JP2019019046A - 単結晶育成装置 - Google Patents
単結晶育成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019019046A JP2019019046A JP2017179573A JP2017179573A JP2019019046A JP 2019019046 A JP2019019046 A JP 2019019046A JP 2017179573 A JP2017179573 A JP 2017179573A JP 2017179573 A JP2017179573 A JP 2017179573A JP 2019019046 A JP2019019046 A JP 2019019046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- irradiation intensity
- intensity distribution
- single crystal
- irradiation
- laser beams
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
[特許文献1] 特許第5181396号
ZL−Z1≧2mm
である単結晶育成装置を提供する。
3mm≧Z2−ZU≧0mm
である単結晶育成装置を提供する。
ZL−Z1≧2mm
である単結晶の育成方法を提供する。
3mm≧Z2−ZU≧0mm
である単結晶の育成方法を提供する。
図1は、実施例1に係る単結晶育成装置100の斜視図の一例を示す。図2は、原料棒1から結晶棒2の成長時における単結晶育成装置100の上面図の一例を示す。
[数1]
ZL−Z1≧2mm
を満たすような照射強度分布を有する。即ち、最大強度Imaxの下方向に2mmの位置では照射強度が50%以上となるように照射強度の減少が抑えられる。これにより、得られた結晶棒2の急冷を緩和する。トップハット照射強度分布では最大強度Imaxの下方向に2mmの位置では照射強度がゼロとなり、得られた結晶棒2は急冷されてしまう。
[数2]
(Z0−H)/2≧S
を満たすように複数のレンズを調整する。また、レーザ照射ヘッド50は、複数のレンズの個数を変化させることなく、レンズの間隔を調整することが好ましい。
[数2]
L≧W
を満たすように、複数のレンズを調整する。
図9は、M個の反射ミラーを有する単結晶育成装置100の構成の一例を示す。図10に示すようにM個の反射ミラー80は、M個のレーザ照射ヘッド50と原料棒1との間にそれぞれ設けられる。本例の場合、レーザ照射ヘッド50および原料棒1の間隔WDが160mmであり、レーザ照射ヘッド50とM個の反射ミラー80との距離dは77mmである。M個の反射ミラー80は、M本の加熱レーザ光3の少なくとも一部を反射する。これにより、M個の反射ミラー80は、M本の加熱レーザ光3の照射強度分布の形状の上下の照射光強度分布を非対称にする。例えば、Z軸方向における照射強度分布の形状を、非対称な釣り鐘型に調整する。また、M個の反射ミラー80は、M本の加熱レーザ光3の入射角度および反射ミラー80の高さを調整することにより、Z軸方向における照射強度分布の非対称形状を調整する。例えば、M個の反射ミラー80は、M本の加熱レーザ光3のZ軸方向における照射強度分布の形状を、非対称な三角形又は非対称な多角形型の照射強度分布に調整してよい。M個の反射ミラー80は、M本の加熱レーザ光3の照射強度分布の形状を調整するM個の調整部の一例である。実施例2はM個の調整部は5個の反射ミラー80−1〜80−5からなる。
3mm≧Z2−ZU≧0mm
を満たすZ方向の上方向の照射強度分布になるように5個の反射ミラーの5本の加熱レーザ光3に対する角度、上部位置の高さが調整できる。
図12は、実施例3に係る反射ミラー80の下部配置の一例を示す。図13は、実施例3に係る加熱レーザ光3の下部配置の場合の照射強度分布を示す。図13では、Z軸方向の照射強度分布と、X軸方向の照射強度分布とを示す。X軸方向の長さ10mm、Z軸方向の長さ10mmの矩形形状で、この矩形形状の照射強度分布は均一なトップハット形状の照射強度分布を有する加熱レーザ光3の下部にミラーを配置する。Z軸方向の上端部照射形状はもともとのトップハット照射強度分布に従い直線状の急峻な減少を実現する。高さ約4mm幅で略均一な強度分布を有し、その後6mmの高さにわたって、なだらかに照射強度が減少する。X方向の照射強度分布は10mmの均一な照射強度を有する。M個の反射ミラー80をM本の加熱レーザ光3の下部に配置し、光の回折効果を利用することによりZ軸の下方向になだらかな照射強度分布を実現できる。
図14は、調整前の照射強度分布の一例を示す。本例のレーザ照射ヘッド50は、Z軸調整用レンズ38およびX軸調整用レンズ39を備える。Z軸調整用レンズ38およびX軸調整用レンズ39は、加熱レーザ光3の照射強度分布を調整するための調整用レンズの一例である。本例のレーザ照射ヘッド50は、Z軸調整用レンズ38をM本の加熱レーザ光3の光軸より下方向にずらしてコマ収差を発生させる。これにより、レーザ照射ヘッド50は、Z軸方向における照射強度分布の非対称形状を調整する。例えば、本例のレーザ照射ヘッド50は、照射強度分布の下方向の傾斜が緩やかになるように調整する。
図16は、Z軸方向の照射強度分布の調整方法の一例を示す。本例のレーザ照射ヘッド50は、複数の調整用レンズのうち1枚もしくは複数枚の調整用レンズのZ軸とM本の加熱レーザ光3の光軸とのなす角を鋭角とするように、複数の調整用レンズのうち1枚もしくは複数枚の調整用レンズのZ軸を回転させる。コマ収差を発生させることにより、第1の照射強度分布の非対称形状を調整する。これにより、レーザ照射ヘッド50は、Z軸方向における照射強度分布の非対称形状を調整する。例えば、本例のレーザ照射ヘッド50は、照射強度分布の下方向の傾斜が緩やかになるように調整する。
図17は、Z軸方向の照射強度分布の調整方法の一例を示す。本例の加熱レーザ光3の光軸をレーザ照射ヘッド50の光軸に対して下方向に傾けて入射し、コマ収差を発生させることにより、第1の照射強度分布の非対称形状を調整する。これにより、レーザ照射ヘッド50は、Z軸方向における照射強度分布の非対称形状を調整する。例えば、本例のレーザ照射ヘッド50は、照射強度分布の下方向の傾斜が緩やかになるように調整する。
(5)M本の光ファイバ40は、円形断面形状を有するファイバで上記(1)〜(4)の照射強度分布のM本の加熱レーザ光3を生成できる。原料棒1の中心軸方向であるZ軸方向かつ径(X方向もしくはR方向)方向が略均一の照射強度分布を有する加熱レーザ光は、高価な矩形断面の矩形ファイバを必要とする。円形ファイバは安価であるので、コストダウンのメリットも大きい。
Claims (37)
- 鉛直方向を第1方向として、前記第1方向に沿って延伸する原料棒と、
前記原料棒を中心として放射状に設けられ、前記原料棒にM本の加熱レーザ光を照射するM個のレーザ照射ヘッドと
を備え、
前記加熱レーザ光の光軸に直交する2次元平面における前記M本の加熱レーザ光の照射強度分布は、前記第1方向において予め定められた第1の照射強度分布を有し、且つ、前記第1方向と直交する第2方向の第2の照射強度分布は略均一の照射強度を有し、
前記第1の照射強度分布は、最大強度Imaxもしくは連続する最大強度Imaxの下端部の位置をZLとし、最大強度Imaxの下方向の50%照射強度(0.5×Imax)の位置をZ1とすると、
ZL−Z1≧2mm
である
単結晶育成装置。 - 前記第1の照射強度分布は、釣り鐘型の照射強度分布を有する
請求項1に記載の単結晶育成装置。 - 前記第1の照射強度分布は、直線形型もしくは多角形型の照射強度分布を有する
請求項1に記載の単結晶育成装置。 - 前記第1の照射強度分布は、釣り鐘型の照射強度分布の一部と、直線形もしくは多角形型の照射強度分布の一部との組み合わせからなる照射強度分布を有する
請求項1に記載の単結晶育成装置。 - 前記第1の照射強度分布は、前記第1方向において、上方向と下方向の照射強度分布が非対称である
請求項1から4のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記第1の照射強度分布は、前記上方向の照射強度が減少する勾配は、前記下方向の照射強度が減少する勾配より大きい
請求項5に記載の単結晶育成装置。 - 前記第1の照射強度分布は、
最大強度Imaxもしくは連続する最大強度Imaxの上端部の位置をZUとし、前記最大強度Imaxの上方向の50%照射強度(0.5×Imax)の位置をZ2とすると、
3mm≧Z2−ZU≧0mm
である
請求項1から6のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個のレーザ照射ヘッドと前記原料棒との間に設けられ、前記M個のレーザ照射ヘッドから照射された前記M本の加熱レーザ光の照射強度分布を調整するM個の調整部を更に備える
請求項1から7のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個の調整部は、前記M本の加熱レーザ光の少なくとも一部を反射することにより、前記M本の加熱レーザ光の照射強度分布を調整するM個の反射ミラーである
請求項8に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個の反射ミラーは、前記第1の照射強度分布の上部もしくは下部に設けられる
請求項9に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個の調整部は、前記M本の加熱レーザ光の少なくとも一部を吸収することにより、前記M本の加熱レーザ光の照射強度分布を調整するM個の吸収材料である
請求項8に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個の吸収材料は、前記第1の照射強度分布の上部もしくは下部に設けられる
請求項11に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個のレーザ照射ヘッドは、奇数個からなる
請求項1から12のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個の調整部は、奇数個からなる
請求項8から12のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 1本のレーザ光を照射する1台のレーザ光源と、
前記1本のレーザ光をM本に分割する1台のレーザ光分割装置と、
前記1台のレーザ光分割装置から入射した前記M本のレーザ光をM本の加熱レーザ光として出射するM本の光ファイバと
を備え、
前記M本の光ファイバからの前記M本の加熱レーザ光を予め定められた照射強度分布に成形する前記M個のレーザ照射ヘッドは、M>1である
請求項1から14のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個のレーザ照射ヘッドは複数のレンズを備える
請求項1から15のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記複数のレンズは、Z軸方向に曲率のある1又は複数のレンズを有し、
前記M本の加熱レーザ光の光軸を前記Z軸方向に曲率のある1又は複数のレンズの光軸に対して下方向に傾けて入射する光軸配置として、コマ収差を発生させることにより、前記第1の照射強度分布の非対称形状を調整する
請求項16に記載の単結晶育成装置。 - 前記複数のレンズは、Z軸方向に曲率のある1又は複数の調整用レンズを有し、
前記複数のレンズは、前記1又は複数の調整用レンズの位置を制御することにより、前記第1の照射強度分布の非対称形状を調整する
請求項16に記載の単結晶育成装置。 - 前記複数のレンズは、前記1又は複数の調整用レンズの光軸を前記M本の加熱レーザ光の光軸より前記下方向にずらしてコマ収差を発生させることにより、前記第1の照射強度分布の非対称形状を調整する
請求項18に記載の単結晶育成装置。 - 前記複数のレンズは、前記1又は複数の調整用レンズのZ軸と前記M本の加熱レーザ光の光軸とのなす角を鋭角とするように、前記1又は複数の調整用レンズのZ軸を回転させ、コマ収差を発生させることにより、前記第1の照射強度分布の非対称形状を調整する
請求項18に記載の単結晶育成装置。 - 前記複数の調整用レンズは、シリンドリカルレンズ又は複数のレンズ群である
請求項18から20のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記M本のレーザ照射ヘッドは、
結晶の成長速度をSとし、
前記第1方向の釣り鐘型の照射強度分布において、照射強度が最大値の10%となる幅をZ0とし、前記原料棒が溶融した溶融帯の前記第1方向の高さをHとしたとき、
(Z0−H)/2≧S
を満たすように前記複数のレンズを配置する
請求項16から21のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記M個のレーザ照射ヘッドは、
前記M本の加熱レーザ光の前記第2方向の略均一の照射強度分布の幅をLとし、
前記原料棒の直径をDとしたとき、
L≧D
を満たすように前記複数のレンズを配置する
請求項16から22のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記レーザ光分割装置は、
前記1台のレーザ光源からの前記1本のレーザ光を平行光に変換するコリメータレンズと、
前記1本のレーザ光をM本のレーザ光に分割する複数の分割ミラーと、
前記M本のレーザ光を前記M本の光ファイバに集光する集光レンズと
を有する請求項15に記載の単結晶育成装置。 - 前記原料棒が溶融した溶融帯から発光する輻射光強度を計測することにより、前記溶融帯の温度を計測する放射温度計を更に備え、
前記M本の加熱レーザ光の照射強度を、N<Mを満たすように設けられたN台の電源の出力により制御する
請求項1から24のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記原料棒から育成した結晶棒から発光する輻射光強度を計測することにより、前記結晶棒の温度を計測する放射温度計を更に備え、
前記放射温度計の計測温度に基づいて、前記M個の調整部を調整する
請求項8から14のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記M本の光ファイバの断面形状は、円形断面形状、楕円断面形状、矩形状およびこれらの形状を組み合わせた形状の少なくとも1つの組み合わせからなる長円形断面形状を有する
請求項1から26のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 前記加熱レーザ光の光軸に直交する2次元平面における前記M本の加熱レーザ光の照射強度分布の形状は、円形状、楕円形状、矩形状およびこれらの形状の一部を組み合わせた形状の少なくとも1つの形状を含む長円形状を有する
請求項1から27のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。 - 鉛直方向に延伸する原料棒を用意し、
前記原料棒を中心として放射状に設けられたM個のレーザ照射ヘッドを用いて、前記原料棒にM本の加熱レーザ光を照射し、
前記加熱レーザ光の光軸に直交する2次元平面における前記M本の加熱レーザ光の照射強度分布は、前記鉛直方向を第1方向として、予め定められた第1の照射強度分布を有し、且つ、前記第1方向と直交する第2方向の第2の照射強度分布は略均一の照射強度を有し、
前記第1の照射強度分布は、最大強度Imaxもしくは連続する最大強度Imaxの下端部の位置をZLとし、最大強度Imaxの下方向の50%照射強度(0.5×Imax)の位置をZ1とすると、
ZL−Z1≧2mm
である
単結晶の育成方法。 - 前記第1の照射強度分布は、上方向の照射強度減少する勾配は、前記下方向の照射強度減少する勾配より大きい
請求項29に記載の単結晶の育成方法。 - 前記第1の照射強度分布は、
最大強度Imaxもしくは連続する最大強度Imaxの上端部の位置をZUとし、前記最大強度Imaxの上方向の50%照射強度(0.5×Imax)の位置をZ2とすると、
3mm≧Z2−ZU≧0mm
である
請求項29又は30に記載の単結晶の育成方法。 - 前記M個のレーザ照射ヘッドが有する複数のレンズの間隔および焦点距離を調整することにより、前記第1の照射強度分布の形状および照射強度を調整する
請求項29から31のいずれか一項に記載の単結晶の育成方法。 - 前記M個の調整部が有するM個の反射ミラーの入射角度および高さを調整することにより、前記第1の照射強度分布の非対称形状を調整する
請求項29から32のいずれか一項に記載の単結晶の育成方法。 - 前記M個の調整部が有するM個の吸収材料の吸収量および高さを調整することにより、前記第1の照射強度分布の非対称形状を調整する
請求項29から33のいずれか一項に記載の単結晶の育成方法。 - 前記M個のレーザ照射ヘッドならびに前記M個の調整部は、
結晶棒の移動速度の増加に応じて、前記第1の照射強度分布における前記下方向の照射強度分布の勾配を小さくし、
前記結晶棒の移動速度の低下に応じて、前記第1の照射強度分布における前記下方向の照射強度分布の勾配を大きくする
請求項29から34のいずれか一項に記載の単結晶の育成方法。 - 前記原料棒が溶融した溶融帯から発光する輻射光強度を計測し、
計測した前記輻射光強度に応じて、前記M本の加熱レーザ光を照射するために、N<Mを満たすように設けられたN台の電源の入力電力を制御する
請求項29から35のいずれか一項に記載の単結晶の育成方法。 - 結晶棒から発光する輻射光強度を計測し、
計測した前記輻射光強度に応じて、前記M本の加熱レーザ光の下方向の照射強度分布を調整するために、M個の調整部を制御する
請求項29から36のいずれか一項に記載の単結晶の育成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/026393 WO2019013301A1 (ja) | 2017-07-12 | 2018-07-12 | 単結晶育成装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017136640 | 2017-07-12 | ||
JP2017136640 | 2017-07-12 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019019046A true JP2019019046A (ja) | 2019-02-07 |
JP2019019046A5 JP2019019046A5 (ja) | 2020-08-20 |
JP7026345B2 JP7026345B2 (ja) | 2022-02-28 |
Family
ID=65352764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017179573A Active JP7026345B2 (ja) | 2017-07-12 | 2017-09-19 | 単結晶育成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7026345B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022249223A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 日本電信電話株式会社 | 結晶成長装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4816082Y1 (ja) * | 1968-07-26 | 1973-05-08 | ||
JPS6241075U (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-11 | ||
JPH08203822A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-09 | Ricoh Co Ltd | 薄膜半導体材料形成装置 |
JPH09260302A (ja) * | 1996-03-19 | 1997-10-03 | Seiko Instr Inc | レーザ照射装置 |
JP2008093706A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
JP2016199411A (ja) * | 2015-04-07 | 2016-12-01 | 国立研究開発法人理化学研究所 | レーザ単結晶育成装置及び単結晶 |
-
2017
- 2017-09-19 JP JP2017179573A patent/JP7026345B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4816082Y1 (ja) * | 1968-07-26 | 1973-05-08 | ||
JPS6241075U (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-11 | ||
