JP2018520505A - 統合されたクリップ及びリード、並びに、回路をつくる方法 - Google Patents

統合されたクリップ及びリード、並びに、回路をつくる方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2018520505A
JP2018520505A JP2017559293A JP2017559293A JP2018520505A JP 2018520505 A JP2018520505 A JP 2018520505A JP 2017559293 A JP2017559293 A JP 2017559293A JP 2017559293 A JP2017559293 A JP 2017559293A JP 2018520505 A JP2018520505 A JP 2018520505A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
circuit
lead frame
transistor
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017559293A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018520505A5 (ja
JP6805176B2 (ja
Inventor
誠 渋谷
誠 渋谷
吉野 誠
誠 吉野
Original Assignee
日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド
テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社, テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド, テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド filed Critical 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
Publication of JP2018520505A publication Critical patent/JP2018520505A/ja
Publication of JP2018520505A5 publication Critical patent/JP2018520505A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6805176B2 publication Critical patent/JP6805176B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49537Plurality of lead frames mounted in one device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/561Batch processing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/492Bases or plates or solder therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49517Additional leads
    • H01L23/49524Additional leads the additional leads being a tape carrier or flat leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • H01L23/49548Cross section geometry
    • H01L23/49551Cross section geometry characterised by bent parts
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49575Assemblies of semiconductor devices on lead frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49861Lead-frames fixed on or encapsulated in insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/36Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
    • H01L24/37Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/36Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
    • H01L24/38Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of a plurality of strap connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L24/40Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/36Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/37Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/37001Core members of the connector
    • H01L2224/37099Material
    • H01L2224/371Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/37138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/37147Copper [Cu] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L2224/40Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/401Disposition
    • H01L2224/40151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/40221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/40245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/84Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a strap connector
    • H01L2224/848Bonding techniques
    • H01L2224/84801Soldering or alloying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49517Additional leads
    • H01L23/4952Additional leads the additional leads being a bump or a wire
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/84Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a strap connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Abstract

回路が、その回路における少なくとも一つの構成要素に結合される導電性クリップ(502)を含む。少なくとも一つのリード部(552)が、導電性クリップの端部上に位置する。この回路は更に、少なくとも一つのリード部(552)を受け取るように寸法付けられる少なくとも一つの開口(444)を有する第1のリードフレームを含む。少なくとも一つのリード部(552)は、少なくとも一つの開口(444)において受け取られ、少なくとも一つのリード部(552)は、回路の外部導体である。

Description

幾つかの集積回路は、集積回路を印刷回路基板に物理的及び電気的に結合する、クワッドフラットノーリード(QFN)及びデュアルフラットノーリード(DFN)デバイスなどのノーリードパッケージを有する。マイクロリードフレーム(MLF)及びスモールアウトラインノーリード(SON)デバイスとしても知られている、平坦なノーリードデバイスは、印刷回路基板におけるスルーホールなしに集積回路を印刷回路基板の表面に接続する、表面実装技術に基づく。幾つかの例において、平坦なノーリードパッケージは、典型的に、平坦な銅リードフレーム基板で製造されるチップスケールプラスチック封止されるパッケージに近い。パッケージ上の周辺ランドは、印刷回路基板に対する電気的結合を提供する。こういったランドは、コンタクトとして機能し、集積回路の内部のリードと称され得るが、こういったリードは、集積回路パッケージの境界を越えて延在しない。
幾つかの集積回路及び他の電子デバイスは、回路及びデバイス内の電子構成要素に結合される導電性クリップを有する。クリップは第1の平面上にあり得、回路及びデバイスのためのリード又はコンタクトが第2の平面上にあり得る。クリップはリードにはんだ付けされるか又はその他の方式で電気的及び/又は機械的に接合され、これにより、デバイスと集積回路の外部コンタクトとの間の付加的な抵抗がもたらされる。接合は、回路及びデバイスにおけるウィークスポットも提供する。例えば、接合は、クラック及びその他の欠陥の影響を受け易く、これは、回路及びデバイスを動作不能とし得る。
或る回路が、その回路における少なくとも一つの構成要素に結合される導電性クリップを含む。少なくとも一つのリード部が、導電性クリップの端部上に位置する。この回路は更に、少なくとも一つのリード部を受け取るような寸法とされる少なくとも一つの開口を有する第1のリードフレームを含む。この少なくとも一つのリード部は、少なくとも一つの開口において受け取られ、この少なくとも一つのリード部は、回路の外部導体である。
クリップとリードとの間の接合を示す、デバイスの一部の側部断面図である。
クリップとリードとの間の接合を示す、図1のデバイス全体の頂部等角図である。
接合におけるクラックの位置を示す、図1及び図2のクリップとリードとの間の接合の拡大された切取図である。
第1のリードフレームの一例の頂部平面図である。
第2のリードフレームの一例の頂部平面図である。
図4のリードフレーム上のタブの一例を示す切取立面図である。
図4及び図5のリードフレームの、それらが共に配置された後の頂部平面図である。
スエージプロセスの後、リードに取り付けられた図5のクリップの側部立面図である。
第1のFETデバイス及び第2のFETデバイスを含む構造の側部切取図である。
図9の構造を製造する例示の方法のフローチャートである。
図1は、電子デバイス100の一部の側部断面図であり、クリップ102とリード104との間の接合を示す。デバイス100の例には、クワッドフラットノーリード(QFN)又はデュアルフラットノーリード(DFN)パッケージにおける集積回路が含まれる。クリップ102は、回路又は集積回路内の少なくとも一つの電子構成要素(図1には示していない)に結合される銅などの導電性材料である。幾つかの実施例において、クリップ102は、少なくとも一つの電界効果トランジスタ(FET)のソース又はドレインに電気的に結合される。リード104は、同様に導電性材料であり、デバイス100を他の電子デバイスに結合するためのリードとして機能する。例えば、リード104は、デバイス100を、印刷回路基板上の導体に電子的及び機械的に結合し得る。
デバイス100は、従来のモールディング手法により適用されるモールド106内に入れられる。リード104は、モールド106により包まれておらず、デバイス100のための導電性ランドとして機能する、表面107を有する。デバイス100の印刷回路基板(図示せず)へのアッセンブリの間、表面107は、印刷回路基板の表面上のはんだなど、接合材料上にセットされる。接合材料を硬化させた後、デバイス100は、印刷回路基板におけるスルーホールを利用することなく印刷回路基板に電気的及び機械的に結合される。
クリップ102及びリード104は異なる平面上にあり、そのため、クリップ102は、クリップ102の端部110をリード104の平面に導く、斜めの部分108を有する。クリップ102の端部110は、リード104の表面114に近接して位置し、接合化合物116により接合領域115において表面114に機械的及び電気的に結合される。幾つかの実施例において、接合化合物116は、はんだであるか、又は、一般的に、クリップ及びリードを共に結合する導電性エポキシである。
図2は、図1のデバイス100の一例の頂部等角図である。クリップ102は電子構成要素に電気的に結合され、電子構成要素は、図2の実施例においてトランジスタQ1及びQ2である。トランジスタQ1は、クリップ200にも電気的及び機械的に結合される。例えば、クリップ102は、トランジスタQ1のソースに結合され得、クリップ200は、トランジスタQ1のドレインに結合され得る。クリップ200は、トランジスタQ1のドレインを外部回路又はデバイスに結合する、図2には示していないリードに電気的に結合され得る。トランジスタQ1のゲートは、クリップ202に結合され、クリップ202は、接合材料208によりリード204に接合される。クリップ102は、トランジスタQ2のソースに電気的及び機械的に接合される。
クリップ102及びリード104(並びにクリップ202及びリード204)間の接合には、幾つかの電気的及び機械的問題がある。クリップ102とリード104との間の接合を参照すると、接合は、クリップ102とリード104との間の比較的高い抵抗をつくる。例えば、抵抗は、下記の位置、即ち、クリップ102、クリップ102と接合材料116との間のコンタクト、接合材料116、接合材料116とリード104との間のコンタクト、及びリード104にある。これらの抵抗は直列であり、低抵抗の銅であり得る、クリップ102及びリード104の材料の抵抗より大きくし得る。従って、クリップ102のリード104への接合は、クリップ102に結合される電子構成要素とリード104との間の比較的高い抵抗を提供し得、これは、これらの構成要素の機能にマイナスの影響を与え得る。
機械的に、クリップ102とリード104との間の接合は、デバイス100におけるウィークスポットであり、クラック又はその他の欠陥の影響を受け易い。図3は、図1及び図2のクリップ102とリード104との間の接合領域115の拡大された切取図であり、接合材料116におけるクラック300の位置を示す。クラック300は、温度変化、又は、接合材料116、クリップ102、及び/又はリード104に応力を与えるその他の要因の結果として、拡張及び収縮に起因して応力がかかることなど、応力によって生じ得る。クラック300は接合材料116に位置し、そのため、それは接合材料116における抵抗を増大させ得、クリップ102とリード104との間の高抵抗に関する上述の問題を悪化させ得る。幾つかの状況において、クラック300は、クリップ102とリード104との間を完全に分離させ得、これはデバイス100の欠陥につながり得る。
本明細書に記載されるデバイスは、クリップ及びリードを、2つのデバイスではなく、共に接合される単一デバイスとして形成又は製造することによって、クリップとリードとの間の接合に関連付けられる上述の問題を克服する。図4は、第1のリードフレーム400の頂部平面図である。図5は、第2のリードフレーム500の頂部平面図である。リードフレーム400及び500は、デュアルFETデバイスの一部であり、デュアルFETデバイスにおいて、FET同士が、電気的に直列に結合され、物理的に隣り合わせに配される。デュアルFETデバイスの利用は、クリップが本明細書に記載するようにリード内に製造され得る、多くの応用例の一例である。
第1のリードフレーム400は、複数の部分402を有する。部分402の各々は、本明細書において第1のFET及び第2のFETと称されるデュアルFETを有する、単一デバイスを構成する。図4の例において、第1のリードフレーム400は4つの部分402を有するが、任意の数の部分402が存在し得る。部分402はフレーム406により結合され、フレーム406は、部分402内の構成要素を支持し、部分402を互いに接続する。
図4の例において、第1のリードフレーム400は、その上に第1のFETのノードが製造される第1のクリップ又は導体410を有する。本明細書に記載される例において、第1のFETのドレインは、第1の導体410の表面412上に製造される。複数の保持体(retainer)414が、第1の導体410をフレーム402に接続し、第1の導体410を、製造の間フレーム402に対して固定箇所に維持するように機能する。製造における後のプロセスが、保持体414を切断し、そのため、保持体414は、第1のFETを他の回路及び/又は電子構成要素に結合するための導体として機能する。
第2のクリップ又は導体420が、その上に第2のFETのソースが製造される表面422を有する。複数の保持体424が、第2の導体420をフレーム402に接続し、第2の導体420を、製造の間フレーム402に対して固定箇所に維持するように機能する。第1の導体410と同様に、保持体424は、後の製造プロセスの間に切断され、第2のFETを他の回路及び/又は電子構成要素に結合するための導体として機能する。第3のクリップ又は導体430が、第2のFETのゲートに結合する。保持体434が、第3の導体430をフレーム402に接続し、保持体414及び424と同じ機能を果たす。
複数の保持体440が、フレーム402から延在し、これ以降に更に詳細に説明するように第2のリードフレーム500の一部を受け取るように働く。保持体440は、空間444により分離される複数のタブ442を含み、第2のリードフレーム500の一部が、これ以降に更に詳細に説明するように空間444内に受け取られる。
図6は、図4の保持体440の一例を示す切取立面図である。図6の例において、第2のリードフレーム500の一部が、タブ442間の空間444を埋めている。タブ442は、第2のリードフレーム500の高さを超えて延在する拡張された部分600を有する。図6の例において、拡張された部分600は、先がとがっているか又は実質的に三角である。拡張された部分600は、スエージプロセスの間、タブ442と第2のリードフレーム500との間の空間を埋めるために金属を提供する。
再び図5を参照すると、第2のリードフレーム500は、表面504を備える第1のクリップ又は導体502を有する。表面504は、FETを含むデバイスの頂部表面であり、幾つかの実施例において、これは、デバイスの外部表面である。第1の導体502は、表面504とは反対の表面(図5には示していない)を有し、その上に第1のFETのソース及び第2のFETのドレイン両方が製造される。第2のリードフレーム500は、第1の導体502をフレーム512に接続する複数の保持体510を有する。フレーム512は、図4のフレーム402と同じ様式で機能する。第2のクリップ又は導体520が、第1のFETのゲートに結合する。第2の導体520は、保持体522によりフレーム512に対して固定位置に保たれる。
第1の導体502は、ボディ部から延在する複数のリード550を有し、第2の導体520は、ボディ部から延在するリード552を有する。リード550及び552は、リード部と称されることもある。リード550は、移行部(transition)554により第1の導体502に接続され、リード552は、移行部556により第2の導体520に接続される。移行部554及び556は、リード550及び552を、第1の導体502及び第2の導体520のボディ部が位置する平面よりも低い、一つ又は複数の平面まで下げる。リード550及び552は、第1の導体502における他の構成要素と一体的に形成される。
製造の間、FETのソース、ゲート、及びドレインのための材料が、リードフレーム400及び500の導体上に製造される。例えば、FETの構成要素は、導体410、420、及び430上に製造され得るか、又は導体410、420、及び430に電気的に結合され得る。FETの層の一例を更に下記で説明する。その後、第2のリードフレーム500は、第1のリードフレーム400上に置かれ得、はんだ接合又はその他の接合が、FETを形成するために硬化され得る。
図7は、図4及び図5のリードフレーム400及び500の、これらが共に配置された後の頂部平面図である。図7は、第2のリードフレーム500が第1のリードフレーム400の頂部に置かれている上面図である。図7に示すように、第1の導体502のリード550及び第2の導体520のリード552は、保持体440の空間444内に受け取られる。保持体440内のリード550及び552の配置は、図6の立面図により示されている。FETにおけるはんだ及び/又は他の接合材料は、リード550及び552が空間444において受け取られた後、硬化される。
製造のこの時点で、FET内の接合材料は硬化され、リードフレーム400及び500は、シンギュレーションの前に、モールディング化合物で包まれる必要がある。リード550及び552は、モールディング前に保持体440に固定され、これにより、モールディング及びシンギュレーションプロセスの間、リード550及び552が固定位置に固定される。図8は、スエージプロセスの後、リード550及び552に取り付けられる保持体440を示す。図6を更に参照すると、スエージプロセスは、保持体440の頂部部分600をリード550及び552内に押しつぶし又は変形させており、これにより、リード550及び552が固定位置に固定される。従って、リード550及び552は、導体502及び520(図5)より低い平面上にあり、これらは、モールディングに関連付けられる圧力がリードフレーム400及び500に印加されるとき動かない。コーキング(かしめ)及びその他の接合手法など、リード550及び552を第1の保持体440に固定するための他の手法が適用され得る。
図9は、第1のFETデバイス902及び第2のFETデバイス904を含む構造900の側部切取図である。構造900の図は、モールディング化合物を示さないが、これは、FETデバイス902及び904の頂部表面908及び底部表面910間に延在し得る。FETデバイス902及び904の各々は2つのFETを有し、これらは、前述の第1のFET914及び第2のFET916である。これらのデバイスは、保持体440を通過するシンギュレーションライン920に沿ってシンギュレートされる。従って、シンギュレーションは、リード550及び552(図9には示していない)が、第2のリード及び第1のリードフレーム400に電気的に接しないように、第1のリードフレーム400と第2のリードフレーム500との間の如何なる電気的コンタクトも壊す。シンギュレーションの後、リード550及び552の端部は、露出され、それらのそれぞれのデバイス902及び904のための電気的導体として機能する。
図10は、上述のように2つのリードフレームを備えるデバイスを製造する例示の方法のフローチャート1000である。工程1002は、第1のリードフレームの一部と第2のリードフレームの一部との間の少なくとも一つの電子構成要素を製造することを含む。第1のリードフレームはリード部を有する。工程1004は、第1のリードフレームのリード部を第2のリードフレームに取り付けることを含む。工程1006は、少なくとも一つの構成要素をシンギュレートすることを含む。リード部は、シンギュレートした後の電子構成要素のリードである。
上述のデバイスは、例示の目的で、デュアルトランジスタを備えて製造される。他の実施例において、デバイスは、単一トランジスタなど、他の構成要素を備えて製造される。一体に形成されるリード(上述)は、リードから構成要素への電気抵抗を低減し、熱伝導率を増大する。例えば、一体に形成されるリードは、接合材料を介する熱の導通なしに、効率的な熱の搬送を可能にする。
集積回路の幾つかの例を本明細書において詳細に説明したが、本発明の特許請求の範囲内で、説明した例示の実施例に変形が可能であり、他の実施例が可能である。

Claims (20)

  1. 回路であって、
    前記回路における少なくとも一つの構成要素に結合される導電性クリップ、
    前記導電性クリップの端部に位置する少なくとも一つのリード部、及び
    前記少なくとも一つのリード部を受け取るように寸法付けられる少なくとも一つの開口を有する第1のリードフレーム、
    を含み、
    前記少なくとも一つのリード部が、前記少なくとも一つの開口において受け取られ、前記少なくとも一つのリード部が、前記回路の外部導体である、
    回路。
  2. 請求項1に記載の回路であって、前記導電性クリップが、第2のリードフレームの少なくとも一部である、回路。
  3. 請求項2に記載の回路であって、前記第1のリードフレームが少なくとも部分的に第1の平面上にあり、前記第2のリードフレームが少なくとも部分的に第2の平面上にある、回路。
  4. 請求項1に記載の回路であって、前記少なくとも一つのリード部が、スエージプロセスにより前記少なくとも一つの開口内に固定される、回路。
  5. 請求項1に記載の回路であって、前記少なくとも一つのリード部が、接合化合物により前記少なくとも一つの開口内に固定される、回路。
  6. 請求項1に記載の回路であって、前記少なくとも一つの開口の境界を画定する複数のタブを更に含む、回路。
  7. 請求項6に記載の回路であって、前記タブが、製造の間、拡張された部分を有し、前記拡張された部分が、製造の間押しつぶされ、前記押しつぶすことが、前記少なくとも一つの開口において前記少なくとも一つのリード部を固定する、回路。
  8. 請求項6に記載の回路であって、前記タブが、前記少なくとも一つの開口において前記少なくとも一つのリード部を固定するためにスエージされる、回路。
  9. 請求項6に記載の回路であって、前記タブが、前記少なくとも一つの開口において前記少なくとも一つのリード部を固定するために接合材料で接合される、回路。
  10. 請求項1に記載の回路であって、前記導電性クリップが、少なくとも一つのトランジスタの第1のノードに結合される、回路。
  11. 請求項10に記載の回路であって、前記第1のリードフレームが、前記少なくとも一つのトランジスタの第2のノードに結合される、回路。
  12. 請求項1に記載の回路であって、第1のトランジスタのソース及び第2のトランジスタのドレインが、前記導電性クリップ上に製造される、回路。
  13. 請求項12に記載の回路であって、前記第2のトランジスタの前記ドレイン及び前記第1のトランジスタの前記ソースが、前記第1のリードフレーム上に製造される、回路。
  14. 請求項12に記載の回路であって、前記第1のトランジスタのゲートが、前記導電性クリップに結合される、回路。
  15. 回路を製造する方法であって、前記方法が、
    第1のリードフレームの一部と第2のリードフレームの一部との間の少なくとも一つの電子構成要素を製造することであって、前記第1のリードフレームがリード部を有すること、
    前記第1のリードフレームの前記リード部を前記第2のリードフレームに取り付けること、及び
    前記第1のリードフレーム及び前記第2のリードフレームから個々の構成要素をシンギュレートすることであって、前記リード部が、シンギュレートした後の前記電子構成要素のリードである、
    を含む、方法。
  16. 請求項15に記載の方法であって、前記シンギュレートすることが、前記少なくとも一つの導電性クリップと前記第1のリードフレームとの間の前記取り付けを切断する、方法。
  17. 請求項15に記載の方法であって、更に、シンギュレーションの前に少なくとも前記リード部をモールド化合物に入れることを含む、方法。
  18. 請求項17に記載の方法であって、前記リード部の前記少なくとも一部が、シンギュレーション後に前記モールド化合物から延在する、方法。
  19. 請求項15に記載の方法であって、取り付けることが、前記第1のリードフレームの前記リード部を前記第2のリードフレームにスエージすることを含む、方法。
  20. 回路であって、
    トランジスタの少なくとも第1のノードに結合される導電性クリップ、
    前記導電性クリップの端部に位置し、前記導電性クリップと一体的に形成される、少なくとも一つのリード部、及び
    前記少なくとも一つのリード部を受け取るように寸法付けられる少なくとも一つの開口を有するリードフレーム、
    を含み、
    前記トランジスタの第2のノードが、前記リードフレームに結合され、
    前記少なくとも一つのリード部が、前記少なくとも一つの開口において受け取られ、
    前記少なくとも一つのリード部が、前記回路の外部導体である、
    回路。
JP2017559293A 2015-05-11 2016-05-11 統合されたクリップ及びリード、並びに、回路をつくる方法 Active JP6805176B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/709,074 US9673097B2 (en) 2015-05-11 2015-05-11 Integrated clip and lead and method of making a circuit
US14/709,074 2015-05-11
PCT/US2016/031873 WO2016183208A1 (en) 2015-05-11 2016-05-11 Integrated clip and lead and method of making a circuit

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018520505A true JP2018520505A (ja) 2018-07-26
JP2018520505A5 JP2018520505A5 (ja) 2019-06-13
JP6805176B2 JP6805176B2 (ja) 2020-12-23

Family

ID=57248437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017559293A Active JP6805176B2 (ja) 2015-05-11 2016-05-11 統合されたクリップ及びリード、並びに、回路をつくる方法

Country Status (4)

Country Link
US (2) US9673097B2 (ja)
JP (1) JP6805176B2 (ja)
CN (1) CN107636828B (ja)
WO (1) WO2016183208A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022538291A (ja) * 2019-06-28 2022-09-01 ニコベンチャーズ トレーディング リミテッド エアロゾル発生デバイス用の装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10586754B2 (en) * 2016-11-01 2020-03-10 Semiconductor Components Industries, LLC (BHB) Semiconductor die package and manufacturing method
EP3584832A1 (en) * 2018-06-20 2019-12-25 Nexperia B.V. A lead frame assembly for a semiconductor device
US11094617B2 (en) * 2019-06-27 2021-08-17 Alpha And Omega Semiconductor (Cayman), Ltd. Semiconductor package including low side field-effect transistors and high side field-effect transistors and method of making the same
US11742267B2 (en) * 2020-10-12 2023-08-29 Toyota Motor Engineering And Manufacturing North America, Inc. Power electronics assembly having flipped chip transistors
US20240030115A1 (en) * 2022-07-22 2024-01-25 Stmicroelectronics Pte Ltd Power package with copper plating and molding structure

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4926542A (en) * 1988-08-26 1990-05-22 Dale Electronic, Inc. Method of making a surface mount wirewound resistor
JP2004079760A (ja) * 2002-08-19 2004-03-11 Nec Electronics Corp 半導体装置及びその組立方法
US7095113B2 (en) * 2004-01-29 2006-08-22 Diodes Incorporated Semiconductor device with interlocking clip
US7394150B2 (en) * 2004-11-23 2008-07-01 Siliconix Incorporated Semiconductor package including die interposed between cup-shaped lead frame and lead frame having mesas and valleys
US20090057852A1 (en) * 2007-08-27 2009-03-05 Madrid Ruben P Thermally enhanced thin semiconductor package
US7598603B2 (en) 2006-03-15 2009-10-06 Infineon Technologies Ag Electronic component having a power switch with an anode thereof mounted on a die attach region of a heat sink
US7663211B2 (en) * 2006-05-19 2010-02-16 Fairchild Semiconductor Corporation Dual side cooling integrated power device package and module with a clip attached to a leadframe in the package and the module and methods of manufacture
US8063472B2 (en) 2008-01-28 2011-11-22 Fairchild Semiconductor Corporation Semiconductor package with stacked dice for a buck converter
US20090212405A1 (en) * 2008-02-26 2009-08-27 Yong Liu Stacked die molded leadless package
US8354740B2 (en) * 2008-12-01 2013-01-15 Alpha & Omega Semiconductor, Inc. Top-side cooled semiconductor package with stacked interconnection plates and method
US8450149B2 (en) * 2009-10-16 2013-05-28 Texas Instruments Incorporated Stacked leadframe implementation for DC/DC convertor power module incorporating a stacked controller and stacked leadframe construction methodology
US8513784B2 (en) * 2010-03-18 2013-08-20 Alpha & Omega Semiconductor Incorporated Multi-layer lead frame package and method of fabrication
US8614503B2 (en) 2011-05-19 2013-12-24 International Rectifier Corporation Common drain exposed conductive clip for high power semiconductor packages
US8933518B2 (en) * 2013-01-04 2015-01-13 Alpha & Omega Semiconductor, Inc. Stacked power semiconductor device using dual lead frame
US9006870B2 (en) * 2013-07-31 2015-04-14 Alpha & Omega Semiconductor Inc. Stacked multi-chip packaging structure and manufacturing method thereof
US9589868B2 (en) * 2015-03-11 2017-03-07 Gan Systems Inc. Packaging solutions for devices and systems comprising lateral GaN power transistors

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022538291A (ja) * 2019-06-28 2022-09-01 ニコベンチャーズ トレーディング リミテッド エアロゾル発生デバイス用の装置
JP7406575B2 (ja) 2019-06-28 2023-12-27 ニコベンチャーズ トレーディング リミテッド エアロゾル発生デバイス用の装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20160336256A1 (en) 2016-11-17
JP6805176B2 (ja) 2020-12-23
WO2016183208A1 (en) 2016-11-17
US9673097B2 (en) 2017-06-06
CN107636828B (zh) 2020-09-22
US10283409B2 (en) 2019-05-07
US20170236754A1 (en) 2017-08-17
CN107636828A (zh) 2018-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6805176B2 (ja) 統合されたクリップ及びリード、並びに、回路をつくる方法
US10438873B2 (en) Semiconductor chip package having heat dissipating structure
TWI464833B (zh) 經熱增強之薄型半導體封裝件
US8389336B2 (en) Semiconductor device package and method of assembly thereof
US7772036B2 (en) Lead frame based, over-molded semiconductor package with integrated through hole technology (THT) heat spreader pin(s) and associated method of manufacturing
US20070172990A1 (en) Method of packaging a semiconductor die and package thereof
US20140167237A1 (en) Power module package
US9171788B1 (en) Semiconductor package with small gate clip and assembly method
US9666557B2 (en) Small footprint semiconductor package
US20070298544A1 (en) Manufacturing method for a leadless multi-chip electronic module
US20180122729A1 (en) High power and high frequency plastic pre-molded cavity package
JP2017123360A (ja) 半導体モジュール
US7838980B1 (en) TO263 device package having low moisture sensitivity
US20070290303A1 (en) Dual leadframe semiconductor device package
US8722465B1 (en) Method of assembling semiconductor device including insulating substrate and heat sink
US20150249047A1 (en) Interposer with Programmable Matrix for Realizing Configurable Vertical Semiconductor Package Arrangements
US20050269689A1 (en) Conductor device and method of manufacturing thereof
US20060108672A1 (en) Die bonded device and method for transistor packages
US20150214179A1 (en) Semiconductor device including flexible leads
JP2007027645A (ja) 半導体装置
CN106158810B (zh) 用于ic封装的具有偏转的连接杆的引线框架
KR20030077203A (ko) 반도체 전력 모듈 및 그 제조방법
US20050189625A1 (en) Lead-frame for electonic devices with extruded pads
KR101697643B1 (ko) 이형필름을 포함하는 반도체 패키지 및 이의 제조방법
CN116895627A (zh) 半导体器件封装件及其制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20171113

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190430

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190430

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200708

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200720

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20201111

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201203

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6805176

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250