JP2018518830A - スピントロニクスデバイスのピンド層をプログラミングするための急速熱処理方法および装置 - Google Patents
スピントロニクスデバイスのピンド層をプログラミングするための急速熱処理方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018518830A JP2018518830A JP2017555796A JP2017555796A JP2018518830A JP 2018518830 A JP2018518830 A JP 2018518830A JP 2017555796 A JP2017555796 A JP 2017555796A JP 2017555796 A JP2017555796 A JP 2017555796A JP 2018518830 A JP2018518830 A JP 2018518830A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- wafer
- reflective
- transparent insulating
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 5
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical group CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 2
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 37
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000004093 laser heating Methods 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 239000002885 antiferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005303 antiferromagnetism Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005408 paramagnetism Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0052—Manufacturing aspects; Manufacturing of single devices, i.e. of semiconductor magnetic sensor chips
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/0033—Heating devices using lamps
- H05B3/0038—Heating devices using lamps for industrial applications
- H05B3/0047—Heating devices using lamps for industrial applications for semiconductor manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/01—Manufacture or treatment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
Description
(1)ウェハのMR薄膜層を加熱するために、RTA光源を炉の上に設置すること、
(2)透明絶縁層および反射層を少なくとも含む反射カバーをウェハの上に設置し、反射カバーの下の一部エリアが加熱される時、他のエリアが冷たいままであるように、反射カバーをパターニングすること、
(3)ウェハのエリアに入射する光を制限するために反射カバーと光源との間にスリットを形成し、ウェハがスリットの下を移動すると、光源が、反射カバーによって遮断されていないウェハの一部を加熱することができるようにウェハを動かすこと、
(4)一定磁界を生成するために、可動式ウェハの下に磁石を設置すること、および
(5)ウェハの特定のエリアを反強磁性層のブロッキング温度よりも高い温度まで加熱し、その後、加熱エリアが印加磁界の存在下で冷却された後に磁界をオフにするために、露光時間を制御することによって反強磁性層を局所的にプログラムすること
を含む。
図3は、本願に係る反射カバーを用いた磁気熱アニールの概略図である。図3に示すように、ウェハ34は、透明絶縁層33および反射層32でコーティングされ、反射層は、加熱されるエリアを露出するように被覆およびエッチングされる。ウェハ34は、RTAスリットランプ31の下を一定の速度で移動する。ウェハ34がスリット35を通過すると、RTAスリットランプ31は、薄膜によって被覆されていないMRウェハのエリアを加熱する。ウェハ34がスリット縁部を通過すると、加熱されたエリアは徐々に冷却され、その後、磁界を印加される。図内の矢印の方向は、右から左へ動くウェハの移動方向である。
Claims (21)
- スピントロニクスデバイスのピンド層をプログラムするための急速熱処理装置であって、急速熱アニール光源、反射カバー、磁石、およびウェハを備え、前記反射カバーは、少なくとも透明絶縁層および反射層を備え、前記磁石は、一定磁界を生成するために用いられ、前記透明絶縁層および前記反射層は、連続的に前記ウェハにコーティングされ、前記光源は、パターニングされた前記反射カバーを通して前記ウェハの加熱エリアへ入射光を送るために用いられ、ウェハ上の反強磁性層は、前記ウェハ上の特定のエリアを反強磁性層のブロッキング温度より高い温度まで加熱し、その後、印加磁界の存在下で前記加熱エリアが冷却された後に前記磁界をオフにするために、前記光源の露光時間を制御することによって局所的にプログラムされ得る装置。
- 前記光源は、単一バルブまたはバルブアレイである、請求項1に記載の装置。
- 前記装置は、前記ウェハのエリアに入射する光を制限するために用いられるスリットを更に備える、請求項1に記載の装置。
- 前記ウェハは可動式であり、搬送ベルトに載置される、請求項1に記載の装置。
- 前記装置は、急速熱アニール炉内に設置される、請求項1に記載の装置。
- 前記磁石は永久磁石である、請求項1に記載の装置。
- 前記磁石は超伝導永久磁石である、請求項1に記載の装置。
- 前記反射カバーは、2つの透明絶縁層および1つの反射層を備え、前記反射層は、前記2つの透明絶縁層の間に配置される、請求項1に記載の装置。