JPH08203822A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-09 | Ricoh Co Ltd | 薄膜半導体材料形成装置 |
JPH09260302A (ja) * | 1996-03-19 | 1997-10-03 | Seiko Instr Inc | レーザ照射装置 |
JP2008093706A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
JP2016199411A (ja) * | 2015-04-07 | 2016-12-01 | 国立研究開発法人理化学研究所 | レーザ単結晶育成装置及び単結晶 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022249223A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 日本電信電話株式会社 | 結晶成長装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7026345B2 (ja) | 2022-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI394627B (zh) | Laser processing method, laser processing apparatus and manufacturing method thereof | |
EP3399543A1 (en) | Laser annealing device and annealing method therefor | |
JP5181396B2 (ja) | 単結晶育成装置および単結晶育成方法 | |
TW201228762A (en) | Laser processing apparatus | |
JP2013503751A (ja) | 少なくとも5mmの周辺厚さを有するZnSレンズを備えるレーザー集束ヘッド、およびそのような集束ヘッドを用いた方法およびレーザー切削ユニット | |
CN104752267B (zh) | 一种激光退火装置及方法 | |
US20140161391A1 (en) | Optical module and optical transmission method | |
CN105033250A (zh) | 一种同轴双光束激光预热成形缓冷应力缓释装置及方法 | |
JP7026345B2 (ja) | 単結晶育成装置 | |
JP6473649B2 (ja) | レーザ単結晶育成装置及び単結晶 | |
US20060059950A1 (en) | Microprism and microrod lenses, method and apparatus for the production thereof | |
US20090020069A1 (en) | Multi-Beam Optical Afterheater for Laser Heated Pedestal Growth | |
US10675715B2 (en) | Semiconductor element manufacturing method and manufacturing device | |
US20210146476A1 (en) | Stealth dicing apparatus and stealth dicing method | |
WO2019013301A1 (ja) | 単結晶育成装置 | |
CN110004496B (zh) | 一种环形激光加热系统 | |
JP2019019046A5 (ja) | ||
CN115993726A (zh) | 一种光学系统、特种光纤生长装置及其方法 | |
Mocella et al. | Bent crystals in Laue geometry: dynamical focusing of a polychromatic incident beam | |
JP5087002B2 (ja) | ビーム分離光学素子 | |
KR20230115062A (ko) | 에어리 빔을 이용한 면취용 빔 생성 시스템 | |
US20040223212A1 (en) | Fluoride crystal material for optical element to be used for photolithography apparatus and method for producing the same | |
JP2014231459A (ja) | 単結晶育成装置 | |
JP4599514B2 (ja) | ラインジェネレータ | |
JP2017154919A (ja) | 浮遊帯域溶融装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20170920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200707 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7026345 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |