JP2019020133A - 半導体圧力センサチップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体圧力センサチップの平面形状を、可及的簡易な工程で、円形、又は、正方形よりも円形に近い正多角形(例えば正八角形)に形成する。
【解決手段】厚さ方向と直交する第一面内方向及び第二面内方向におけるダイアフラム(24)に対応する位置にて裏面(82)側に形成された非貫通の凹部(24)を、第一面内方向及び第二面内方向に複数配列した、半導体ウエハ(80)を用意する。厚さ方向と直交し且つ第一面内方向及び第二面内方向と交差する第三面内方向について隣接する凹部間の位置に、半導体ウエハを厚さ方向に貫通する貫通孔(83)を形成する。第一面内方向及び第二面内方向に沿って半導体ウエハをダイシングすることで、第一面内方向及び第二面内方向について隣接する貫通孔間を切断する。
【選択図】図4
【解決手段】厚さ方向と直交する第一面内方向及び第二面内方向におけるダイアフラム(24)に対応する位置にて裏面(82)側に形成された非貫通の凹部(24)を、第一面内方向及び第二面内方向に複数配列した、半導体ウエハ(80)を用意する。厚さ方向と直交し且つ第一面内方向及び第二面内方向と交差する第三面内方向について隣接する凹部間の位置に、半導体ウエハを厚さ方向に貫通する貫通孔(83)を形成する。第一面内方向及び第二面内方向に沿って半導体ウエハをダイシングすることで、第一面内方向及び第二面内方向について隣接する貫通孔間を切断する。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体圧力センサチップの製造方法に関する。
ダイアフラムとその周囲に設けられた厚肉部とを有する半導体圧力センサチップが知られている。かかる構成を有する半導体圧力センサチップは、以下のような手順で製造される。まず、ゲージ抵抗等のセンサ部を表面側に有するとともに、ダイアフラムを形成するための凹部を裏面側に有する、半導体ウエハが用意される。この半導体ウエハには、ダイアフラムと当該ダイアフラムに設けられたセンサ部の組が、二次元的に多数組、配列形成されている。次に、この半導体ウエハをダイシングすることで、半導体圧力センサチップが得られる。
半導体圧力センサチップの平面形状を、円形、又は、正方形よりも円形に近い正多角形(例えば正八角形)に形成することで、実装する部材との熱膨張係数の違いにより半導体圧力センサチップに発生する熱応力を低減することが可能である。この点、従来の製造方法においては、例えば、ドライエッチングにより半導体ウエハを任意の平面形状に形成することが可能であるが、分離後の搬送に煩雑な工程が必要であった。本発明は、上記に例示した事情等に鑑みてなされたものである。
請求項1に記載の製造方法は、ダイアフラム(25)とその周囲に設けられた厚肉部(26)とを有する半導体圧力センサチップ(2)の製造方法である。
この製造方法は、以下の工程を有する。
厚さ方向と直交する第一面内方向及び前記厚さ方向と直交し且つ前記第一面内方向と直交する第二面内方向における前記ダイアフラムに対応する位置にて裏面(82)側に形成された前記厚さ方向に非貫通の凹部(24)を、前記第一面内方向及び前記第二面内方向に複数配列した、半導体ウエハ(80)を用意し、
前記厚さ方向と直交し且つ前記第一面内方向及び前記第二面内方向と交差する第三面内方向について隣接する前記凹部間の位置に、前記半導体ウエハを前記厚さ方向に貫通する貫通孔(83)を形成し、
前記第一面内方向及び前記第二面内方向に沿って前記半導体ウエハをダイシングすることで、前記第一面内方向及び前記第二面内方向について隣接する前記貫通孔間を切断する。
この製造方法は、以下の工程を有する。
厚さ方向と直交する第一面内方向及び前記厚さ方向と直交し且つ前記第一面内方向と直交する第二面内方向における前記ダイアフラムに対応する位置にて裏面(82)側に形成された前記厚さ方向に非貫通の凹部(24)を、前記第一面内方向及び前記第二面内方向に複数配列した、半導体ウエハ(80)を用意し、
前記厚さ方向と直交し且つ前記第一面内方向及び前記第二面内方向と交差する第三面内方向について隣接する前記凹部間の位置に、前記半導体ウエハを前記厚さ方向に貫通する貫通孔(83)を形成し、
前記第一面内方向及び前記第二面内方向に沿って前記半導体ウエハをダイシングすることで、前記第一面内方向及び前記第二面内方向について隣接する前記貫通孔間を切断する。
なお、上記及び特許請求の範囲の欄における、各手段に付された括弧付きの参照符号は、同手段と後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。よって、本発明の技術的範囲は、上記の参照符号の記載によって、何ら限定されるものではない。
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。なお、実施形態に対して適用可能な各種の変形例については、当該実施形態に関する一連の説明の途中に挿入されると当該実施形態の理解が妨げられるおそれがあるため、当該実施形態の説明の後にまとめて記載する。
(圧力センサの構成)
図1を参照すると、圧力センサ1は、流体導入空間Cに導入された圧力測定対象である流体の圧力に対応した出力(例えば電圧)を発生するように構成されている。圧力測定対象である流体は、例えば、空気、EGRガス、排気ガス、等の気体である。EGRはExhaust Gas Recirculationの略である。あるいは、圧力測定対象である流体は、例えば、燃料、潤滑油、ブレーキオイル等の液体である。
図1を参照すると、圧力センサ1は、流体導入空間Cに導入された圧力測定対象である流体の圧力に対応した出力(例えば電圧)を発生するように構成されている。圧力測定対象である流体は、例えば、空気、EGRガス、排気ガス、等の気体である。EGRはExhaust Gas Recirculationの略である。あるいは、圧力測定対象である流体は、例えば、燃料、潤滑油、ブレーキオイル等の液体である。
以下、圧力センサ1の構成要素である各部の構成について説明する。なお、説明の便宜上、各図において、図示の通りに右手系XYZ直交座標系を設定する。このとき、図中Z軸と平行な方向を「軸方向」と称し、Z軸と直交する任意の方向を「面内方向」と称する。即ち、面内方向は、XY平面と平行な方向である。また、対象物を図中Z軸負方向に見ることを「平面視」と称する。
圧力センサ1は、半導体圧力センサチップ2と、支持部材3と、第一接合層4と、ケース部材5と、第二接合層6と、裏面ゲル7とを備えている。
半導体圧力センサチップ2は、板状部材であって、厚さ方向が軸方向と平行となるように設けられている。本実施形態においては、図2に示されているように、半導体圧力センサチップ2は、支持部材3との接合部における熱応力を可及的に低減するため、平面視にて正八角形状に形成されている。
以下、図1及び図2を参照しつつ、半導体圧力センサチップ2の構成について詳細に説明する。半導体圧力センサチップ2は、半導体基板20aと保護膜20bとを有している。半導体基板20aは、Si系の半導体によって形成されている。保護膜20bは、SiN等の電気絶縁性を有する絶縁膜であって、半導体基板20aにおける基板表面21上に形成されている。
即ち、半導体基板20aは、面内方向に延び互いに平行な主面である、基板表面21と基板裏面22とを有している。また、半導体基板20aは、基板表面21及び基板裏面22と交差する端面23を有している。具体的には、本実施形態においては、端面23は、基板表面21及び基板裏面22と直交する面であって、正八角柱面状に形成されている。
半導体圧力センサチップ2における基板裏面22側には、ダイアフラム形成凹部24が設けられている。ダイアフラム形成凹部24は、厚さ方向に非貫通の凹部であって、軸方向に向かって開口するように形成されている。
ダイアフラム形成凹部24は、半導体圧力センサチップ2の面内方向における中央部に配置されている。さらに、本実施形態においては、ダイアフラム形成凹部24は、平面視にて正八角形状に形成されている。即ち、ダイアフラム形成凹部24の内側には、正八角柱状の空間が設けられている。また、ダイアフラム形成凹部24は、平面視にて、半導体圧力センサチップ2と相似形に形成されている。
半導体圧力センサチップ2は、ダイアフラム25と厚肉部26とを有している。ダイアフラム25は、面内方向についてダイアフラム形成凹部24に対応する位置に設けられた薄肉部であって、薄板状に形成されている。本実施形態においては、ダイアフラム25は、基板表面21と面一に形成されている。厚肉部26は、ダイアフラム25の周囲に設けられている。即ち、厚肉部26は、ダイアフラム25を支持するように、ダイアフラム25の外縁部と結合されている。
ダイアフラム25には、センサ部27が設けられている。センサ部27は、複数個のピエゾ抵抗28をブリッジ接続することで、ダイアフラム25の撓み量に応じた電気出力(例えば電圧)を発生するように構成されている。ピエゾ抵抗28は、基板表面21側から半導体基板20a内に不純物を拡散することによって形成されている。
再び図1を参照すると、支持部材3は、半導体圧力センサチップ2を支持する部材であって、第一接合層4を介して半導体圧力センサチップ2と接合されている。具体的には、支持部材3は、アルミナ等のセラミック基板であって、図中Z軸正方向に露出する上面31と、その裏側の下面32とを有している。
上面31には、各種の回路パターン等が形成されている。即ち、半導体圧力センサチップ2に設けられた回路パターン等と、支持部材3に設けられた回路パターン等とは、ワイヤボンディング等により電気接続されている。
下面32は、第二接合層6を介して、ケース部材5と接合されている。また、下面32側からダイアフラム形成凹部24に向かって、連通孔33が形成されている。連通孔33は、支持部材3を軸方向に貫通する貫通孔であって、半導体圧力センサチップ2から遠ざかるにつれて開口径が大きくなるように形成されている。
第一接合層4は、厚肉部26にて、半導体圧力センサチップ2の基板裏面22と接合されている。また、第一接合層4は、支持部材3における上面31と接合されている。第一接合層4は、シリコーン樹脂等からなる75μm程度の厚さの膜であって、接着剤を硬化させることによって形成されている。
ケース部材5は、合成樹脂部材であって、支持部材3を支持するように設けられている。具体的には、ケース部材5と支持部材3とは、第二接合層6を介して接合されている。第二接合層6は、シリコーン樹脂等からなる100μm程度の厚さの膜であって、接着剤を硬化させることによって形成されている。
ケース部材5には、基板収容凹部51と、流体導入孔52とが形成されている。基板収容凹部51は、図中Z軸正方向に向かって開口する凹部であって、支持部材3を収容可能に形成されている。流体導入孔52は、ケース部材5を軸方向に貫通する貫通孔であって、連通孔33と連通するように設けられている。即ち、連通孔33と流体導入孔52とによって、流体導入空間Cが形成されている。
裏面ゲル7は、シリコーン系、フッ素系、フルオロシリコーン系等のゲル材料であって、ダイアフラム形成凹部24の全体及び連通孔33におけるダイアフラム形成凹部24に隣接する部分に充填されている。裏面ゲル7は、流体導入空間Cに侵入する水分による氷結割れから半導体圧力センサチップ2を保護したり、流体に含まれる腐食性物質による第一接合層4の劣化を防いだり、煤による閉塞を防いだりするように設けられている。
(半導体ウエハの概略構成)
図3〜図5は、図2に示された半導体圧力センサチップ2の製造方法に用いられる、半導体ウエハ80の概略構成を示す。まず、図3及び図4を参照しつつ、半導体ウエハ80の構成について説明する。
図3〜図5は、図2に示された半導体圧力センサチップ2の製造方法に用いられる、半導体ウエハ80の概略構成を示す。まず、図3及び図4を参照しつつ、半導体ウエハ80の構成について説明する。
図3を参照すると、半導体ウエハ80は、基板層80aと保護膜層80bとを有している。基板層80aは、図1に示された半導体基板20aを構成する半導体層であって、半導体基板20aと同材質で形成されている。同様に、保護膜層80bは、図1に示された保護膜20bを構成する絶縁層であって、保護膜20bと同材質で形成されている。
基板層80aは、面内方向に延び互いに平行な主面である、ウエハ表面81とウエハ裏面82とを有している。半導体ウエハ80におけるウエハ裏面82側には、ダイアフラム形成凹部24が設けられている。ダイアフラム形成凹部24は、厚さ方向に非貫通の凹部であって、ウエハ裏面82に対して異方性の反応性イオンエッチングを行うことで形成されている。
半導体ウエハ80には、複数のダイアフラム形成凹部24が、図中X軸方向及びY軸方向に配列形成されている。即ち、複数のダイアフラム形成凹部24が、X軸方向に配列されている。同様に、複数のダイアフラム形成凹部24が、Y軸方向に配列されている。以下、X軸方向とY軸方向とを総称して、「水平/垂直方向」と略称する。即ち、複数のダイアフラム形成凹部24の各々は、水平/垂直方向における、ダイアフラム25に対応する位置に設けられている。
図4に示されているように、本実施形態においては、ダイシングにより細分化して半導体圧力センサチップ2を得る前の半導体ウエハ80には、貫通孔83及び溝84が設けられている。貫通孔83は、半導体ウエハ80を厚さ方向に貫通するように形成されている。溝84は、半導体ウエハ80を厚さ方向に貫通しない深さで、ウエハ表面81側から形成されている。
貫通孔83は、仮想直線L1又はL2と平行な方向について隣接するダイアフラム形成凹部24の間の位置に設けられている。仮想直線L1及びL2は、Z軸方向と直交し、且つ水平/垂直方向と交差する方向に延びる仮想直線である。具体的には、仮想直線L1は、水平/垂直方向と45度の角度をなす。仮想直線L2は、仮想直線L1と交差(即ち典型的には直交)する。
換言すれば、半導体ウエハ80においては、仮想直線L1と平行な方向に複数の貫通孔83が配列されている。また、半導体ウエハ80においては、仮想直線L1と平行な方向にダイアフラム形成凹部24と貫通孔83とが交互に配置されている。同様に、半導体ウエハ80においては、仮想直線L2と平行な方向に、複数の貫通孔83が配列されるとともに、ダイアフラム形成凹部24と貫通孔83とが交互に配置されている。以下、仮想直線L1と平行な方向と、仮想直線L2と平行な方向とを総称して、「斜行方向」と略称する。
貫通孔83は、平面視にて各辺が斜行方向と平行な略矩形状、具体的には正方形状に形成されている。即ち、貫通孔83は、多数の正八角形を、隣接するもの同士の辺が略一致するように水平/垂直方向に配列した場合の、正八角形が存在しない隙間に対応する位置に設けられている。
溝84は、水平/垂直方向について隣接する貫通孔83の間にて、水平/垂直方向と平行に延設されている。即ち、溝84は、多数の正八角形を、隣接するもの同士の辺が略一致するように水平/垂直方向に配列した場合の、当該辺に対応する位置に設けられている。換言すれば、溝84は、平面視にて、ダイシングライン上に設けられている。
図4に示されているような貫通孔83及び溝84を形成するために、半導体ウエハ80には、図5に示されているような形状のマスク90が形成される。即ち、図5に示されているマスク90を半導体ウエハ80におけるウエハ表面81側に形成した後に、ウエハ表面81側から異方性の反応性イオンエッチングを行うことで、図4に示されているような貫通孔83及び溝84が形成される。
以下、図5を参照しつつ、マスク90について説明する。マスク90は、チップ遮蔽部91と、貫通孔用開口部92と、溝用開口部93とを有している。チップ遮蔽部91は、マスク90における、レジスト膜を有する部分として形成されている。一方、貫通孔用開口部92及び溝用開口部93は、マスク90における開口部(即ちレジスト膜を有しない部分)として形成されている。
チップ遮蔽部91は、図2に示された半導体圧力センサチップ2の平面視における外形形状に対応した、正八角形状の形状を有している。また、多数のチップ遮蔽部91が、水平/垂直方向に配列されている。即ち、X軸方向について隣接する正八角形状のチップ遮蔽部91は、Y軸方向と平行な辺にて互いに接触又は近接対向するように設けられている。同様に、Y軸方向について隣接する正八角形状のチップ遮蔽部91は、X軸方向と平行な辺にて互いに接触又は近接対向するように設けられている。
貫通孔用開口部92は、斜行方向について隣接するチップ遮蔽部91の間の位置に設けられている。即ち、貫通孔用開口部92は、平面視にて、図4に示された貫通孔83に対応する位置に設けられている。貫通孔用開口部92は、図4に示された貫通孔83に対応する、略矩形状に形成されている。
溝用開口部93は、水平/垂直方向について隣接するチップ遮蔽部91の間の位置に設けられている。即ち、溝用開口部93は、平面視にて、図4に示された溝84に対応する位置に設けられている。溝用開口部93は、図4に示された溝84に対応する、細線状に形成されている。
(製造方法の概略)
図6は、本実施形態に係る製造方法の概略を示す。図中及び以下の説明において、「S」は、「ステップ」の略である。以下、図1〜図6を参照しつつ、本実施形態に係る製造方法について説明する。
図6は、本実施形態に係る製造方法の概略を示す。図中及び以下の説明において、「S」は、「ステップ」の略である。以下、図1〜図6を参照しつつ、本実施形態に係る製造方法について説明する。
最初に、基板層80aにダイアフラム25及びセンサ部27が形成される(S11)。これにより、図3に示されているような、ダイアフラム25及びセンサ部27を有する一方で、貫通孔83及び溝84が形成される前の、半導体ウエハ80が用意される。
具体的には、基板層80aに対して、ウエハ表面81側から不純物を拡散することで、センサ部27が形成される。また、センサ部27に電圧を印加するための回路パターンが、ウエハ表面81側に形成される。さらに、保護膜層80bが形成される。その後、ウエハ裏面82に対して異方性の反応性イオンエッチングを行うことで、平面視にてセンサ部27に対応する位置に、ダイアフラム形成凹部24即ちダイアフラム25が形成される。
次に、半導体ウエハ80におけるウエハ表面81側に、図5に示されているようなマスク90が形成される(S12)。続いて、マスク90側から異方性の反応性イオンエッチングを行うことで、図4に示されているように、半導体ウエハ80に貫通孔83が形成される(S13)。
具体的には、斜行方向について隣接するチップ遮蔽部91の間の開口部である貫通孔用開口部92に対応する位置に、貫通孔83が形成される。即ち、斜行方向について隣接するダイアフラム形成凹部24の間の位置に、平面視にて略矩形状の貫通孔83が設けられる。また、複数の貫通孔83が、斜行方向に配列形成される。
貫通孔83が形成される際に、厚さ方向に非貫通の溝84が形成される。溝84は、水平/垂直方向について隣接する貫通孔83の間に設けられる。即ち、溝84は、ダイシングライン上に設けられる。これにより、半導体ウエハ80は、図4に示された状態に加工される。
図4に示された状態に加工された半導体ウエハ80は、ダイアフラム形成凹部24を塞ぐように、ウエハ裏面82側にて不図示のダイシングシートに貼付される(S14)。その後、半導体ウエハ80は、水平/垂直方向と平行なダイシングラインに沿ってダイシングされる(S15)。即ち、水平/垂直方向について隣接する貫通孔83の間が切断される。このとき、半導体ウエハ80には、ダイシングラインに沿って溝84が形成されている。したがって、ダイシング工程の負荷が軽減される。
ダイシングにより、半導体ウエハ80は、平面視にて八角形状の、多数の半導体圧力センサチップ2に細分化される。ダイシング後、半導体圧力センサチップ2は、ダイピック工程(S16)によってピックアップされる。
比較例として、ダイシング前の半導体ウエハ80に貫通孔83を形成せずに、半導体圧力センサチップ2を得る方法について想定する。以下、本実施形態の製造方法における有利な点について、比較例と対比しつつ説明する。
例えば、図7に示されているような形状のマスク90を半導体ウエハ80に形成した後に、マスク90側から異方性の反応性イオンエッチングを行うことで、ダイシングを行わずに半導体ウエハ80を細分化して、正八角形状の半導体圧力センサチップ2を得る方法が考えられる。この場合、図7に示されているように、マスク90は、チップ遮蔽部91と、切断用開口部95と、余剰遮蔽部96とを有している。
本実施形態と同様に、チップ遮蔽部91は、半導体圧力センサチップ2の平面視における外形形状に対応した、正八角形状の形状を有している。また、多数のチップ遮蔽部91が、水平/垂直方向に配列されている。
切断用開口部95は、細線状の開口部であって、水平/垂直方向について隣接するチップ遮蔽部91の間に設けられている。即ち、切断用開口部95は、水平/垂直方向に沿って設けられている。さらに、切断用開口部95は、チップ遮蔽部91の平面視における外形形状を囲むように設けられている。即ち、切断用開口部95は、斜行方向に沿ったチップ遮蔽部91の各辺に対応する位置にも設けられている。これにより、斜行方向について隣接するチップ遮蔽部91の間には、直角二等辺三角形状の余剰遮蔽部96が、4つずつ形成される。
比較例における工程の流れを、図8に示す。S11は本実施形態と共通である。比較例においては、S11によって用意された半導体ウエハ80におけるウエハ表面81側に、図7に示されているようなマスク90が形成される(S102)。
図7に示されたマスク90が形成された半導体ウエハ80は、ダイアフラム形成凹部24を塞ぐように、ウエハ裏面82側にて不図示の熱剥離シートに貼付される(S103)。熱剥離シートは、ダイシングシートとは異なり、後続の反応性イオンエッチング工程(S104)にも耐え得る耐熱性を有する。
熱剥離シートに貼付された半導体ウエハ80に対して、マスク90側から、異方性の反応性イオンエッチングが行われる(S104)。これにより、半導体ウエハ80は、平面視にて八角形状の、多数の半導体圧力センサチップ2に細分化される。但し、この段階では、多数の半導体圧力センサチップ2の各々は、接着力により熱剥離シートに支持されている。
そこで、多数の半導体圧力センサチップ2の各々と熱剥離シートとの間の剥離を容易化するための、加熱工程が行われる(S105)。その後、半導体圧力センサチップ2は、ダイピック工程(S106)によってピックアップされる。
上記の通り、比較例においては、半導体ウエハ80が反応性イオンエッチング工程(S104)によって細分化されるため、反応性イオンエッチング工程に先立ち、半導体ウエハ80を粘着シートと貼り合せる必要がある。このとき、粘着シートとしては、反応性イオンエッチング工程に耐えられない通常のダイシンシートを用いることができず、より高耐熱性の熱剥離シートを用いる必要がある。
また、比較例においては、ダイピック(S106)に先立ち、熱剥離シートからの半導体圧力センサチップ2の剥離のための加熱工程(S105)が必要となる。よって、比較例の製造方法を用いた場合、ダイピック工程が煩雑化する。
これに対し、本実施形態においては、半導体ウエハ80が細分化されるのは、反応性イオンエッチング工程(S13)の後である。このため、比較的安価で低耐熱性の、通常のダイシングシートを用いることができる。また、ダイピック工程が煩雑化することを回避することができる。
ここで、比較例において、余剰遮蔽部96を無くして、菱形開口部を隣接する切断用開口部95の間に形成した場合を想定する。この場合、この菱形開口部と細線状の切断用開口部95との間で、エッチングレートの差が生じる。よって、この場合、反応性イオンエッチング工程を経て得られた半導体圧力センサチップ2の外形形状の、均一性が損なわれる。このため、比較例において、余剰遮蔽部96を無くして菱形開口部にすることは、採用しない。
これに対し、本実施形態における、図5に示されたマスク90は、貫通孔用開口部92により貫通孔83を形成することを主目的として形成されるものである。また、溝84は、ダイシング工程の負荷軽減のために、半導体ウエハ80の厚さ方向に非貫通となるように形成される。
このため、比較的開口面積が大きい貫通孔用開口部92と、細線状の溝用開口部93との間で大きなエッチングレートの差が生じても、本実施形態においては特段の問題は生じない。また、溝84の深さや幅の不均一性が生じても、その後にダイシング(S15)が行われるため、本実施形態においては特段の問題は生じない。
したがって、図5に示された構成のマスク90は、上記の通り、比較例の製造方法においては採用されない一方、本実施形態の製造方法のように、ダイシングによる半導体ウエハ80の細分化に先立って貫通孔83を形成する場合に限って採用され得るものである。
上記の通り、比較例においては、ダイアフラム形成凹部24を有する半導体ウエハ80は、反応性イオンエッチングに先立ち、ダイアフラム形成凹部24を塞ぐように熱剥離シートに貼付される。即ち、半導体ウエハ80と熱剥離シートとの接合体は、反応性イオンエッチングを行うためのプラズマ装置における電極間にセットされる。
反応性イオンエッチングの際、熱剥離シートは、半導体ウエハ80を搭載したプラズマ装置における、電極間の電気抵抗となる。このため、比較例においては、反応性イオンエッチング中に熱剥離シートが発熱し、これにより半導体ウエハ80が損傷するおそれがある。
これに対し、本実施形態においては、比較例とは異なり、半導体ウエハ80は、ダイシングに先立ち、面内方向における柔軟性が熱剥離シートよりも高い通常のダイシングシートと貼り合せられる。また、反応性イオンエッチングは、ダイシングによる細分化の前、即ち、半導体ウエハ80とダイシングシートとの貼り合せの前に行われる。このため、本実施形態においては、比較例とは異なり、半導体ウエハ80は、反応性イオンエッチングの際に、ダイアフラム形成凹部24を塞ぐように熱剥離シートに貼付されている必要はない。
したがって、本実施形態においては、反応性イオンエッチング中の、半導体ウエハ80の損傷発生が、可及的に抑制される。また、ダイピックの際にダイシングシートに面内方向の張力を与えることで、半導体圧力センサチップ2のダイシングシートからの剥離が促進され得る。
以上詳細に説明したように、本実施形態によれば、支持部材3との接合部における熱応力を可及的に低減するために半導体圧力センサチップ2を平面視にて正八角形状に形成する工程が、可及的に簡易化され得る。
(変形例)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。故に、上記実施形態に対しては、適宜変更が可能である。以下、代表的な変形例について説明する。以下の変形例の説明においては、上記実施形態との相違点を主として説明する。また、上記実施形態と変形例とにおいて、互いに同一又は均等である部分には、同一符号が付されている。したがって、以下の変形例の説明において、上記実施形態と同一の符号を有する構成要素に関しては、技術的矛盾又は特段の追加説明なき限り、上記実施形態における説明が適宜援用され得る。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。故に、上記実施形態に対しては、適宜変更が可能である。以下、代表的な変形例について説明する。以下の変形例の説明においては、上記実施形態との相違点を主として説明する。また、上記実施形態と変形例とにおいて、互いに同一又は均等である部分には、同一符号が付されている。したがって、以下の変形例の説明において、上記実施形態と同一の符号を有する構成要素に関しては、技術的矛盾又は特段の追加説明なき限り、上記実施形態における説明が適宜援用され得る。
圧力測定対象である流体は、気体又は液体に限定されない。即ち、圧力測定対象である流体は、超臨界流体であってもよい。また、圧力センサ1は、絶対圧センサであってもよいし、相対圧センサであってもよい。圧力センサ1は、被水環境で用いられるセンサ、例えば、車両のドアに収容される側面衝突検知用センサであってもよい。
本発明は、ピエゾ抵抗タイプの圧力センサに限定されない。即ち、本発明は、ピエゾ抵抗タイプとは異なるタイプ(例えば静電容量タイプや圧電タイプ)の圧力センサ1に対しても好適に適用可能である。
半導体基板20aは、一つの半導体層によって継目なく一体に形成されていてもよいし、複数の半導体層を積層することによって形成されていてもよい。即ち、半導体基板20aは、所謂SOI基板であってもよい。SOIはSilicon on Insulatorの略である。
基板表面21上の保護膜20bは、省略され得る。即ち、半導体ウエハ80において、ウエハ表面81上の保護膜層80bは、省略され得る。基板裏面22即ちウエハ裏面82には、表面処理、コーティング層形成、等が行われていてもよい。具体的には、例えば、かかる表面処理等は、第一接合層4を介しての支持部材3との接合性を高めるために行われ得る。
半導体圧力センサチップ2及びダイアフラム形成凹部24の、平面視における形状には、特段の限定はない。即ち、例えば、ダイアフラム形成凹部24は、平面視にて、半導体圧力センサチップ2と相似形ではなくてもよい。具体的には、例えば、図9に示されているように、半導体圧力センサチップ2が平面視にて正八角形状に形成される一方で、ダイアフラム形成凹部24が平面視にて円形又は楕円形に形成されてもよい。
図10に示されているように、半導体圧力センサチップ2及びダイアフラム形成凹部24が平面視にて円形に形成される場合があり得る。この場合の製造方法の概要を、図11及び図12に示す。即ち、この場合、図11に示されているように、チップ遮蔽部91は、平面視にて円形に形成される。また、貫通孔83の形成後の半導体ウエハ80の強度を確保するため、溝用開口部93(図5参照)は設けられない。したがって、図12に示されているように、溝84(図4参照)は設けられない。
支持部材3は、図1に示されているように、複数のセラミック基板を積層することによって形成され得る。あるいは、支持部材3は、1枚のセラミック基板に対して研磨等の加工を施すことによって、継目なく一体に形成され得る。
支持部材3は、セラミック基板又は半導体基板に限定されない。即ち、例えば、支持部材3は、合成樹脂製のいわゆるプリント基板であってもよい。
ケース部材5は、合成樹脂製に限定されない。即ち、例えば、ケース部材5は、金属製であってもよいし、セラミックス製であってもよい。
裏面ゲル7は、省略され得る。
貫通孔83の形成は、反応性イオンエッチングに限定されない。即ち、貫通孔83の形成方法として、例えば、異方性の、ウエットエッチング又はドライエッチングが好適に用いられ得る。「異方性エッチング」は、「非等方性エッチング」とも称される。
貫通孔83の形成に用いられるエッチング方法は、好適には、ダイアフラム形成凹部24の形成に用いられるエッチング方法と同じ方法が用いられ得る。これにより、製造設備の共通化が図られ得る。
溝84は、ダイシング前に半導体ウエハ80が破壊されない程度に、長手方向における一部にて半導体ウエハ80を貫通していてもよい。
貫通孔83の形成に際して、溝84は形成されなくてもよい。即ち、マスク90において、溝用開口部93の形成は、省略され得る。
上記の説明において、互いに継目無く一体に形成されていた複数の構成要素は、互いに別体の部材を貼り合わせることによって形成されてもよい。同様に、互いに別体の部材を貼り合わせることによって形成されていた複数の構成要素は、互いに継目無く一体に形成されてもよい。
上記の説明において、互いに同一の材料によって形成されていた複数の構成要素は、互いに異なる材料によって形成されてもよい。同様に、互いに異なる材料によって形成されていた複数の構成要素は、互いに同一の材料によって形成されてもよい。
変形例も、上記の例示に限定されない。また、複数の変形例が、互いに組み合わされ得る。更に、上記実施形態の全部又は一部と、任意の変形例の全部又は一部とが、互いに組み合わされ得る。
2 半導体圧力センサチップ
24 ダイアフラム形成凹部
25 ダイアフラム
26 厚肉部
80 半導体ウエハ
81 表面
82 裏面
83 貫通孔
84 溝
90 マスク
24 ダイアフラム形成凹部
25 ダイアフラム
26 厚肉部
80 半導体ウエハ
81 表面
82 裏面
83 貫通孔
84 溝
90 マスク
Claims (5)
- ダイアフラム(25)とその周囲に設けられた厚肉部(26)とを有する半導体圧力センサチップ(2)の製造方法であって、
厚さ方向と直交する第一面内方向及び前記厚さ方向と直交し且つ前記第一面内方向と直交する第二面内方向における前記ダイアフラムに対応する位置にて裏面(82)側に形成された前記厚さ方向に非貫通の凹部(24)を、前記第一面内方向及び前記第二面内方向に複数配列した、半導体ウエハ(80)を用意し、
前記厚さ方向と直交し且つ前記第一面内方向及び前記第二面内方向と交差する第三面内方向について隣接する前記凹部間の位置に、前記半導体ウエハを前記厚さ方向に貫通する貫通孔(83)を形成し、
前記第一面内方向及び前記第二面内方向に沿って前記半導体ウエハをダイシングすることで、前記第一面内方向及び前記第二面内方向について隣接する前記貫通孔間を切断する、
半導体圧力センサチップの製造方法。 - 前記第三面内方向について隣接する前記凹部間の位置、並びに、前記厚さ方向と直交し、且つ前記第一面内方向、前記第二面内方向、及び前記第三面内方向と交差する第四面内方向について隣接する前記凹部間の位置に、前記貫通孔を形成する、
請求項1に記載の半導体圧力センサチップの製造方法。 - 平面視にて略矩形状の、複数の前記貫通孔を、前記第三面内方向及び前記第四面内方向に配列形成することで、平面視にて八角形状の前記半導体圧力センサチップを製造する、
請求項2に記載の半導体圧力センサチップの製造方法。 - 前記貫通孔を形成する際に、前記厚さ方向に非貫通の溝(84)を、前記第一面内方向又は前記第二面内方向について隣接する前記貫通孔の間に形成する、
請求項2又は3に記載の半導体圧力センサチップの製造方法。 - 異方性エッチングによって前記貫通孔を形成する、
請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体圧力センサチップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017135552A JP2019020133A (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 半導体圧力センサチップの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017135552A JP2019020133A (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 半導体圧力センサチップの製造方法 |
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JP2019020133A true JP2019020133A (ja) | 2019-02-07 |
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ID=65355368
Family Applications (1)
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JP2017135552A Pending JP2019020133A (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 半導体圧力センサチップの製造方法 |
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-
2017
- 2017-07-11 JP JP2017135552A patent/JP2019020133A/ja active Pending
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