光源41に出力する(S101:照射ステップ)。蛍光検出部52は、検査領域Rにおいて励起光によって発生した蛍光を検出する(S102:蛍光検出ステップ)。処理部6は、蛍光検出部52で検出された光変換部8が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかの異常の有無を検出する(S103:異常検出ステップ)。   As illustrated in FIG. 7, the processing unit 6 outputs a control signal for irradiating excitation light to the light source 41 in order to irradiate the examination region R with the light source 41 (S101: irradiation step). The fluorescence detection unit 52 detects fluorescence generated by excitation light in the examination region R (S102: fluorescence detection step). The processing unit 6 detects the presence or absence of an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8 detected by the fluorescence detection unit 52. (S103: Abnormality detection step).

以上説明したように、光検査装置1において、光変換部8は、検査領域R内に励起光が照射されている場合に蛍光を発生させる。このため、検出部5は、検査領域R内に搬送された被検査物Sに異物が付着しているか否かにかかわらず、光変換部8が発生させた蛍光を検出することができる。ここで、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかに異常が生じた場合、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号にも異常が生じる。従って、処理部6は、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかの異常の有無を検出することができる。その結果、励起光照射部4及び蛍光検出部52に異常が発生した状態で被検査物Sの検査が行われることが抑制される。   As described above, in the optical inspection apparatus 1, the light conversion unit 8 generates fluorescence when excitation light is irradiated in the inspection region R. For this reason, the detection part 5 can detect the fluorescence which the light conversion part 8 generate | occur | produced irrespective of whether the foreign material has adhered to the to-be-inspected object S conveyed in the test | inspection area | region R. FIG. Here, when an abnormality occurs in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52, an abnormality also occurs in the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8. Accordingly, the processing unit 6 can detect the presence / absence of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8. As a result, the inspection of the inspection object S in a state where an abnormality has occurred in the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 is suppressed.

処理部6は、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号の有無に基づいて、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかの異常の有無を検出する。ここで、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号が無い場合とは、励起光が照射されていないために光変換部8が蛍光を発生させていない場合又は光変換部8が蛍光を発生させているものの発生させた蛍光が検出されていない場合である。このため、処理部6は、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号の有無を判定するだけで、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかの異常の有無を容易に検出できる。   The processing unit 6 detects the presence / absence of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the presence / absence of the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8. Here, the case where there is no fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8 means that the light conversion unit 8 does not generate fluorescence because the excitation light is not irradiated, or the light conversion unit 8 generates fluorescence. This is a case where the generated fluorescence is not detected. Therefore, the processing unit 6 easily detects the presence or absence of an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 only by determining the presence or absence of the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8. it can.

光変換部8は、検査領域Rの第1領域R1に配置される。検査領域Rの第2領域R2には、被検査物Sが搬送される。このように、光変換部8と被検査物Sとは、検査領域R内の異なる領域に配置及び搬送される。この場合、処理部6は、異物Fが発生させた蛍光の検出信号と、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号とを容易に識別できる。   The light conversion unit 8 is disposed in the first region R1 of the inspection region R. The inspection object S is transported to the second region R2 of the inspection region R. In this way, the light conversion unit 8 and the inspection object S are arranged and transported in different regions within the inspection region R. In this case, the processing unit 6 can easily identify the fluorescence detection signal generated by the foreign substance F and the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8.

搬送制御部35は、処理部6によって励起光照射部4等に異常が有りと判定された場合、搬送部3における被検査物Sの搬送を停止させる。これにより、光検査装置1は、搬送部3によって被検査物Sが次々と搬送される場合であっても、励起光照射部4等の異常によって異物Fの検出が正しくできない状態のまま検査領域Rに被検査物Sが搬送され続け、被検査物Sが次々と検査領域Rを通過していくことを防止できる。   The conveyance control unit 35 stops the conveyance of the inspection object S in the conveyance unit 3 when the processing unit 6 determines that there is an abnormality in the excitation light irradiation unit 4 or the like. Thereby, even if the inspection object S is conveyed one after another by the conveyance unit 3, the optical inspection apparatus 1 remains in the inspection region in a state where the foreign matter F cannot be detected correctly due to an abnormality of the excitation light irradiation unit 4 or the like. It is possible to prevent the inspection object S from continuing to be conveyed to R, and the inspection object S from passing through the inspection region R one after another.

光変換部8は、台座部21の内壁面21eに固定されている。この場合、光変換部8は、筐体2の台座部21を用いて検査領域R内に容易に設置され得る。また、光変換部8の蛍光部81は、固定部85に対して貼り付けによって取り付けられている。これにより、例えば、蛍光部81に汚れが付着した場合等であっても、作業者は、蛍光部81の交換作業を容易に行うことができる。   The light conversion unit 8 is fixed to the inner wall surface 21 e of the pedestal unit 21. In this case, the light conversion unit 8 can be easily installed in the inspection region R using the pedestal 21 of the housing 2. The fluorescent part 81 of the light conversion part 8 is attached to the fixing part 85 by pasting. Thereby, for example, even when dirt adheres to the fluorescent part 81, the operator can easily replace the fluorescent part 81.

また、光変換部8は、励起光照射部4及び検出部5が固定される筐体2に固定されている。このように、励起光照射部4及び検出部5が固定される筐体2に対して光変換部8が固定されることにより、励起光照射部4に対する光変換部8の位置決め、及び、検出部5に対する光変換部8の位置決めを容易に行うことができる。例えば、励起光照射部4が第1部材に固定され、第1部材に対して移動可能な第2部材に光変換部8が固定されている場合、第1部材と第2部材の位置ズレも考慮して励起光照射部4及び光変換部8を固定する必要がある。実施形態のように、励起光照射部4及び検出部5が固定される筐体2に対して光変換部8が固定されることにより、上述したような第1部材と第2部材の位置ズレを考慮する必要がなくなり、光変換部8の設置が容易となる。   The light conversion unit 8 is fixed to the housing 2 to which the excitation light irradiation unit 4 and the detection unit 5 are fixed. As described above, the light conversion unit 8 is fixed to the casing 2 to which the excitation light irradiation unit 4 and the detection unit 5 are fixed, so that the light conversion unit 8 is positioned and detected with respect to the excitation light irradiation unit 4. Positioning of the light conversion unit 8 with respect to the unit 5 can be easily performed. For example, when the excitation light irradiation unit 4 is fixed to the first member and the light conversion unit 8 is fixed to the second member movable with respect to the first member, the positional deviation between the first member and the second member is also It is necessary to fix the excitation light irradiation unit 4 and the light conversion unit 8 in consideration. As in the embodiment, when the light conversion unit 8 is fixed to the casing 2 to which the excitation light irradiation unit 4 and the detection unit 5 are fixed, the positional deviation between the first member and the second member as described above. Therefore, the light conversion unit 8 can be easily installed.

筐体2は、搬送部3に対して離間可能に設けられている。この場合、例えば、作業者が搬送部3のコンベアベルト31の清掃作業等を行うときに筐体2をコンベアベルト31の搬送面31aから離間させることが可能となる。これにより、作業者は、搬送面31aの掃除作業等を容易に行うことができる。また、筐体2を搬送部3の搬送面31aから離間させた場合には、光変換部8も搬送面31aから離間する。このため、作業者が搬送部3の清掃作業を行うときに掃除作業用の噴水流が光変換部8に掛かることが抑制され、また、拭き掃除用のタオル等が触れることによって光変換部8に拭き擦れ等が生じることが抑制される。その結果、光変換部8が損耗することが抑制される。   The housing | casing 2 is provided with respect to the conveyance part 3 so that separation | spacing is possible. In this case, for example, when the worker performs a cleaning operation or the like of the conveyor belt 31 of the transport unit 3, the casing 2 can be separated from the transport surface 31 a of the conveyor belt 31. Thereby, the worker can easily perform the cleaning work and the like of the transport surface 31a. When the housing 2 is separated from the conveyance surface 31a of the conveyance unit 3, the light conversion unit 8 is also separated from the conveyance surface 31a. For this reason, it is suppressed that the fountain flow for cleaning work is applied to the light conversion unit 8 when the worker performs the cleaning operation of the transport unit 3, and the light conversion unit 8 is touched by a wiping towel or the like. The occurrence of wiping and the like is suppressed. As a result, it is possible to prevent the light conversion unit 8 from being worn.

また、励起光照射部4、検出部5及び光変換部8は、筐体2に固定されている。このため、搬送部3に対して筐体2を離間させた後、再び筐体2を搬送部3の支持部33に固定したときに、支持部33に対する筐体2の固定位置にズレが生じたとしても、励起光照射部4、検出部5及び光変換部8同士の位置関係は変化しない。このため、蛍光検出部52の検査領域Rから、光変換部8が外れることが抑制される。また、励起光照射部4の励起光の照射領域から、光変換部8が外れることが抑制される。   Further, the excitation light irradiation unit 4, the detection unit 5, and the light conversion unit 8 are fixed to the housing 2. For this reason, after the housing 2 is separated from the transport unit 3, when the housing 2 is fixed to the support unit 33 of the transport unit 3 again, the fixing position of the housing 2 with respect to the support unit 33 is displaced. Even if it does, the positional relationship among the excitation light irradiation part 4, the detection part 5, and the light conversion part 8 does not change. For this reason, it is suppressed that the light conversion part 8 remove | deviates from the test | inspection area | region R of the fluorescence detection part 52. FIG. Moreover, it is suppressed that the light conversion part 8 remove | deviates from the irradiation area | region of the excitation light of the excitation light irradiation part 4. FIG.

検出部5には、第2光学フィルタ51が設けられている。この場合、蛍光以外の光が蛍光検出部52の光取込部52a部に入射することが抑制される。これにより、光検査装置1は、蛍光検出部52の検出精度を向上させることが可能となる。   The detection unit 5 is provided with a second optical filter 51. In this case, light other than fluorescence is prevented from entering the light capturing unit 52a of the fluorescence detection unit 52. Thereby, the optical inspection device 1 can improve the detection accuracy of the fluorescence detection unit 52.

コンベアベルト31の搬送面31aには、励起光の反射防止処理が施されている。これにより、被検査物S周辺の搬送面31aで反射された励起光の反射光が蛍光検出部52に入射する割合を減少させることができる。   The conveyance surface 31a of the conveyor belt 31 is subjected to an antireflection treatment for excitation light. Thereby, the ratio that the reflected light of the excitation light reflected by the conveyance surface 31a around the inspection object S enters the fluorescence detection unit 52 can be reduced.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、実施形態において処理部6は、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号が無い場合に、励起光照射部4等に異常が有りと検出したが、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号が無い場合に限定されない。例えば、処理部6は、光変換部8が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、検出信号の強度が予め定められた基準強度以下となった場合に、励起光照射部4及び蛍光検出部52の少なくともいずれかに異常が有りと検出してもよい。これにより、ゲイン(調整)が可能な範囲を超えて検出強度が下がった場合や、ゲイン(調整)によりS/N比が許容範囲を超えて低下してしまった場合等の検出精度が十分に得られない状態において、異物Fが適切に検出されずに被検査物Sが搬送されることが抑制される。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, in the embodiment, the processing unit 6 detects that there is an abnormality in the excitation light irradiation unit 4 or the like when there is no fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8, but the light conversion unit 8 generates it. It is not limited to the case where there is no fluorescence detection signal. For example, the processing unit 6 determines the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit when the intensity of the detection signal is equal to or lower than a predetermined reference intensity based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8. It may be detected that at least one of 52 is abnormal. As a result, the detection accuracy is sufficiently high when the detection intensity falls beyond the range where gain (adjustment) is possible, or when the S / N ratio has fallen beyond the allowable range due to gain (adjustment). In a state where it cannot be obtained, the inspection object S is suppressed from being conveyed without the foreign matter F being properly detected.

実施形態において、光変換部8は、台座部21の内壁面21eに固定されているが、検査領域R内に配置されていれば、保護ケース23の本体部24に固定されていてもよい。
蛍光部81は、蛍光を発生させる材質を含む塗料が固定部85に塗布されることによって形成されていてもよい。
In the embodiment, the light conversion unit 8 is fixed to the inner wall surface 21 e of the pedestal unit 21, but may be fixed to the main body 24 of the protective case 23 as long as the light conversion unit 8 is disposed in the inspection region R.
The fluorescent part 81 may be formed by applying a coating containing a material that generates fluorescence to the fixed part 85.

実施形態において光検査装置1には、台座部21の窓部21cに透明部材21dが嵌め込まれていたが、透明部材21dに代えて、第2光学フィルタ51と同様の機能を有するフィルタが嵌め込まれていてもよい。台座部21の窓部21cに嵌め込まれたフィルタは、蛍光検出部52の光取込部52aに対向している。このため、第2光学フィルタ51に代えて台座部21の窓部21cにフィルタを嵌め込んだ場合であっても、光検査装置1は、第2光学フィルタ51を設けた場合と同様の効果を奏する。   In the embodiment, the transparent member 21d is fitted into the window portion 21c of the pedestal portion 21 in the optical inspection device 1, but a filter having the same function as the second optical filter 51 is fitted in place of the transparent member 21d. It may be. The filter fitted in the window portion 21 c of the pedestal portion 21 faces the light capturing portion 52 a of the fluorescence detection portion 52. For this reason, even if it is a case where it replaces with the 2nd optical filter 51 and a filter is inserted in the window part 21c of the base part 21, the optical inspection apparatus 1 has the same effect as the case where the 2nd optical filter 51 is provided. Play.

例えば、光変換部8は、コンベアベルト31の搬送面31aに配置されていてもよい。この場合、光変換部8は、搬送面31aの移動方向に沿って所定の間隔ごとに複数設置されていてもよい。これにより、処理部6は、上述した励起光照射部4等の異常の有無の検出に加え、光変換部8が発生させた蛍光の移動の有無に基づいて、コンベアベルト31が作動しているか否かを検出できる。また、処理部6は、所定の間隔ごとに配置された光変換部8の検出の周期に基づいて、コンベアベルト31における被検査物Sの搬送速度を検出できる。搬送面31aに光変換部8が設置されている場合、光変換部8が目印となり、使用者は、表示部7に表示された画像を見ることにより、異物Fを含む被検査物Sが光変換部8に対してどの位置に存在するかを容易に把握できる。   For example, the light conversion unit 8 may be disposed on the conveyance surface 31 a of the conveyor belt 31. In this case, a plurality of light conversion units 8 may be provided at predetermined intervals along the moving direction of the conveyance surface 31a. As a result, in the processing unit 6, whether the conveyor belt 31 is operating based on the presence / absence of the fluorescence generated by the light conversion unit 8 in addition to the detection of the abnormality of the excitation light irradiation unit 4 and the like described above. Whether or not can be detected. Further, the processing unit 6 can detect the conveyance speed of the inspection object S on the conveyor belt 31 based on the detection cycle of the light conversion unit 8 arranged at predetermined intervals. When the light conversion unit 8 is installed on the transport surface 31a, the light conversion unit 8 serves as a mark, and the user sees the image displayed on the display unit 7 so that the inspection object S including the foreign matter F is light. It is possible to easily grasp where the converter 8 is located.

例えば、被検査物Sは、魚介類の切り身以外の食肉等であってもよく、異物Fは寄生虫以外の骨、鱗、内臓等であってもよい。また、励起光は、紫外域の波長帯を有する光に限定されず、異物Fに蛍光を発生させ得る波長を有する光であればよい。また、励起光照射部4は、搬送方向Aにおける検出部5の下流側に位置していたが、搬送方向Aにおける検出部5の上流側に位置していてもよい。また、処理部6は、生成した画像に基づいて、被検査物Sに異物Fが含まれているか否かを検査してもよい。この場合、被検査物Sにおける異物Fの有無等を(画像に対して)自動で特定することもできるし、作業者が目視により確認することもできる。   For example, the inspection object S may be meat other than seafood fillets, and the foreign matter F may be bones, scales, internal organs, and the like other than parasites. The excitation light is not limited to light having a wavelength band in the ultraviolet region, and may be light having a wavelength that can cause the foreign substance F to generate fluorescence. In addition, the excitation light irradiation unit 4 is located on the downstream side of the detection unit 5 in the transport direction A, but may be located on the upstream side of the detection unit 5 in the transport direction A. Further, the processing unit 6 may inspect whether or not the foreign object F is included in the inspection object S based on the generated image. In this case, the presence / absence of the foreign matter F in the inspection object S can be automatically specified (with respect to the image), and the operator can also confirm it visually.

光変換部8における蛍光を発生させる材料として、青色系の蛍光を発生させる材料を例として挙げたが、例えば、りん酸塩又はゲルマン酸塩等の赤色系の蛍光を発生させる材料が用いられてもよい。光変換部8が赤色系の蛍光を発生させる場合、青色系の蛍光に比べて、励起光の波長帯と蛍光の波長帯とをより一層ずらすことができる。これにより、蛍光検出部52は、蛍光を精度よく検出できる。   As a material for generating fluorescence in the light conversion unit 8, a material that generates blue fluorescence is taken as an example. For example, a material that generates red fluorescence such as phosphate or germanate is used. Also good. When the light conversion unit 8 generates red fluorescence, the wavelength band of the excitation light and the fluorescence wavelength band can be further shifted as compared with the blue fluorescence. Thereby, the fluorescence detection part 52 can detect fluorescence accurately.

光変換部8は、検査領域R内に2以上設置されていてもよい。この場合、処理部6は、すべての光変換部8が蛍光検出部52によって検出されているか否かに基づいて、検出部5の取り付け角度のズレの有無等を検出してもよい。   Two or more light conversion units 8 may be installed in the inspection region R. In this case, the processing unit 6 may detect whether or not the mounting angle of the detection unit 5 is shifted based on whether or not all the light conversion units 8 are detected by the fluorescence detection unit 52.

また、第2光学フィルタ51が蛍光よりも短波長側の波長域を減衰させる例を示したが、さらに蛍光よりも長波長側の波長帯域を減衰させるように構成されていてもよい。この場合、わずかに外部から入射した蛍光よりも長波長帯域の外光を減衰させることにより、蛍光以外の光を蛍光検出部52が誤検出することをさらに抑制することができる。   Moreover, although the example in which the second optical filter 51 attenuates the wavelength band on the shorter wavelength side than the fluorescence is shown, the second optical filter 51 may be configured to attenuate the wavelength band on the longer wavelength side than the fluorescence. In this case, it is possible to further suppress erroneous detection of light other than fluorescence by the fluorescence detection unit 52 by attenuating the external light in a longer wavelength band slightly than the fluorescence incident from the outside.

また、励起光を照射させる電力が光源41に供給されている間、処理部6が励起光照射部4等の異常の有無を検出したが、異常の有無の検出は、電力が光源41に供給されている間継続して行われることは必須ではなく、このタイミング以外のタイミング(例えば、搬出される一の被検査物Sと続く被検査物Sとの合間等、被検査物Sの検出漏れが生じない程度の定期的なタイミング)で行われてもよい。また、異常の有無の検出は、励起光を照射させるための制御信号が光源41に入力されている間に行われてもよい。この場合も、異常の有無の検出は、制御信号が光源41に入力されている間継続して行われることは必須ではない。また、光検査装置1の電源がオンとなったときに光源41に電力が自動的に供給される構成である場合、異常の有無の検出は、光源41に電力が供給されている間に行われてもよい。この場合も、異常の有無の検出は、電力が光源41に供給されている間継続して行われることは必須ではない。   Further, while the power for irradiating the excitation light is supplied to the light source 41, the processing unit 6 detects the presence or absence of an abnormality in the excitation light irradiation unit 4 or the like. It is not indispensable to be continuously performed while the inspection is being performed. Timing other than this timing (for example, an omission of detection of the inspection object S such as a gap between the one inspection object S being carried out and the subsequent inspection object S). May be performed at a regular timing that does not occur). Further, the presence / absence of abnormality may be detected while a control signal for irradiating excitation light is being input to the light source 41. Also in this case, it is not essential that the detection of the presence / absence of the abnormality is continuously performed while the control signal is input to the light source 41. In addition, when the power of the optical inspection apparatus 1 is turned on, power is automatically supplied to the light source 41, and the presence / absence of abnormality is detected while the power is supplied to the light source 41. It may be broken. Also in this case, it is not essential that the detection of the presence / absence of the abnormality be continuously performed while power is supplied to the light source 41.

検査領域Rが第1領域R1と第2領域R2とに別れておらず、被検査物Sが搬送される領域に光変換部8が設置されていてもよい。処理部6において異常が有りと検出された場合、搬送制御部35が搬送部3による被検査物Sの搬送を停止させたが、搬送を停止させることは必須ではない。光変換部8は、検査領域R内に配置されていれば、筐体2以外の部位に取り付けられていてもよい。筐体2は、搬送部3に対して離間可能な構成でなくてもよい。検出部5が第2光学フィルタ51を備えることは必須ではない。なお、第2光学フィルタ51(第1光学フィルタ43)は1枚で構成されていてもよく、複数枚が重ね合わせられることによって構成されていてもよい。   The inspection area R may not be divided into the first area R1 and the second area R2, and the light conversion unit 8 may be installed in an area where the inspection object S is conveyed. When the processing unit 6 detects that there is an abnormality, the conveyance control unit 35 stops the conveyance of the inspection object S by the conveyance unit 3, but it is not essential to stop the conveyance. The light conversion unit 8 may be attached to a part other than the housing 2 as long as it is arranged in the inspection region R. The housing 2 may not be configured to be separable from the transport unit 3. It is not essential that the detection unit 5 includes the second optical filter 51. In addition, the 2nd optical filter 51 (1st optical filter 43) may be comprised by 1 sheet, and may be comprised by overlapping several sheets.

最後に、異物Fごとに、好適な励起光の波長の範囲、及びそれにより発生する蛍光の波長の範囲を例示する。   Finally, for each foreign substance F, a preferable range of the wavelength of excitation light and the range of the wavelength of fluorescence generated thereby will be exemplified.

異物Fがアニサキスである場合、好適な励起光の波長の範囲は、300〜400nm(より好ましくは、330〜350nm)であり、それにより発生する蛍光の波長の範囲は、380〜500nm(より好ましくは、420〜450nm)である。   When the foreign substance F is anisakis, the preferable wavelength range of excitation light is 300 to 400 nm (more preferably 330 to 350 nm), and the wavelength range of the fluorescence generated thereby is 380 to 500 nm (more preferably Is 420 to 450 nm).

異物Fがブリ線虫である場合、好適な励起光の波長の範囲は、350〜450nm(より好ましくは、370〜390nm)であり、それにより発生する蛍光の波長の範囲は、420〜530nm(より好ましくは、440〜470nm)である。   When the foreign substance F is a yellow nematode, a suitable wavelength range of excitation light is 350 to 450 nm (more preferably, 370 to 390 nm), and a wavelength range of fluorescence generated thereby is 420 to 530 nm ( More preferably, it is 440-470 nm.

異物Fがサバの骨である場合、好適な励起光の波長の範囲は、320〜380nm(より好ましくは、320〜340nm)であり、それにより発生する蛍光の波長の範囲は、380〜430nm(より好ましくは、380〜400nm)である。   When the foreign substance F is mackerel bone, the wavelength range of suitable excitation light is 320 to 380 nm (more preferably 320 to 340 nm), and the wavelength range of the fluorescence generated thereby is 380 to 430 nm ( More preferably, it is 380 to 400 nm.

異物Fがタイの鱗である場合、好適な励起光の波長の範囲は、300〜400nm(より好ましくは、320〜340nm)であり、それにより発生する蛍光の波長の範囲は、380〜500nm(より好ましくは、380〜400nm)である。   When the foreign substance F is a Thai scale, a preferable wavelength range of excitation light is 300 to 400 nm (more preferably 320 to 340 nm), and a wavelength range of fluorescence generated thereby is 380 to 500 nm ( More preferably, it is 380 to 400 nm.

異物Fがタイの内臓である場合、好適な励起光の波長の範囲は、320〜500nm(より好ましくは、360〜380nm)であり、それにより発生する蛍光の波長の範囲は、480〜580nm(より好ましくは、510〜530nm)である。   When the foreign substance F is a visceral organ in Thailand, a preferable wavelength range of excitation light is 320 to 500 nm (more preferably 360 to 380 nm), and a wavelength range of fluorescence generated thereby is 480 to 580 nm ( More preferably, it is 510-530 nm.

1…光検査装置、2…筐体、3…搬送部、4…励起光照射部、6…処理部(異常検出部)、8…光変換部、31a…搬送面(載置面)、35…搬送制御部、51…第2光学フィルタ(フィルタ)、52…蛍光検出部、52a…光取込部、F…異物、R…検査領域、R1…第1領域、R2…第2領域、S…被検査物。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical inspection apparatus, 2 ... Housing | casing, 3 ... Conveyance part, 4 ... Excitation light irradiation part, 6 ... Processing part (abnormality detection part), 8 ... Light conversion part, 31a ... Conveyance surface (mounting surface), 35 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Conveyance control part 51 ... 2nd optical filter (filter), 52 ... Fluorescence detection part, 52a ... Light taking-in part, F ... Foreign material, R ... Inspection area | region, R1 ... 1st area | region, R2 ... 2nd area | region, S ... inspection object.

Claims (9)

被検査物を検査領域に搬送する搬送部と、
前記被検査物に付着した異物に蛍光を発生させるための励起光を前記検査領域に照射する励起光照射部と、
前記検査領域内に設置され、前記励起光によって蛍光を発生させる光変換部と、
前記検査領域において、前記励起光によって前記異物が発生させた前記蛍光と前記励起光によって前記光変換部が発生させた前記蛍光とを検出し、検出した前記蛍光の検出信号を出力する蛍光検出部と、
前記光変換部が発生させた前記蛍光の前記検出信号に基づいて、前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する異常検出部と、
を備える光検査装置。
A transport unit for transporting the inspection object to the inspection area;
An excitation light irradiation unit that irradiates the inspection region with excitation light for generating fluorescence in the foreign matter attached to the inspection object;
A light conversion unit installed in the inspection region and generating fluorescence by the excitation light;
In the inspection region, a fluorescence detection unit that detects the fluorescence generated by the foreign matter by the excitation light and the fluorescence generated by the light conversion unit by the excitation light and outputs a detection signal of the detected fluorescence When,
Based on the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit, an abnormality detection unit that detects presence / absence of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit;
An optical inspection apparatus comprising:
前記異常検出部は、前記光変換部が発生させた前記蛍光の前記検出信号の有無に基づいて、前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する、請求項1に記載の光検査装置。   The abnormality detection unit detects presence / absence of an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the presence / absence of the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit. The optical inspection apparatus according to 1. 前記検査領域は、第1領域と、前記第1領域とは異なる第2領域とを含み、
前記光変換部は、前記第1領域内に設置され、
前記搬送部は、前記被検査物を前記第2領域に搬送する、請求項1又は2に記載の光検査装置。
The inspection area includes a first area and a second area different from the first area,
The light conversion unit is installed in the first region,
The optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the transport unit transports the inspection object to the second region.
前記搬送部における前記被検査物の搬送を制御する搬送制御部を更に備え、
前記搬送制御部は、前記異常検出部によって前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が有りと検出された場合、前記搬送部における前記被検査物の搬送を停止させる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光検査装置。
A transport control unit for controlling transport of the inspection object in the transport unit;
The conveyance control unit stops conveyance of the inspection object in the conveyance unit when the abnormality detection unit detects that there is an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit. Item 4. The optical inspection device according to any one of Items 1 to 3.
前記検査領域を覆う筐体を更に備え、
前記光変換部は、前記筐体に固定されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光検査装置。
A housing that covers the inspection area;
The optical inspection device according to claim 1, wherein the light conversion unit is fixed to the housing.
前記筐体は、前記搬送部に対して離間可能に設けられている、請求項5に記載の光検査装置。   The optical inspection apparatus according to claim 5, wherein the casing is provided so as to be separated from the transport unit. 前記蛍光の波長帯以外の波長帯の光を減衰させるフィルタを更に備え、
前記蛍光検出部は、当該蛍光検出部の光取込部に入射した蛍光を検出し、
前記フィルタは、前記光取込部に対向する位置に設けられている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光検査装置。
A filter that attenuates light in a wavelength band other than the fluorescent wavelength band;
The fluorescence detection unit detects fluorescence incident on the light capturing unit of the fluorescence detection unit,
The said filter is an optical inspection apparatus as described in any one of Claims 1-6 provided in the position facing the said optical taking-in part.
前記搬送部における前記被検査物が載置される載置面には、前記励起光の反射防止処理が施されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の光検査装置。   The optical inspection apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein an antireflection process for the excitation light is performed on a mounting surface on which the inspection object is mounted in the transport unit. 検査領域に搬送された被検査物に励起光を照射して前記被検査物に付着する異物を検出すると共に、前記励起光によって蛍光を発生させる光変換部が前記検査領域内に設置された光検査装置における異常検出方法であって、
前記異物及び前記光変換部に蛍光を発生させるための前記励起光を前記検査領域に照射させる制御信号を励起光照射部に入力する照射ステップと、
前記検査領域において、前記励起光照射部が照射した前記励起光によって前記光変換部が発生させた前記蛍光を蛍光検出部が検出する蛍光検出ステップと、
前記蛍光検出ステップで検出された前記光変換部が発生させた前記蛍光に基づいて、前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を異常検出部が検出する異常検出ステップと、
を含む異常検出方法。
Light in which an inspection object conveyed to the inspection area is irradiated with excitation light to detect foreign matter adhering to the inspection object, and a light conversion unit that generates fluorescence by the excitation light is installed in the inspection area An abnormality detection method in an inspection apparatus,
An irradiation step of inputting a control signal for irradiating the inspection region with the excitation light for generating fluorescence in the foreign matter and the light conversion unit;
In the inspection region, a fluorescence detection step in which a fluorescence detection unit detects the fluorescence generated by the light conversion unit by the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit;
An abnormality detection step in which an abnormality detection unit detects the presence or absence of an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the fluorescence generated by the light conversion unit detected in the fluorescence detection step. When,
Anomaly detection method including
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