- 前記透明絶縁層は、TEOS、SiN、またはフォトレジストである、請求項8に記載の装置。
- 前記反射層は、赤外線、可視光、または紫外線を反射することができる任意の材料で作られる、請求項8に記載の装置。
- 前記反射層は金属製である、請求項8に記載の装置。
- 前記透明絶縁層は反射防止層である、請求項10に記載の装置。
- 前記ウェハは基板およびMR薄膜層を備え、前記基板はシリコン製であって電子回路を備え、前記MR薄膜層は前記基板に堆積される、請求項1に記載の装置。
- スピントロニクスデバイスのピンド層をプログラムするための急速熱処理方法であって、
(1)ウェハのMR薄膜層を加熱するために、急速熱アニール光源を炉の上に設置すること、
(2)透明絶縁層および反射層を少なくとも備える反射カバーを前記ウェハの上に設置し、前記反射カバーの下の一部エリアが加熱される時、他のエリアが冷たいままであるように、前記反射カバーをパターニングすること、
(3)前記ウェハのエリアに入射する光を制限するために前記反射カバーと前記光源との間にスリットを形成し、前記ウェハが前記スリットの下を移動すると、前記光源が、前記反射カバーによって遮断されていない前記ウェハの一部を加熱することができるように、前記ウェハを動かすこと、
(4)一定磁界を生成するために、前記可動式ウェハの下に磁石を設置すること、および
(5)前記ウェハの特定のエリアを反強磁性層のブロッキング温度よりも高い温度まで加熱し、その後、前記加熱エリアが印加磁界の存在下で冷却された後に前記磁界をオフにするために、露光時間を制御することによって前記反強磁性層を局所的にプログラムすること
のステップを備える方法。 - 前記反射カバーは、2つの透明絶縁層および1つの反射層を備え、前記反射層は、前記2つの透明絶縁層の間に配置される、請求項14に記載の方法。
- 前記急速アニール光源は、単一バルブまたはバルブアレイを備える、請求項14に記載の方法。
- 前記透明絶縁層は、TEOS、SiN、またはフォトレジストである、請求項14に記載の方法。
- 前記透明絶縁層は反射防止層である、請求項14に記載の方法。
- 前記反射層は、赤外線、可視光、または紫外線を反射することができる任意の材料で作られる、請求項14に記載の方法。
- 前記反射層は金属製である、請求項14に記載の方法。
- 前記ウェハは基板およびMR薄膜層を備え、前記基板はシリコン製であって電子回路を備え、前記MR薄膜層は前記基板に堆積される、請求項14に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510204777.4A CN104900802B (zh) | 2015-04-27 | 2015-04-27 | 用于自旋电子器件钉扎层的快速热处理方法和装置 |
CN201510204777.4 | 2015-04-27 | ||
PCT/CN2016/080195 WO2016173481A1 (zh) | 2015-04-27 | 2016-04-26 | 用于自旋电子器件钉扎层的快速热处理方法和装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018518830A true JP2018518830A (ja) | 2018-07-12 |
JP6883522B2 JP6883522B2 (ja) | 2021-06-09 |
Family
ID=54033336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017555796A Active JP6883522B2 (ja) | 2015-04-27 | 2016-04-26 | スピントロニクスデバイスのピンド層をプログラミングするための急速熱処理方法および装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11069544B2 (ja) |
EP (1) | EP3291318B1 (ja) |
JP (1) | JP6883522B2 (ja) |
CN (1) | CN104900802B (ja) |
WO (1) | WO2016173481A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104900802B (zh) * | 2015-04-27 | 2018-02-13 | 江苏多维科技有限公司 | 用于自旋电子器件钉扎层的快速热处理方法和装置 |
CN106324534B (zh) * | 2016-09-13 | 2023-10-31 | 江苏多维科技有限公司 | 用于激光写入系统的磁电阻传感器晶元版图及激光扫描方法 |
US11385306B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-07-12 | Western Digital Technologies, Inc. | TMR sensor with magnetic tunnel junctions with shape anisotropy |
CN111370569B (zh) * | 2019-10-12 | 2022-02-01 | 中国科学院半导体研究所 | 光刻胶辅助局域加热的磁存储单元、制备方法和逻辑器件 |
DE102021212072A1 (de) * | 2021-10-26 | 2023-04-27 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur Einstellung der Magnetisierung in mindestens einem Bereich einer Halbleitervorrichtung |
DE102021212669A1 (de) * | 2021-11-10 | 2023-05-11 | 3D-Micromac Ag | Verfahren und System zur Herstellung eines xMR-Magnetfeldsensors |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005081465A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Sony Corp | 微細構造体の製造方法および微細構造体、表示装置、ならびに記録装置の製造方法および記録装置 |
US20110108888A1 (en) * | 2009-04-14 | 2011-05-12 | NuPGA Corporation | System comprising a semiconductor device and structure |
JP2013064666A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Denso Corp | 磁気センサ装置およびその製造方法 |
JP2013191268A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Seagate Technology Llc | センサスタックの製造方法、読み取りヘッド、およびセンサスタック |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3498737B2 (ja) * | 2001-01-24 | 2004-02-16 | ヤマハ株式会社 | 磁気センサの製造方法 |
CN1740804A (zh) | 2001-01-24 | 2006-03-01 | 雅马哈株式会社 | 磁传感器的制造方法 |
US6847006B2 (en) | 2001-08-10 | 2005-01-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser annealing apparatus and semiconductor device manufacturing method |
CN100429799C (zh) | 2002-10-18 | 2008-10-29 | 雅马哈株式会社 | 磁感应器及其制作方法 |
JP2004263206A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-09-24 | Fuyuutec Furness:Kk | 熱処理装置 |
US7473656B2 (en) * | 2003-10-23 | 2009-01-06 | International Business Machines Corporation | Method for fast and local anneal of anti-ferromagnetic (AF) exchange-biased magnetic stacks |
US7110287B2 (en) * | 2004-02-13 | 2006-09-19 | Grandis, Inc. | Method and system for providing heat assisted switching of a magnetic element utilizing spin transfer |
US7804148B2 (en) * | 2006-02-16 | 2010-09-28 | International Business Machines Corporation | Opto-thermal mask including aligned thermal dissipative layer, reflective layer and transparent capping layer |
US9081669B2 (en) * | 2006-04-27 | 2015-07-14 | Avalanche Technology, Inc. | Hybrid non-volatile memory device |
US7643332B2 (en) * | 2006-06-23 | 2010-01-05 | Infineon Technologies Ag | MRAM cell using multiple axes magnetization and method of operation |
WO2009148678A2 (en) * | 2008-03-13 | 2009-12-10 | Alliance For Sustainable Energy, Llc | Optical cavity furnace for semiconductor wafer processing |
JP2011528504A (ja) | 2008-07-16 | 2011-11-17 | サイオニクス、インク. | パルス状レーザ加工から半導体を保護する薄い犠牲マスキング膜 |
US8642416B2 (en) | 2010-07-30 | 2014-02-04 | Monolithic 3D Inc. | Method of forming three dimensional integrated circuit devices using layer transfer technique |
CN102208530B (zh) * | 2011-03-03 | 2013-01-23 | 江苏多维科技有限公司 | 单一芯片磁性传感器及其激光加热辅助退火装置与方法 |
WO2015112358A1 (en) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | Tokyo Electron Limited | Method and system for performing post-etch annealing of a workpiece |
CN104900802B (zh) | 2015-04-27 | 2018-02-13 | 江苏多维科技有限公司 | 用于自旋电子器件钉扎层的快速热处理方法和装置 |
CN204680696U (zh) | 2015-04-27 | 2015-09-30 | 江苏多维科技有限公司 | 用于自旋电子器件钉扎层的快速热处理装置 |
-
2015
- 2015-04-27 CN CN201510204777.4A patent/CN104900802B/zh active Active
-
2016
- 2016-04-26 WO PCT/CN2016/080195 patent/WO2016173481A1/zh active Application Filing
- 2016-04-26 US US15/570,093 patent/US11069544B2/en active Active
- 2016-04-26 EP EP16785912.3A patent/EP3291318B1/en active Active
- 2016-04-26 JP JP2017555796A patent/JP6883522B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005081465A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Sony Corp | 微細構造体の製造方法および微細構造体、表示装置、ならびに記録装置の製造方法および記録装置 |
US20110108888A1 (en) * | 2009-04-14 | 2011-05-12 | NuPGA Corporation | System comprising a semiconductor device and structure |
JP2013064666A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Denso Corp | 磁気センサ装置およびその製造方法 |
JP2013191268A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Seagate Technology Llc | センサスタックの製造方法、読み取りヘッド、およびセンサスタック |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104900802B (zh) | 2018-02-13 |
EP3291318A1 (en) | 2018-03-07 |
EP3291318A4 (en) | 2019-01-23 |
US20180158702A1 (en) | 2018-06-07 |
CN104900802A (zh) | 2015-09-09 |
JP6883522B2 (ja) | 2021-06-09 |
EP3291318B1 (en) | 2022-10-05 |
US11069544B2 (en) | 2021-07-20 |
WO2016173481A1 (zh) | 2016-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6883522B2 (ja) | スピントロニクスデバイスのピンド層をプログラミングするための急速熱処理方法および装置 | |
Adam et al. | Magnetically and optically tunable terahertz radiation from Ta/NiFe/Pt spintronic nanolayers generated by femtosecond laser pulses | |
CN1513120A (zh) | 相对第二磁元件定向第一磁元件磁化轴线的方法,用于获得传感器的半成品,用于测量磁场的传感器 | |
US10340438B2 (en) | Laser annealing qubits for optimized frequency allocation | |
CN110880467A (zh) | 晶片对准标记、系统及相关方法 | |
US20210055162A1 (en) | Optical detector | |
US9372241B2 (en) | Multi-directional pin anneal of MR sensors with plasmon heating | |
Fan et al. | On/Off Ultra‐Short Spin Current for Single Pulse Magnetization Reversal in a Magnetic Memory Using VO2 Phase Transition | |
CN204739999U (zh) | 一种单封装的高强度磁场磁电阻角度传感器 | |
CN204680696U (zh) | 用于自旋电子器件钉扎层的快速热处理装置 | |
Gruber et al. | 300‐Times‐Increased Diffusive Skyrmion Dynamics and Effective Pinning Reduction by Periodic Field Excitation | |
Martens et al. | Pumping laser excited spins through MgO barriers | |
Tselev et al. | Fabrication of magnetic nanostructures by direct laser interference lithography on supersaturated metal mixtures | |
JP2004523928A (ja) | 層系における参照磁化を確定するための方法 | |
CN113437211A (zh) | 一种基于磁性隧道结的太赫兹波调制器及其制备方法 | |
KR102618318B1 (ko) | 이온조사법을 이용한 무자장 스핀 궤도 토크 스위칭 소자 제조 방법 및 이에 의해 제조된 스핀 궤도 토크 스위칭 소자 | |
Dumen et al. | A Case Study to Address:“Is Your Pulsed Laser Deposition Chamber Clean?” | |
CN114242886B (zh) | 一种调控二维铁磁/反铁磁异质结交换偏置的方法及装置 | |
CN111628074B (zh) | 一种低磁滞隧道结磁敏感体的制备方法 | |
Wang | Integrating ultrafast all-optical switching with magnetic tunnel junctions | |
Krupa | Control Spin Current and data recording on spin storage medium | |
Wang et al. | Flexible generation of structured terahertz fields via programmable exchange-biased spintronic emitters | |
Riddiford et al. | Grayscale control of local magnetic properties with direct-write laser annealing | |
Hu et al. | Single-pulse all-optical partial switching in amorphous Dy | |
HUAJUN | Magnetotransport properties of strontium doped lanthanum manganite nanoconstriction array |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190325 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210420 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210510 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6883522 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |